JP2015039258A5 - - Google Patents

Description

本発明の駆動回路は、静電型アクチュエータの駆動回路であって、電源と、スイッチドキャパシタと、を備え、前記スイッチドキャパシタを介して供給された通過電流により前記静電型アクチュエータに蓄積された電荷を、前記スイッチドキャパシタに再充電する、ことを特徴とする駆動回路である。

本発明の駆動方法は、電源とスイッチドキャパシタを備えた静電型アクチュエータの駆動方法であって、前記スイッチドキャパシタを介して供給された通過電流により前記静電型アクチュエータに蓄積された電荷を、前記スイッチドキャパシタに再充電する、ことを特徴とする駆動方法である。

本発明によれば、スイッチドキャパシタを介して供給された通過電流により静電型アクチュエータに蓄積された電荷を、スイッチドキャパシタに再充電させる。このため、高電圧印加状態で静電型アクチュエータに蓄積された電荷が有効に利用され、静電型アクチュエータの駆動時において、スイッチドキャパシタの充電の際に電源から供給される電荷量を抑制することができる。

以上説明したように、本実施形態では、スイッチドキャパシタ１２０を介して供給された通過電流により静電型アクチュエータ（ＳＡ）２００に蓄積された電荷を、スイッチドキャパシタ１２０に再充電させる。このため、高電圧印加状態でＳＡ２００に蓄積された電荷が有効に利用され、ＳＡ２００の駆動時において、スイッチドキャパシタ１２０の充電の際の電源から供給される電荷量を抑制することができる。

［付記］
＜請求項１＞
静電型アクチュエータの駆動回路であって、
電源と、
スイッチドキャパシタと、を備え、
前記スイッチドキャパシタを介して供給された通過電流により前記静電型アクチュエータに蓄積された電荷を、前記スイッチドキャパシタに再充電する、
ことを特徴とする駆動回路。
＜請求項２＞
前記スイッチドキャパシタは、
複数のキャパシタと、
前記電源から前記複数のキャパシタへの充電を行う際に制御される第１のスイッチと、
前記複数のキャパシタに充電されている電荷の前記静電型アクチュエータへの流し込みに際して制御される第２のスイッチと、
を備えることを特徴とする請求項１に記載の駆動回路。
＜請求項３＞
前記スイッチドキャパシタは、
前記複数のキャパシタを並列接続する際に制御される第３のスイッチと、
前記複数のキャパシタを直列接続する際に制御される第４のスイッチと、
を更に備えることを特徴とする請求項２に記載の駆動回路。
＜請求項４＞
前記スイッチドキャパシタは、
前記複数のキャパシタが並列接続されている状態で、前記電源から前記複数のキャパシタへの充電を行う第１の制御手段を更に備えることを特徴とする請求項３に記載の駆動回路。
＜請求項５＞
前記第１の制御手段は、前記第２のスイッチがＯＦＦ、前記第３のスイッチがＯＮ、及び、前記第４のスイッチがＯＦＦの状態で、前記第１のスイッチをＯＮに制御することを特徴とする請求項４に記載の駆動回路。
＜請求項６＞
前記スイッチドキャパシタは、
前記複数のキャパシタが直列接続されている状態で、前記複数のキャパシタに充電されている電荷の前記静電型アクチュエータへの流し込みを行う第２の制御手段を更に備えることを特徴とする請求項３に記載の駆動回路。
＜請求項７＞
前記第２の制御手段は、前記第１のスイッチがＯＦＦ、前記第３のスイッチがＯＦＦ、及び、前記第４のスイッチがＯＮの状態で、前記第２のスイッチをＯＮに制御することを特徴とする請求項６に記載の駆動回路。
＜請求項８＞
前記スイッチドキャパシタは、
前記複数のキャパシタが並列接続されている状態で、前記複数のキャパシタへの前記静電型アクチュエータに蓄積されている電荷の再充電を行う第３の制御手段を更に備えることを特徴とする請求項３に記載の駆動回路。
＜請求項９＞
前記第３の制御手段は、前記第１のスイッチがＯＦＦ、前記第３のスイッチがＯＮ、及び、前記第４のスイッチがＯＦＦの状態で、前記第２のスイッチをＯＮに制御することを特徴とする請求項８に記載の駆動回路。
＜請求項１０＞
電源とスイッチドキャパシタを備えた静電型アクチュエータの駆動方法であって、
前記スイッチドキャパシタを介して供給された通過電流により前記静電型アクチュエータに蓄積された電荷を、前記スイッチドキャパシタに再充電する、
ことを特徴とする駆動方法。
＜請求項１１＞
前記スイッチドキャパシタが、複数のキャパシタと、前記電源から前記複数のキャパシタへの充電を行う際に制御される第１のスイッチと、前記複数のキャパシタに充電されている電荷の静電型アクチュエータへの流し込みに際して制御される第２のスイッチと、前記複数のキャパシタを並列接続する際に制御される第３のスイッチと、前記複数のキャパシタを直列接続する際に制御される第４のスイッチと、を備え、前記スイッチドキャパシタを介して供給された通過電流により前記静電型アクチュエータに蓄積された電荷を、前記スイッチドキャパシタに再充電させる駆動回路において使用される静電型アクチュエータの駆動方法であって、
前記複数のキャパシタが並列接続されている状態で、前記電源から前記複数のキャパシタへの充電を行う第１のステップと、
前記複数のキャパシタが直列接続されている状態で、前記複数のキャパシタに充電されている電荷の前記静電型アクチュエータへの流し込みを行う第２のステップと、
前記複数のキャパシタが並列接続されている状態で、前記複数のキャパシタへの前記静電型アクチュエータに蓄積されている電荷の再充電を行う第３のステップと、
を備えることを特徴とする請求項１０に記載の駆動方法。
＜請求項１２＞
前記第１のステップ、前記第２のステップ及び前記第３のステップの順次実行を１サイクルとして、前記１サイクルを繰り返することにより、前記静電型アクチュエータの振動を発生させる、ことを特徴とする請求項１１に記載の駆動方法。

Claims (12)

1. 静電型アクチュエータの駆動回路であって、
   電源と、
   スイッチドキャパシタと、を備え、
   前記スイッチドキャパシタを介して供給された通過電流により前記静電型アクチュエータに蓄積された電荷を、前記スイッチドキャパシタに再充電する、
   ことを特徴とする駆動回路。
2. 前記スイッチドキャパシタは、
   複数のキャパシタと、
   前記電源から前記複数のキャパシタへの充電を行う際に制御される第１のスイッチと、
   前記複数のキャパシタに充電されている電荷の前記静電型アクチュエータへの流し込みに際して制御される第２のスイッチと、
   を備えることを特徴とする請求項１に記載の駆動回路。
3. 前記スイッチドキャパシタは、
   前記複数のキャパシタを並列接続する際に制御される第３のスイッチと、
   前記複数のキャパシタを直列接続する際に制御される第４のスイッチと、
   を更に備えることを特徴とする請求項２に記載の駆動回路。
4. 前記スイッチドキャパシタは、
   前記複数のキャパシタが並列接続されている状態で、前記電源から前記複数のキャパシタへの充電を行う第１の制御手段を更に備えることを特徴とする請求項３に記載の駆動回路。
5. 前記第１の制御手段は、前記第２のスイッチがＯＦＦ、前記第３のスイッチがＯＮ、及び、前記第４のスイッチがＯＦＦの状態で、前記第１のスイッチをＯＮに制御することを特徴とする請求項４に記載の駆動回路。
6. 前記スイッチドキャパシタは、
   前記複数のキャパシタが直列接続されている状態で、前記複数のキャパシタに充電されている電荷の前記静電型アクチュエータへの流し込みを行う第２の制御手段を更に備えることを特徴とする請求項３に記載の駆動回路。
7. 前記第２の制御手段は、前記第１のスイッチがＯＦＦ、前記第３のスイッチがＯＦＦ、及び、前記第４のスイッチがＯＮの状態で、前記第２のスイッチをＯＮに制御することを特徴とする請求項６に記載の駆動回路。
8. 前記スイッチドキャパシタは、
   前記複数のキャパシタが並列接続されている状態で、前記複数のキャパシタへの前記静電型アクチュエータに蓄積されている電荷の再充電を行う第３の制御手段を更に備えることを特徴とする請求項３に記載の駆動回路。
9. 前記第３の制御手段は、前記第１のスイッチがＯＦＦ、前記第３のスイッチがＯＮ、及び、前記第４のスイッチがＯＦＦの状態で、前記第２のスイッチをＯＮに制御することを特徴とする請求項８に記載の駆動回路。
10. 電源とスイッチドキャパシタを備えた静電型アクチュエータの駆動方法であって、
    前記スイッチドキャパシタを介して供給された通過電流により前記静電型アクチュエータに蓄積された電荷を、前記スイッチドキャパシタに再充電する、
    ことを特徴とする駆動方法。
11. 前記スイッチドキャパシタが、複数のキャパシタと、前記電源から前記複数のキャパシタへの充電を行う際に制御される第１のスイッチと、前記複数のキャパシタに充電されている電荷の静電型アクチュエータへの流し込みに際して制御される第２のスイッチと、前記複数のキャパシタを並列接続する際に制御される第３のスイッチと、前記複数のキャパシタを直列接続する際に制御される第４のスイッチと、を備え、前記スイッチドキャパシタを介して供給された通過電流により前記静電型アクチュエータに蓄積された電荷を、前記スイッチドキャパシタに再充電させる駆動回路において使用される静電型アクチュエータの駆動方法であって、
    前記複数のキャパシタが並列接続されている状態で、前記電源から前記複数のキャパシタへの充電を行う第１のステップと、
    前記複数のキャパシタが直列接続されている状態で、前記複数のキャパシタに充電されている電荷の前記静電型アクチュエータへの流し込みを行う第２のステップと、
    前記複数のキャパシタが並列接続されている状態で、前記複数のキャパシタへの前記静電型アクチュエータに蓄積されている電荷の再充電を行う第３のステップと、
    を備えることを特徴とする請求項１０に記載の駆動方法。
12. 前記第１のステップ、前記第２のステップ及び前記第３のステップの順次実行を１サイクルとして、前記１サイクルを繰り返することにより、前記静電型アクチュエータの振動を発生させる、ことを特徴とする請求項１１に記載の駆動方法。