JP2015033162A

JP2015033162A - 駆動装置、荷電粒子線照射装置、リソグラフィ装置

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Publication number: JP2015033162A
Application number: JP2013159137A
Authority: JP
Inventors: 内田　真司; Shinji Uchida; 真司内田
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 2013-07-31
Filing date: 2013-07-31
Publication date: 2015-02-16
Also published as: US20150033546A1

Abstract

【課題】磁気シールドに対する着磁の影響も低減させ、かつ磁気シールドの開口を介して電磁アクチュエータから生じる磁場の漏れを低減させることが可能な駆動装置を提供すること。【解決手段】本発明の駆動装置６は、電磁力により動力を生じる電磁アクチュエータ７と、電磁アクチュエータ７によって動く可動部７３及び８と、電磁アクチュエータの磁場発生部に近いほうから順に前記電磁アクチュエータを囲む第１の磁気シールド９１と第２の磁気シールド９２を含む磁気シールドユニットとを有している。磁気シールド９１、９２の少なくとも一方にある、消磁コイル１２０が貫通している開口は、第１の磁気シールド９１又は第２の磁気シールド９２と対向していることを特徴とする。【選択図】図２

Description

本発明は、駆動装置、駆動装置を搭載した荷電粒子線照射装置、及びデバイスの製造方法に関する。

磁場の影響を受けやすい装置の周辺には、磁性を帯びた物体を配置しないことが好ましい。例えば、電子線描画装置の場合は、基板を駆動するための電磁アクチュエータ等から生じる外部磁場の影響を受けてパターンの描画位置にずれが生じてしまうという課題がある。

そこで特許文献１には、複数の中空体の磁気シールドを用いて電磁アクチュエータを囲むことにより、電磁アクチュエータから生じる磁場の漏れを低減する技術が記載されている。特許文献２には、消磁コイルに対して交番電流を流し、その電流の大きさを徐々に減少させることによって磁場の漏れを低減させる技術が記載されている。

特開２００４−１５３１５１号公報特開２００７−３１１４５７号公報

特許文献１に記載の技術を適用することで、電磁アクチュエータから生じる磁場の影響を低減させる効果はある。しかし、駆動装置の非常停止により磁気シールドに対して衝撃が加えられた場合に、磁気シールドに応力がかかると着磁してしまう。また、駆動装置の高速駆動によって磁気シールドに対して応力がかかる場合にも、磁気シールドが着磁してしまう恐れがある。

たとえ複数の磁気シールドで囲まれている電磁アクチュエータに対して特許文献２に記載の技術を適用したとしても、磁気シールドに対して消磁用のコイルを設置するためには磁気シールドに対して開口を設ける必要がある。そのため、内側の磁気シールドの開口が外側の磁気シールドの開口に対向していることに起因して磁場漏れが生じてしまう。

そこで、本発明は上記課題を鑑みてなされたものであり、磁気シールドの開口を介して電磁アクチュエータから生じる磁場の漏れを低減させつつ、磁気シールドに対する着磁の影響も低減させることが可能な駆動装置を提供することを目的とする。

本発明の駆動装置は、電磁アクチュエータと、前記電磁アクチュエータによって動く可動部と、前記電磁アクチュエータの磁場発生部に近いほうから順に前記電磁アクチュエータを囲む、第１の磁気シールドと第２の磁気シールドとを含む磁気シールドユニットと、前記第１磁気シールド及び前記第２の磁気シールドの少なくとも一方に在る開口を貫通している消磁コイルとを有し、前記消磁コイルが貫通している開口は、該開口の少なくとも一部の領域で前記第１の磁気シールド又は前記第２の磁気シールドと対向していることを特徴とする。

本発明の駆動装置によれば、磁気シールドに対する着磁の影響を低減させることが可能となる。よって、本発明の駆動装置を例えば電子線描画装置に用いれば、外部磁場の影響によるパターンの描画精度の低下を低減することが可能となる。

実施形態１に係る駆動装置を搭載した電子線描画装置の構成を示す図実施形態１に係る駆動装置の断面図実施形態２に係る駆動装置の断面図実施形態３に係る駆動装置の外観図実施形態４に係る駆動装置の断面図

本発明の駆動装置は、駆動装置が搭載される装置であって、外部磁場の影響が懸念される装置に対して適用可能である。例えば、電子線描画装置、電子顕微鏡等の荷電粒子線を用いる機器（荷電粒子線照射装置）、あるいは磁場の変化を検知することによって被験者の脳機能を計測する脳磁界計測器（脳機能計測器）等の医療機器が挙げられる。

（実施形態１）
図１は、実施形態１における駆動装置６を搭載した電子線描画装置の概略構成を示す図である。同図の電子線描画装置は、実施形態１における駆動装置６に代えて、後述する各実施形態における駆動装置を搭載可能であるものとする。電子線描画装置は、筐体１、基板２（照射対象物）、長ストロークステージ３、短ストロークステージ４を有する。筐体１は、基板２に向かって電子線を照射するための電子源（不図示）や電子光学系（不図示）を収容している。

短ストロークステージ４は基板２を搭載する基板支持部５（移動可能な物体）及び基板支持部５に駆動力を与えるための駆動装置６を有している。また、短ストロークステージ４は長ストロークステージ３の上面に載置されている。長ストロークステージ３は、長ストロークステージ３に搭載されている不図示の駆動手段により、基板２のおよその位置決めを行う。一方、短ストロークステージ４の基板支持部５は、駆動装置６によって基板２を短ストローク移動させて正確な位置決めを行う。

基板支持部５には、基板２を保持する基板ホルダ（不図示）や、基板支持部５の位置計測に用いられるミラー（不図示）が設置されている。レーザ干渉計（不図示）が放出するレーザ光を前記ミラーで反射させることで、Ｘ、Ｙ、及びＺ軸方向の基板支持部５の位置を計測する。計測された位置情報に基づいて、長ストロークステージ３や短ストロークステージ４の基板支持部５が駆動される。このように基板支持部５を駆動しつつ基板２に電子線を照射することによって基板２上に目的のパターンを描画する。

駆動装置６周囲の磁場の大きさを計測するため、筐体１に磁気センサ１０が設けられている。ただし、磁気センサ１０の位置は図１に示すような筐体１の側面に限らず、他の場所に配置されていても良い。また、複数個配置されていても良い。磁気センサ１０としては、フラックスゲート式の磁気センサを使用することが好ましい。室温下で使用可能な磁気センサのうち、高感度かつ高分解能の性能を有し、比較的小型であるからである。

なお、電子線の照射前の時点で磁気センサ１０が磁場を検知している場合には、その値をオフセット値とする。このようにすることで、駆動装置６を構成している後述の磁気シールド等が磁性を帯びた場合に、着磁を検知することができる。

以上の電子線描画装置の構成は、内部雰囲気が真空である真空チャンバー（不図示）内に設置されている。さらに真空チャンバーは磁気シールドルーム（不図示）内に設置されており、電子線を制御するための制御基板が入った電装ラック等の周辺機器からの磁場の影響を避けるようにしている。

図２は、実施形態１に係る駆動装置６の断面図である。基板支持部５を電磁力により駆動させる電磁アクチュエータとして電磁石ユニット７を搭載している。

電磁石ユニット７は、磁性材料からなる、固定子であるＥコア７１と可動子であるＩコア７３とを有している。さらに電磁石ユニット７はＥコア７１を励磁する励磁コイル７２を備え、Ｉコア７３は励磁されたＥコア７１との間に生じる磁気吸引力を受けて移動する。

励磁コイル７２に流す電流の大きさや向きを制御することで、Ｅコア７１とＩコア７３との間で生じる磁気吸引力の強さや方向が制御される。なお、短ストロークステージ４の可動する部分の軽量化を図るために、Ｉコア７３はＥコア７１に比べて軽量であることが好ましい。電磁アクチュエータとして電磁石ユニット７を用いる利点として、例えば、単位電流に対する推力の取り出し効率に優れていることが挙げられる。

伝達部材８は、一端がＩコア７３と、もう一端が基板支持部５と連結されている。そのため、Ｉコア７３が磁気吸引力を受けて移動すると、伝達部材８を介して、基板支持部５もＩコア７３に連動する。図２に示すように電磁石ユニット７が配置されている場合は、基板支持部５はＸ軸方向に移動する。なお、この伝達部材８は、磁場の漏れを防ぐためにも非磁性材料であることが好ましい。

駆動装置６は、電磁アクチュエータより生じる電磁力によって移動可能な可動部を介して、可動部に連結している物体を駆動させる。すなわち、本実施形態及び後述の実施形態２−４では、Ｉコア７３及び伝達部材８が可動部である。図１における電子線描画装置に対して、図２に示すＸ軸方向に移動させるための駆動装置６の他に、不図示の、Ｙ軸やＺ軸方向の移動用の駆動装置も搭載することによって、基板支持部５を６軸方向に移動させることが可能となる。

電磁石ユニット７から発生する磁場の漏れを低減するために、電磁石ユニット７の周囲を複数の磁気シールド（磁気シールドユニット）により多重に囲んでいる。磁気シールドは中空体の直方体（６面体）形状をしている。電磁石ユニット７の磁場発生部、すなわち本実施形態ではＥコア７１からから近いほうから順に、開口１２１、１２３の在る磁気シールド９１（第１の磁気シールド）と、開口１２２、１２４の在る磁気シールド９２（第２の磁気シールド）とを含む。

磁気シールド９１、９２の材料としては、パーマロイのような軟質磁性材料を使用する。軟質磁性材料は高透磁率材料であり、その材料で閉じた空間内の磁場を閉じ込める遮蔽性に優れた材料である。

磁気シールド９１、９２、Ｅコア７１を固定して一体構成とするために、磁気シールド９１と磁気シールド９２、及び磁気シールド９１とＥコア７１はエポキシ系の接着剤１１によって接着されている。ただし、磁気シールド９１、９２、Ｅコア７１を固定して一体構成とする方法は、これに限らず磁性を帯びにくい構成とすれば良い。

磁気シールド９１、９２には、Ｉコア７３に連結されている伝達部材８を非接触で貫通させるために、開口１０１、１０２が各々設けられている。開口１０１、１０２を貫通している伝達部材８によって、電磁石ユニット７より生じる推力を基板支持部５に伝えることが可能となる。

磁気シールド９１には開口１２１と開口１２３が設けられている。磁気シールド９２には開口１２２と開口１２４が設けられている。これらの開口１２１−１２４は、磁気シールドが着磁してしまった場合に、その磁性を消磁するための消磁コイル１２０を貫通させるための開口である。消磁コイル１２０は開口１２１−１２４に接触しても良い。また、開口１２１−１２４は、磁場の漏れを抑えるためにもなるべく小さいサイズであることが好ましい。例えば、直径１ｍｍ以下、より好ましくは０．１ｍｍ程度であることが好ましい。

電磁石ユニット７から生じる磁場が、開口１２１−１２４を介して漏れ出てくることを防ぐために開口１２２は開口１２１に対してＸ軸方向にａ、開口１２４は開口１２３に対してｂずれて配置されている。このように磁気シールド９１の開口１２１や開口１２３の少なくとも一部の領域が、磁気シールド９２と対向するようすることで、開口１２１や開口１２３を通じて漏れ出た磁場を磁気シールド９２により遮蔽できるようにしている。
なるべく、開口１２１が開口１２２と対向する面積よりも、また開口１２３が開口１２４と対向する面積よりも、磁気シール９２と対向する面積が大きいほうが好ましい。より好ましい形態は、開口１２１及び開口１２３が磁気シールド９２とのみ対向している状態である。

なお、ずれ幅ａやずれ幅ｂは、消磁したい領域と、描画時の基板２周囲の磁場が電子線の軌道に与える影響との兼ね合いで決められる。なお、開口１２３と開口１２４のほうが、開口１２１と開口１２２に比べて基板２から離れている。すなわち、開口１２３と開口１２４から漏れる磁場のほうが、基板２に対する電子線による描画の位置ずれ現象に与える影響が小さい。よって、開口のずれ幅ａとずれ幅ｂに関して、ａはｂよりも大きいほうが好ましい。

消磁コイル１２０は、電流源１３と接続されている。電磁気センサ１０が駆動装置６の着磁を感知した場合、電流源１３を用いて消磁コイル１２０に対して交番電流を流す。交番電流は着磁した磁性が飽和する程度の大きさで流し、その交番電流の大きさ（振幅）を徐々に減少させてゼロに近づけることで、消磁コイル１２０周辺の磁場を低減させることが可能となる。

例えば図２において消磁コイル１２０に交番電流を流すと、消磁コイル１２０で囲われている領域内をＹ軸方向に貫き、消磁コイル１２０の周囲を周回する交番磁場が生じる。これによって、消磁コイル１２０で囲われている領域内及びその周辺領域の磁性を低減させることが可能となる。

なお、磁気センサ１０による計測や消磁コイル１２０による消磁は、電子線による描画が実行されていないときに実行する。例えば、１枚の基板や、１ロット分の複数の基板への描画が終了する毎に行う。基板２への電子線照射中に磁気センサ１０による計測や消磁コイル１２０による消磁を行ってしまうと、消磁コイル１２０から生じる磁場が電子線の軌道を曲げてしまうからである。磁場の影響を受ける作業を行わないのであれば、駆動装置６を移動させる等の他の作業と並行しながら消磁作業を実行しても構わない。

磁気シールド９１、９２に対して開口１２１−１２４を設け、消磁コイル１２０を貫通させておくことにより、磁気シールド９１、９２に対する着磁が感知された場合に駆動装置６を真空チャンバーから取り出すことなく、その場で消磁させることが可能となる。さらに、開口の少なくとも一部の領域が磁気シールド９２と対向するように配置することによって、電磁石ユニット７から生じる磁場の漏れを低減させることが可能となる。

（実施形態２）
実施形態２に係る駆動装置６の構成を図３に示す。実施形態２は、実施形態１における開口１２１と開口１２２が、伝達部材８が貫通している磁気シールド９１の開口１０３及び磁気シールド９２の開口１０４と兼用されている形態である。

消磁の効果は、消磁コイル１２０から対称的に磁場を発生させることで得られるため、消磁コイル１２０を貫通させる開口が非対称に配置されるほど効果が弱くなる。そのため、駆動装置６に着磁した磁性を消磁するためには、消磁コイル１２０が電磁石ユニット７の中央部に近い部分を通過している本実施形態のほうが好ましい。

さらに、磁気シールド９１、９２に設ける消磁コイル１２０用の開口を２つ減らすことにより、実施形態１と同様の消磁効果が得られるだけでなく、磁気シールド９２から漏れる磁場を低減することが可能となる。

伝達部材８が貫通している開口１０３又は開口１０４のどちらか一方とのみ兼用され、さらに磁気シールド９１又は９２のどちらか一方に消磁コイル１２０用の開口を設けている場合でも構わない。消磁コイル１２０が貫通している開口が磁気シールド９１あるいは磁気シールド９２に対向しているのであれば、磁気シールド９２から漏れる磁場を低減することが可能となる。

さらに伝達部材８が貫通する開口１０３、１０４をＸ軸方向にｃずらして、開口１０３が磁気シールド９２と対向するように構成することで開口１０３及び開口１０４を介して漏れる磁場を低減することが可能となる。同様に、開口１２３と開口１２４をＸ軸方向にｄずらして開口１２３が磁気シールド９２と対向するように配置することで、開口１２３及び開口１２４を介して漏れる磁場を低減することが可能となる。なお、本実施形態の場合、伝達部材８はＸ軸方向にずれた位置に在る開口１０３、１０４を貫通できるように屈曲した形状をしている。

（実施形態３）
本実施形態３は、駆動装置６に対して１本の消磁コイル１２０を複数回巻きつけている形態である。本実施形態に係る駆動装置６の外観図を図４に示す。図４には、消磁コイル１２０が駆動装置６の有する磁気シールド９２の各面に沿うように４回巻かれている。電流源１３が、消磁コイル１２０に接続されている。消磁方法は、実施形態１、２と同様である。

本実施形態の場合は、駆動装置６の前後左右に巻かれている。このように消磁コイル１２０を巻くことによって、駆動装置６に着磁した磁性を全体的に消磁することができるという効果が得られる。さらに、直列的に複数回消磁コイル１２０が巻かれていることにより、単位電流に対する消磁効果が大きくなるという利点を有する。

図４では、磁気シールド９２の１つの穴に対して消磁コイル１２０が４回分貫通している状態を示している。磁気シールド９２内部の磁気シールド９１においても、磁気シールド９１の１つの開口に対して消磁コイル１２０が複数回貫通していても、別々の開口を貫通していても構わないものとする。しかし、Ｘ，Ｙ，Ｚ軸のいずれかの方向に対して開口１２１と開口１２２、および開口１２３と開口１２４のいずれか１組の開口がずれているように配置することで、磁気シールド９２から漏れ出る磁場を低減させる。

本実施形態では、４回巻いた消磁コイル１２０を例に示したが、それ以上の回数を巻いても良い。消磁コイルをより多回数巻くほど、単位電流に対して生じる磁場が大きくなるため、消磁に必要な電流の大きさを低減させることが可能となる。
さらに、本実施形態の変形例として、消磁コイル１２０を複数の閉回路からなる並列回路を構成しても構わない。この場合は、電流を与えるために必要な電圧を抑制することが可能となる。

（実施形態４）
実施形態４に係る駆動装置６の構成を図５に示す。本実施形態は、磁気シールド９３、９４、９５の形状及び消磁コイル１２０の配置が他の実施形態とは異なる。中空体の直方体において一面が無い形状をしており、大きさの異なる磁気シールド９３、９４、９５を組み合わせることで、電磁石ユニット７から生じる磁場の漏れを低減させる構成としている。また、Ｅコア７１を固定させつつ磁気シールド９５と接触しないようにするため、磁気シールド９５には非磁性部材１４が載置されており、Ｅコア７１が非磁性部材１４によって固定されている。

基板支持部５は、磁気シールド９３、９３、伝達部材８１、８２、及びＩコア７３と一体に連結されている。Ｉコア７３より生じる推力と共に、これに連結されている前述の部材も駆動する。

消磁コイル１２０は、磁気シールド９３の開口１２５を貫通している消磁コイル１２０ｂと、磁気シールド９４の開口１２６を貫通している消磁コイル１２０ａを含む。電磁石ユニット７により近い開口１２６は磁気シールド９３に対向している。このように配置することによって、電磁石ユニット７から生じる磁場の漏れも低減させることが可能となる。

さらに、図５に示すように、異なる閉回路を形成している消磁コイル１２０ａ、１２０ｂを各々別の開口に貫通させても良い。また、本実施形態のように対称的に消磁コイル１２０を配置することによって、駆動装置６に対して全体的に消磁することが可能となる。

以上、本実施形態においても開口１２５と開口１２６をＸ軸方向にｅだけずらして配置している。これによって、磁気シールド９１、９２に着磁した磁性を消磁しつつ、磁場の漏れを低減することが可能な駆動装置６となる。

（その他の実施形態）
最後に、実施形態１−４のでは、伝達部材８のみが磁気シールド９１、９２に在る開口を貫通している例を示したが、これに限らない。電磁アクチュエータによって移動可能な可動部が貫通していれば良く、例えば可動子７３が開口を貫通していても良い。

Ｉコア７３と伝達部材８やのように電磁アクチュエータによって移動可能な部分は、必ずしも別の材料を組み合わせて構成される必要はなく、同じ材料を用いて一体として成形されていても良い。一体として成形することで、組立に要するコストを削減することが可能となる。

図２、３、５における駆動装置６の断面図においては、消磁コイル１２０が貫通している開口がＸ軸方向にずれている場合を示したが、その他の方向（Ｙ軸方向、あるいは、Ｘ軸及びＹ軸方向の成分を有する方向）にずれていても良い。

また、磁気センサ１０が着磁を検知した場合であっても、その値が許容値以下であれば消磁を実行しないように設定することも可能である。

電磁アクチュエータとしては、電磁石ユニット７の代わりにリニアモータユニットを搭載しても構わない。また、磁気シールドの形状は中空の直方体に限らず、曲面を有している磁気シールドでも構わないし、直方体の磁気シールドと曲面を有する磁気シールドとを組み合わせたものでも構わない。

また、２層の磁気シールドの構成を例示しているが、３層以上の磁気シールドで構成しても良い。磁場の遮蔽率は、磁気シールド９１、９２の厚みや、各磁気シールド間の距離にも依存しているので、これらの要素を考慮して構成を決めれば良い。ただし、３層以上の磁気シールドを用いて駆動装置６を構成する場合であり、消磁コイル１２０が１回巻きである場合には、消磁コイル１２０はなるべく電磁石ユニット７に近い磁気シールドを貫通していることが望ましい。消磁コイル１２０により生じる磁場の対称性を考慮すると、駆動装置６の中心付近に消磁コイル１２０が存在しているほうが、消磁のために発生させる磁場分布の偏りが少なくなるからである。

以上、磁気シールド９１、９２に着磁された磁性を消磁するための消磁コイル１２０及び消磁コイル１２０を貫通させるための開口の配置構成に関して説明した。磁気シールド９１の開口の少なくとも一部の領域が磁気シールド９２に対向するように配置することで、磁気シールド９１、９２に着磁した磁性を消磁させる効果が得られると共に、消磁コイル１２０用の開口から漏れる磁場を低減することが可能となる。

これにより、電磁アクチュエータから生じる磁場の漏れや、磁気シールド９１、９２に対して着磁した磁性の影響を受けることなく、電子線の照射により基板２に所望のパターンを描画することが可能となる。

（デバイスの製造方法）
本発明におけるデバイスの製造方法は、各実施形態に記載の駆動装置６によって基板支持部５を移動させながら、基板支持部５上の基板２に対して荷電粒子線を照射する工程と、パターンが描画された基板２を現像する工程とを含む。さらに、他の周知の工程（酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等）を含んでも良い。

７電磁石ユニット
９１、９２磁気シールド
１２０消磁コイル

Claims

電磁アクチュエータと、
前記電磁アクチュエータによって動く可動部と、
前記電磁アクチュエータの磁場発生部に近いほうから順に前記電磁アクチュエータを囲む、第１の磁気シールドと第２の磁気シールドとを含む磁気シールドユニットと、
前記第１磁気シールド及び前記第２の磁気シールドの少なくとも一方に在る開口を貫通している消磁コイルとを有し、
前記消磁コイルが貫通している開口は、該開口の少なくとも一部の領域で前記第１の磁気シールド又は前記第２の磁気シールドと対向していることを特徴とする駆動装置。
前記第２の磁気シールドの開口からの磁場の漏れが低減されるように、前記消磁コイルが貫通している開口は、該開口の少なくとも一部の領域で前記第１の磁気シールド又は前記第２の磁気シールドと対向していることを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
前記第１及び第２の磁気シールドの少なくとも一方に着磁した磁性が低減されるように、前記消磁コイルに交番電流を流すことを特徴とする請求項１又は２に記載の駆動装置。
前記消磁コイルが貫通している開口は、前記第１の磁気シールド又は前記第２の磁気シールドの開口と対向している面積よりも、前記第１の磁気シールド又は前記第２の磁気シールドと対向している面積のほうが大きいことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の駆動装置。
前記消磁コイルが貫通している開口は、前記第１の磁気シールド又は前記第２の磁気シールドとのみ対向していることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の駆動装置。
前記磁気シールドユニットが少なくとも３つの磁気シールドを有する場合に、前記第１の磁気シールドが、前記電磁アクチュエータに最も近い磁気シールドであることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の駆動装置。
前記消磁コイルが貫通している開口は、前記可動部の貫通している開口の少なくとも１つと兼用していることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の駆動装置。
前記消磁コイルは、前記第１の磁気シールド又は前記第２の磁気シールドの少なくとも一方の開口を複数回貫通していることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の駆動装置。
前記消磁コイルは、並列回路を構成していることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の駆動装置。
前記磁気シールドは６面体であって、前記消磁コイルは前記６面体の各面に沿って配置されていることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の駆動装置。
移動可能な物体と、前記物体に駆動力を与える駆動装置とを有し、前記物体上の照射対象物に向かって荷電粒子線を照射する照射装置であって、
請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の前記駆動装置と、
磁気を計測する磁気センサとを有していることを特徴とする荷電粒子線照射装置。
請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の駆動装置を用いて、照射対象物である基板に対して荷電粒子線を照射する工程と、
前記工程で照射される前記基板を現像する工程とを含むことを特徴とするデバイスの製造方法。
磁場の変化を検知することによって被験者の脳機能を計測する脳機能計測器であって、
前記脳機能計測器が有する駆動装置が、請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の駆動装置であることを特徴とする脳機能計測器。