JP2015025961A - 偏光変換装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】人工水晶等の異方性結晶を用いることなく入射光の偏光状態を変換することができる偏光変換装置を提供する。
【解決手段】入射光束を、互いに直交する方向の偏光成分を有する第1光束(P偏光)と第2光束(S偏光)に分割する偏光ビームスプリッター11と、第1光束と第2光束とを統合する偏光ビームスプリッター14と、これら2つの偏光ビームスプリッター11、14の間で、互いに長さが異なる第1光路と第2光路を構成するミラー12、13を用いて、偏光変換装置を構成する。
【選択図】図2
【解決手段】入射光束を、互いに直交する方向の偏光成分を有する第1光束(P偏光)と第2光束(S偏光)に分割する偏光ビームスプリッター11と、第1光束と第2光束とを統合する偏光ビームスプリッター14と、これら2つの偏光ビームスプリッター11、14の間で、互いに長さが異なる第1光路と第2光路を構成するミラー12、13を用いて、偏光変換装置を構成する。
【選択図】図2
Description
本発明は、入射光の偏光状態を変換する偏光変換装置に関する。
波長板は、該波長板に入射する光束に含まれる、直交する2つの偏光成分の光束の間に所定の位相差を生じさせる光学素子であり、直線偏光の偏光方向を変換するλ/2波長板や、直線偏光と円偏光を相互に変換するλ/4波長板が広く用いられている。また、直交する2つの偏光成分の間に生じさせる位相差を連続的に変化させる場合には、バビネ・ソレイユ補償板が用いられる(特許文献1)。これらはいずれも、異方性結晶内を光が進むときに、異方性結晶の光学軸に平行な電場成分(異常光線)と、これに垂直な成分(常光線)の間に位相差が生じることを利用している。
λ/4波長板やλ/2波長板は、2つの異方性結晶を、それらの光学軸が直交するように貼り合わせて構成される。バビネ・ソレイユ補償板100は、図1に示すように、直方体状の異方性結晶101とくさび形状の異方性結晶102とを光学軸が互いに直交するように配置させてなる光学素子110と、くさび形状の異方性結晶102と逆方向のくさび形状で該異方性結晶102と同じ方向に光学軸を持つ異方性結晶103とを、くさび形状の斜部が互いに平行になるように組み合わせて構成される。
従来、波長板を構成する異方性結晶として、人工水晶が広く用いられている。しかし、人工水晶は、200nm以下の波長を有する紫外線や、4μm以上の波長を有する赤外線を透過しない。また、レーザ光などの強力な光の照射に対する耐性が低い。そのため、上述の波長を有する光やレーザ光の偏光状態を変換する際には人工水晶を用いることができない。
本発明が解決しようとする課題は、人工水晶等の異方性結晶を用いることなく入射光の偏光状態を変換することができる偏光変換装置を提供することである。
上記課題を解決するために成された本発明に係る偏光変換装置は、
a) 入射光束を、互いに直交する方向の偏光成分を有する第1光束と第2光束に分割する光束分割手段と、
b) 前記第1光束と前記第2光束とを統合する光束統合手段と、
c) 前記光束分割手段から前記光束統合手段に至る、前記第1光束と前記第2光束の光路を互いに異なる光路長で構成する輸送光学系と
を備えることを特徴とする。
a) 入射光束を、互いに直交する方向の偏光成分を有する第1光束と第2光束に分割する光束分割手段と、
b) 前記第1光束と前記第2光束とを統合する光束統合手段と、
c) 前記光束分割手段から前記光束統合手段に至る、前記第1光束と前記第2光束の光路を互いに異なる光路長で構成する輸送光学系と
を備えることを特徴とする。
本発明に係る偏光変換装置では、入射光束を、互いに直交する方向に偏光する2つの光束に分割し、互いに光路長が異なる輸送光学系を経て統合する。輸送光学系を進む間に第1光束と第2光束の間には位相差が生じるため、それらを統合すると偏光状態が入射光束の偏光状態とは異なる状態に変換される。このように、本発明に係る偏光変換装置は、異なる光路長を進む間に位相差を生じさせた2つの光束を統合する構成であるため、人工水晶等の異方性結晶を用いることなく入射光の偏光状態を変換することができる。
前記光束分割手段や前記光束統合手段には、偏光ビームスプリッターを好適に用いることができる。
偏光ビームスプリッター等の光学素子を構成する材料としては、例えばCaF2やLiFを用いることができる。これにより、従来用いられている人工水晶を透過しない、200nm以下の波長を有する紫外線や、4μm以上の波長を有する赤外線の偏光状態を変換することができる。また、光学素子の材料として石英を用いると、レーザ光などの強力な光の照射に対する耐性が従来よりも高い偏光変換装置を構成することができる。
偏光ビームスプリッター等の光学素子を構成する材料としては、例えばCaF2やLiFを用いることができる。これにより、従来用いられている人工水晶を透過しない、200nm以下の波長を有する紫外線や、4μm以上の波長を有する赤外線の偏光状態を変換することができる。また、光学素子の材料として石英を用いると、レーザ光などの強力な光の照射に対する耐性が従来よりも高い偏光変換装置を構成することができる。
本発明に係る偏光変換装置は、
d) 前記光束分割手段から前記光束統合手段に至る、前記第1光束及び/又は前記第2光束の光路長を変更する光路長調整手段
を備えるように構成することができる。
d) 前記光束分割手段から前記光束統合手段に至る、前記第1光束及び/又は前記第2光束の光路長を変更する光路長調整手段
を備えるように構成することができる。
上記態様の変更変換装置では、光路長調整手段を用いて第1光束及び/又は第2光束の光路長を変更して、第1光束と第2光束の光路長の差を任意に変化させる。これにより、光束統合手段における第1光束と第2光束の位相差を任意に変化させ、入射光を所望の偏光状態に変換することができる。
本発明に係る偏光変換装置では、入射光束を、互いに直交する方向に偏光する2つの光束に分割し、互いに光路長が異なる輸送光学系を経て統合することにより、光束間に位相差を生じさせて偏光状態を変換する。従って、従来のように異方性結晶を用いることなく入射光の偏光状態を変換することができる。
本発明に係る偏光変換装置の実施例について、以下、図面を参照して説明する。
実施例1の偏光変換装置10は、図示しないレーザ光源(以下、「光源」という。)から発せられた、X-Y平面内で直線偏光を有する光(波長λ=200nm)を円偏光の光に変換する装置であり、光源から発せられる光の進行方向に配置された2つの偏光ビームスプリッター11、14と、その進行方向から外れた位置に配置され、2つの偏光ビームスプリッター11、14間で迂回路を形成する2枚のミラー12、13、及びミラー12、13の位置を変更する光路長調整部15で構成される。
光を透過させる偏光ビームスプリッター11、14の材料には、入射光の波長(200nm)において高い透過率を持つフッ化カルシウム(CaF2)を用いた。
また、偏光ビームスプリッターの内部で反射して位相にずれが生じた光が混入することを防止するために、偏光ビームスプリッター11、14の出射面側には、それぞれ反射防止コーティング(ARコート)が施されている。
また、偏光ビームスプリッターの内部で反射して位相にずれが生じた光が混入することを防止するために、偏光ビームスプリッター11、14の出射面側には、それぞれ反射防止コーティング(ARコート)が施されている。
光源から発せられた光は、まず、偏光ビームスプリッター11の表面に対して45度の角度で入射し、P偏光(X軸方向に偏光成分を有する光)と、S偏光(Y軸方向に偏光成分を有する光)の2光束に分離される。P偏光は偏光ビームスプリッター11を通過して直進し、偏光ビームスプリッター14に向かう。この光路が第1光路となる。一方、S偏光は、偏光ビームスプリッター11の表面で反射され、上述した迂回路にあたる第2光路に進む。そして、2枚のミラー12、13で順に反射されて偏光ビームスプリッター14に向かう。そして、偏光ビームスプリッター14の表面で反射される。その結果、偏光ビームスプリッター14において、P偏光とS偏光が再び合流して1光束になる。
電気ベクトルの強度がE0で、振動方向がX軸に対して45度方向を向いた直線偏光の光を、本実施例の偏光変換装置に入射した場合を考える。入射光の電気ベクトルのX成分とY成分は、それぞれ、
EX0=E0/√2 sin(2πz/λ-ωt) ・・・(1)
EY0=E0/√2 sin(2πz/λ-ωt) ・・・(2)
となる。
EX0=E0/√2 sin(2πz/λ-ωt) ・・・(1)
EY0=E0/√2 sin(2πz/λ-ωt) ・・・(2)
となる。
上述のとおり、偏光ビームスプリッター11を透過したP偏光は第1光路を進んで偏光ビームスプリッター14に到達し、偏光ビームスプリッター11で反射したS偏光は第2光路を進んで偏光ビームスプリッター14に到達する。第1光路の光路長をLX0、第2光路の光路長をLY0(LX0<LY0)とすると、偏光ビームスプリッター14で合流した光束の電気ベクトルのX成分とY成分は、それぞれ、
EXf=E0/√2 sin(2πLX/λ-ωt) ・・・(3)
EYf=E0/√2 sin(2πLY/λ-ωt) ・・・(4)
となる。
EXf=E0/√2 sin(2πLX/λ-ωt) ・・・(3)
EYf=E0/√2 sin(2πLY/λ-ωt) ・・・(4)
となる。
式(3)及び式(4)を変形してωtを消去すると、
EXf 2-2cosδEXfEYf+EYf 2 =sin2δ/2 ・・・(5)
となる。なお、δ=2π(LY-LX)/λである。
EXf 2-2cosδEXfEYf+EYf 2 =sin2δ/2 ・・・(5)
となる。なお、δ=2π(LY-LX)/λである。
本実施例の偏光変換装置10には波長が200nmである光が入射する。また、第1光路の光路長LX=30mm、第2光路の光路長LY=60.00005mmに設定されている。即ち、光路長調整部15によってミラー12、13の位置が調整され、第2光路の光路長が、第1光路の光路長よりも(150000+1/4)×λ(λは波長)だけ長くなるように構成されている。従って、式(5)は、
EXf 2+EYf 2 =1/2 ・・・(6)
となり、円偏光になる。即ち、本実施例の偏光変換装置10では、第2光路の光路長が、第1光路の光路長よりも(N+1/4)×λ(Nは0以上の整数、λは波長)だけ長くなるように構成することにより、λ/4波長板としての機能を付与することができる。
EXf 2+EYf 2 =1/2 ・・・(6)
となり、円偏光になる。即ち、本実施例の偏光変換装置10では、第2光路の光路長が、第1光路の光路長よりも(N+1/4)×λ(Nは0以上の整数、λは波長)だけ長くなるように構成することにより、λ/4波長板としての機能を付与することができる。
ここでは、直線偏光を円偏光に変換する例を説明したが、本実施例の偏光変換装置10では、光路長調整部15によってミラー12、13の位置を調整することにより、任意に偏光状態を変換することができる。例えば、第2光路の光路長が、第1光路の光路長よりも(N+1/2)×λ(Nは0以上の整数、λは波長)だけ長くなるように構成すると、式(5)は、
EXf 2=-EYf 2 ・・・(7)
となり、-45度方向に振動する直線偏光になる。即ち、本実施例の偏光変換装置10がλ/2波長板としての機能を有することになる。
以下の実施例においても、説明を容易にするため、直線偏光を円偏光に変換する場合を例に挙げて説明するが、本実施例と同様に、種々の偏光状態の変換を行うことができる。
EXf 2=-EYf 2 ・・・(7)
となり、-45度方向に振動する直線偏光になる。即ち、本実施例の偏光変換装置10がλ/2波長板としての機能を有することになる。
以下の実施例においても、説明を容易にするため、直線偏光を円偏光に変換する場合を例に挙げて説明するが、本実施例と同様に、種々の偏光状態の変換を行うことができる。
次に、図3を参照して、実施例2の偏光変換装置20について説明する。
本実施例の偏光変換装置は、実施例1の偏光変換装置と同様に、2つの偏光ビームスプリッター21、24、第2光路上に配置されS偏光を順に反射する2枚のミラー22、23、及びミラー22、23の位置を変更する第1光路長調整部25を備えている。本実施例の偏光変換装置は、さらに、第1光路上に配置され、偏光ビームスプリッター21によりS偏光から分離されたP偏光を順に反射して偏光ビームスプリッター24に導く4枚のミラー26〜29と、これらの位置を変更する第2光路長調整部30を備えている。
本実施例の偏光変換装置は、実施例1の偏光変換装置と同様に、2つの偏光ビームスプリッター21、24、第2光路上に配置されS偏光を順に反射する2枚のミラー22、23、及びミラー22、23の位置を変更する第1光路長調整部25を備えている。本実施例の偏光変換装置は、さらに、第1光路上に配置され、偏光ビームスプリッター21によりS偏光から分離されたP偏光を順に反射して偏光ビームスプリッター24に導く4枚のミラー26〜29と、これらの位置を変更する第2光路長調整部30を備えている。
本実施例では、4枚のミラー26〜29を備えることにより、第1光路の光路長(LX=60mm)と第2光路の光路長(LY=60.00005mm)が1/4λとなるように構成している。
入射光のコヒーレンス長が短い場合には、第1光路と第2光路の光路長の差が大きいと、P偏光とS偏光のコヒーレンシーに差が生じ、これらを合流して1光束にした際に可干渉性が崩れる可能性がある。しかし、本実施例のように光路長の差がλ以下となるように構成することによって、こうした光の可干渉性を維持しつつ偏光状態を変更することができる。
入射光のコヒーレンス長が短い場合には、第1光路と第2光路の光路長の差が大きいと、P偏光とS偏光のコヒーレンシーに差が生じ、これらを合流して1光束にした際に可干渉性が崩れる可能性がある。しかし、本実施例のように光路長の差がλ以下となるように構成することによって、こうした光の可干渉性を維持しつつ偏光状態を変更することができる。
実施例3に係る偏光変換装置40は、図2を参照して説明した実施例1に類似の構成を有しており、キューブ型の偏光ビームスプリッター41、44を用いている点と、2枚のミラー12、13に代えてプリズム42を配置し、プリズム42の全反射面を用いてS偏光の光を反射する点で異なる(図4参照)。本実施例の偏光変換装置では、光路調整部45により、プリズム42を移動させることによって、第2光路の光路長を変更する。
また、本実施例の偏光変換装置では、各光学素子が温調室46内に配置されており、温度制御部47によって温調室46の内部が一定の温度に維持されている。これにより、温度変化によって各光学素子が膨張したり収縮したりして、光路長が変化することや、光路にずれが生じたりすることを防止できる。
また、本実施例の偏光変換装置では、各光学素子が温調室46内に配置されており、温度制御部47によって温調室46の内部が一定の温度に維持されている。これにより、温度変化によって各光学素子が膨張したり収縮したりして、光路長が変化することや、光路にずれが生じたりすることを防止できる。
上記実施例は一例であって、本願発明の趣旨に沿って適宜に変更することができる。
本発明に係る偏光変換装置は、入射光を偏光方向が直交する2光束に分割し、それらに異なる長さの光路を進ませ、位相差を生じさせた2光束を再び統合することによって偏光状態を変換するという技術的思想に基づく。従って、上記の実施例1〜3で説明した例に限らず、様々な形態で本発明に係る偏光変換装置の構成を具現化することができる。例えば、実施例1(図2)や実施例2(図3)の構成において、複数の光学素子を一体化して構成することができる。これにより、偏光変換装置を構成する光学素子の数を減少し、光路調整を容易に行うことができる。
本発明に係る偏光変換装置は、入射光を偏光方向が直交する2光束に分割し、それらに異なる長さの光路を進ませ、位相差を生じさせた2光束を再び統合することによって偏光状態を変換するという技術的思想に基づく。従って、上記の実施例1〜3で説明した例に限らず、様々な形態で本発明に係る偏光変換装置の構成を具現化することができる。例えば、実施例1(図2)や実施例2(図3)の構成において、複数の光学素子を一体化して構成することができる。これにより、偏光変換装置を構成する光学素子の数を減少し、光路調整を容易に行うことができる。
また、本発明に係る偏光変換装置では、従来のように人工水晶等の異方性結晶を用いる必要がない。上記の実施例では、偏光ビームスプリッター11、14の材料に、入射光の波長(200nm)において高い透過率を持つフッ化カルシウム(CaF2)を用いたが、光学素子の材料は、入射光の波長を考慮して適宜に変更することができる。例えば、フッ化リチウム(LiF)を用いることにより、4μm以上の波長を有する赤外線の偏光状態を変換することができる。また、合成石英を用いることにより、高強度のレーザ光の偏光状態を変換することもできる。
10、20、40…偏光変換装置
11、14、21、24、41、44…偏光ビームスプリッター
12、13、22、23、26、27、28、29、…ミラー
15、45…光路長調整部
25…第1光路長調整部
30…第2光路長調整部
42…プリズム
46…温調室
47…温度制御部
100…バビネ・ソレイユ補償板
101、102、103…異方性結晶
110…光学素子
11、14、21、24、41、44…偏光ビームスプリッター
12、13、22、23、26、27、28、29、…ミラー
15、45…光路長調整部
25…第1光路長調整部
30…第2光路長調整部
42…プリズム
46…温調室
47…温度制御部
100…バビネ・ソレイユ補償板
101、102、103…異方性結晶
110…光学素子
Claims (2)
- a) 入射光束を、互いに直交する方向の偏光成分を有する第1光束と第2光束に分割する光束分割手段と、
b) 前記第1光束と前記第2光束とを統合する光束統合手段と、
c) 前記光束分割手段から前記光束統合手段に至る、前記第1光束と前記第2光束の光路を互いに異なる光路長で構成する輸送光学系と
を備えることを特徴とする偏光変換装置。 - d) 前記光束分割手段から前記光束統合手段に至る、前記第1光束及び/又は前記第2光束の光路長を変更する光路長調整手段
を備えることを特徴とする請求項1に記載の偏光変換装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013155765A JP2015025961A (ja) | 2013-07-26 | 2013-07-26 | 偏光変換装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013155765A JP2015025961A (ja) | 2013-07-26 | 2013-07-26 | 偏光変換装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015025961A true JP2015025961A (ja) | 2015-02-05 |
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ID=52490664
Family Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2013155765A Pending JP2015025961A (ja) | 2013-07-26 | 2013-07-26 | 偏光変換装置 |
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---|---|
JP (1) | JP2015025961A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019021436A1 (ja) * | 2017-07-27 | 2019-01-31 | 株式会社島津製作所 | レーザ装置及び透過型光学素子の温度制御方法 |
-
2013
- 2013-07-26 JP JP2013155765A patent/JP2015025961A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019021436A1 (ja) * | 2017-07-27 | 2019-01-31 | 株式会社島津製作所 | レーザ装置及び透過型光学素子の温度制御方法 |
JPWO2019021436A1 (ja) * | 2017-07-27 | 2020-03-26 | 株式会社島津製作所 | レーザ装置及び透過型光学素子の温度制御方法 |
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