JP2015025937A - 光変調器 - Google Patents
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Description
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- 基板の上に形成された支持層および前記支持層の上に形成された可動部形成層を加工することで形成した光変調器であって、
前記可動部形成層を加工することで形成されて前記基板の上に離間して配置され、複数の貫通穴を備える可動構造体と、
前記可動部形成層を加工することで形成された固定部と、
前記可動部形成層を加工することで形成されて前記可動構造体の一端と前記固定部とを連結するくびれ部と、
前記可動部形成層に対する選択的なエッチングにより前記支持層を加工することで前記固定部の下の領域に形成されて前記固定部を前記基板の上に支持する支持部と、
前記可動構造体の上に形成された可動電極と、
前記基板の上に形成されて前記可動電極を前記基板の側に引き寄せるための固定電極と、
前記固定部から前記くびれ部を経由して前記可動構造体の上にかけて形成された光導波路と、
前記くびれ部の箇所で前記光導波路の上に形成されて印加された応力により光変調を行う光能動素子と
を備え、
平面視で、前記くびれ部の幅は、前記可動構造体の幅より小さく形成され、
複数の前記貫通穴は、正三角形,正四角形,正六角形のいずれかを基本格子の形状とする格子の格子点に配置された状態に配列されていることを特徴とする光変調器。 - 請求項1記載の光変調器において、
隣り合う前記貫通穴の間隔は、前記固定部に近いほど小さくされていることを特徴とする光変調器。 - 請求項1または2記載の光変調器において、
複数の前記貫通穴は、正三角形を基本格子の形状とする格子の格子点に配置された状態に配列され、
前記固定部からみて前記可動構造体が形成されている方向に対し、前記基本格子の辺が傾く状態とされていることを特徴とする光変調器。 - 請求項1または2記載の光変調器において、
複数の前記貫通穴は、正四角形を基本格子の形状とする格子の格子点に配置された状態に配列され、
前記固定部からみて前記可動構造体が形成されている方向に対し、前記基本格子の辺が傾く状態とされていることを特徴とする光変調器。
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JP2004085869A (ja) * | 2002-08-27 | 2004-03-18 | Sun Tec Kk | Mems素子及びこれを用いた光減衰器、光スイッチ及び光スキャナ |
WO2011024968A1 (ja) * | 2009-08-28 | 2011-03-03 | 国立大学法人 東京大学 | 光素子 |
JP2014021270A (ja) * | 2012-07-18 | 2014-02-03 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光素子 |
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