JP2015021501A - 摩耗性コーティングのパターンのための加工具および加工方法 - Google Patents

Abstract

【課題】高温環境にさらされるガスタービンエンジン、半径流圧縮機、およびラジアルタービン（マイクロタービンおよびターボチャージャを含む）の部品の表面に配置される摩耗性コーティングにパターンを形成するための加工具および加工方法を提供する。【解決手段】摩耗性コーティング１３０にパターンを形成するための方法は、加工具を用いて摩耗性コーティングに溝を加工するステップを含む。加工具は、溝の上面１３２、側面１３４、および底面１３６を同時に加工するように構成されている。繰り返しステップでは、所望の数の溝が摩耗性コーティングにおいて得られるまで、加工ステップが繰り返される。【選択図】図１

Description

本発明は、高温環境にさらされるガスタービンエンジン、半径流圧縮機、およびラジアルタービン（マイクロタービンおよびターボチャージャを含む）の部品の表面に配置されるパターンに関し、具体的には、摩耗性コーティングにパターンを形成するための加工具および加工方法に関する。

ガスタービンエンジンは、幅広い種類の様々な用途（最も顕著には発電）において使用されている。このようなエンジンは、一般的には、多段軸流圧縮機によって空気を高圧に圧縮するターボ圧縮機を含む。圧縮された空気は、燃焼器を通過する。燃焼器は、空気および燃料供給源からの燃料を受け入れて連続燃焼を行い、これにより、作動ガスの温度および圧力を高レベルまで上昇させる。燃焼器は、高温ガスをタービンに供給し、次に、タービンは、高圧ガスが圧縮機によって発生した高圧から大気圧へ膨張するときに高圧ガスの作動流体から仕事を取り出す。

ガスが、燃焼器から出るとき、温度は、タービンのノズルおよび動翼の構造に使用される材料にとっての許容温度限界を容易に超え得る。高温ガスは、膨張するときに冷めるものの、排気ガスの温度は、通常、依然として大気温度を大幅に上回る。したがって、タービンの前段における広範囲の冷却は、部品の十分な寿命を保証するために必要不可欠である。タービンの前段における高温によって、高温ガスと接触する部品（回転する動翼およびタービンシュラウドなど）の完全性、冶金、および平均寿命に関係する様々な問題が生じる。普通、高い燃焼温度は、より効率的なエンジンにとって望ましいものだが、高いガス温度は、空気がタービン部品を冷却するために圧縮機から供給されることを必要とし得るため、全体的なエンジン効率を低下させる。

最大のエンジン効率（およびこれに付随する最大の発電）を達成するために、動翼が、タービンのケーシングまたは「シュラウド」内において最小の妨害および可能な最大効率で回転することが重要である。作動中、タービンケーシング（シュラウド）は、回転する動翼に対して固定されたままである。一般的には、シュラウドと動翼の先端との間の最小閾値のクリアランスを維持し、これにより、動翼の先端を越えて高温ガスが不要に「漏れる」ことを防止することによって、最大効率を達成することができる。大きなクリアランスは、漏れの問題を招き、ガスタービンエンジンの全体的な効率を大幅に低下させる。動翼の外周部における高温ガスの最小量の「漏れ」（すなわち、動翼の先端とタービンシュラウドとの間の小さな環状空間）だけが、エンジン効率を犠牲にしない限りにおいて許容され得る。さらに、動翼がタービンシュラウドの内面の特定の部分に近接していないとき、この特定の部分を越えて高温ガスが流れることによって損失が生じる。

効率の大幅な損失のない十分なクリアランスを維持する必要性は、タービンが回転するときに、タービン部品に作用する遠心力が、特に動翼が高い動作温度の影響を受ける場合、動翼をシュラウドに向かって外側方向へ膨張させ得ることによって、より困難なものとなっている。さらに、動翼の先端とシュラウドとの間のクリアランスは、シュラウドの全周囲にわたって不均一となる可能性がある。不均一性は、加工公差、累積公差（ｓｔａｃｋ ｕｐ ｔｏｌｅｒａｎｃｅ）、ならびに様々な熱質量および熱応答に起因する不均一膨張を含む多くの要因によってもたらされる。したがって、最大予想動作温度における、シュラウドと動翼の先端との間の効果的な最小の作動クリアランスを設けることは重要である。

ガスタービン効率の大幅な損失は、例えば、シュラウドが歪んでいる場合、または、動翼の先端がシュラウドのセラミックもしくは金属の流面を摩擦する場合に、動翼の先端が摩耗することに起因する。動翼の先端が、シュラウドの特定の位置を摩擦し、これにより、動翼の先端が磨滅する場合、動翼の先端の磨滅は、動翼の先端と、シュラウドの他の位置との間のクリアランスを大きくする。同様に、タービンが回転するときの、シュラウドとの接点における動翼のこのような劣化は、最終的に、全体的なエンジンの性能および効率を大幅に低下させる。

従来、研磨可能な種類のコーティングが、定常温度条件下でシュラウドと動翼の先端との間に最小の、すなわち、最適な作動クリアランスを設けることを助けるために、タービンシュラウドに適用されてきた。具体的には、コーティングは、動翼の先端がほんとんどまたは全く損傷しないように動翼がシュラウドの内部において高速で回転するときに動翼の先端によって容易に研磨され得る材料を使用して、動翼の側のシュラウドの表面に適用されてきた。最初、クリアランスは、ガスタービンが停止していて、部品が周囲温度にあるとき、動翼の先端とコーティングとの間に存在している。その後、通常動作中に、クリアランスは、動翼の先端の少なくとも幾分かの半径方向の伸長を不可避的にもたらす遠心力ならびに回転部品および固定部品における温度変化に起因して小さくなり、この結果、動翼の先端は、シュラウド上のコーティングに接触して、コーティングの一部を磨滅させ、これにより、最小の作動クリアランスが設けられる。摩耗性コーティングがない場合、動翼の先端とシュラウドとの間の低温時のクリアランスは、後の高温動作中の、回転する動翼の先端とシュラウドとの接触を防止するために十分に大きくなければならない。一方、摩耗性コーティングがある場合、接触が起きた場合に、犠牲となる部分が、動翼の先端ではなく摩耗性コーティングであることが保証されるため、低温時のクリアランスを小さくすることができる。

また、摩耗性コーティングは、密閉特性を高めるために特定のパターンを有するように設計されてもよい。例えば、摩耗性コーティングは、谷部によって分離された互いに平行な湾曲リッジから構成される溝パターンを有してもよい。弓形の谷部は、高温ガスの漏れ流れが移動しなければならない距離を増加させ、ガスタービンの効率を高める。しかしながら、このようなパターンを加工する工程は複雑であり、通常は多くのステップが必用とされる。先に述べたように、クリアランス公差は極めて重要であり、したがって、摩耗性パターンは、特定の高さまたは厚さを有していなければならない。従来、パターンのリッジの台地部または上部は、溝パターンを加工する前に第１の機械によって研削されていた。第２の機械が、溝を加工するために使用されていて、２つの別個の機械の使用が、谷部およびリッジの均一な特定の高さを得ることを困難にしている。さらに、複数の機械は、設定および動作のための多くの時間、高コスト、ならびに製造または修理のためのサイクル時間の増加を必要とする。

米国特許第８０８４００５号明細書

本発明の態様において、摩耗性コーティングにパターンを形成するための方法は、加工具を用いて摩耗性コーティングに溝を加工するステップを含む。加工具は、溝の上面、側面、および底面を同時に加工するように構成されている。繰り返しステップでは、所望の数の溝が摩耗性コーティングにおいて得られるまで、加工ステップが繰り返される。

本発明の別の態様において、摩耗性コーティングにパターンを形成するために構成された加工具が提供される。摩耗性コーティングは、ターボ機械部品の一部を形成している。加工具は、シャンクおよび該シャンクと連結された研磨ヘッドを含む。研磨ヘッドは、上部研削面、側部研削面、および底部研削面を含む。上部研削面および底部研削面は、互いに略平行であり、側部研削面は、面取りされていて、上部研削面および底部研削面の双方をつないでいる。

本発明のさらに別の態様において、摩耗性コーティングにパターンを形成するためのシステムが提供される。摩耗性コーティングは、ターボ機械部品の一部を形成している。本システムは、シャンクおよび該シャンクと連結された研磨ヘッドを有する加工具ならびに三軸回転研磨機を含む。研磨ヘッドは、上部研削面、側部研削面、および底部研削面を含む。上部研削面および底部研削面は、互いに略平行であり、側部研削面は、面取りされていて、上部研削面および底部研削面の双方をつないでいる。三軸回転研磨機は、加工具を三次元に移動させ、約１，０００〜約３０，０００回転数／分（ｒｐｍ）で加工具を回転させるように構成されている。本システムは、加工具を用いて摩耗性コーティングに溝を加工するために構成されており、加工具は、溝の上面、側面、および底面を同時に加工するように構成されている。

本発明の態様に係る、ターボ機械部品の部分断面図を示している。 本発明の態様に係る、摩耗性コーティングのパターンの概略図を示している。 本発明の態様に係る、摩耗性コーティングにパターンを形成するために構成された加工具の側面図を示している。 本発明の態様に係る、摩耗性コーティングにパターンを形成するためのシステムの概略図を示している。 本発明の態様に係る、摩耗性コーティングにパターンを形成するための方法のフローチャートを示している。 本発明の態様に係る、一組にまとめられた複数の加工具を使用して摩耗性コーティングにパターンを形成するためのシステムの概略図を示している。

以下では、本発明の１つ以上の特定の態様／実施形態について説明する。これらの態様／実施形態の簡潔な説明を行うために、本明細書では、実際の実施態様における特徴のすべてについて説明しない場合もある。実際の実施態様の開発（例えば、工学プロジェクトまたは設計プロジェクトにおける）において、実施態様に応じて変化し得る、機械、システム、およびビジネスに関係する制約の遵守などの開発者に特有の目的を達成するために、実施態様に特有の多くの決定がなされなければならないことを理解すべきである。さらに、このような開発の努力は、複雑で時間のかかるものであるかもしれないが、本開示の利益を得る当業者にとっては、設計、製作、および製造に関する当たり前の試みであろうということが理解されるべきである。

本発明の様々な実施形態の要素を導入する場合、冠詞「ある（ａ）」、「ある（ａｎ）」、「その」、 および「前記」は、１つ以上の要素が存在することを意味するものとする。「備える（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）」、「含む（ｉｎｃｌｕｄｉｎｇ）」、および「有する（ｈａｖｉｎｇ）」という用語は、包括的であって、列挙した要素以外にも付加的な要素が存在し得ることを意味するものとする。動作パラメータおよび／または環境条件の例は、開示されている実施形態の他のパラメータ／条件を排除するものではない。さらに、本発明の「一実施形態」、「一態様」、「ある実施形態」、または「ある態様」への言及は、列挙した特徴をも包含したさらなる実施形態または態様の存在を排除していると解釈されることを意図したものではないことを理解すべきである。

図１は、ターボ機械部品１００の部分断面図を示している。ターボ機械部品１００は、ガスタービン用のタービンシュラウドまたは摩耗性コーティングを有する任意の他のターボ機械部品であってもよい。基材１１０は、ターボ機械部品で用いる金属材料または任意の他の適切な材料から形成される。結合層１２０は、ニッケルクロム合金（例えば、ＮｉＣｒＡｌＹ）または任意の他の適切な金属もしくは金属合金から作られた緻密な垂直亀裂（ＤＶＣ：ｄｅｎｓｅ ｖｅｒｔｉｃａｌｌｙ ｃｒａｃｋｅｄ）遮熱コーティングであってもよい。摩耗性コーティング１３０は、複数のリッジおよび溝を含むパターンに形成されている。各溝は、上面１３２（または台地部）、側面１３４（または谷壁部）、および底面１３６（または谷部）によって形作られている。摩耗性コーティング１３０は、セラミック材料であって、イットリア安定化ジルコニア（ＹＳＺ）、アルミノケイ酸バリウムストロンチウム（ＢＳＡＳ）などであるが、これらに限定されないセラミック材料から形成されてもよいし、または、任意の他の適切な熱障壁もしくは摩耗性コーティングであってもよい。側面１３４（または谷壁部）は、隣接する上面１３２（またはリッジ）と底面１３６（または谷部）とをつなぐ面取り面を形成している。見て分かるように、上面（リッジ）１３２および底面（谷部）１３６は、一般に平坦で互いに平行であるが、用途によっては、それぞれの面が、凹状または凸状に形成されることが望ましい場合もある。

図２は、複数のリッジ（または台地部）１３２および谷部１３６を形作っている、摩耗性コーティング１３０のパターン２００の概略図を示している。このパターンは、湾曲部２７０および直線部２７２を含む。湾曲部２７０は、ターボ機械部品（例えば、タービン動翼の先端）の前部に対応するパターンの部分に配置されており、この場合、タービン動翼の先端は、パターンと研磨可能に接触するようになっている。直線部２７２は、タービン動翼の先端の後部に対応するリッジ１３２の部分に配置されており、この場合、タービン動翼の先端は、パターンと研磨可能に接触するようになっている。直線部２７２は、リッジ１３２の第１の端部にある。複数のリッジ１３２は、リッジ１３２のそれぞれが、直線部２７２において他のリッジ１３２と互いに略平行になるように、結合層１２０上に配置されている。また、リッジ１３２のそれぞれは、谷部１３６によって分離された互いに隣接するリッジ１３２の間の間隔が湾曲部２７０および直線部２７２の双方において等しくなるように配置されている。それぞれのリッジ１３２の間の間隔２４４は、約３．６ｍｍ〜約７．１ｍｍの範囲であってもよい。複数のリッジ１３２は、基準線２４２に対して第１の角度２４８が形成されるように、直線部２７２に配置されている。第１の角度２４８は、約２０度〜約７０度の範囲である。例示的な実施形態において、第１の角度２４８は、タービン動翼の出口角に一致するように選択される。湾曲部２７０は、湾曲部２７０の全体にわたってタービン動翼の平均的な反り曲線の形状（ｍｅａｎ ｃａｍｂｅｒ ｌｉｎｅ ｓｈａｐｅ）に実質的に一致するように構成された範囲（ｒａｄｉｕｓ）を含む。

図３は、摩耗性コーティング１３０にパターン２００を形成するために構成された加工具３００の側面図を示している。加工具３００は、研磨ヘッド３２０と連結された略円筒形のシャンク３１０を含む。研磨ヘッド３２０は、上部（またはリッジ）研削面３３０、側部研削面３４０、および底部（または谷部）研削面３５０を含む。上部研削面３３０は、環状に形作られており、側部研削面３４０の上部の周囲に延在している。上部研削面３３０は、リッジ１３２の研削およびリッジの高さの設定を行うために使用される。底部研削面３５０は、円形に形作られており、谷部１３６の研削およびリッジの高さと関係する谷部の深さの設定を行うために使用される。上部研削面３３０および底部研削面３５０は、一般に互いに平行であるが、これらの面はまた、非平坦であっても、湾曲していても、凹状であっても、凸状であっても、または特定の用途において望ましい任意の所望の形に形作られてもよい。側部研削面３４０は、その外面に関して円錐台形に形作られており、上部研削面３３０および底部研削面３５０の双方に隣接している。側部研削面３４０によって、谷壁部１３４の面取り面が形成されることが理解されよう。

研磨ヘッドは、ダイヤモンド、めっきダイヤモンド（ｄｉａｍｏｎｄ ｐｌａｔｅｄ）、立方晶窒化ホウ素（ＣＢＮ）、セラミック、もしくは炭化ケイ素から形成されてもよいし、または、ダイヤモンド、めっきダイヤモンド、立方晶窒化ホウ素（ＣＢＮ）、セラミック、もしくは炭化ケイ素によって被覆されてもよい。これらの研磨材料（および研磨ヘッド３２０）は、加工具がパターン２００を形成するのに十分な速度で回転されるときに摩耗性コーティング１３０を研削する。本発明の１つの利点は、リッジ１３２、谷壁部１３４、および谷部１３６が同時に研削されることである。これにより、別個のリッジ研削ステップを省略する（または実行しない）こと、パターン作製工程をスピードアップさせること、ならびに、最終的なパターンのリッジの高さ、谷部の幅、および谷部の深さに関する優れた制御を実現することによってパターンの品質を向上させることが可能になる。

図４は、摩耗性コーティング１３０にパターン２００を形成するためのシステム４００の概略図を示している。先に述べたように、このパターンは、ガスタービンのタービンシュラウドなどのターボ機械部品において使用されてもよい。加工具３００は、三軸回転研磨機４１０であって、加工具３００を三次元に移動させ、約１，０００〜約３０，０００回転数／分（ｒｐｍ）で加工具３００を回転させるように構成された三軸回転研磨機４１０に取り付けられている。また、三軸回転研磨機４１０は、特定の用途で必要とされる場合、この範囲より上または下の速度で加工具３００を回転させてもよい。図示のように、加工具３００は、三軸回転研磨機４１０のチャック４１１に取り付けられてもよい。チャック４１１および関連するモータが、ロボットアーム（図示せず）に取り付けられてもよいし、または、ターボ機械部品１００が、三次元移動の可能なテーブルに取り付けられてもよい。

図５は、摩耗性コーティング１３０にパターン２００を形成するための方法５００のフローチャートを示している。本方法は、加工具３００を三軸回転研磨機４１０に取り付けるステップ５１０を含んでもよい。ステップ５２０は、詳しく言えばその後の加工ステップ中、約１，０００〜約３０，０００ｒｐｍで加工具３００を回転させることを含んでもよい。ステップ５３０は、約１〜約１００インチ／分で摩耗性コーティング１３０（またはターボ機械部品１００）を三軸回転研磨機４１０へ送ることを含む。ステップ５４０は、加工ステップ中、加工具３００および摩耗性コーティング１３０へ水性フラッドクーラント（ｗａｔｅｒ ｂａｓｅｄ ｆｌｏｏｄ ｃｏｏｌａｎｔ）を適用することを含む。ステップ５５０は、摩耗性コーティング１３０に溝を加工することを含む。このステップにおいて、リッジ１３２（または上部）、側面１３４（または谷壁部）、および谷部１３６（または底部）のすべてが、同時に形成される（すなわち、加工される）。ステップ５６０では、所望の数の溝が得られるか、または、パターンが完成するまで、加工ステップ５５０が繰り返される。また、ステップ５５０は、一組にまとめられた複数の加工具３００の使用によって複数の溝を同時に形成することを含んでもよい。

図６は、摩耗性コーティング１３０にパターン２００を形成するためのシステム６００の概略図を示している。先に述べたように、このパターンは、ガスタービンのタービンシュラウドなどのターボ機械部品において使用されてもよい。複数の加工具３００は、一組にまとめられ、三軸回転研磨機６１０であって、加工具３００を三次元に移動させ、約１，０００〜約３０，０００回転数／分（ｒｐｍ）で加工具３００を回転させるように構成された三軸回転研磨機６１０に取り付けられている。図示のように、加工具は、三軸回転研磨機６１０のマルチチャック６１１に取り付けられてもよい。マルチチャック６１１および関連するモータが、ロボットアーム（図示せず）に取り付けられてもよいし、または、ターボ機械部品１００が、三次元移動の可能なテーブルに取り付けられてもよい。

この記載された説明では、最良の態様を含めて本発明を開示するために、さらには、当業者が任意の装置またはシステムの作製および使用ならびに任意の組み込み方法の実行を含めて本発明を実施することを可能にするために、例が使用されている。本発明の特許可能な範囲は、特許請求の範囲によって規定されており、また、当業者に想到される他の例を含んでもよい。このような他の例は、特許請求の範囲の文言と異ならない構造的要素を有する場合、または、特許請求の範囲の文言と実質的な差異のない均等な構造的要素を含む場合、特許請求の範囲内にあるものとする。

１００ ターボ機械部品
１１０ 基材
１２０ 結合層
１３０ 摩耗性コーティング
１３２ 上面、リッジ
１３４ 側面、谷壁部
１３６ 底面、谷部
２００ パターン
２４２ 基準線
２４４ 間隔
２４８ 第１の角度
２７０ 湾曲部
２７２ 直線部
３００ 加工具
３１０ シャンク
３２０ 研磨ヘッド
３３０ 上部研削面
３４０ 側部研削面
３５０ 底部研削面
４００、６００ システム
４１０、６１０ 三軸回転研磨機
４１１ チャック
６１１ マルチチャック

Claims (19)

1. 摩耗性コーティング（１３０）にパターン（２００）を形成するための方法であって、
   加工具（３００）を用いて前記摩耗性コーティング（１３０）に溝を加工するステップと、
   所望の数の前記溝が前記摩耗性コーティング（１３０）において得られるまで前記加工ステップを繰り返すステップと
   を含み、前記加工具（３００）が、前記溝の上面（１３２）、側面（１３４）、および底面（１３６）を同時に加工するように構成されている方法。
2. 前記上面（１３２）のみを研削する別個の研削ステップが実行されない、請求項１に記載の方法。
3. 前記摩耗性コーティング（１３０）が、ターボ機械部品（１００）の一部である、請求項１に記載の方法。
4. 前記摩耗性コーティング（１３０）が、セラミック材料から構成されており、前記ターボ機械が、ガスタービンである、請求項３に記載の方法。
5. 前記加工具（３００）が、三軸回転研磨機（４１０）に取り付けられ、前記加工具（３００）が、前記加工ステップ中、約１，０００〜約３０，０００回転数／分（ｒｐｍ）で回転される、請求項１に記載の方法。
6. 約１〜約１００インチ／分で前記摩耗性コーティング（１３０）を前記三軸回転研磨機（４１０）へ送るステップをさらに含む、請求項５に記載の方法。
7. 前記加工ステップ中、前記加工具（３００）および前記摩耗性コーティング（１３０）へ水性クーラントを適用するステップをさらに含む、請求項５に記載の方法。
8. 前記加工具（３００）が、ダイヤモンド、立方晶窒化ホウ素（ＣＢＮ）、セラミック、または炭化ケイ素のうちの少なくとも１つを含む研磨ヘッド（３２０）を含む、請求項７に記載の方法。
9. 複数の前記加工具（３００）が、複数の溝を同時に形成するために一組にまとめられている、請求項５に記載の方法。
10. 前記上面（１３２）および前記底面（１３６）が、互いに略平行であり、前記側面（１３４）が、前記上面（１３２）と前記底面（１３６）とをつなぐ面取り面を形成する、請求項１に記載の方法。
11. 摩耗性コーティング（１３０）にパターン（２００）を形成するために構成された加工具（３００）であって、
    前記摩耗性コーティング（１３０）が、ターボ機械部品（１００）の一部を形成しており、
    前記加工具（３００）が、シャンク（３１０）と、前記シャンク（３１０）と連結された研磨ヘッド（３２０）とを備え、
    前記研磨ヘッド（３２０）が、上部研削面（３３０）と、側部研削面（３４０）と、底部研削面（３５０）とを備え、
    前記上部研削面（３３０）および前記底部研削面（３５０）が、互いに略平行であり、
    前記側部研削面（３４０）が、面取りされていて、前記上部研削面（３３０）と前記底部研削面（３５０）とをつないでいる加工具（３００）。
12. 前記研磨ヘッド（３２０）が、ダイヤモンド、立方晶窒化ホウ素（ＣＢＮ）、セラミック、または炭化ケイ素のうちの少なくとも１つを含む、請求項１１に記載の加工具（３００）。
13. 前記摩耗性コーティング（１３０）が、セラミック材料から構成されており、前記ターボ機械が、ガスタービンである、請求項１２に記載の加工具（３００）。
14. 前記ターボ機械部品（１００）が、ガスタービンシュラウドである、請求項１２に記載の加工具（３００）。
15. 約１，０００〜約３０，０００回転数／分（ｒｐｍ）で前記加工具（３００）を回転させるように構成された三軸回転研磨機（４１０、６１０）に取り付けられる、請求項１１に記載の加工具（３００）。
16. ターボ機械部品（１００）の一部を形成している摩耗性コーティング（１３０）にパターン（２００）を形成するためのシステム（４００、６００）であって、
    シャンク（３１０）および該シャンク（３１０）と連結された研磨ヘッド（３２０）を有する加工具（３００）であって、前記研磨ヘッド（３２０）が、上部研削面（３３０）、側部研削面（３４０）、および底部研削面（３５０）を備え、前記上部研削面（３３０）および前記底部研削面（３５０）が、互いに略平行であり、前記側部研削面（３４０）が、面取りされていて、前記上部研削面（３３０）および前記底部研削面（３５０）の双方をつないでいる加工具（３００）と、
    三軸回転研磨機（４１０、６１０）であって、前記加工具（３００）を三次元に移動させ、約１，０００〜約３０，０００回転数／分（ｒｐｍ）で前記加工具（３００）を回転させるように構成された三軸回転研磨機（４１０、６１０）と
    を備え、前記加工具（３００）を用いて前記摩耗性コーティング（１３０）に溝を加工するために構成されており、前記加工具（３００）が、前記溝の上面（１３２）、側面（１３４）、および底面（１３６）を同時に加工するように構成されているシステム（４００、６００）。
17. 前記研磨ヘッド（３２０）が、ダイヤモンド、立方晶窒化ホウ素（ＣＢＮ）、セラミック、または炭化ケイ素のうちの少なくとも１つを含む、請求項１６に記載のシステム（４００、６００）。
18. 前記摩耗性コーティング（１３０）が、セラミック材料から構成されており、前記ターボ機械が、ガスタービンである、請求項１７に記載のシステム（４００、６００）。
19. 前記ターボ機械部品（１００）が、ガスタービンシュラウドである、請求項１８に記載のシステム（４００、６００）。