JP2015018968A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015018968A5 JP2015018968A5 JP2013145751A JP2013145751A JP2015018968A5 JP 2015018968 A5 JP2015018968 A5 JP 2015018968A5 JP 2013145751 A JP2013145751 A JP 2013145751A JP 2013145751 A JP2013145751 A JP 2013145751A JP 2015018968 A5 JP2015018968 A5 JP 2015018968A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- electromechanical transducer
- manufacturing
- terminal
- electromechanical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 48
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 35
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 28
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 28
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 26
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 26
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 15
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims description 2
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 claims description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 8
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000028161 membrane depolarization Effects 0.000 description 3
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013145751A JP6179804B2 (ja) | 2013-07-11 | 2013-07-11 | 電気機械変換素子の製造方法、電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、及び電気機械変換素子の分極処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013145751A JP6179804B2 (ja) | 2013-07-11 | 2013-07-11 | 電気機械変換素子の製造方法、電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、及び電気機械変換素子の分極処理装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2015018968A JP2015018968A (ja) | 2015-01-29 |
| JP2015018968A5 true JP2015018968A5 (enrdf_load_stackoverflow) | 2017-01-12 |
| JP6179804B2 JP6179804B2 (ja) | 2017-08-16 |
Family
ID=52439712
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2013145751A Expired - Fee Related JP6179804B2 (ja) | 2013-07-11 | 2013-07-11 | 電気機械変換素子の製造方法、電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、及び電気機械変換素子の分極処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6179804B2 (enrdf_load_stackoverflow) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6983679B2 (ja) * | 2018-01-26 | 2021-12-17 | 東芝テック株式会社 | インクジェットヘッド及びインクジェットプリンタ |
| JP6868228B2 (ja) * | 2019-08-01 | 2021-05-12 | ブラザー工業株式会社 | 液体吐出装置及び液体吐出装置の製造方法 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08180959A (ja) * | 1994-12-20 | 1996-07-12 | Ulvac Japan Ltd | コロナ分極処理方法およびコロナ分極装置 |
| JP3419356B2 (ja) * | 1999-08-13 | 2003-06-23 | 株式会社村田製作所 | 圧電体の分極処理方法 |
| JP2001332956A (ja) * | 2000-05-19 | 2001-11-30 | Mitsubishi Electric Corp | 薄膜圧電素子基板 |
| JP2004306443A (ja) * | 2003-04-08 | 2004-11-04 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出ヘッド製造方法及び液滴吐出ヘッド並びに液滴吐出記録装置、電界発光基板製造装置、マイクロアレイ製造装置及びカラーフィルタ製造装置 |
| JP2005072327A (ja) * | 2003-08-26 | 2005-03-17 | Kyocera Corp | 分極装置及び圧電体の分極方法 |
| JP5384843B2 (ja) * | 2008-03-19 | 2014-01-08 | 富士フイルム株式会社 | 圧電素子構造体の製造方法および圧電素子構造体 |
| JP5187645B2 (ja) * | 2010-03-23 | 2013-04-24 | ブラザー工業株式会社 | インクジェット記録装置 |
| JP5776214B2 (ja) * | 2011-02-18 | 2015-09-09 | 株式会社リコー | 液滴吐出ヘッド、及び画像形成装置 |
| JP5708098B2 (ja) * | 2011-03-18 | 2015-04-30 | 株式会社リコー | 液体吐出ヘッド、液体吐出装置および画像形成装置 |
-
2013
- 2013-07-11 JP JP2013145751A patent/JP6179804B2/ja not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100880306B1 (ko) | 압전 소자의 제조 방법 | |
| US20150102835A1 (en) | Substrate plate for mems devices | |
| JP2016150471A5 (enrdf_load_stackoverflow) | ||
| JP2015029410A5 (enrdf_load_stackoverflow) | ||
| EP2667425B1 (en) | Laminated-type piezoelectric element, and piezoelectric actuator, injection apparatus, and fuel injection system provided with same | |
| JP2013047009A (ja) | 圧電式インクジェットプリンティング・モジュール | |
| US20150137664A1 (en) | Piezoelectric actuator array | |
| US9123880B2 (en) | Laminated piezoelectric actuator | |
| JP2015018968A5 (enrdf_load_stackoverflow) | ||
| US9214622B2 (en) | Size-controllable opening and method of making same | |
| JPH08242023A (ja) | 圧電素子及びそれを用いた圧電アクチュエータ | |
| JP3668072B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| JP2016004869A5 (enrdf_load_stackoverflow) | ||
| JP2020170868A (ja) | 圧電トランスの製造方法および圧電トランス | |
| CN104126234A (zh) | 制造多层器件的电接触的方法和具有电接触的多层器件 | |
| JP2015012149A5 (enrdf_load_stackoverflow) | ||
| JP5521159B2 (ja) | エレクトレット、静電誘導型変換素子及びエレクトレットの荷電方法 | |
| JP2016536786A (ja) | 多層デバイスおよび多層デバイスを製造するための方法 | |
| JP2012529180A (ja) | 圧電積層アクチュエータアセンブリ | |
| WO2016031473A1 (ja) | イオン発生部品およびイオン発生部品を備えたイオン発生装置 | |
| JP3921171B2 (ja) | セラミック電子部品及びその製法並びに噴射装置 | |
| JP2006196739A (ja) | 強誘電体材料を用いた電子部品の製造方法 | |
| KR20160007029A (ko) | 압전 소자 및 이를 포함하는 압전 진동 모듈 | |
| JP2015164149A5 (enrdf_load_stackoverflow) | ||
| JP5725122B2 (ja) | 圧電素子及び圧電素子の製造方法 |