JP2015016632A - 円筒形成形型、並びに、円筒形セラミックス成形体およびその製造方法 - Google Patents
円筒形成形型、並びに、円筒形セラミックス成形体およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015016632A JP2015016632A JP2013145267A JP2013145267A JP2015016632A JP 2015016632 A JP2015016632 A JP 2015016632A JP 2013145267 A JP2013145267 A JP 2013145267A JP 2013145267 A JP2013145267 A JP 2013145267A JP 2015016632 A JP2015016632 A JP 2015016632A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cylindrical
- lid
- mold
- cylindrical ceramic
- core rod
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Press-Shaping Or Shaping Using Conveyers (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Moulds, Cores, Or Mandrels (AREA)
Abstract
Description
(1)円筒形成形型
図1〜図3に、本発明の実施の形態の第1例を示す。本発明の実施の形態の第1例の円筒形成形型1aは、円柱状の芯棒2aと、芯棒2aの外側に同心に配置される円筒状の型枠3と、芯棒2aと型枠3を軸方向から支持する上蓋および下蓋からなる蓋体4aとを備える。蓋体4aを構成する上蓋と下蓋は、それぞれ中空円板(ドーナツ)形状を有し、芯棒2aに嵌合する貫通孔8を備え、芯棒2aに対して軸方向に移動可能に支持される。
本発明の円筒形セラミックス成形体の製造方法は、冷間静水圧プレスにおいて、円筒形成形型を使用すること以外は、基本的には従来技術と同様である。このため、以下では、主として本発明の特徴的部分を含む製造方法の主要点について説明する。
本発明の円筒形セラミックス成形体は、上記の製造方法により得られるものであって、目標とする厚みに対する公差が1.0mm以内であることを特徴とする。このような円筒形セラミックス成形体は、厚みのムラが少なく、かつ、所望の円筒形状にきわめて近い形状を有しているため、従来技術における研削加工による加工代の除去といった仕上げ加工による負荷を大幅に低減させることができるばかりでなく、加工代がほとんどないため、原料歩留まりを向上させることができ、生産コストを大幅に改善することが可能となる。
図4に、本発明の実施の形態の第2例を示す。本発明の実施の形態の第2例の円筒形成形型1bも、円柱状の芯棒2と、芯棒2の外側に同心に配置される円筒状の型枠3aと、芯棒2と型枠3aを軸方向から支持する上蓋および下蓋からなる蓋体4bとにより構成される点で、実施の形態の第1例の構造と同様である。ただし、芯棒2にはストッパが備えられておらず、また、実施の形態の第1例とは、型枠3aおよび蓋体4bの構造が異なっている。
初めに、酸化インジウム粉末と酸化スズ粉末を、酸化スズ粉末の割合が10質量%となるように秤量し、原料粉末濃度が65質量%となるように純水と、バインダとしてのポリビニルアルコール(PVA)と、分散剤とを加え、ビーズミル(アシザワ・ファインテック株式会社製、LMZ型)により混合および解砕し、スラリーを得た。このスラリーに含まれる酸化インジウム粉末および酸化スズ粉末の平均粒径を、レーザ回折式の粒度分布測定装置(株式会社島津製作所製、SALD−2200)を用いて測定したところ、0.55μmであった。その後、このスラリーをスプレードライヤ(大川原化工機株式会社製、ODL−20型)を用いて乾燥することにより、造粒粉末を得た。この造粒粉末の平均粒径を、同様にレーザ回折式粒度分布測定装置を用いて測定したところ、55μmであった。また、造粒粉末のタップ密度を振とう比重測定器を用いて測定したところ、1.51g/cm3であった。
円筒形成形型に原料粉末を充填する際に、振動機ではなく、手動で振動を加えたこと以外は、実施例1と同様にして、円筒形セラミックス成形体を得た。この円筒形セラミックス成形体の外径は196.5mm、内径は156.0mm、全長は100mmであった。
円筒形成形型として、得られる円筒形セラミックス成形体の目標とする厚みを15mmとし、型枠の外径が226mm、内径が211mm、全長が120mmであり、蓋体の外径が236mm、厚みが10mmであるものを使用したこと以外は、実施例1と同様にして円筒形セラミックス成形体を得た。この円筒形セラミックス成形体は、外径が186.0mm、内径が156.0mm、全長が100mmであった。
円筒形成形型に係合溝を設けなかったこと以外は、実施例1と同様にして円筒形セラミックス成形体を得た。この円筒形セラミックス成形体の外径は196.3mm、内径は156.0mm、全長は100mmであった。
円筒形成形型にストッパを設けなかったこと以外は、実施例1と同様にして円筒形セラミックス成形体を得た。この円筒形セラミックス成形体の外径は196.2mm、内径は156.0mm、全長は100mmであった。
前記円筒形成形型として、型枠の厚みが6.0mmのもの(外径:243mm、内径:231mm)を用いたこと以外は、実施例1と同様にして円筒形セラミックス成形体を得た。この円筒形セラミックス成形体の外径は196.2mm、内径は156.0mm、全長は100mmであった。
前記円筒形成形型として、型枠の厚みが10mmのもの(外径:251mm、内径:231mm)を用いたこと以外は、実施例1と同様にして円筒形セラミックス成形体を得た。この円筒形セラミックス成形体の外径は196.8mm、内径は156.0mm、全長は100mmであった。
前記円筒形成形型として、蓋体の厚みが8mmのもの(外径:256mm、貫通孔の径:156mm)を用いたこと以外は、実施例1と同様にして円筒形セラミックス成形体を得た。この円筒形セラミックス成形体の外径は196.6mm、内径は156.0mm、全長は100mmであった。
前記円筒形成形型として、蓋体の厚みが12mmのもの(外径:256mm、貫通孔の径:156mm)を用いたこと以外は、実施例1と同様にして円筒形セラミックス成形体を得た。この円筒形セラミックス成形体の外径は196.5mm、内径は156.0mm、全長は100mmであった。
前記型枠として硬度が40のアメゴム、前記蓋体として硬度が40のシリコーンゴムを用いたこと以外は、実施例1と同様にして円筒形セラミックス成形体を得た。この円筒形セラミックス成形体の外径は196.3mm、内径は156.0mm、全長は100mmであった。
前記型枠として硬度が70のウレタンゴム、前記蓋体として硬度が70のウレタンゴムを用いたこと以外は、実施例1と同様にして円筒形セラミックス成形体を得た。この円筒形セラミックス成形体の外径は196.7mm、内径は156.0mm、全長は100mmであった。
原料粉末として、タップ密度が1.30g/cm3である、酸化インジウム粉末と酸化スズからなる造粒粉末を用いたこと以外は、実施例1と同様にして、円筒形セラミックス成形体を得た。なお、上記造粒粉末の平均粒径は75μmであった。この円筒形セラミックス成形体の外径は196.9mm、内径は156.0mm、全長は100mmであった。
初めに、酸化亜鉛粉末と酸化アルミニウム粉末を、酸化アルミニウム粉末の割合が2質量%となるように秤量し、原料粉末濃度が65質量%となるように純水と、バインダとしてのポリビニルアルコール(PVA)と、分散剤とを加え、ビーズミルにより混合および解砕し、スラリーを得た。このスラリーに含まれる酸化亜鉛粉末および酸化アルミニウム粉末の平均粒径を、レーザ回折式の粒度分布測定装置を用いて測定したところ、0.67μmであった。その後、このスラリーをスプレードライヤを用いて乾燥することにより、造粒粉末を得た。この造粒粉末の平均粒径を、同様にレーザ回折式粒度分布測定装置を用いて測定したところ、59μmであった。また、造粒粉末のタップ密度を振とう比重測定器を用いて測定したところ、1.46g/cm3であった。
得られる円筒形セラミックス成形体の目標とする厚みを20mmとして、図4に示すような円筒形成形型1bを用意した。
円筒形成形型として、図5に示すような蓋体が無可動のものを使用したこと以外は、実施例1と同様にして円筒形セラミックス成形体を得た。この円筒形セラミックス成形体の外径は196.0mm、内径は156.0mm、全長は100mmであった。
円筒形成形型として、一方の蓋体のみを図1のように移動可能とし、他方の蓋体を図5のように無可動にしたものを用いたこと以外は、実施例1と同様にして円筒形セラミックス成形体を得た。この円筒形セラミックス成形体の外径は200.0mm、内径は156.0mm、全長は100mmであった。
2、2a 芯棒
3、3a 型枠
4、4a、4b 蓋体
5 原料粉末(セラミックス粉末)
6 セラミックス成形体
7 加工代
8、8a 貫通孔
9a、9b ストッパ
10 係合溝
11 円筒形セラミックス成形体
12〜16 第1エリア〜第5エリア
a〜h 測定点
17 テーパ面
18 テーパ面
19 中空円板
Claims (9)
- 硬質材料製で円柱状の芯棒と、弾性材料製で、該芯棒の外側に同心に配置される円筒状の型枠と、弾性材料製で、前記芯棒と前記型枠を軸方向から支持する上蓋および下蓋からなる蓋体とを備え、前記蓋体を構成する上蓋と下蓋は、それぞれ中空円板形状を有し、前記芯棒に嵌合する貫通孔を備え、前記芯棒に対して軸方向に移動可能に支持されるように構成されている、円筒形成形型。
- 前記芯棒は、その両端部に、その中間部の外径よりも大きな径を有するストッパがそれぞれ備えられている、請求項1に記載の円筒形成形型。
- 前記蓋体は、成形型を組み合わせた状態で互いに対向する面に、前記型枠の軸方向両端部とそれぞれ係合可能な係合溝を備える、請求項1に記載の円筒形成形型。
- 前記型枠および前記蓋体は、硬度が40〜70の範囲にある、ウレタンゴム、シリコーンゴム、アメゴム、天然ゴムから選択される少なくとも1種からなり、前記芯棒は、金属、合金または硬質プラスチックからなる、請求項1に記載の円筒形成形型。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の円筒形成形型を組み合わせ、該円筒形成形型の内側に形成された内部空間に原料粉末を充填し、冷間静水圧プレスにより、前記原料粉末を成形して、円筒形セラミックス成形体を得る、円筒形セラミックス成形体の製造方法。
- 前記原料粉末として、タップ密度が1.40g/cm3以上の原料粉末を用いる、請求項5に記載の円筒形セラミックス成形体の製造方法。
- 前記円筒形成形型に前記原料粉末を充填する際に、該円筒形成形型に振動を加える、請求項5に記載の円筒形セラミックス成形体の製造方法。
- 請求項5〜7のいずれかに記載の製造方法により得られ、目標とする厚みに対する公差が1.0mm以内である、円筒形セラミックス成形体。
- 厚みの標準偏差は0.40以下である、請求項8に記載の円筒形セラミックス成形体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013145267A JP2015016632A (ja) | 2013-07-11 | 2013-07-11 | 円筒形成形型、並びに、円筒形セラミックス成形体およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013145267A JP2015016632A (ja) | 2013-07-11 | 2013-07-11 | 円筒形成形型、並びに、円筒形セラミックス成形体およびその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015016632A true JP2015016632A (ja) | 2015-01-29 |
Family
ID=52438131
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013145267A Pending JP2015016632A (ja) | 2013-07-11 | 2013-07-11 | 円筒形成形型、並びに、円筒形セラミックス成形体およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2015016632A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105437357A (zh) * | 2015-12-22 | 2016-03-30 | 南通华兴磁性材料有限公司 | 锰锌铁氧体磁芯成型模具 |
JP2017047553A (ja) * | 2015-08-31 | 2017-03-09 | 住友金属鉱山株式会社 | 円筒形成形型、並びに、円筒形セラミックス成形体およびその製造方法 |
CN108527609A (zh) * | 2018-04-09 | 2018-09-14 | 福建省南安高远陶瓷模具有限公司 | 一种液压陶瓷模具的模芯及制作方法 |
CN110341034A (zh) * | 2019-08-29 | 2019-10-18 | 济源市东方自动化设备有限公司 | 一种陶瓷管内壁凸沿压制模具组件 |
CN114227899A (zh) * | 2021-12-20 | 2022-03-25 | 中国工程物理研究院材料研究所 | 一种金属氢化物陶瓷薄壁管与不锈钢薄壁管复合的方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4422322Y1 (ja) * | 1965-11-25 | 1969-09-20 | ||
JP2003305708A (ja) * | 2002-04-17 | 2003-10-28 | Toray Ind Inc | 成形用治具 |
JP2004216450A (ja) * | 2002-12-26 | 2004-08-05 | Kyocera Corp | 湿式静水圧加圧成形用成形型及びそれを用いた湿式静水圧加圧成形方法 |
JP2006193797A (ja) * | 2005-01-14 | 2006-07-27 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | スパッタリングターゲット用の成形体を製造するための成形型およびスパッタリングターゲットの製造方法 |
JP2012139842A (ja) * | 2010-12-28 | 2012-07-26 | Tosoh Corp | セラミックス円筒形成形体およびその製造方法 |
-
2013
- 2013-07-11 JP JP2013145267A patent/JP2015016632A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4422322Y1 (ja) * | 1965-11-25 | 1969-09-20 | ||
JP2003305708A (ja) * | 2002-04-17 | 2003-10-28 | Toray Ind Inc | 成形用治具 |
JP2004216450A (ja) * | 2002-12-26 | 2004-08-05 | Kyocera Corp | 湿式静水圧加圧成形用成形型及びそれを用いた湿式静水圧加圧成形方法 |
JP2006193797A (ja) * | 2005-01-14 | 2006-07-27 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | スパッタリングターゲット用の成形体を製造するための成形型およびスパッタリングターゲットの製造方法 |
JP2012139842A (ja) * | 2010-12-28 | 2012-07-26 | Tosoh Corp | セラミックス円筒形成形体およびその製造方法 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017047553A (ja) * | 2015-08-31 | 2017-03-09 | 住友金属鉱山株式会社 | 円筒形成形型、並びに、円筒形セラミックス成形体およびその製造方法 |
CN105437357A (zh) * | 2015-12-22 | 2016-03-30 | 南通华兴磁性材料有限公司 | 锰锌铁氧体磁芯成型模具 |
CN108527609A (zh) * | 2018-04-09 | 2018-09-14 | 福建省南安高远陶瓷模具有限公司 | 一种液压陶瓷模具的模芯及制作方法 |
CN108527609B (zh) * | 2018-04-09 | 2024-05-24 | 福建省南安高远陶瓷模具有限公司 | 一种液压陶瓷模具的模芯及制作方法 |
CN110341034A (zh) * | 2019-08-29 | 2019-10-18 | 济源市东方自动化设备有限公司 | 一种陶瓷管内壁凸沿压制模具组件 |
CN110341034B (zh) * | 2019-08-29 | 2024-04-19 | 济源市东方自动化设备有限公司 | 一种陶瓷管内壁凸沿压制模具组件 |
CN114227899A (zh) * | 2021-12-20 | 2022-03-25 | 中国工程物理研究院材料研究所 | 一种金属氢化物陶瓷薄壁管与不锈钢薄壁管复合的方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5804109B2 (ja) | 焼結体及びスパッタリングターゲット | |
JP5750060B2 (ja) | セラミックス円筒形スパッタリングターゲット材およびその製造方法 | |
JP2015016632A (ja) | 円筒形成形型、並びに、円筒形セラミックス成形体およびその製造方法 | |
KR102336966B1 (ko) | 원통형 스퍼터링 타겟, 원통형 성형체, 및 원통형 스퍼터링 타겟, 원통형 소결체, 및 원통형 성형체의 제조 방법 | |
JP5778372B2 (ja) | 焼結体、スパッタリングターゲット及び成形型並びに焼結体の製造方法 | |
CN105817627B (zh) | 一种整体成形大长径比钨管靶材的制备方法 | |
JP6447422B2 (ja) | 円筒形成形型、並びに、円筒形セラミックス成形体およびその製造方法 | |
JP5784849B2 (ja) | セラミックス円筒形スパッタリングターゲット材およびその製造方法 | |
JP2020111837A (ja) | スパッタリングターゲット及びその製造方法 | |
JP5947413B1 (ja) | スパッタリングターゲット及びその製造方法 | |
JP6439383B2 (ja) | 円筒形成形型およびこれを用いた円筒形セラミックス成形体の製造方法 | |
KR101021848B1 (ko) | ZnS계 스퍼터링 타겟의 제조방법 및 이로써 얻어진ZnS계 스퍼터링 타겟 | |
TW201605735A (zh) | 氧化物燒結體、其製造方法、濺鍍靶材及薄膜 | |
JP5969146B1 (ja) | 円筒型スパッタリングターゲットの製造方法及び円筒型成形体の製造方法 | |
JP2018154522A (ja) | 円筒形酸化物焼結体の製造方法、及び敷板 | |
JP2016014191A (ja) | セラミックス円筒形スパッタリングターゲット材およびその製造方法 | |
JP4031578B2 (ja) | 有底円筒状セラミックス焼結体の製造方法 | |
JP5181198B2 (ja) | セラミックス焼結体及びその製造方法 | |
JP6842293B2 (ja) | 円筒形セラミックス焼結体の製造方法 | |
KR101690753B1 (ko) | 반도체 초고온 박막공정을 위한 저열전도도 특성을 갖는 질화알루미늄 히터용 샤프트 및 이의 제조방법 | |
JP2019093568A (ja) | 成形型及び平板状焼結体の製造方法 | |
JP2024514249A (ja) | フィーチャー付きセラミック物品、例えばセラミックミラーブランクを形成する方法 | |
JPH0873276A (ja) | 磁気ヘッド用基板の製造方法 | |
JP2016153540A (ja) | スパッタリングターゲット及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150918 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160916 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160927 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161115 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20161213 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20170620 |