JP2015013251A - ノズルおよびノズルの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
筒体3の熱膨張率を小さくすることができる。したがって、ノズル1を高温で使用する際に、筒体3の熱膨張を低減することができるため、開口4の形状をより一定に保つことができる。
1貫通部5における柱状体8を構成していた炭素の残留を低減し、この炭素による液体の汚染を低減することができる。
2 貫通孔
3 筒体
4 開口
5 第1貫通部
6 第2貫通部
7 第3貫通部
8 柱状体
9 マスク
Claims (4)
- 長手方向に貫通しているとともに液体が流れる貫通孔を有し、単結晶炭化ケイ素からなる筒体を備え、
前記貫通孔は、前記筒体の一端部に開口しているとともに該開口の幅が20μm以下である第1貫通部と、該第1貫通部につながっているとともに前記第1貫通部に向かって幅が小さくなっている第2貫通部とを含んでいることを特徴とするノズル。 - 請求項1に記載のノズルにおいて、
前記筒体は、前記単結晶炭化ケイ素の化学蒸着膜からなることを特徴とするノズル。 - 請求項1に記載のノズルにおいて、
前記第1貫通部は、反応性イオンエッチングまたはフォーカスイオンビームによって形成されたことを特徴とするノズル。 - 炭素からなる柱状体を準備する工程と、
化学蒸着を用いて、前記柱状体の側面および一端部に単結晶炭化ケイ素を被着させることによって、前記柱状体に対応した形状の第2貫通部を有するとともに前記単結晶炭化ケイ素からなる筒体を形成する工程と、
前記柱状体を酸化することによって、前記筒体の前記第2貫通部から前記柱状体を除去する工程と、
反応性イオンエッチングまたはフォーカスイオンビームを用いて、前記筒体の一端部に第1貫通部を形成することによって、前記筒体の一端部に開口した前記第1貫通部、および該第1貫通部につながった前記第2貫通部を含んでおり、前記筒体を長手方向に貫通しているとともに前記液体が流れる貫通孔を形成する工程とを備えたことを特徴とするノズルの製造方法。
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