JP2015012134A - 炭素系材料膜の成膜方法とその成膜装置 - Google Patents
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Abstract
Description
しかし、この成膜方法では、マトリックスポリマーが被導電性で、高い電気抵抗を示すため、成膜したままの状態ではSWNT本来の導電性を得ることができない。そのため、成膜後にナノチューブ周りのSWNTを除去しなければならないという難点があった(非特許文献1:85頁)。
(1)炭素系粉末を練って粘性のあるペースト状の練り生地にしてから、基材に供給して圧延するので均一厚に、薄く成膜し易い。
(2)フィルムの外から圧延するので基材に圧延された成膜と圧延したロールが剥離し易く、ロールが基材上の成膜から離れるときに成膜に亀裂が入ったり、成膜が欠損したりしにくい。
(3)圧延するので、成膜内の炭素系材料の配向性が向上し、導電性も向上する。
(1)混練機を備えているので、混練が容易である。
(2)ロール・ツー・ロールで基板を走行させながら成膜できるので生産性が向上する。
本発明の成膜方法及び成膜装置の実施例を、図面に基づいて説明する。図1〜図7に示した実施例は、フィルム状の基材3を巻取りロールで巻取りながら成膜するロール・ツー・ロール方式の場合であるが、本発明では、基材3が枚葉(一枚ずつ分離されている状態)のものであっても実施可能である。枚葉の場合は、例えば、基材を積層してストッカーにストックしておき、一枚ずつ自動的に供給されるようにするとか、一枚ずつ手差しする等することができる。
本発明の炭素系材料膜の成膜方法は、水分を含む炭素系微粉末Aを混練機1で混練して粘性のあるペースト状の練り生地(混練物)2にし、その練り生地2を基材3の片面(図1では上面)に薄く略均一厚で供給し、供給された練り生地2を、基材3を挟んで基材3に接触して回転する二つ一対のロール4a、4bで圧延して基材3の片面に成膜する方法である。図1では、ロール4a、4bよりも基材3の走行方向先方二箇所に、上下に対向配置して設けた一対の押しロール5a、5bで挟んで練り生地を圧延できるようにしてある。図示した押しロール5a、5bは基材3の走行方向に離して二段設けてあるが、押しロール5a、5bは一段でも三段以上の複数段設けてもよく、それらで練り生地2を所望厚に圧延することができる。
図1は基材3に直に供給した練り生地2をロール4a、4b、押しロ−ル5a、5bで直に圧延する方法であるが、本発明では図2のように、練り生地2をロール(転写ロール)4aに供給し、その練り生地2を転写ロール4aの回転により基材3に供給(転写)しながら圧延し、圧延された練り生地2を基材3の走行に伴って押しロール5a、5bで挟んで圧延する方法である。この実施形態2において、実施形態1と共通する構成は実施形態1と同様にする。以下の実施形態3以降においても実施形態1と共通する部分の構成は実施形態1と同様にする。
本発明では図3のように、練り生地2を基材3に直に供給し、その練り生地2をロール4aの外周面に沿って引き出して、前記練り生地2を基材3の上を走行するフィルム7aの上からロール4aで圧延し、圧延された練り生地2をその上に被さっているフィルム7aの上から走行方向先方の押しロール5a、5bで更に圧延して所望厚に成膜する方法である。この場合、ロール状に巻かれている原反フィルム9aを巻取りロール9bで巻取り可能なフィルム供給装置10を設けることもできる。以下の実施形態においてもフィルム供給装置の構成は実施形態3と同様である。
本発明では図4のように、練り生地2をロール(転写ロール)4aに直に供給し、その練り生地2を転写ロール4aの回転により、走行中の基材3に転写しながら圧延し、圧延された練り生地2の上にフィルム7aを引き出して被せ、その練り生地2をフィルム7aの上から押しロール5a、5bで圧延し、フィルム7aを後段上の押しロール5aに沿って巻き取って、練り生地2から剥離する方法である。図4の8はフィルム7a、7bの走行を案内するフィルムガイドロールである。
本発明では図5のように、練り生地2を、ロール(転写ロール)4aの外周面に沿って引き出したフィルム7aの上に供給し、その練り生地2を転写ロール4aの回転により、走行中の基材3の上面に転写しながら圧延し、その練り生地2をフィルム7aの上から押しロール5a、5bで圧延し、フィルム7aを後段上の押しロール5aに沿って巻き取って、練り生地2から剥離する方法である。
本発明では図6のように、練り生地2を、基材3の下のロール(転写ロール)4bの外周面に沿って引き出したフィルム7bの上に供給し、その練り生地2を転写ロール4bの回転により、走行中の基材3の下面に転写しながら圧延し、その練り生地2をフィルム7bの上から押しロール5a、5bで挟んで圧延し、フィルム7bを後段下の押しロール5bに沿って巻き取って、練り生地2から剥離する方法である。
本発明では図7のように、練り生地2を、基材3の上下のロール(転写ロール)4a、4bの外周面に沿って引き出した二枚のフィルム7a、7bの上に供給し、フィルム7aに供給された練り生地2を転写ロール4aの回転により、走行中の基材3の上面に転写しながら圧延し、同時に、フィルム7bに供給された練り生地2を転写ロール4bの回転により、走行中の基材3の下面に転写しながら圧延し、その練り生地2をフィルム7a、7bの上から押しロール5a、5bで挟んで圧延し、フィルム7aを後段上の押しロール5aに沿って巻き取って練り生地2から剥離し、フィルム7bを後段下の押しロール5bに沿って巻き取って練り生地2から剥離する方法である。
2 練り生地(混練物)
3 基材
4a、4b (転写)ロール
5a、5b 押しロール
6 基材ガイドロール
7a、7b フィルム
8 フィルムガイドロール
9a 原反ロール
9b 巻取りロール
10 フィルム供給装置
A 炭素系微粉末
Claims (10)
- 炭素系微粉末を基材に成膜する成膜方法において、
水分と炭素系微粉末を混練して粘性のあるペースト状の練り生地にする工程と、
前記練り生地を基材の上に供給する工程と、
供給された練り生地を基材に接触回転するロールで圧延して基材に成膜する工程を備えた、
ことを特徴とする炭素系材料膜の成膜方法。 - 炭素系微粉末を基材に成膜する成膜方法において、
水分と炭素系微粉末を混練して粘性のあるペースト状の練り生地にする工程と、
前記練り生地を基材に接触回転するロールに供給する工程と、
前記ロールの回転により前記練り生地を圧延して基材に成膜する、
ことを特徴とする炭素系材料膜の成膜方法。 - 請求項1又は請求項2記載の炭素系材料膜の成膜方法において、
練り生地の上にフィルムを被せ、そのフィルムの上から練り生地をロールで圧延して成膜する、
ことを特徴とする炭素系材料膜の成膜方法。 - 炭素系微粉末を基材に成膜する成膜方法において、
水分と炭素系微粉末を混練して粘性のあるペースト状の練り生地にする工程と、
前記練り生地をロールの外周面に沿って引き出されるフィルムに供給する工程と、
前記ロールの回転により前記練り生地を基材に転写しながら、前記フィルムの上から前記練り生地を圧延して基材に成膜する工程を備えた、
ことを特徴とする炭素系材料膜の成膜方法。 - 請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の炭素系材料膜の成膜方法において、
練り生地を基材の両面に供給して圧延して、基材の両面に成膜する、
ことを特徴とする炭素系材料膜の成膜方法。 - 請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の炭素系材料膜の成膜方法において、
練り生地を多段のロールで圧延する、
ことを特徴とする炭素系材料膜の成膜方法。 - 炭素系微粉末を基材に成膜する成膜装置において、
水分と炭素系微粉末を混練して粘性のあるペースト状の練り生地にする混練機と、
混練機から基材に直に又は間接的に供給された練り生地を圧延するロールを備えた、
ことを特徴とする炭素系材料膜の成膜装置。 - 請求項7記載の炭素系材料膜の成膜装置において、
混練機から基材に供給された練り生地の上に被せるフィルムを備えた、
ことを特徴とする炭素系材料膜の成膜装置。 - 請求項7記載の炭素系材料膜の成膜装置において、
混練機から供給される練り生地を受けるフィルムを備えた、
ことを特徴とする炭素系材料膜の成膜装置。 - 請求項7から請求項9のいずれか1項に記載の炭素系材料膜の成膜装置において、
基材の走行方向先方に、ロールで圧延された練り生地を圧延する押しロールを備えた、
ことを特徴とする炭素系材料膜の成膜装置。
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