JP2015011890A - マイクロ波イオン源 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】マイクロ波イオン源10は、マイクロ波を受け入れるための真空窓24と、イオン引出開口66と、を備え、プラズマ生成空間58を画定するプラズマ室12と、軸方向に向けられたコイル磁場を真空窓24からイオン引出開口66にわたってプラズマ生成空間58に生成するよう配設されているコイル装置16と、プラズマ生成空間58におけるプラズマ室中心軸上のコイル磁場強度を調整するための磁性体80と、を備える。磁性体80は、コイル装置16の軸方向中央に対し窓側と開口側とで非対称であるように窓側及び開口側の少なくとも一方に配置されている。
【選択図】図1
Description
Claims (10)
- マイクロ波を受け入れるための窓と、イオンを引き出すための開口と、を備え、プラズマ生成空間を画定するプラズマ室と、
軸方向に向けられたコイル磁場を前記窓から前記開口にわたって前記プラズマ生成空間に生成するよう配設されているコイル装置と、
前記プラズマ生成空間におけるプラズマ室中心軸上のコイル磁場強度を調整するための磁性体と、を備え、
前記磁性体は、前記コイル装置の軸方向中央に対し窓側と開口側とで非対称であるように窓側及び開口側の少なくとも一方に配置されていることを特徴とするマイクロ波イオン源。 - 前記コイル装置は、単一のコイル電源と、該電源からの給電により前記プラズマ生成空間に磁場を生成する単一のコイルと、を備えることを特徴とする請求項1に記載のマイクロ波イオン源。
- 前記コイル磁場の前記中心軸上におけるピークは、前記プラズマ室の中に位置し、
前記磁性体により調整された磁場の前記中心軸上におけるピークは、前記プラズマ室の中であって前記コイル磁場のピークから窓側に又は開口側に外れた場所に位置することを特徴とする請求項1または2に記載のマイクロ波イオン源。 - 前記磁性体は、軸方向において前記窓と前記開口との間に配置されていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のマイクロ波イオン源。
- 前記コイル装置は、前記プラズマ室の周囲に配置されたコイルを備え、
前記磁性体は、前記中心軸上において前記プラズマ生成空間の窓側領域の磁場が前記プラズマ生成空間の開口側領域の磁場より強くなるように、軸方向には前記開口側で径方向には前記コイルと前記プラズマ生成空間との間に、及び/または、軸方向には前記窓側で径方向には前記コイルの側部又は外側に配置されていることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のマイクロ波イオン源。 - 前記プラズマ室は、前記窓を備える始端部と、前記開口を備える終端部と、該始端部と該終端部とを接続する側壁と、を備え、
前記磁性体は、前記開口側において前記側壁に沿って配置されているシールド部材を備えることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載のマイクロ波イオン源。 - 前記プラズマ室は、前記シールド部材を冷却する冷却部を備えることを特徴とする請求項6に記載のマイクロ波イオン源。
- 前記磁性体は、コイルの窓側の側面又はコイルの径方向外周面に沿って配置されているヨーク部材を備えることを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載のマイクロ波イオン源。
- 前記磁性体の表面を覆う保護部材をさらに備えることを特徴とする請求項1から8のいずれかに記載のマイクロ波イオン源。
- 前記磁性体に代えて、永久磁石を備えることを特徴とする請求項1に記載のマイクロ波イオン源。
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2013
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