JP2015007552A - Method for inspecting printed circuit board - Google Patents

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雅夫 金谷
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To specify a disconnected spot when whichever of a through-hole and an electronic component connection part provided within a range of position detection resolutions of TDR measurement is disconnected.SOLUTION: In a method for inspecting a printed circuit board 20 according to one embodiment, when either a through-hole 22 or a connection part 11 of an electronic component 10 close to each other is determined to be disconnected by TDR measurement, a conductive substance 61 is injected into the through-hole 22. Then, after the conductive substance 61 is injected, a disconnected portion of the printed circuit board 20 is measured again by a TDR method, and determination is made on the basis of the result of re-measurement as to which of the through-hole 22 and the connection part 11 of the electronic component 10 is disconnected.

Description

本発明は、プリント基板の不良箇所を電気的に検査する検査方法に関する。   The present invention relates to an inspection method for electrically inspecting a defective portion of a printed circuit board.

現在エレクトロニクス分野においてプリント基板は必要不可欠である。通常、プリント基板には、多層の配線パターン間を接続するために、表面をメッキしたスルーホールが形成されている。スルーホールは、熱衝撃等を受け続けると熱応力の影響を受けて、断線し不良に至る場合がある。同様に、電子部品のはんだ接続箇所も熱応力の影響を受けやすく、断線し不良に至る場合がある。   Currently, printed circuit boards are indispensable in the electronics field. Usually, a through hole having a plated surface is formed on a printed circuit board in order to connect multiple wiring patterns. If the through hole continues to be subjected to thermal shock or the like, it may be affected by thermal stress, resulting in disconnection and failure. Similarly, the solder connection location of the electronic component is also easily affected by thermal stress, and may be disconnected and defective.

このようなプリント基板の不良個所を電気的に検査する方法として、バウンダリースキャンなどのICT(In-Circuit Tester)や、TDR法(Time Domain Reflectometry:時間領域反射率測定法)などが一般に知られている。TDR法を用いた検査法は、ICTに比べて予め検出回路を内蔵する必要がなく、さらには断線位置を特定することが可能になるという利点がある(たとえば、特開2010−164427号公報(特許文献1)および特開平9−061486号公報(特許文献2)などを参照)。   ICT (In-Circuit Tester) such as boundary scan and TDR method (Time Domain Reflectometry) are generally known as methods for electrically inspecting such defective parts of printed circuit boards. ing. The inspection method using the TDR method does not need to incorporate a detection circuit in advance compared to ICT, and further has an advantage that a disconnection position can be specified (for example, JP 2010-164427 A). Patent Document 1) and Japanese Patent Laid-Open No. 9-061486 (Patent Document 2).

特開2010−164427号公報JP 2010-164427 A 特開平9−061486号公報Japanese Patent Laid-Open No. 9-061486

TDR測定による位置検出には1〜2mm程度の誤差があり、この誤差範囲が位置検出の分解能となっている。したがって、この分解能の範囲内に複数の断線箇所がある場合には、従来のTDR法ではどこで断線しているかを特定することは困難である。   The position detection by the TDR measurement has an error of about 1 to 2 mm, and this error range is the position detection resolution. Therefore, when there are a plurality of disconnection points within the resolution range, it is difficult to specify where the disconnection is made by the conventional TDR method.

たとえば、スルーホールを覆うようにBGA(Ball Grid Array)パッケージが実装されている場合には、従来のTDR法を用いる限り、スルーホールの断線かBGAの断線かを識別することが困難である。この場合、断線箇所がBGAパッケージで覆われているので、BGAパッケージを取り外さない限り、目視や抵抗測定器(電気テスター)によって断線箇所を特定することもできない。   For example, when a BGA (Ball Grid Array) package is mounted so as to cover the through hole, it is difficult to identify whether the through hole is broken or the BGA is broken as long as the conventional TDR method is used. In this case, since the disconnection part is covered with the BGA package, the disconnection part cannot be specified visually or by a resistance measuring instrument (electric tester) unless the BGA package is removed.

この発明は上記の問題点を考慮してなされたものであり、その目的は、TDR測定の位置検出分解能の範囲内に設けられているスルーホールと電子部品の接続部とのうち、どちらかが断線している可能性がある場合に、どちらで断線しているかを容易に特定することが可能なプリント基板の検査方法を提供することである。   The present invention has been made in consideration of the above-mentioned problems, and the object thereof is to select one of a through hole provided within the position detection resolution range of TDR measurement and a connection part of an electronic component. It is an object of the present invention to provide a printed circuit board inspection method capable of easily specifying which one is disconnected when there is a possibility of disconnection.

一実施の形態によるプリント基板の検査方法では、TDR測定によって、互いに近接するスルーホールおよび電子部品の接続部のうちいずれか一方で断線していると判定された場合に、スルーホールに導電性物質が注入される。そして、導電性物質の注入後にTDR法によってプリント基板の断線部を再測定し、再測定結果に基づいてスルーホールおよび電子部品の接続部のどちらが断線しているかが判定される。   In the printed circuit board inspection method according to the embodiment, when it is determined by TDR measurement that one of the through hole and the connection part of the electronic component that are close to each other is disconnected, the conductive material in the through hole Is injected. Then, after the conductive material is injected, the disconnection portion of the printed circuit board is measured again by the TDR method, and it is determined which of the through hole and the connection portion of the electronic component is disconnected based on the remeasurement result.

上記の実施の形態によれば、TDR測定による位置検出の分解能の範囲内に設けられたスルーホールと電子部品の接続部とのうちどちらで断線が生じているかを、TDR測定を応用することにより検出可能になる。   According to the above-described embodiment, by applying the TDR measurement, it is determined which of the through hole provided in the range of the position detection resolution by the TDR measurement and the connection part of the electronic component is broken. It becomes detectable.

実施の形態1によるプリント基板の検査方法で用いられる検査装置の全体構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the whole structure of the test | inspection apparatus used with the test method of the printed circuit board by Embodiment 1. FIG. 図1のプリント基板検査装置のインターフェース部、および検査対象のプリント基板の概略的な構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the interface part of the printed circuit board inspection apparatus of FIG. 1, and the printed circuit board to be examined. 図2のプリント基板の一部の拡大図である。FIG. 3 is an enlarged view of a part of the printed circuit board of FIG. 2. スルーホールへの導電性物質の注入方法を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the injection | pouring method of the electroconductive substance to a through hole. スルーホールに導電性物質を過剰に注入した場合について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the case where an electroconductive substance is excessively injected into a through hole. スルーホールに導電性ゲルを注入する方法について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the method to inject | pour a conductive gel into a through hole. 実施の形態1によるプリント基板の検査手順を示すフローチャートである。3 is a flowchart illustrating a printed circuit board inspection procedure according to the first embodiment. プリント基板の等価回路を模式的に表わした図である。It is the figure which represented typically the equivalent circuit of a printed circuit board. TDR測定機の出力電圧と検出電圧との関係を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the relationship between the output voltage of a TDR measuring device, and a detection voltage. 被測定物のインピーダンスの等価回路図である。It is an equivalent circuit diagram of the impedance of the device under test. 良品のプリント基板の場合のTDRの測定波形と、スルーホールの完全断線時のTDR測定波形とから合成された合成波形の例を示す図である。It is a figure which shows the example of the synthetic | combination waveform synthesize | combined from the measurement waveform of TDR in the case of a good printed circuit board, and the TDR measurement waveform at the time of the complete disconnection of a through hole. 実施の形態2によるプリント基板の検査手順を示すフローチャートである。6 is a flowchart illustrating a printed circuit board inspection procedure according to the second embodiment.

以下、各実施の形態について図面を参照して詳しく説明する。なお、同一または相当する部分には同一の参照符号を付して、その説明を繰返さない。   Hereinafter, each embodiment will be described in detail with reference to the drawings. The same or corresponding parts are denoted by the same reference numerals, and description thereof will not be repeated.

<実施の形態1>
[プリント基板検査装置の全体構成]
図1は、実施の形態1によるプリント基板の検査方法で用いられる検査装置の全体構成を示すブロック図である。
<Embodiment 1>
[Overall configuration of printed circuit board inspection equipment]
FIG. 1 is a block diagram showing the overall configuration of an inspection apparatus used in the printed circuit board inspection method according to the first embodiment.

図1を参照して、プリント基板検査装置1は、プリント基板の電気的な異常、特に電子部品のはんだ接続部の断線およびスルーホールの断線などを検査する。プリント基板検査装置1は、TDR測定機40と、インターフェース部30と、制御部としてのコンピュータ50とを含む。   Referring to FIG. 1, a printed circuit board inspection apparatus 1 inspects an electrical abnormality of a printed circuit board, in particular, a disconnection of a solder connection part of an electronic component and a disconnection of a through hole. The printed circuit board inspection apparatus 1 includes a TDR measuring device 40, an interface unit 30, and a computer 50 as a control unit.

TDR測定機40は、急峻な立上がりのステップ電圧(パルス波)を出力する信号発生器41と、信号発生器41から出力されたステップ電圧(パルス波)の立上がり部分の反射波形を測定するオシロスコープ46とを含む。信号発生器41およびオシロスコープ46は、高周波ケーブル37によってインターフェース部30のコネクタ35と接続される。信号発生器41から出力されたステップ電圧(パルス波)は、インターフェース部30およびプローブ32を介してプリント基板(図2の参照符号20)に印加される。オシロスコープ46は、ステップ電圧(パルス波)がプリント基板20によって反射されることによって生じた反射波を、プローブ32およびインターフェース部30を介して検出する。オシロスコープ46によって検出された反射波は、デジタル変換されてコンピュータ50に入力される。   The TDR measuring device 40 includes a signal generator 41 that outputs a step voltage (pulse wave) having a steep rise, and an oscilloscope 46 that measures a reflected waveform of a rising portion of the step voltage (pulse wave) output from the signal generator 41. Including. The signal generator 41 and the oscilloscope 46 are connected to the connector 35 of the interface unit 30 by a high frequency cable 37. The step voltage (pulse wave) output from the signal generator 41 is applied to the printed circuit board (reference numeral 20 in FIG. 2) via the interface unit 30 and the probe 32. The oscilloscope 46 detects a reflected wave generated by the step voltage (pulse wave) being reflected by the printed circuit board 20 via the probe 32 and the interface unit 30. The reflected wave detected by the oscilloscope 46 is digitally converted and input to the computer 50.

図2は、図1のプリント基板検査装置1のインターフェース部30、および検査対象のプリント基板20の概略的な構成を示す図である。図2では、断面部分にハッチングが付されている。   FIG. 2 is a diagram illustrating a schematic configuration of the interface unit 30 of the printed circuit board inspection apparatus 1 of FIG. 1 and the printed circuit board 20 to be inspected. In FIG. 2, the cross-sectional portion is hatched.

図2を参照して、プリント基板20は、配線パターンが形成された絶縁性の基板21(すなわち、プリント配線板)上に、多数の電子部品が実装されたものである。配線パターンの途中には、表面がメッキされたスルーホール22が設けられている。スルーホールによって多層の配線パターン間が電気的に接続される。   Referring to FIG. 2, printed circuit board 20 is obtained by mounting a large number of electronic components on insulating substrate 21 (that is, a printed wiring board) on which a wiring pattern is formed. A through hole 22 whose surface is plated is provided in the middle of the wiring pattern. The multilayer wiring patterns are electrically connected by the through holes.

図2では、さらに、IC(Integrated Circuit)パッケージ10(BGAパッケージ10とも称する)がスルーホール22の近傍に実装されている様子が示されている。ICパッケージ10は、パッケージの裏面に格子状に形成されたはんだボール11によって配線パターンにはんだ接続される。このような実装方式をBGA(Ball Grid Allay)と称する。BGAでは、はんだ接続部がパッケージの裏面にあるために、目視によるはんだ接続状態の検査が困難である。さらに、図2の場合には、スルーホール22がICパッケージ10によって覆われているために、スルーホール22の断線の有無を目視や電気テスター等で検査することも困難である。   FIG. 2 further shows a state in which an IC (Integrated Circuit) package 10 (also referred to as a BGA package 10) is mounted in the vicinity of the through hole 22. The IC package 10 is solder-connected to the wiring pattern by solder balls 11 formed in a lattice pattern on the back surface of the package. Such a mounting method is referred to as BGA (Ball Grid Allay). In BGA, since the solder connection portion is on the back surface of the package, it is difficult to visually inspect the solder connection state. Further, in the case of FIG. 2, since the through hole 22 is covered with the IC package 10, it is difficult to inspect whether the through hole 22 is broken by visual inspection or an electric tester.

インターフェース部30は、絶縁性の基板33と、基板33上に形成された配線パターン34と、プリント基板20の検査部位近傍の配線パターンおよびスルーホール22などに接触させるための複数のプローブ32と、複数のプローブ32が埋め込まれた図示しない絶縁性のブロックとを含む。プローブ32は、プリント基板20の複数の検査部位を一度で検査するために複数個設けられているが、1個のプローブを複数個所に順次接触させて検査する構成も可能である。なお、複数のプローブ32のうちの1つは、プリント基板20のアースと接続するために用いてもよい。   The interface unit 30 includes an insulating substrate 33, a wiring pattern 34 formed on the substrate 33, a plurality of probes 32 for contacting the wiring pattern near the inspection site of the printed circuit board 20, the through holes 22, and the like. And an insulating block (not shown) in which a plurality of probes 32 are embedded. A plurality of probes 32 are provided in order to inspect a plurality of inspection parts of the printed circuit board 20 at a time, but a configuration in which one probe is sequentially brought into contact with a plurality of locations to perform inspection is also possible. One of the plurality of probes 32 may be used to connect to the ground of the printed circuit board 20.

再び図1を参照して、インターフェース部30は、さらに、リレーなどの複数のスイッチ36を含む。各スイッチ36は、各プローブ32に個別に対応し、各プローブ32とコネクタ35とを接続する配線パターン34の経路に設けられる。コンピュータ50は、スイッチ36の接続を切替えることによって、TDR測定機40に接続されるプローブ32を順次切替える。こうして、プリント基板検査装置1は、各プローブ32に接続された図2のICパッケージ10の複数の検査箇所を順々に検査する。   Referring to FIG. 1 again, the interface unit 30 further includes a plurality of switches 36 such as relays. Each switch 36 corresponds to each probe 32 individually, and is provided in the path of the wiring pattern 34 that connects each probe 32 and the connector 35. The computer 50 sequentially switches the probes 32 connected to the TDR measuring device 40 by switching the connection of the switch 36. In this way, the printed circuit board inspection apparatus 1 sequentially inspects a plurality of inspection locations of the IC package 10 of FIG.

次に、コンピュータ50の構成について説明する。コンピュータ50は、中央処理装置(CPU:Central Processing Unit)、メモリ回路、および信号の入出力のためのインターフェース回路などを含む。機能的に見ると、コンピュータ50は、測定制御部53と、記憶部52と、判定部51とを含む。これらの機能は、コンピュータ50によってプリント基板の検査プログラムが実行されることによって実現される。   Next, the configuration of the computer 50 will be described. The computer 50 includes a central processing unit (CPU), a memory circuit, an interface circuit for signal input / output, and the like. Viewed functionally, the computer 50 includes a measurement control unit 53, a storage unit 52, and a determination unit 51. These functions are realized by the computer 50 executing a printed circuit board inspection program.

測定制御部53は、信号発生器41がステップ電圧(パルス波)を出力するタイミングを制御する。さらに、測定制御部53は、インターフェース部30のスイッチ36を切替えることによって、検査部位とTDR測定機40とを選択的に接続する。こうして、信号発生器41から出力されたパルス波は、インターフェース部30の配線パターン34およびプローブ32を順に通過してプリント基板の検査部位に到達する。プリント基板からの反射波は逆の経路をたどって信号発生器41に戻り、オシロスコープ46によって検出される。   The measurement control unit 53 controls the timing at which the signal generator 41 outputs a step voltage (pulse wave). Furthermore, the measurement control unit 53 selectively connects the examination site and the TDR measuring device 40 by switching the switch 36 of the interface unit 30. Thus, the pulse wave output from the signal generator 41 sequentially passes through the wiring pattern 34 and the probe 32 of the interface unit 30 and reaches the inspection site of the printed circuit board. The reflected wave from the printed board returns to the signal generator 41 along the reverse path and is detected by the oscilloscope 46.

記憶部52は、正常な参照用プリント基板を用いて予め測定した反射波の電圧波形を基準波形として記憶する。基準波形は、多数の参照用プリント基板で測定された反射波形の平均値とするのが好ましい。さらに、記憶部52には、その基準波形を、信号発生器41からプリント基板側を見たインピーダンスに変換した波形、さらにそれらの波形の微分波形を記憶しておくのが好ましい。   The storage unit 52 stores a voltage waveform of a reflected wave measured in advance using a normal reference printed circuit board as a reference waveform. The reference waveform is preferably an average value of reflected waveforms measured on a number of reference printed boards. Further, the storage unit 52 preferably stores a waveform obtained by converting the reference waveform into an impedance when the printed circuit board side is viewed from the signal generator 41, and a differential waveform of those waveforms.

判定部51は、検査用プリント基板についてのTDR測定結果と、参照用プリント基板についてのTDR測定結果とを比較することによって、検査用プリント基板に断線が生じているか否かを判定する。検査用プリント基板上のある検査部位で断線が生じ、当該検査部位のインピーダンスが増加している場合には、当該検査部位からの反射が検出される時刻以降において、検出された反射波の電圧が参照用プリント基板の場合に比べて増加する。   The determination unit 51 determines whether or not a disconnection has occurred in the inspection printed circuit board by comparing the TDR measurement result for the inspection printed circuit board with the TDR measurement result for the reference printed circuit board. When a disconnection occurs at a certain inspection part on the printed circuit board for inspection and the impedance of the inspection part is increased, the voltage of the reflected wave detected after the time when reflection from the inspection part is detected is Increased compared to the case of the reference printed circuit board.

TDRによって測定した反射波形を、信号発生器41から検査対象のプリント基板側を見たインピーダンス波形に変換し、変換後のインピーダンス波形を参照用プリント基板についてのインピーダンス波形と比較することによって、検査用プリント基板の断線を検出することもできる。   The reflected waveform measured by TDR is converted into an impedance waveform when the printed circuit board side to be inspected is viewed from the signal generator 41, and the converted impedance waveform is compared with the impedance waveform of the reference printed circuit board for inspection. It is also possible to detect disconnection of the printed circuit board.

具体的に、信号発生器41の出力電圧(ステップ電圧値)をVaとし、信号発生器41の出力インピーダンスをZ0とし、測定した反射電圧を時間tの関数としてVb(t)とすれば、プリント基板側を見たインピーダンスZ1(t)は、
Z1(t)=Vb(t)×Z0/(Va−Vb(t)) …(1)
で表される。なお、信号発生器41の出力インピーダンスをZ0は、高周波ケーブル37の特性インピーダンスに等しく設定される。
Specifically, if the output voltage (step voltage value) of the signal generator 41 is Va, the output impedance of the signal generator 41 is Z0, and the measured reflected voltage is Vb (t) as a function of time t, then printing is performed. The impedance Z1 (t) viewed from the substrate side is
Z1 (t) = Vb (t) × Z0 / (Va−Vb (t)) (1)
It is represented by The output impedance Z0 of the signal generator 41 is set equal to the characteristic impedance of the high frequency cable 37.

上記の場合、ある検査部位からの反射波が検出される時刻以降において、検査用プリント基板でのインピーダンスが、参照用プリント基板でのインピーダンスに比べて増加している場合に、当該検査部位が断線していると判定できる。この場合、たとえば、多数の参照用プリント基板について測定された測定値の3σ(σは標準偏差)を基準値として、検査用プリント基板で検出されたインピーダンス値と参照用のインピーダンス値との差がこの基準値を超えている場合に断線と判定するのが望ましい。   In the above case, after the time when the reflected wave from a certain inspection site is detected, if the impedance on the printed circuit board for inspection is larger than the impedance on the printed circuit board for reference, the inspection site is disconnected. Can be determined. In this case, for example, the difference between the impedance value detected on the inspection printed circuit board and the reference impedance value is 3σ (σ is a standard deviation) of measured values measured for a large number of reference printed circuit boards. When this reference value is exceeded, it is desirable to determine that the wire is disconnected.

TDR測定による反射波の微分波形またはインピーダンス波形の微分波形によって、検査用プリント基板と参照用プリント基板とを比較するようにしてもよい。ある検査部位が断線している場合には、電圧波形またはインピーダンス波形は、当該検査部位からの反射が検出される時刻以降で参照用プリント基板の場合に比べて全体的に増加する。これに対して、微分波形の場合には、当該検査部位からの反射が検出される時刻付近でのみ検査用プリント基板と参照用プリント基板とで違いが生じるので、断線した部位の位置判定が容易になる。特にプローブの接触不良の場合にはプローブからの反射が検出される時刻付近でのみ微分波形に異常が生じるので、プローブの接触不良とプリント基板の断線とを区別して検出するのが容易になる。   The printed circuit board for inspection and the printed circuit board for reference may be compared with a differential waveform of a reflected wave or an impedance waveform by TDR measurement. When a certain inspection site is disconnected, the voltage waveform or impedance waveform increases as a whole as compared with the case of the reference printed circuit board after the time when reflection from the inspection site is detected. On the other hand, in the case of a differential waveform, a difference occurs between the inspection printed circuit board and the reference printed circuit board only near the time when reflection from the inspection region is detected, so it is easy to determine the position of the disconnected region. become. In particular, in the case of poor probe contact, an abnormality occurs in the differential waveform only near the time when reflection from the probe is detected, so that it is easy to distinguish and detect probe contact failure and printed circuit board disconnection.

微分波形を用いると、さらに、短絡故障など断線以外の故障を断線故障と区別して検出できる。プリント基板に短絡故障が生じている場合には、短絡経路を介して入射ステップ電圧(パルス波)が伝搬し、その反射波形が正常な反射波形に合成された波形をTDR測定機で測定することになる。このため、検査用プリント基板と参照用プリント基板とで、当該短絡箇所が検出される時刻以降の微分波形が全く異なるようになる。たとえば、極値をとる時刻が全く異なるようになるので、断線による故障と短絡故障とを容易に識別できる。   By using the differential waveform, it is possible to detect a failure other than a disconnection such as a short-circuit failure separately from the disconnection failure. When a short-circuit failure has occurred in the printed circuit board, the incident step voltage (pulse wave) propagates through the short-circuit path, and the reflected waveform is combined with a normal reflected waveform and measured with a TDR measuring instrument become. For this reason, the differential waveform after the time when the short-circuit portion is detected is completely different between the inspection printed circuit board and the reference printed circuit board. For example, since the time when the extreme value is taken becomes completely different, a failure due to disconnection and a short-circuit failure can be easily identified.

[スルーホールの断線か否かの見極め方法]
図3は、図2のプリント基板20の一部の拡大図である。図3では、断面部分にハッチングが付されている。
[How to determine whether a through hole is broken]
FIG. 3 is an enlarged view of a part of the printed circuit board 20 of FIG. In FIG. 3, the cross-sectional portion is hatched.

図3を参照して、プリント基板上の断線原因の多くは、熱応力による疲労を受けやすいはんだ接続部やプリント基板のスルーホールである。たとえば、図3では、スルーホール22の内壁面のメッキ部分で断線23が生じている場合、およびBGAパッケージ10のはんだ接続部(はんだボール)11で断線12が生じている場合が示されている。   Referring to FIG. 3, many of the causes of disconnection on a printed circuit board are solder connection portions and through holes in the printed circuit board that are susceptible to fatigue due to thermal stress. For example, FIG. 3 shows a case where a disconnection 23 occurs in the plated portion of the inner wall surface of the through hole 22 and a case where a disconnection 12 occurs in the solder connection portion (solder ball) 11 of the BGA package 10. .

ここで、近年のBGAパッケージでは、はんだボール間の間隔が0.6mmピッチ程度の狭ピッチのものが増えている。そのため、スルーホール22とはんだボール11との間の距離が短くなる傾向にあり、その距離は1mm程度である。   Here, in recent BGA packages, the number of narrow pitch pitches with an interval between solder balls of about 0.6 mm is increasing. Therefore, the distance between the through hole 22 and the solder ball 11 tends to be short, and the distance is about 1 mm.

一方、TDRでの位置検出には1mm程度の誤差がある。すなわち、1mm程度がTDR測定の分解能(位置検出精度)になっている。したがって、1mm程度以内で2箇所断線している可能性がある場合には、断線箇所の判別が困難である。図3の例では、スルーホール22とBGAパッケージ10のはんだ接続部11のうちいずれか一方で断線が生じている場合、どちらで断線が生じているのかをTDR測定で区別することは困難である。   On the other hand, the position detection by TDR has an error of about 1 mm. That is, about 1 mm is the resolution (position detection accuracy) of TDR measurement. Therefore, when there is a possibility that two places are broken within about 1 mm, it is difficult to determine the broken place. In the example of FIG. 3, when one of the through hole 22 and the solder connection portion 11 of the BGA package 10 is broken, it is difficult to distinguish which one is broken by TDR measurement. .

特に、図3の場合には、スルーホール22の上部にICパッケージ10が実装されているため、断線箇所を目視で確認することも困難であるし、スルーホール22の両端に電気テスターのプローブを当てて、スルーホール22の抵抗値を測定することによって断線の有無を検出することも困難である。このような問題は、BGAパッケージを実装している多くのプリント基板で共通する問題である。   In particular, in the case of FIG. 3, since the IC package 10 is mounted on the upper part of the through hole 22, it is difficult to visually check the disconnection point, and an electric tester probe is attached to both ends of the through hole 22. In addition, it is difficult to detect the presence or absence of disconnection by measuring the resistance value of the through hole 22. Such a problem is a problem common to many printed circuit boards on which a BGA package is mounted.

本実施の形態のプリント基板の検査方法では、断線箇所がスルーホール22であるか、はんだ接続部(はんだボール)11であるかを見極めるため、液体、ゲル(ジェル)、ゾル、またはペーストなどの形態を有する導電性物質をスルーホール22内に注入する。この結果、スルーホール22が断線している場合には、スルーホール22が一時的に導電状態になる。そして、導電性物質の注入後に再度、検査用プリント基板に対してTDR測定を行い、導電性物質の注入前と比べて検査部位のインピーダンスが低下していればスルーホール22の断線と判断でき、インピーダンスに変化がなければはんだ接続部(はんだボール)11の断線(もしくは、可能性は小さいが、両方の断線)と判断できる。   In the printed circuit board inspection method of the present embodiment, in order to determine whether the disconnection point is the through hole 22 or the solder connection part (solder ball) 11, liquid, gel (gel), sol, paste, etc. A conductive material having a shape is injected into the through hole 22. As a result, when the through hole 22 is disconnected, the through hole 22 temporarily becomes conductive. Then, TDR measurement is again performed on the printed circuit board for inspection after the injection of the conductive material, and if the impedance of the inspection site is lower than before the injection of the conductive material, it can be determined that the through hole 22 is disconnected, If there is no change in impedance, it can be determined that the solder connection portion (solder ball) 11 is disconnected (or, although the possibility is small, both are disconnected).

導電性物質として、液体、ゲル(ジェル)、ゾル、またはペーストなどの形態のものを利用するので、TDR測定後に導電性物質を除去することができる。すなわち、本実施の形態のプリント基板の検査方法は、不良部位を保全した非破壊の検査方法である。したがって、導電性物質の除去後に、断面解析などの物理解析が可能である。   Since the conductive material is in the form of liquid, gel (gel), sol, or paste, the conductive material can be removed after TDR measurement. That is, the printed circuit board inspection method of the present embodiment is a non-destructive inspection method that preserves a defective part. Therefore, physical analysis such as cross-sectional analysis is possible after removing the conductive material.

[導電性物質の注入方法]
図4は、スルーホール22への導電性物質61の注入方法を説明するための図である。図4では、導電性物質の流動性が高い(粘性が低い)場合の例を示している。たとえば、イオン性液体や導電性銀ペーストなどが例として挙げられる。
[Method of injecting conductive material]
FIG. 4 is a diagram for explaining a method of injecting the conductive material 61 into the through hole 22. FIG. 4 shows an example in which the fluidity of the conductive material is high (viscosity is low). Examples include ionic liquids and conductive silver pastes.

図4に示すように、プリント基板20のBGAパッケージ10が実装されていない面から、スルーホール22内に細針注射器60により液体状の導電性物質61が注入される。導電性物質61が断線部に影響する程度により導電状態(すなわち、スルーホール22の抵抗値)が変化する。   As shown in FIG. 4, a liquid conductive substance 61 is injected into the through hole 22 from the surface of the printed board 20 where the BGA package 10 is not mounted by the fine needle syringe 60. The conductive state (that is, the resistance value of the through hole 22) changes depending on the degree to which the conductive material 61 affects the disconnected portion.

極めて少量の導電性物質61を注入するため、導電性物質61がスルーホール22内にどのように充填されるか、その状態によりTDR測定結果が影響を受ける。したがって、導電性物質61は少量から注入し、徐々に量を増やし、予め最大注入量を決めておくのが好ましい。導電性物質61がスルーホール22から漏れ出すのを防ぐためである。   Since a very small amount of the conductive material 61 is injected, the TDR measurement result is influenced by how the conductive material 61 is filled in the through hole 22. Therefore, it is preferable to inject the conductive material 61 from a small amount, gradually increase the amount, and determine the maximum injection amount in advance. This is to prevent the conductive material 61 from leaking from the through hole 22.

最大注入量に関しては検査対象のプリント基板の厚み、スルーホールの直径、およびスルーホールの製造方法により異なるため、一律に決めることはできない。未実装のプリント基板で同じ箇所のスルーホールを用いて、スルーホールから導電性液が漏れずに、完全に満たされる量をあらかじめ測定しておくことが望ましい。注入量が極めて少量の場合もある。たとえば、スルーホールの半径が0.3mmで長さが1mmの場合には、注入量は0.00028ccである。   The maximum injection amount cannot be determined uniformly because it differs depending on the thickness of the printed circuit board to be inspected, the diameter of the through hole, and the manufacturing method of the through hole. It is desirable to measure in advance the amount that the conductive liquid does not leak from the through hole by using the through hole at the same location on the unmounted printed board. Sometimes the injection volume is very small. For example, when the through-hole radius is 0.3 mm and the length is 1 mm, the injection amount is 0.00028 cc.

図5は、スルーホール22Aに導電性物質61を過剰に注入した場合について説明するための図である。   FIG. 5 is a diagram for explaining a case where the conductive material 61 is excessively injected into the through hole 22A.

図5を参照して、スルーホール22Aに液体状の導電性物質61を過剰に注入した場合には、導電性物質61がスルーホール22Aより漏れ出し、他の回路(たとえば、隣接するスルーホール22B)との間で短絡が発生することがある。この場合も、検査部位のインピーダンスが低下することがあるので、導電性物質61の注入前に比べて検査部位のインピーダンスが低下したことによって単純にスルーホール断線と判定すると、誤判定の可能性がある。そのため、断線箇所の判定基準をより詳細に決める必要がある。   Referring to FIG. 5, when liquid conductive material 61 is excessively injected into through hole 22A, conductive material 61 leaks from through hole 22A, and other circuits (for example, adjacent through holes 22B). ) May occur. Also in this case, since the impedance of the examination site may be reduced, if it is simply determined that the through-hole is disconnected because the impedance of the examination site is lower than before the injection of the conductive material 61, there is a possibility of erroneous determination. is there. Therefore, it is necessary to determine the criteria for determining the disconnection location in more detail.

具体的に、液体状の導電性物質61の場合には、スルーホール22内に少しずつ導電性物質61を注入して、注入する度にTDR測定を行うことが望ましい。導電性物質61の注入量に伴ってスルーホール22の断線の状態が改善することにより、参照用プリント基板でのTDR測定波形が参照用プリント基板でのTDR測定波形に近づいていくことが観察された場合には、スルーホール22が断線していると判定できる。   Specifically, in the case of the liquid conductive material 61, it is desirable to inject the conductive material 61 into the through hole 22 little by little and perform TDR measurement each time it is injected. It is observed that the TDR measurement waveform on the reference printed circuit board approaches the TDR measurement waveform on the reference printed circuit board by improving the disconnection state of the through hole 22 with the injection amount of the conductive material 61. If it is, it can be determined that the through hole 22 is disconnected.

ただし、断線したスルーホール22の抵抗値が良品の参照用プリント基板でのスルーホール22の抵抗値に最終的に一致することは少なく、若干の抵抗成分が残ることが多い。したがって、導電性物質注入後の検査用プリント基板のTDR測定結果が、参照用プリント基板のTDR測定結果に一致するか否かによって、スルーホール22に断線が生じているか否かを判定することはできないことに注意する必要がある。   However, the resistance value of the broken through-hole 22 hardly coincides with the resistance value of the through-hole 22 in a non-defective reference printed circuit board, and a slight resistance component often remains. Therefore, it is possible to determine whether or not the through hole 22 is disconnected depending on whether or not the TDR measurement result of the printed circuit board for inspection after injecting the conductive material matches the TDR measurement result of the printed circuit board for reference. Note that you can't.

さらに望ましくは、ステップ電圧の反射波を微分した波形またはインピーダンス波形を微分した波形を用いて、参照用プリント基板と導電性物質注入後の検査用プリント基板とを比較する。導電性物質61を過剰にスルーホール22に注入した結果、他の回路との間に短絡が生じている場合には、微分波形が全く異なる(たとえば、極値を与える時刻が全く異なる)ので、導電性物質61を過剰に注入したか否かを容易に判定できるからである。   More preferably, the reference printed circuit board and the inspection printed circuit board after injecting the conductive material are compared using a waveform obtained by differentiating the reflected wave of the step voltage or a waveform obtained by differentiating the impedance waveform. As a result of excessively injecting the conductive material 61 into the through hole 22, when a short circuit occurs with another circuit, the differential waveform is completely different (for example, the time at which the extreme value is given is completely different), so This is because it can be easily determined whether or not the conductive material 61 is excessively injected.

図6は、スルーホール22に導電性ゲル62を注入する方法について説明するための図である。図6(A)は導電性ゲル62がスルーホール22へ注入される前の状態を示し、図6(B)は導電性ゲル62がスルーホール22への注入された後の状態を示す。図6(A)および(B)に示すように、導電性ゲル62は、スルーホール22の形状に合わせて円筒状に加工され、スルーホール22内に押し込まれる。   FIG. 6 is a view for explaining a method of injecting the conductive gel 62 into the through hole 22. 6A shows a state before the conductive gel 62 is injected into the through hole 22, and FIG. 6B shows a state after the conductive gel 62 is injected into the through hole 22. As shown in FIGS. 6A and 6B, the conductive gel 62 is processed into a cylindrical shape in accordance with the shape of the through hole 22 and is pushed into the through hole 22.

導電性ゲル62は、たとえば、心電図測定用など医療用電極として市販されているものと同じ材料のものを利用することができる。導電性ゲル62であれば、スルーホール22への注入後にスルーホール22から漏れ出す可能性は低い。   As the conductive gel 62, for example, the same material as that marketed as a medical electrode such as for electrocardiogram measurement can be used. If the conductive gel 62 is used, the possibility of leakage from the through hole 22 after injection into the through hole 22 is low.

導電性ゲル62の直径は、スルーホール22の内径よりも大きく形成されることが望ましい。たとえば、導電性ゲル62の直径をスルーホールの内径プラス10μmとする。これによって、導電性ゲル62がスルーホール22の内壁面に密着しながら細長く変形して挿入されることになるので、スルーホール22の断線部23をより確実に導通させることができる。スルーホール22への挿入を容易にするために、導電性ゲル62の先端を円錐状に加工することも望ましい。   The diameter of the conductive gel 62 is desirably formed larger than the inner diameter of the through hole 22. For example, the diameter of the conductive gel 62 is set to the inner diameter of the through hole plus 10 μm. As a result, the conductive gel 62 is inserted while being elongated and deformed while being in close contact with the inner wall surface of the through hole 22, so that the disconnected portion 23 of the through hole 22 can be more reliably conducted. In order to facilitate insertion into the through hole 22, it is also desirable to process the tip of the conductive gel 62 into a conical shape.

通常、スルーホールは、その内径が1mm〜0.3mm程度で、0.1mm刻みで製造されている場合がほとんどである。スルーホールの長さ(すなわち、プリント基板の厚み)は、1mm、1.2mm、1.6mm、2mmの場合が多い。したがって、導電性ゲル加工品をそのサイズで予め準備しておけば、ほとんどの場合で適用可能である。   Usually, the through hole has an inner diameter of about 1 mm to 0.3 mm and is manufactured in increments of 0.1 mm. The length of the through hole (that is, the thickness of the printed circuit board) is often 1 mm, 1.2 mm, 1.6 mm, and 2 mm. Therefore, if a conductive gel processed product is prepared in advance with its size, it is applicable in most cases.

[プリント基板の検査手順]
図7は、実施の形態1によるプリント基板の検査手順を示すフローチャートである。以下、図1、図2および図7を参照して、プリント基板の検査方法についてこれまでの説明を総括する。
[PC board inspection procedure]
FIG. 7 is a flowchart showing a printed circuit board inspection procedure according to the first embodiment. Hereinafter, with reference to FIG. 1, FIG. 2, and FIG.

まず、TDR測定機40によって多数の良品の参照用プリント基板に対してTDR測定が予め実行され、測定された反射波の波形の平均値が、参照用の反射波形として記憶部52に記憶される(ステップS100)。記憶部52には、参照用の反射波形に対応するインピーダンス波形およびそれらの微分波形も記憶されている。   First, TDR measurement is performed in advance on a number of non-defective reference printed circuit boards by the TDR measuring device 40, and the average value of the measured reflected wave waveforms is stored in the storage unit 52 as a reflected waveform for reference. (Step S100). The storage unit 52 also stores an impedance waveform corresponding to the reference reflected waveform and a differential waveform thereof.

次に、TDR測定機40によって検査用プリント基板に対してTDR測定が行われる(ステップS110)。コンピュータ50によって、測定された反射波の電圧波形がインピーダンス波形に変換され、さらにそれらの微分波形が生成される(ステップS115)。インピーダンス波形への変換は、前述の式(1)に従う。   Next, TDR measurement is performed on the printed circuit board for inspection by the TDR measuring device 40 (step S110). The computer 50 converts the voltage waveform of the measured reflected wave into an impedance waveform, and further generates a differential waveform thereof (step S115). The conversion to the impedance waveform follows the aforementioned equation (1).

次に、コンピュータ50の判定部51は、参照用プリント基板でのTDR測定結果と検査用プリント基板でのTRD測定結果との比較に基づいて、検査用プリント基板の断線の有無を判定する。具体的に、判定部51は、ある検査部位からの反射が検出される時刻までは、参照用プリント基板のインピーダンスと検査用プリント基板のインピーダンスとに基準値Vr1以内の差しかなく、当該時刻以降に基準値Vr1を超えて検査用プリント基板のインピーダンスが増大している場合に、当該検査部位が断線していると判定する(ステップS120)。   Next, the determination unit 51 of the computer 50 determines the presence or absence of disconnection of the inspection printed circuit board based on the comparison between the TDR measurement result on the reference printed circuit board and the TRD measurement result on the inspection printed circuit board. Specifically, until the time when reflection from a certain inspection site is detected, the determination unit 51 does not make the difference between the impedance of the reference printed circuit board and the impedance of the printed circuit board for inspection within the reference value Vr1, and after that time. If the impedance of the printed circuit board for inspection increases beyond the reference value Vr1, it is determined that the inspection site is disconnected (step S120).

上記の判定の結果、あるスルーホール22と、そのスルーホール22に近接した電子部品(ICパッケージ10)のはんだ接続部11とのうちどちらかで断線が生じているが、その判別が困難であったとする(ステップS125でYES)。この場合、当該スルーホール22に導電性物質を注入するステップが実行される(ステップS130)。その後、TDR測定機40によって、導電性物質注入後の検査用プリント基板に対してTDR測定が実行される(ステップS135)。この場合、プローブの接触位置は当該スルーホール22またはその近傍の配線パターンである。次にコンピュータ50によって、測定された反射波の電圧波形がインピーダンス波形に変換され、さらにその反射波の微分波形および/またはインピーダンスの微分波形が生成される(ステップS140)。   As a result of the above determination, a disconnection has occurred in one of the through hole 22 and the solder connection portion 11 of the electronic component (IC package 10) adjacent to the through hole 22, but it is difficult to determine the disconnection. (Yes in step S125). In this case, a step of injecting a conductive material into the through hole 22 is executed (step S130). Thereafter, the TDR measurement device 40 performs TDR measurement on the printed circuit board for inspection after injecting the conductive material (step S135). In this case, the contact position of the probe is the through hole 22 or a wiring pattern in the vicinity thereof. Next, the computer 50 converts the measured voltage waveform of the reflected wave into an impedance waveform, and further generates a differential waveform of the reflected wave and / or a differential waveform of the impedance (step S140).

次に、コンピュータ50の判定部51は、生成された検査用プリント基板での反射波の微分波形またはインピーダンスの微分波形と、参照用プリント基板でのTDR測定結果に基づく反射波の微分波形またはインピーダンスの微分波形とを比較する(ステップS145)。判定部51は、スルーホール22からの反射が検出される時刻以降で反射波の微分波形またはインピーダンスの微分波形が極値をとる時刻が、検査用プリント基板と参照用プリント基板とで大きく異なる場合には(ステップS145でYES)、導電性物質61または62がスルーホール22に過剰に注入されていると判定する(ステップS150)。この場合、スルーホール22と他の部品とが短絡しているために、参照用プリント基板と導電性物質の注入後の検査用プリント基板とで、微分波形に大きな違いが生じることになる。   Next, the determination unit 51 of the computer 50 determines the differential waveform or impedance of the reflected wave based on the generated differential waveform or differential waveform of the reflected wave on the inspection printed board and the TDR measurement result on the reference printed board. The differential waveform is compared (step S145). When the time when the reflected waveform or the differential waveform of the impedance takes an extreme value after the time when the reflection from the through hole 22 is detected, the determination unit 51 greatly differs between the inspection printed board and the reference printed board. (YES in step S145), it is determined that the conductive material 61 or 62 is excessively injected into the through hole 22 (step S150). In this case, since the through-hole 22 and other components are short-circuited, a large difference occurs in the differential waveform between the reference printed board and the inspection printed board after the injection of the conductive material.

導電性物質の注入量が適正な場合には(ステップS145でNO)、判定部51は、導電性物質の注入前と注入後とで(すなわち、ステップS110のTDR測定結果とステップS135のTDR測定結果とで)、スルーホール22からの反射が検出される時刻における検査用プリント基板のインピーダンスを比較する(ステップS150)。判定部51は、注入前と注入後とで検査用プリント基板のインピーダンスの差が基準値Vr2以内の場合に、はんだ接続部11が断線していると判定し、導電性物質の注入後の検査用プリント基板のインピーダンスが基準値Vr2を超えて減少している場合には、スルーホール22が断線していると判定する。   When the conductive material injection amount is appropriate (NO in step S145), the determination unit 51 performs before and after the conductive material injection (that is, the TDR measurement result in step S110 and the TDR measurement in step S135). As a result, the impedance of the printed circuit board for inspection at the time when the reflection from the through hole 22 is detected is compared (step S150). The determination unit 51 determines that the solder connection portion 11 is disconnected when the difference in impedance of the printed circuit board for inspection before and after the injection is within the reference value Vr2, and the inspection after the injection of the conductive material is performed. When the impedance of the printed circuit board is decreased beyond the reference value Vr2, it is determined that the through hole 22 is disconnected.

なお、導電性物質61が液体状の場合には、ステップS130においてスルーホール22内に少しずつ導電性物質61を注入して、注入する度にステップS135〜S155を実行し、注入量に伴って検査用プリント基板でのTDR測定波形が参照用プリント基板でのTDR測定波形に近づいていくか否かを観察するのが望ましい。   When the conductive material 61 is in a liquid state, the conductive material 61 is injected little by little into the through hole 22 in step S130, and steps S135 to S155 are executed each time it is injected. It is desirable to observe whether the TDR measurement waveform on the printed circuit board for inspection approaches the TDR measurement waveform on the printed circuit board for reference.

[実施の形態1の効果]
以上のとおり、実施の形態1のプリント基板の検査方法によれば、TDR測定による位置検出の分解能の範囲内に設けられたスルーホールと電子部品の接続部とのいずれかで断線が生じており、しかも目視や電気テスターでの断線箇所の特定が困難な場合に、どちらで断線が生じているかがTDR法を応用することにより特定可能になる。他の効果として、スルーホールに注入された導電性物質が断線箇所の特定後に除去可能であるので、断線箇所を保全でき、後の物理解析が可能になる。
[Effect of Embodiment 1]
As described above, according to the printed circuit board inspection method of the first embodiment, disconnection occurs in either the through hole provided in the range of the position detection resolution by TDR measurement or the connection part of the electronic component. In addition, when it is difficult to identify a disconnection point by visual inspection or an electric tester, it is possible to specify which one is causing the disconnection by applying the TDR method. As another effect, since the conductive material injected into the through hole can be removed after the disconnection location is specified, the disconnection location can be maintained, and subsequent physical analysis can be performed.

<実施の形態2>
実施の形態2によるプリント基板の検査方法では、導電性物質注入後の検査用プリント基板における断線箇所の特定方法が実施の形態1の場合と異なる。具体的には、良品の参照用プリント基板でのTDR測定波形とスルーホール断線時のTDR測定波形とを適切な割合で合成した合成波形を生成し、この合成波形と、導電性物質注入後の検査用プリント基板でのTDR測定波形とを比較する。以下、図面を参照して詳しく説明する。
<Embodiment 2>
The printed circuit board inspection method according to the second embodiment is different from the first embodiment in the method for specifying the disconnection location on the printed circuit board for inspection after the conductive material is injected. Specifically, a composite waveform is generated by combining a TDR measurement waveform on a non-defective reference printed circuit board and a TDR measurement waveform at the time of through-hole disconnection at an appropriate ratio. The TDR measurement waveform on the printed circuit board for inspection is compared. Hereinafter, it will be described in detail with reference to the drawings.

[導電性物質注入後の断線箇所の特定方法について]
図8は、プリント基板20の等価回路を模式的に表わした図である。
[How to identify the disconnection after injection of conductive material]
FIG. 8 is a diagram schematically showing an equivalent circuit of the printed circuit board 20.

図8を参照して、電子部品の実装面側の配線パターン71と実装面と反対側の配線パターン70とが、スルーホール22(抵抗値R)を介して接続されている。電子部品の実装面側の配線パターン71には、電子部品(ICパッケージ)10がはんだ接続部(はんだボール)11を介して接続されている。実装面と反対側の配線パターン70には、スルーホール22との接続部またはスルーホール22に近接した位置にTDR信号(ステップ電圧)が入力される。スルーホール22から配線パターン70を見たインピーダンスをa(t)とし、スルーホール22から配線パターン71を見たインピーダンスをb(t)とする。   Referring to FIG. 8, a wiring pattern 71 on the mounting surface side of the electronic component and a wiring pattern 70 on the opposite side to the mounting surface are connected through a through hole 22 (resistance value R). An electronic component (IC package) 10 is connected to a wiring pattern 71 on the mounting surface side of the electronic component via a solder connection portion (solder ball) 11. A TDR signal (step voltage) is input to the wiring pattern 70 on the side opposite to the mounting surface at a position where it is connected to the through hole 22 or close to the through hole 22. The impedance when the wiring pattern 70 is viewed from the through hole 22 is a (t), and the impedance when the wiring pattern 71 is viewed from the through hole 22 is b (t).

図9は、TDR測定機40の出力電圧Vaと検出電圧Vbとの関係を説明するための図である。図8および図9を参照して、TDR測定機40で検出される検出電圧Vb(t)は、TDR信号の波高値(ステップ電圧値)Vaと、TDR測定機40の出力インピーダンスZ0と、被測定物のインピーダンスZ1(t)とにより以下の式(2)によって表される。   FIG. 9 is a diagram for explaining the relationship between the output voltage Va of the TDR measuring device 40 and the detection voltage Vb. Referring to FIGS. 8 and 9, the detected voltage Vb (t) detected by the TDR measuring device 40 includes the peak value (step voltage value) Va of the TDR signal, the output impedance Z0 of the TDR measuring device 40, It is represented by the following formula (2) by the impedance Z1 (t) of the measurement object.

Vb(t)=(Z1(t)×Va)/(Z0+Z1(t)) …(2)
ここで、TDR装置はもともと電気回路上の位置によるインピーダンスZ1の違いを、位置情報を時間情報(すなわちTDR信号の到達時間+反射波がTDR装置に戻ってくるまでの時間)に置き換え、インピーダンスZ1の時間変化として測定する装置である。本実施の形態の場合、被測定物はプリント基板上の回路であり、その配線の位置によりインピーダンスZ1は変化する。そのため検出電圧Vb(t)およびインピーダンスZ1(t)はステップ電圧の印加時刻からの経過時間tに応じて変化する。
Vb (t) = (Z1 (t) × Va) / (Z0 + Z1 (t)) (2)
Here, the TDR device originally replaces the difference in the impedance Z1 depending on the position on the electric circuit with the time information (that is, the arrival time of the TDR signal + the time until the reflected wave returns to the TDR device), and the impedance Z1. It is a device that measures as a time change. In the case of the present embodiment, the object to be measured is a circuit on a printed board, and the impedance Z1 varies depending on the position of the wiring. Therefore, the detection voltage Vb (t) and the impedance Z1 (t) change according to the elapsed time t from the application time of the step voltage.

一方、上式(2)において、ステップ電圧Vaと出力インピーダンスZ0とは、TDR測定機40に応じて固定値が予め決まっている。   On the other hand, in the above formula (2), the fixed values of the step voltage Va and the output impedance Z0 are determined in advance according to the TDR measuring device 40.

具体的に、市販されているTDR装置は50Ω系の同軸ケーブル等に接続し被測定物を測定するため、50Ωを規格化インピーダンスとして用いる場合が多い。そのため出力インピーダンスZ0は50Ωの場合がほとんどである。ただし必ず50Ωである必要はなく、たとえば100Ω系の配線を利用すれば出力インピーダンスZ0は100Ωでも問題はない。   Specifically, since a commercially available TDR device is connected to a 50Ω coaxial cable or the like and measures an object to be measured, 50Ω is often used as a standardized impedance. Therefore, the output impedance Z0 is almost 50Ω. However, it is not necessarily 50Ω. For example, if a 100Ω wiring is used, there is no problem even if the output impedance Z0 is 100Ω.

ステップ電圧Vaはプリント基板20に搭載されている電気回路や部品等に悪影響を及ぼさない程度の低電圧(たとえば、0.1V〜0.4V)である場合がほとんどである。   In most cases, the step voltage Va is a low voltage (for example, 0.1 V to 0.4 V) that does not adversely affect the electric circuit, components, and the like mounted on the printed circuit board 20.

次に、スルーホール22の抵抗値Rに応じた被測定物のインピーダンスZ1(t)の計算方法について説明する。測定物のインピーダンスZ1(t)が計算できれば、それに応じた検出電圧Vbを計算できる。図8に示すように、TDR信号は、電子部品の実装面と反対側のスルーホール22に入力されるか、またはスルーホール22の近傍の配線パターン70に入力される。スルーホール22は回路配線の途中にあり、TDRのステップ電圧信号はスルーホール22に接続されている2つの配線パターン(図8の場合、実装面側の配線パターン71と実装面と反対側の配線パターン)の両方に伝播する。この場合、被測定物のインピーダンスZ1(t)は両方の配線パターンのインピーダンスの合成によって決まる。なお、両方の配線パターンのインピーダンスa,bも位置により変化するので、それぞれの位置情報を時間情報に置き換えてa(t),b(t)と表している。   Next, a method for calculating the impedance Z1 (t) of the object to be measured according to the resistance value R of the through hole 22 will be described. If the impedance Z1 (t) of the measurement object can be calculated, the detection voltage Vb corresponding to it can be calculated. As shown in FIG. 8, the TDR signal is input to the through hole 22 on the side opposite to the mounting surface of the electronic component, or is input to the wiring pattern 70 in the vicinity of the through hole 22. The through hole 22 is in the middle of the circuit wiring, and the TDR step voltage signal is transmitted to the two wiring patterns connected to the through hole 22 (in the case of FIG. 8, the wiring pattern 71 on the mounting surface side and the wiring on the opposite side of the mounting surface). Propagate to both). In this case, the impedance Z1 (t) of the device under test is determined by the combination of the impedances of both wiring patterns. Since the impedances a and b of both wiring patterns also change depending on the position, the respective position information is replaced with time information and expressed as a (t) and b (t).

図10は、被測定物のインピーダンスZ1(t)の等価回路図である。
図8〜図10を参照して、TDR測定機40から見ると、配線パターン70のインピーダンスa(t)と、互いに直列接続されたスルーホール22(抵抗値R)および配線パターン71のインピーダンスb(t)とが、並列接続されていることになる。したがって、被測定物のインピーダンスZ1(t)は、
Z1(t)={a(t)×(b(t)+R)}/(a(t)+b(t)+R) …(3)
で表される。
FIG. 10 is an equivalent circuit diagram of the impedance Z1 (t) of the device under test.
8 to 10, when viewed from the TDR measuring instrument 40, the impedance a (t) of the wiring pattern 70, the through hole 22 (resistance value R) connected in series with each other, and the impedance b (of the wiring pattern 71) ( t) are connected in parallel. Therefore, the impedance Z1 (t) of the device under test is
Z1 (t) = {a (t) × (b (t) + R)} / (a (t) + b (t) + R) (3)
It is represented by

スルーホール22が完全に断線しているときには、抵抗値Rは非常に大きな値になる。このとき、被測定物のインピーダンスZ1(t)は、
Z1(t)=a(t) …(4)
となるので、このときの検出電圧をVb∞(t)とすれば、式(2)を用いて配線パターン70のインピーダンスa(t)は、
a(t)=Vb∞(t)×Z0/(Va−Vb∞(t)) …(5)
によって与えられることがわかる。
When the through hole 22 is completely disconnected, the resistance value R becomes a very large value. At this time, the impedance Z1 (t) of the object to be measured is
Z1 (t) = a (t) (4)
Therefore, if the detection voltage at this time is Vb∞ (t), the impedance a (t) of the wiring pattern 70 can be expressed by using the equation (2).
a (t) = Vb∞ (t) × Z0 / (Va−Vb∞ (t)) (5)
It can be seen that

一方、プリント基板20が良品のとき、スルーホール22の抵抗値はほぼ0Ωとみなすことができる(R≒0)。このときの検出電圧をVb0(t)とすると、式(3)および(2)からそれぞれ、
Z1(t)=Vb0(t)×Z0/(Va−Vb0(t)) …(6)
b(t)=Z1(t)×a(t)/(a(t)−Z1(t)) …(7)
となる。したがって、式(5)および(6)で求めたa(t)およびZ1(t)を式(7)に代入することによって、配線パターン71のインピーダンスb(t)を計算することができる。
On the other hand, when the printed circuit board 20 is a non-defective product, the resistance value of the through hole 22 can be regarded as approximately 0Ω (R≈0). Assuming that the detection voltage at this time is Vb0 (t), from equations (3) and (2),
Z1 (t) = Vb0 (t) × Z0 / (Va−Vb0 (t)) (6)
b (t) = Z1 (t) × a (t) / (a (t) −Z1 (t)) (7)
It becomes. Therefore, the impedance b (t) of the wiring pattern 71 can be calculated by substituting a (t) and Z1 (t) obtained by the equations (5) and (6) into the equation (7).

以上によって、配線パターン70,71のインピーダンスa(t),b(t)が判明したので、任意に与えられたスルーホール22の抵抗値Rに対応する検出電圧Vb(t)を式(2)および(3)によって計算することができる。   Thus, since the impedances a (t) and b (t) of the wiring patterns 70 and 71 are found, the detection voltage Vb (t) corresponding to the arbitrarily given resistance value R of the through hole 22 is expressed by the equation (2). And (3).

上記において、スルーホール22が完全に断線したときの検出電圧Vb∞(t)は、ICパッケージ10を取り外したときの検出電圧Vb(t)で代用できる。スルーホール22とICパッケージ10のはんだ接続部11とは、TDR測定の分解能の範囲内に位置しているので、TDR法によって検出される波形に大きな差がないからである。   In the above description, the detection voltage Vb∞ (t) when the through hole 22 is completely disconnected can be substituted with the detection voltage Vb (t) when the IC package 10 is removed. This is because the through hole 22 and the solder connection part 11 of the IC package 10 are located within the resolution range of the TDR measurement, so that there is no significant difference in the waveform detected by the TDR method.

図11は、良品のプリント基板の場合のTDRの測定波形80と、スルーホールの完全断線時のTDR測定波形81とから合成された合成波形82の例を示す図である。   FIG. 11 is a diagram showing an example of a combined waveform 82 synthesized from a TDR measurement waveform 80 in the case of a non-defective printed circuit board and a TDR measurement waveform 81 when the through-hole is completely disconnected.

図11を参照して、時刻t0にステップ電圧がプリント基板に出力され、時刻t1にスルーホールからの反射が観測されるとする。良品のプリント基板の場合のTDRの測定波形80と、スルーホールの完全断線時のTDRの測定波形81とから、与えられたスルーホールの抵抗値Rに対応するTDR波形82が合成される。スルーホールの完全断線時の測定波形81は、近接するBGAパッケージを取り外したときのTDR測定波形によって代用できる。   Referring to FIG. 11, it is assumed that a step voltage is output to the printed circuit board at time t0 and reflection from the through hole is observed at time t1. A TDR waveform 82 corresponding to a given through-hole resistance value R is synthesized from a TDR measurement waveform 80 in the case of a non-defective printed circuit board and a TDR measurement waveform 81 when the through-hole is completely disconnected. The measurement waveform 81 when the through-hole is completely disconnected can be substituted by the TDR measurement waveform when the adjacent BGA package is removed.

実際に、断線箇所がスルーホールか、それとも近接するBGAパッケージのはんだ接続部かを特定するためには、スルーホールの抵抗値Rを種々変化させて、各抵抗値Rに対応するTDR波形を合成する。合成した各抵抗値Rに対応するTDR波形と導電性物質注入後のTDR測定波形とを比較することにより、時刻t1の近傍における導電性物質注入後のTDR測定波形が、合成したTDR波形のいずれかに所定の乖離幅以内で一致しているか否かを判定する。乖離が小さければスルーホールが断線していると判定することができる。一方、導電性物質を注入してもTDR測定波形がほとんど変化しない場合には、はんだ接続部が断線していると判定できる。反射波形の比較は電圧波形で行ってもよいし、インピーダンス波形に変換して行ってもよい。   Actually, in order to specify whether the disconnection point is a through hole or a solder connection part of an adjacent BGA package, the resistance value R of the through hole is changed variously and a TDR waveform corresponding to each resistance value R is synthesized. To do. By comparing the TDR waveform corresponding to each synthesized resistance value R with the TDR measurement waveform after the injection of the conductive material, the TDR measurement waveform after the injection of the conductive material in the vicinity of time t1 can be obtained from any of the synthesized TDR waveforms. It is determined whether or not they match within a predetermined gap. If the deviation is small, it can be determined that the through hole is disconnected. On the other hand, if the TDR measurement waveform hardly changes even when the conductive material is injected, it can be determined that the solder connection portion is disconnected. The comparison of the reflected waveform may be performed using a voltage waveform, or may be performed by converting the impedance waveform into an impedance waveform.

なお、断線したスルーホールに導電性物質を注入しても元の非断線状態のスルーホールの抵抗値まで完全に戻らないことに注意すべきである。このため、各抵抗値Rに対応するTDR波形を合成して、合成したTDR波形と導電性物質の注入後のTDR測定波形と比較する必要がある。   It should be noted that even if a conductive material is injected into the disconnected through-hole, the resistance value of the original non-disconnected through-hole is not completely restored. For this reason, it is necessary to synthesize a TDR waveform corresponding to each resistance value R and compare the synthesized TDR waveform with the TDR measurement waveform after the injection of the conductive material.

さらに、実施の形態1で説明したように、電圧波形またはインピーダンス波形の微分波形を利用すれば、断線箇所の特定が容易になる。導電性物質を過剰に注入しためにスルーホールが他の回路と短絡した場合には、波形の傾向(微分波形)が全く異なるからである。   Further, as described in the first embodiment, the use of the differential waveform of the voltage waveform or the impedance waveform makes it easy to identify the disconnection location. This is because the waveform tendency (differential waveform) is completely different when the through hole is short-circuited with another circuit due to excessive injection of the conductive material.

[プリント基板の検査手順]
図12は、実施の形態2によるプリント基板の検査手順を示すフローチャートである。図12の検査手順では、図7のステップS100とS110との間にステップS105が実行され、ステップS155に代えてステップS160およびS165が実行される。その他のステップは図7と共通するので、同一の参照符号(ステップ番号)を付して説明を繰り返さない場合がある。
[PC board inspection procedure]
FIG. 12 is a flowchart showing a printed circuit board inspection procedure according to the second embodiment. In the inspection procedure of FIG. 12, step S105 is executed between steps S100 and S110 of FIG. 7, and steps S160 and S165 are executed instead of step S155. Since the other steps are the same as those in FIG. 7, the same reference numerals (step numbers) may be attached and the description may not be repeated.

図1、図2および図12を参照して、まず、ステップS100において、TDR測定機40によって多数の良品の参照用プリント基板に対してTDR測定が予め実行され、測定された反射波の波形の平均値が参照用波形Aとして記憶部52に記憶される(ステップS100)。記憶部52には、参照用波形Aに対応するインピーダンス波形およびそれらの微分波形も記憶されている。   With reference to FIG. 1, FIG. 2 and FIG. 12, first, in step S100, TDR measurement is performed in advance on a number of non-defective reference printed boards by the TDR measuring device 40, and the waveform of the reflected wave thus measured is measured. The average value is stored in the storage unit 52 as the reference waveform A (step S100). The storage unit 52 also stores an impedance waveform corresponding to the reference waveform A and a differential waveform thereof.

次のステップS105では、参照用プリント基板からBGAパッケージ10を取り外したものについて、TDR測定機40によってTDR測定が実行される(実際には、BGAパッケージ10の実装前でありかつその他の部品の実装後の状態でTDR測定が行われる)。測定された反射波の波形の平均値が参照用波形Bとして記憶部52に記憶される。記憶部52には、参照用波形Bに対応するインピーダンス波形およびそれらの微分波形も記憶されている。   In the next step S105, TDR measurement is performed by the TDR measuring device 40 with respect to the BGA package 10 removed from the reference printed circuit board (actually, before the BGA package 10 is mounted and other components are mounted). TDR measurement is performed in a later state). The average value of the measured waveform of the reflected wave is stored in the storage unit 52 as the reference waveform B. The storage unit 52 also stores an impedance waveform corresponding to the reference waveform B and a differential waveform thereof.

続くステップS110〜S150は図7の場合と同じである。ステップS160において、コンピュータ50の判定部51は、参照用波形A,Bに基づいて、式(2)〜(7)で説明したように複数のスルーホールの抵抗値Rにそれぞれ対応するTDR波形を合成する。合成した波形は記憶部52に記憶される。なお、ステップS160は、ステップS105の後であればいつでも実行することできる。   Subsequent steps S110 to S150 are the same as those in FIG. In step S160, the determination unit 51 of the computer 50 generates TDR waveforms respectively corresponding to the resistance values R of the plurality of through holes based on the reference waveforms A and B as described in the equations (2) to (7). Synthesize. The synthesized waveform is stored in the storage unit 52. Note that step S160 can be executed any time after step S105.

次のステップS165で、コンピュータ50の判定部51は、導電性物質注入後の検査用プリント基板のTDR測定波形と、合成した複数のTDR波形とを比較する。この結果、判定部51は、スルーホール22からの反射が観測される時刻t1付近における導電性物質注入後のTDR測定波形が、合成したTDR波形のいずれかに所定の乖離幅以内で一致している場合には、スルーホール22が断線していると判定する。一方、判定部51は、時刻t1付近における導電性物質注入後のTDR測定波形が、注入前のTDR測定波形と所定の乖離幅以内で変化していない場合には、BGAパッケージ10のはんだ接続部11が断線していると判定する。   In the next step S165, the determination unit 51 of the computer 50 compares the TDR measurement waveform of the printed circuit board for inspection after injecting the conductive material with the plurality of synthesized TDR waveforms. As a result, the determination unit 51 confirms that the TDR measurement waveform after injecting the conductive material in the vicinity of time t1 at which reflection from the through hole 22 is observed matches any of the synthesized TDR waveforms within a predetermined deviation width. If it is, it is determined that the through hole 22 is disconnected. On the other hand, when the TDR measurement waveform after the injection of the conductive material in the vicinity of time t1 does not change within a predetermined deviation from the TDR measurement waveform before the injection, the determination unit 51 determines the solder connection portion of the BGA package 10. It is determined that 11 is disconnected.

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものでないと考えられるべきである。この発明の範囲は上記した説明ではなくて請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。   The embodiment disclosed this time must be considered as illustrative in all points and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.

1 プリント基板検査装置、10 ICパッケージ、11 はんだボール(はんだ接続部)、20 プリント基板、22,22A,22B スルーホール、32 プローブ、70,71 配線パターン、37 高周波ケーブル、40 TDR測定機、41 信号発生器、46 オシロスコープ、50 コンピュータ、51 判定部、52 記憶部、53 測定制御部、60 細針注射器、61 導電性物質、62 導電性ゲル。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Printed circuit board inspection apparatus, 10 IC package, 11 Solder ball (solder connection part), 20 Printed circuit board, 22, 22A, 22B Through hole, 32 Probe, 70, 71 Wiring pattern, 37 High frequency cable, 40 TDR measuring machine, 41 Signal generator, 46 oscilloscope, 50 computer, 51 determination unit, 52 storage unit, 53 measurement control unit, 60 fine needle syringe, 61 conductive substance, 62 conductive gel.

Claims (6)

プリント基板の検査方法であって、
前記プリント基板は、
スルーホールを含む配線パターンと、
前記スルーホールを覆うように前記配線パターンに接続された電子部品とを含み、
前記スルーホールと前記電子部品の接続部とは、TDR(Time Domain Reflectometry)法の分解能の範囲内にあり、
TDR法によって前記プリント基板を測定する第1の測定ステップと、
前記第1の測定ステップの測定結果に基づいて、前記プリント基板に断線が生じているか否かを判定する第1の判定ステップと、
前記第1の判定ステップによって、前記スルーホールおよび前記電子部品の接続部のいずれか一方で断線していると判定された場合に、前記スルーホールに導電性物質を注入するステップと、
前記導電性物質の注入後に、TDR法によって前記プリント基板の前記スルーホールおよび前記電子部品の接続部を再測定する第2の測定ステップと、
前記第2の測定ステップの測定結果に基づいて、前記スルーホールおよび前記電子部品の接続部のどちらが断線しているかを判定する第2の判定ステップとを備える、プリント基板の検査方法。
A method for inspecting a printed circuit board,
The printed circuit board is
A wiring pattern including a through hole;
An electronic component connected to the wiring pattern so as to cover the through hole,
The through hole and the connection part of the electronic component are within the resolution range of the TDR (Time Domain Reflectometry) method,
A first measurement step of measuring the printed circuit board by a TDR method;
A first determination step of determining whether or not a break has occurred in the printed circuit board based on the measurement result of the first measurement step;
A step of injecting a conductive material into the through hole when it is determined by the first determination step that one of the through hole and the connection part of the electronic component is disconnected; and
A second measurement step of re-measuring the through hole of the printed circuit board and the connection part of the electronic component by a TDR method after the injection of the conductive material;
A printed circuit board inspection method comprising: a second determination step of determining which of the through hole and the connection part of the electronic component is disconnected based on a measurement result of the second measurement step.
前記第1および第2の測定ステップの各々は、
信号生成器で生成したステップ電圧を、プローブを介して前記配線パターンに印加するステップと、
前記プリント基板から反射された前記ステップ電圧を、前記プローブを介して検出するステップとを含む、請求項1に記載のプリント基板の検査方法。
Each of the first and second measurement steps includes:
Applying a step voltage generated by a signal generator to the wiring pattern via a probe;
The printed circuit board inspection method according to claim 1, further comprising: detecting the step voltage reflected from the printed circuit board through the probe.
前記第1の判定ステップは、
参照用プリント基板について予めTDR測定を行った結果と、検査用プリント基板での前記第1の測定ステップの測定結果とを比較し、ある検査部位からの反射が検出される第1の時刻までは、前記参照用プリント基板のインピーダンスと前記検査用プリント基板のインピーダンスとの差が第1の基準値以内であり、前記第1の時刻以降に前記検査用プリント基板のインピーダンスが前記第1の基準値を超えて増大している場合に、前記検査部位が断線していると判定するステップを含む、請求項2に記載のプリント基板の検査方法。
The first determination step includes
The result of the TDR measurement performed on the reference printed circuit board in advance and the measurement result of the first measurement step on the printed circuit board for inspection are compared until the first time when reflection from a certain inspection site is detected. The difference between the impedance of the reference printed circuit board and the impedance of the printed circuit board for inspection is within a first reference value, and the impedance of the printed circuit board for inspection is the first reference value after the first time. The method for inspecting a printed circuit board according to claim 2, comprising a step of determining that the inspection part is disconnected when the number of the inspection parts is larger than.
前記第2の判定ステップは、
前記スルーホールからの反射が検出される第2の時刻において、前記第1の測定ステップでの測定結果に基づく前記検査用プリント基板のインピーダンスと、前記第2の測定ステップでの測定結果に基づく前記検査用プリント基板のインピーダンスとの差が、第2の基準値以内の場合に前記電子部品の接続部が断線していると判定し、前記第2の測定ステップでの測定結果に基づく前記検査用プリント基板のインピーダンスが前記第2の基準値を超えて減少している場合に、前記スルーホールが断線していると判定するステップを含む、請求項3に記載のプリント基板の検査方法。
The second determination step includes
At a second time when reflection from the through hole is detected, the impedance of the printed circuit board for inspection based on the measurement result in the first measurement step and the measurement result in the second measurement step When the difference from the impedance of the printed circuit board for inspection is within the second reference value, it is determined that the connection part of the electronic component is disconnected, and the inspection based on the measurement result in the second measurement step The printed circuit board inspection method according to claim 3, further comprising a step of determining that the through hole is disconnected when an impedance of the printed circuit board decreases beyond the second reference value.
前記第2の判定ステップは、
TDR測定によって参照用プリント基板から検出された反射波形と、前記電子部品が接続されていない参照用プリント基板からTDR測定によって検出された反射波形とに基づいて、前記スルーホールの抵抗値を複数仮定した場合における、各抵抗値に対応する複数の反射波形を合成するステップと、
前記第2の測定ステップで検出された反射波形と合成された複数の反射波形との比較に基づいて、前記スルーホールと前記電子部品の接続部とのどちらで断線が生じているかを判定するステップとを含む、請求項3に記載のプリント基板の検査方法。
The second determination step includes
A plurality of resistance values of the through holes are assumed based on a reflection waveform detected from the reference printed circuit board by TDR measurement and a reflection waveform detected by the TDR measurement from the reference printed circuit board not connected to the electronic component. A step of synthesizing a plurality of reflected waveforms corresponding to each resistance value,
A step of determining whether a disconnection occurs in the through hole or the connection part of the electronic component based on a comparison between the reflected waveform detected in the second measuring step and a plurality of synthesized reflected waveforms. The printed circuit board inspection method according to claim 3, further comprising:
前記第2の判定ステップは、さらに、
前記第2の測定ステップでの測定結果に基づく反射波の微分波形またはインピーダンスの微分波形と、前記参照用プリント基板に対するTDR測定結果に基づく反射波の微分波形またはインピーダンスの微分波形とを比較することにより、前記導電性物質が過剰に充填されているか否かを判定するステップを含む、請求項4または5に記載のプリント基板の検査方法。
The second determination step further includes:
Comparing the differential waveform of the reflected wave or the differential waveform of the impedance based on the measurement result in the second measurement step with the differential waveform of the reflected wave or the differential waveform of the impedance based on the TDR measurement result for the reference printed circuit board. The printed circuit board inspection method according to claim 4, further comprising: determining whether or not the conductive material is excessively filled.
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