JP2015005764A - 空間光変調ユニット、照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 光源からの光により被照射面を照明する照明光学系に用いられる空間光変調ユニットは、所定面内に配列されて個別に制御される複数の光学要素を有する空間光変調器と、光源から入射した光に空間的な光変調を付与して、複数の光学要素の要素毎にその位置に応じた強度レベルの光束を入射させる空間光変調素子と、複数の光学要素の各々に入射する光束の強度レベルに関する情報に基づいて複数の光学要素を個別に制御する制御部とを備えている。
【選択図】 図2
Description
所定面内に配列されて個別に制御される複数の光学要素を有する空間光変調器と、
前記光源から入射した光に空間的な光変調を付与して、前記複数の光学要素の要素毎にその位置に応じた強度レベルの光束を入射させる空間光変調素子と、
前記複数の光学要素の各々に入射する光束の強度レベルに関する情報に基づいて前記複数の光学要素を個別に制御する制御部とを備えていることを特徴とする空間光変調ユニットを提供する。
第1形態の空間光変調ユニットと、
前記空間光変調ユニットを経た光に基づいて、前記照明光学系の照明瞳に所定の光強度分布を形成する分布形成光学系とを備えていることを特徴とする照明光学系を提供する。
前記所定のパターンが転写された前記感光性基板を現像し、前記所定のパターンに対応する形状のマスク層を前記感光性基板の表面に形成する現像工程と、
前記マスク層を介して前記感光性基板の表面を加工する加工工程とを含むことを特徴とするデバイス製造方法を提供する。
前記複数の光学要素の各々には離散的な強度レベルの光束が入射し、該離散的な強度レベルに関する情報に基づいて前記複数の光学要素を個別に制御することを特徴とする制御方法を提供する。
第5形態の方法をコンピュータにより実行させることを特徴とする制御プログラムを提供する。
4000/(32×32×π/4)≒4.9 (1)
2 ビーム送光部
3,3A,3B 空間光変調ユニット
30 反射型の回折光学素子(空間光変調素子)
31 空間光変調器
32 制御部
4,6 リレー光学系
7 マイクロフライアイレンズ
8 コンデンサー光学系
9 マスクブラインド
10 結像光学系
DT 瞳強度分布計測部
CR 主制御系
M マスク
MS マスクステージ
PL 投影光学系
W ウェハ
WS ウェハステージ
Claims (1)
- 光源からの光により被照射面を照明する照明光学系に用いられる空間光変調ユニットであって、
所定面内に配列されて個別に制御される複数の光学要素を有する空間光変調器と、
前記光源から入射した光に空間的な光変調を付与して、前記複数の光学要素の要素毎にその位置に応じた強度レベルの光束を入射させる空間光変調素子と、
前記複数の光学要素の各々に入射する光束の強度レベルに関する情報に基づいて前記複数の光学要素を個別に制御する制御部とを備えていることを特徴とする空間光変調ユニット。
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