JP2015004673A - 干渉計 - Google Patents
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Abstract
Description
‐第2平板がさらに第1結像素子を備え、第1結像素子は、
‐少なくとも1つの第1格子レンズおよび第2格子レンズを備え、これら2つの格子レンズがいずれも第2平板の一方の面に配置されており、
‐第2平板の向かい合った面に配置された少なくとも1つの第1平面反射器を備え、第1平面反射器の反射面が第1および第2格子レンズの方向に向けられており、
‐第1結像素子に入射した測定用光線束の光線直径が第1結像素子を介して拡大され、
‐第1平板がさらに第2結像素子を備え、第2結像素子は、
‐少なくとも1つの第3格子レンズおよび第4格子レンズを備え、これら2つの格子レンズがいずれも第1平板の一方の面に配置されており、
‐第1平板の向かい合った面に配置された第2平面反射器を備え、第2平面反射器の反射面が第3および第4格子レンズの方向に向けられており、
‐第2結像素子に入射した測定用光線束の光線直径が第2結像素子を介して縮小される。
‐第1および第3格子レンズに入射した測定用光線束が第1および第3格子レンズを介してそれぞれ焦点を合わせられ、
‐第2および第4格子レンズに入射した測定用光線束が第2および第4格子レンズを介してそれぞれコリメートされる。
‐測定用光線束が、第1結像素子の通過後に中間平面で測定用反射器の方向に伝搬し、中間平面が、第1分割平面と1結合平面との間に配置されており、これらの平面に対して平行に配向されおり、
‐測定用光線束が、第2結像素子の通過後に第1結合平面を伝搬する。
23;PBS ビームスプリッタ
AE1 第1分割平面
AE2 第2分割平面
M,M1,M2 測定用光線束
R 参照用光線束
VE1 第1結合平面
VE2 第2結合平面
V 結合位置
VE 遅延ユニット
31;131;231 測定対象物
30;130;230;MR 測定用反射器
MR 測定用反射器
RR2;RR 参照用逆反射器
40;DET 検出装置
21;121;221;P1 第1平板
22;122;222;P2 第2平板
S1 第1光線束
S2 第2光線束
T1 第1結像素子
T2 第2結像素子
L1 第1格子レンズ
L2 第2格子レンズ
PR1 第1平面反射器
PR2 第2平面反射器
PR3 第3平面反射器
ZE 中間平面
Claims (13)
- 干渉計において、
光源(10;LQ)と、
ビームスプリッタ(23;PBS)であって、前記光源(10;LQ)から放出された第1光線束を少なくとも1つの測定用光線束(M;M1,M2)と少なくとも1つの参照用光線束(R)とに分割し、前記両光線束にわたって第1分割平面(AE1)が拡がっており、第1結合平面(VE1)の結合位置(V)で再結合されるまで、前記測定用光線束(M;M1,M2)が測定用アーム内を伝搬し、前記参照用光線束(R)が参照用アーム内を伝搬し、前記第1結合平面(VE1)が前記第1分割平面(AE1)に対して平行に配向されているビームスプリッタと、
測定用アーム内に配置されており、測定方向(y)に沿って移動する測定対象物(31;131;231)に結合された測定用反射器(30;130;230;MR)であって、前記測定用光線束(M;M1,M2)が、前記測定用反射器(30;130;230;MR)に少なくとも2回垂直方向に入射する測定用反射器と、
前記参照用アーム内に配置された参照用逆反射器(RR2;RR)であって、前記参照用光線前記束(R)が前記参照用逆反射器(RR2;RR)に少なくとも1回入射する参照用逆反射器と、
結合位置(V)で重ね合わされた干渉する測定用光線束および参照用光線束(M;M1,M2;R)から、前記測定対象物(31;131;231)の位置に関する少なくとも1つの距離信号を検出可能である検出装置(40;DET)と、
前記光源(10;LQ)と前記検出装置(40;DET)との間の光路に互いに平行に配置された透明な第1平板(21;121;221;P1)および透明な第2平板(22;122;222;P2)であって、前記測定用反射器(30;130;230;MR)が、2つの前記平板(21;121;221;P1;22;122;222;P2)に対して測定方向(y)に沿って移動可能に配置されており、
前記第1平板(21;121;221;P1)には前記参照用逆反射器(RR2;RR)が形成されており、
前記第2平板(22;122;222;P2)には前記ビームスプリッタ(23;PBS)が配置されている、透明な第1平板および透明な第2平板と、
を備える干渉計。 - 請求項1に記載の干渉計において、
前記参照用逆反射器(RR2;RR)が、前記第1平板(21;121;221;P1)に回折逆反射器として形成されており、前記第1平板(21;121;221;P1)の一方の面に配置された少なくとも1つの格子レンズと、前記第1平板(21;121;221;P1)の向かい合った面に配置された少なくとも1つの平面反射器とを含み、該平面反射器の反射面が前記格子レンズの方向に向けられており、少なくとも1つの格子レンズを介して、該格子レンズに入射した前記参照用光線束(R)が偏光され、平面反射器に焦点を合わせられる干渉計。 - 請求項1に記載の干渉計において、
前記第1平板(21;121;221;P1)が、さらに少なくとも1つの遅延ユニット(VE)を備え、該遅延ユニットに沿って参照用光線束(R)が伝搬し、前記遅延ユニット(VE)が、前記第1平板(21;121;221;P1)の向かい合った面に配置された少なくとも2つの平面反射器を含み、前記平面反射器の反射面が、それぞれ前記第1平板(21;121;221;P1)の向かい合った面の方向に向けられている干渉計。 - 請求項3に記載の干渉計において、
前記第1平板(21;121;221;P1)で前記参照用光線束(R)を通過する少なくとも1つの前記遅延ユニット(VE)が、前記参照用光線束(R)および前記測定用光線束(M;M1,M2)が分割と再結合との間に2つの前記平板(21;121;221;P1;22;122;222;P2)における同一の経路を通過するように形成されている干渉計。 - 請求項1に記載の干渉計において、
前記第2平板(22;122;222;P2)の前記ビームスプリッタ(23;PBS)が、前記第2平板(22;122;222;P2)の第1面に配置された偏光光学的なビームスプリッタ層として形成されており、前記第1面が前記第1平板(21;121;221;P1)の方向に向けられている干渉計。 - 請求項1に記載の干渉計において、
さらに回折逆反射器の形態の少なくとも1つの測定用逆反射器(RR1)が、前記第2平板(22;122;222;P2)に形成されており、該第2平板(22;122;222;P2)の一方の面に配置された少なくとも1つの格子レンズと、前記第2平板(22;122;222;P2)の向かい合った面に配置された少なくとも1つの平面反射器とを含み、該平面反射器の反射面が、格子レンズの方向に向けられており、前記格子レンズに入射する前記測定用光線束(M;M1,M2)が格子レンズを介して偏向され、平面反射器に焦点を合わせられる干渉計。 - 請求項1から6までのいずれか一項に記載の干渉計において、
前記第1分割平面(AE1)に対して垂直方向に離間して少なくとも1つの第2光線束(S2)が第2分割平面(AE2)で前記第1平板(121)に入射し、
2つの前記平板(121;122)が、他の領域では、第2光線束(S2)に関して前記第2分割平面(AE2)および第2結合平面(VE2)で、前記第1分割平面(AE1)および前記第1結合平面(VE1)の場合と同一の光路が生じ、さらに前記測定方向(y)に沿って前記測定対象物(30;131;231)の移動に関する第2距離信号が生成可能であるように形成されている干渉計。 - 請求項1から6までのいずれか一項に記載の干渉計において、
前記第1分割平面(AE1)で第1光線束(S1)に対して離間して少なくとも1つの第2光線束(S2)が前記第1平板(221)に入射し、
2つの前記平板(221;222)が、他の領域では、第2光線束(S2)に関して、前記第1分割平面(AE1)および前記第1結合平面(VE1)で、第1光線束(S1)の場合と同一の光路が生じ、さらに前記測定方向(y)に沿った前記測定対象物(131)の移動に関する第2距離信号が生成可能であるように形成されている干渉計。 - 請求項1に記載の干渉計において、
前記第2平板(P2)がさらに第1結像素子(T1)を備え、該第1結像素子が、
いずれも前記第2平板(22;122;222;P2)の一方の面に配置された少なくとも1つの第1格子レンズ(L1)および第2格子レンズ(L2)と、
前記第2平板(P2)の向かい合った面に配置され、反射面が前記第1および第2格子レンズ(L1,L2)の方向に向けられた少なくとも1つの第1平面反射器(RR1)と、
を備え、
前記第1結像素子(T1)を介して、該第1結像素子に入射した測定用光線束(M)の光線直径が拡大され、
前記第1平板(P1)がさらに第2結像素子(T2)を備え、該第2結像素子が、
いずれも前記第1平板の一方の面に配置された少なくとも1つの第3格子レンズおよび第4格子レンズと、
前記第1平板(P1)の向かい合った面に配置され、反射面が前記第3および第4回折格子レンズの方向に向けられた第2平面反射器と、
を備え、
前記第2結像素子(T2)を介して、該第2結像素子に入射した測定用光線束(M)の光線直径が縮小される干渉計。 - 請求項9に記載の干渉計において、
第1および第3格子レンズ(L1)を介して、該格子レンズに入射した前記測定用光線束(M)がそれぞれ焦点を合わせられ、
第2および第4格子レンズ(L2)を介して、該格子レンズに入射した前記測定用光線束(M)がそれぞれコリメートされる干渉計。 - 請求項10に記載の干渉計において、
前記測定用光線束(M)が、前記第1結像素子(T1)の通過後に中間平面(ZE)で測定用反射器(MR)の方向に伝搬し、前記中間平面(ZE)が前記第1分割平面(AE1)と前記第1結合平面(VE1)との間に配置されており、前記両平面に対して平行に配向されおり、
前記測定用光線束(M)が、前記第2結像素子(T2)の通過後に前記第1結合平面(VE1)を伝搬する干渉計。 - 請求項11に記載の干渉計において、
前記第1平板(P1)の前記参照用逆反射器(RR)が回折逆反射器として形成されており、前記第1平板(P1)の一方の面に配置された2つの格子レンズ(L1,L2)ならびに1つの平面反射器(PR2)、および前記第1平板(P1)の向かい合った面に配置された2つの平面反射器(PR1,PR3)を含み、前記平面反射器(PR1,PR2,PR3)の反射面が、それぞれ向かい合った面に向けられており、これにより、前記第1分割平面(AE1)では、前記第1平板(P1)に入射した前記参照用光線束(R)がまず前記第1平板(P1)の光学的に無効な領域を通過し、前記第1格子レンズ(L1)に入射し、該第1格子レンズを介して、前記参照用光線束(R)が、向かい合った第1平面反射器(PR1)の方向に偏向され、該第1平面反射器(PR1)によって、前記中間平面(ZE)で、前記参照用光線束(R)が、向かい合った第2平面反射器(PR2)の方向に偏向され、前記第2平面反射器(PR2)によって、前記参照用光線束(R)が、向かい合った第3平面反射器(PR3)の方向に偏向され、前記第3平面反射器(PR3)によって、前記参照用光線束(R)が、前記第1結合平面(VE1)で前記第2格子レンズ(L2)の方向に偏向される干渉計。 - 請求項2、8または12のいずれか一項に記載の干渉計において、
使用される格子レンズがそれぞれ反射格子レンズとして形成されている干渉計。
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