JP2015004561A - 静電容量式レベルセンサ - Google Patents

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Abstract

【課題】液位の変化及び温度の変化によらず誘電率をより正確に検出すると共に、構成の複雑化を抑制することが可能な静電容量式レベルセンサを提供する。
【解決手段】静電容量式レベルセンサ1は、タンク上下方向に沿って設けられた対向する電極11a,11bからなる液位検出部11と、当該液位検出部11の静電容量に応じて液面レベルを検出する検出回路20と、液体の誘電率を検出すべくタンク底部に設けられた誘電率センサ12aと、タンク上下方向に沿って設けられ、タンク上部側に設けられる検出回路20から誘電率センサ12aまでを接続する第1配線12bと、検出回路20からタンクの下方に向かって第1配線12bと略平行に設けられた第2配線14とを備える。
【選択図】図1

Description

本発明は、静電容量式レベルセンサに関する。
従来、タンク内の液面レベルを検出する液面レベルセンサが提案されている。このような液面レベルセンサには、タンク上下方向に伸びる対向する一対の電極を備え、液面レベルに応じて一対の電極の静電容量が変化することを利用して液面レベルを検出する静電容量式レベルセンサが提案されている。
また、静電容量式レベルセンサでは、液体の誘電率を検出するために誘電率センサが設けられている。この誘電率センサは、タンク内の液体が少量であっても液体が浸漬されるようタンク底面に設置されている。しかし、静電容量に基づいて液面レベルを検出する検出回路がタンク上部側に設置されている場合、検出回路から誘電率センサが設けられるタンク底面まで配線を通す必要があり、配線自身も液位に応じて静電容量が変化することから、正確に誘電率を検出できなくなってしまう。
そこで、誘電率を正確に検出すべく参照電極の周囲をシールド電極とシールド層とで覆った静電容量式レベルセンサが提案されている。この静電容量式レベルセンサは、タンク上部から下方に向かって伸びる参照電極を設けると共に、この参照電極の先端(すなわち下部側)のみを露出させ、残部をシールド電極とシールド層とで覆う構成としている。これにより、露出する参照電極の先端と駆動電極とで容量素子を形成し、液体の誘電率を測定することとしている。
特開2005−172757号公報
しかし、特許文献1に記載の静電容量式レベルセンサでは、参照電極の全周にシールド電極やシールド層を設けなければならず、構成が複雑となってしまう。さらに、参照電極の全周がシールド電極やシールド層で覆われる関係上、初期的に持つ静電容量が大きくなる。このため、基板の誘電率温度特性による静電容量の変化が大きくなり検出誤差が大きくなってしまう。
本発明はこのような従来の課題を解決するためになされたものであり、その発明の目的とするところは、液位の変化及び温度の変化によらず誘電率をより正確に検出すると共に、構成の複雑化を抑制することが可能な静電容量式レベルセンサを提供することにある。
本発明の静電容量式レベルセンサは、タンク上下方向に沿って設けられた対向する電極からなる液位検出部と、前記タンク上部側に設けられ当該液位検出部の静電容量に応じて液面レベルを検出する検出回路とを備えた静電容量式レベルセンサであって、液体の誘電率を検出すべく前記タンク底部に設けられた誘電率センサと、前記タンク上下方向に沿って設けられ、前記検出回路から前記誘電率センサまでを接続する第1配線と、前記検出回路から前記タンクの下方に向かって前記第1配線と略平行に設けられた第2配線と、を備えることを特徴とする。
この静電容量式レベルセンサによれば、タンク上下方向に沿って設けられ、タンク上部側に設けられる検出回路から誘電率センサまでを接続する第1配線と、検出回路からタンクの下方に向かって第1配線と略平行に設けられた第2配線とを備えるため、第1配線を通じて誘電率センサの静電容量を検出し、この静電容量から第2配線による静電容量を差し引くことにより、第1配線の液位による静電容量の変化、及び、基板の温度による静電容量の変化をキャンセルすることとなる。よって、誘電率センサによる静電容量の検出精度を高めて、液体の誘電率をより正確にすることができる。また、キャンセルするにあたり第1配線に略平行に第2配線を設けるだけでよいことから、1つの電極の全周をシールド層やシールド電極で覆う必要がなく、構成の複雑化についても抑制することができる。従って、液位の変化及び温度の変化によらず誘電率をより正確に検出すると共に、構成の複雑化を抑制することができる。
また、本発明の静電容量式レベルセンサにおいて、前記液位検出部、前記第1配線及び前記第2配線を覆う絶縁部をさらに備え、前記第1配線及び前記第2配線を覆う前記絶縁部は、前記液位検出部を覆う絶縁部よりも厚く形成されていることが好ましい。
この静電容量式レベルセンサによれば、第1配線及び第2配線を覆う絶縁部は、液位検出部を覆う絶縁部よりも厚く形成されている。ここで、液位の傾き、及び不均一な結露や液濡れがあった場合には、第1配線と第2配線との静電容量が異なってしまいキャンセル効果が低減されてしまうが、絶縁部を厚くしておくことにより液位の傾き、及び不均一な結露や液濡れがあった場合における第1配線と第2配線との静電容量の差を少なくすることができる。従って、キャンセル効果の低下を抑制することができる。
また、本発明の静電容量式レベルセンサにおいて、前記第1配線及び前記第2配線の一方をグランド接続する信号切替部をさらに備え、前記第1配線と前記第2配線との間の距離は、前記第1配線及び前記第2配線と前記液位検出部との間の距離よりも短くされていることが好ましい。
この静電容量式レベルセンサによれば、第1配線及び第2配線の一方をグランド接続する信号切替部をさらに備え、第1配線と第2配線との間の距離は、第1配線及び第2配線と液位検出部との間の距離よりも短くされている。このため、計測に使用しない第1配線及び第2配線の一方をグランド接続することにより、第1配線と第2配線との静電結合が、第1配線及び第2配線と液位検出部の電極との静電結合よりも支配的となり、キャンセル効果の低下を抑制することができる。
本発明によれば、液位の変化及び温度の変化によらず誘電率をより正確に検出すると共に、構成の複雑化を抑制することが可能な静電容量式レベルセンサを提供することができる。
本発明の実施形態に係る静電容量式レベルセンサを示す構成図である。 図1に示したA−A断面図である。 本実施形態に係る静電容量式レベルセンサの液位検出方法を示すフローチャートである。 本実施形態に係る静電容量式レベルセンサの等価回路を示す図である。 液位と静電容量との相関を示す図である。 液位が傾いた場合を示す概略図である。 本実施形態に係る静電結合状態を示す概念図である。
以下、本発明の好適な実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下、実施形態に基づいて本発明を説明するが、本発明は該実施の形態に限られるものではない。
図1は、本発明の実施形態に係る静電容量式レベルセンサを示す構成図である。図1に示すように、静電容量式レベルセンサ1は、タンク内の液面レベル(液位)を検出するものであって、センサ部10と、検出回路20とを備えている。センサ部10は、液位に応じた信号を出力するものであって、液位検出部11と、誘電率センサ部12と、これらが形成される基板13とを備えている。
液位検出部11は、タンク上下方向に沿って設けられた駆動電極11aと、タンク上下方向に沿って設けられ駆動電極11aと対向して配置される測定電極11bとを備えている。このうち、駆動電極11aには所定の駆動用の交流信号が入力される。また、駆動電極11aと測定電極11bとは、図1に示すように互いに櫛歯形状とされており、互いの櫛歯が噛み合うように配置されている。
ここで、駆動電極11aと測定電極11bとは互いに容量素子を形成することとなる。また、液体の誘電率は空気の誘電率よりも十分に大きい。このため、駆動電極11aと測定電極11bとからなる容量素子の静電容量は液位が高くなるほど大きくなる。検出回路20は、このような傾向からタンク内の液位を検出することとなる。
誘電率センサ部12は、液体の誘電率を検出すべくタンク底部に設けられた誘電率センサ12aと、タンク上下方向に沿って設けられ、タンク上部側に設けられる検出回路20から誘電率センサ12aまでを接続する第1配線12bとを備えている。
誘電率センサ12aは、対向する電極によって構成され、図1に示すように基板13が90度に折り曲げられた折り曲げ部13aに設けられている。また、誘電率センサ12aの電極は、折り曲げ部13aに設けられることから、タンク上下方向と直行するタンク平面方向に沿って設けられることとなる。さらに、誘電率センサ12aの電極は、液位検出部11と同様に互いに櫛歯形状とされており噛み合うように配置されている。
また、誘電率センサ12aを構成する一方の電極は、液位検出部11の駆動電極11aと連続しており、所定の駆動用の交流信号が入力される。第1配線12bは、誘電率センサ12aの他方の電極と検出回路20とを接続するものであり、一端が他の配線等を介して検出回路20と接続され、他端が誘電率センサ12aの他方の電極に接続されている。また、第1配線12bは、液位検出部11と一定の距離を隔てて略平行に配置されている。
検出回路20は、静電容量計測部21と、演算部22とを備えている。静電容量計測部21は、液位検出部11及び誘電率センサ12aの静電容量を計測するものである。演算部22は、これらの静電容量に基づいて、タンク内の液位を検出するものである。
より詳細に検出回路20は、液位検出部11の駆動電極11a及び誘電率センサ12aの一方の電極に、所定の駆動用の交流信号を入力する。次いで、静電容量計測部21は、誘電率センサ12aの静電容量を検出し、演算部22は、誘電率センサ12aの静電容量から液体の誘電率を検出する。
次に、静電容量計測部21は、液位検出部11の静電容量を検出する。そして、演算部22は、液体の誘電率と液位検出部11の静電容量とからタンク内の液位を検出することとなる。
さらに、本実施形態に係る静電容量式レベルセンサ1は、センサ部10に第2配線14を備えている。第2配線14は基板13上に形成され、検出回路20からタンクの下方に向かって第1配線12bと略平行に隣接して設けられている。この第2配線14の一端は他の配線等を介して検出回路20と接続され、他端はタンクの底面近傍まで伸びており、その長さは第1配線12bと略同一である。
図2は、図1に示したA−A断面図である。図2に示すように、第1配線12bと第2配線14との間の距離L1は、第1配線12b及び第2配線14と液位検出部11との間の距離L2,L3(より詳細には所定の駆動用の交流信号が入力される電極との距離であって本実施形態では駆動電極11aとの距離)よりも短くなっている。
さらに、本実施形態に係る静電容量式レベルセンサ1は、図1に示すように、検出回路20に信号切替部23を備えている。信号切替部23は、第1配線12b及び第2配線14の一方をグランド接続するものである。
また、図2に示すように、基板13には液位検出部11並びに第1及び第2配線12b,14のパターンが形成され、このパターンを覆うように絶縁部15が形成されている。また、図2からも明らかなように、第1配線12b及び第2配線14を覆う絶縁部15aは、液位検出部11を覆う絶縁部15bよりも厚く形成されている。すなわち絶縁部15aは、基板平面に直交する方向に、絶縁部15bよりも厚く形成されている。
次に、本実施形態に係る静電容量式レベルセンサ1の液位検出方法を詳細に説明する。図3は、本実施形態に係る静電容量式レベルセンサ1の液位検出方法を示すフローチャートである。まず、信号切替部23は、第2配線14をグランド接続する(S1)。
そして、静電容量計測部21は誘電率センサ12aの静電容量を検出する(S2)。次いで、信号切替部23は、第1配線12bをグランド接続する(S3)。そして、静電容量計測部21は、第2配線14の静電容量を検出する(S4)。
その後、静電容量計測部21は、ステップS2にて検出した静電容量から、ステップS4にて検出した静電容量を減算する(S5)。次いで、演算部22は、ステップS5における静電容量から、液体の誘電率を演算する(S6)。
次に、静電容量計測部21は、液位検出部11の静電容量を検出し(S7)、演算部22は、ステップS7にて検出した静電容量と、ステップS6にて演算した誘電率とに基づいて、液位を検出する(S8)。そして、図3に示す動作は終了することとなる。
次に、本実施形態に係る静電容量式レベルセンサ1の作用を説明する。本実施形態に係る静電容量式レベルセンサ1は上記構成且つ上記動作によって以下の作用を奏する。図4は、本実施形態に係る静電容量式レベルセンサ1の等価回路を示す図である。
図4に示すように静電容量に着目した等価回路は、検出回路20に接続される複数のコンデンサC1〜C4によって構成されている。ここで、第1コンデンサC1は液位検出部11に相当し、第2コンデンサC2は誘電率センサ12aに相当する。また、第2コンデンサC2と並列接続される第3コンデンサC3は第1配線12bに相当し、第4コンデンサC4は第2配線14に相当する。
この等価回路から明らかなように、図3のステップS2にて検出される静電容量は、実際には誘電率センサ12aの静電容量と第1配線12bの静電容量との合算となってしまう。ここで、第1配線12bの静電容量は液位変化や基板13の温度変化に応じて変化してしまうため、誘電率センサ12aの静電容量を正確に検出することができず、液体の誘電率の検出精度低下を招いてしまう。
そこで、本実施形態に係る静電容量式レベルセンサ1では第2配線14を備え、図3に示したステップS4において第2配線14の静電容量を検出し、ステップS5においてステップS2にて検出した静電容量から減算することとしている。ここで、第1配線12bの静電容量と第2配線14の静電容量とは略同じと想定されることから、図4の等価回路に示すように、第2及び第3コンデンサC2,C3の静電容量の合算から第4コンデンサC4の静電容量を減算することにより、誘電率センサ12aの静電容量のみを計測することが可能となる。すなわち、図4に示す破線で囲まれる第3コンデンサC3の静電容量が第4コンデンサC4の静電容量によりキャンセルされることなり、誘電率センサ12aの静電容量のみを計測することが可能となる。よって、液位変化や基板13の温度変化に左右されることなく、誘電率センサ12aの静電容量を正確に検出して、液体の誘電率の検出精度を高めることができる。
図5は、液位と静電容量との相関を示す図である。図5に示すように、第1配線12bの静電容量は液位が高くなるのに応じて上昇する傾向にある(符号C3参照)。また、第1配線12bの静電容量は基板13の温度変化に応じて変化する傾向がある(符号C3’参照)。
このため、図5に示すように、誘電率センサ12aの静電容量を計測した場合には、上記の傾向が反映されて計測されることとなる。すなわち、誘電率センサ12aの静電容量を計測した場合、静電容量は液位が高くなるのに応じて上昇し(符号C2+C3参照)、温度変化に応じて変化する傾向がある(符号C2+C3’参照)。
しかし、上記したように、本実施形態では第2及び第3コンデンサC2,C3の静電容量の合算から第4コンデンサC4の静電容量を減算することにより、上記傾向による影響をキャンセルして誘電率センサ12aの静電容量のみを計測することができる。
さらに、本実施形態では以下の作用を奏する。図6は、液位が傾いた場合を示す概略図である。例えば図6に示すように液位が傾いた場合、第1配線12bと第2配線14との静電容量は異なることとなる。より詳細に第1配線の12bの領域R1と第2配線14の領域R2との静電容量は同じであるが、液位が傾いたことにより第1配線の12bの領域R3と第2配線14の領域R4とで静電容量が異なってしまう。しかし、第1配線12b及び第2配線14を覆う絶縁部15aが、液位検出部11を覆う絶縁部15bよりも厚く形成されているため、静電容量の差を小さくすることができる。
具体的に静電容量に影響する電気力線の本数は、以下の式により表すことができる。
Figure 2015004561
なお、Eは電気力線の本数(本/m)であり、εは誘電率であり、rは距離(m)であり、Q(c)は電荷である。
この式から明らかなように、電気力線の本数Eは距離rの二乗に反比例することとなる。すなわち、絶縁部15aを厚くすることで例えば第1配線12bから領域R3の液体までの距離r、及び、第2配線14から領域R4の空気(気体)までの距離rを大きくすることができ、上記式からも明らかなように電気力線の本数Eの差を少なくすることができる。よって、第1配線の12bの領域R3と第2配線14の領域R4との静電容量の差を小さくして、キャンセル効果の低下を抑制することができる。
なお、上記は、液位の傾きに限らず、不均一な結露や液濡れの場合(例えば図6の符号Bに水滴が付着している場合)にも同様に、第1配線の12bと第2配線14との静電容量の差を小さくして、キャンセル効果の低下を抑制することができる。
加えて、本実施形態では以下の作用を奏する。図7は、本実施形態に係る静電結合状態を示す概念図である。本実施形態では図3のステップS1にて説明したように、第2配線14をグランド接続する。このとき、静電結合状態は図7(a)に示すようになる。また、本実施形態では図3のステップS3にて説明したように、第1配線12bをグランド接続する。このとき、静電結合状態は図7(b)に示すようになる。
すなわち、第1配線12bと第2配線14とは隣接配置され、その間の距離L1は、第1配線12b及び第2配線14と液位検出部11との距離L2,L3(すなわち駆動電極11aとの距離L2,L3)よりも短くなっている。よって、第1配線12bと第2配線14との静電結合が、第1配線12b及び第2配線14と液位検出部11の駆動電極11aとの静電結合よりも支配的となり、キャンセル効果が低下してしまうことを防止することができる。
このようにして、本実施形態に係る静電容量式レベルセンサ1によれば、タンク上下方向に沿って設けられ、タンク上部側に設けられる検出回路20から誘電率センサ12aまでを接続する第1配線12bと、検出回路20からタンクの下方に向かって第1配線12bと略平行に設けられた第2配線14とを備えるため、第1配線12bを通じて誘電率センサ12aの静電容量を検出し、この静電容量から第2配線14による静電容量を差し引くことにより、第1配線12bの液位による静電容量の変化、及び、基板13の温度による静電容量の変化をキャンセルすることとなる。よって、誘電率センサ12aによる静電容量の検出精度を高めて、液体の誘電率をより正確にすることができる。また、キャンセルするにあたり第1配線12bに略平行に第2配線14を設けるだけでよいことから、1つの電極の全周をシールド層やシールド電極で覆う必要がなく、構成の複雑化についても抑制することができる。従って、液位の変化及び温度の変化によらず誘電率をより正確に検出すると共に、構成の複雑化を抑制することができる。
また、第1配線12b及び第2配線14を覆う絶縁部15aは、液位検出部11を覆う絶縁部15bよりも厚く形成されている。ここで、液位の傾き、及び不均一な結露や液濡れがあった場合には、第1配線12bと第2配線14との静電容量が異なってしまいキャンセル効果が低減されてしまうが、絶縁部15aを厚くしておくことにより液位の傾き、及び不均一な結露や液濡れがあった場合における第1配線12bと第2配線14との静電容量の差を少なくすることができる。従って、キャンセル効果の低下を抑制することができる。
また、第1配線12b及び第2配線14の一方をグランド接続する信号切替部23をさらに備え、第1配線12bと第2配線14との間の距離L1は、第1配線12b及び第2配線14と液位検出部11との間の距離L2,L3よりも短くされている。このため、計測に使用しない第1配線12b及び第2配線14の一方をグランド接続することにより、第1配線12bと第2配線14との静電結合が、第1配線12b及び第2配線14と液位検出部11の電極11aとの静電結合よりも支配的となり、キャンセル効果の低下を抑制することができる。
以上、実施形態に基づき本発明を説明したが、本発明は上記実施形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、変更を加えてもよい。
例えば、上記実施形態において第1配線12bと第2配線14との位置は逆となっていてもよいし、これら配線12b,14と液位検出部11との位置が逆となっていてもよい。また、液位検出部11についても駆動電極11aと測定電極11bとの位置が逆となっていてもよい。さらに、第1配線12bと第2配線14とは略平行に設けられていていればよく、完全に平行でなくともよい。加えて、第1配線12bと第2配線14とのいずれか一方をタンク上下方向にやや傾きを持って配置してもよい。
また、本実施形態において液位検出部11、誘電率センサ12a、第1配線12b、及び第2配線14は、平面パターンの電極で構成されている。このため、電極の製造コストが抑えられ、静電容量式レベルセンサ1を一層安価に構成することができるが、特にこれに限らず、2層構造等になっていてもよい。
1…静電容量式レベルセンサ
10…センサ部
11…液位検出部
11a…駆動電極
11b…測定電極
12…誘電率センサ部
12a…誘電率センサ
12b…第1配線
13…基板
13a…折り曲げ部
14…第2配線
15,15a,15b…絶縁部
20…検出回路
21…静電容量測定部
22…演算部
23…信号切替部
C1〜C4…コンデンサ
L1〜L3…距離

Claims (3)

  1. タンク上下方向に沿って設けられた対向する電極からなる液位検出部と、前記タンク上部側に設けられ当該液位検出部の静電容量に応じて液面レベルを検出する検出回路とを備えた静電容量式レベルセンサであって、
    液体の誘電率を検出すべく前記タンク底部に設けられた誘電率センサと、
    前記タンク上下方向に沿って設けられ、前記検出回路から前記誘電率センサまでを接続する第1配線と、
    前記検出回路から前記タンクの下方に向かって前記第1配線と略平行に設けられた第2配線と、
    を備えることを特徴とする静電容量式レベルセンサ。
  2. 前記液位検出部、前記第1配線及び前記第2配線を覆う絶縁部をさらに備え、
    前記第1配線及び前記第2配線を覆う前記絶縁部は、前記液位検出部を覆う絶縁部よりも厚く形成されている
    ことを特徴とする請求項1に記載の静電容量式レベルセンサ。
  3. 前記第1配線及び前記第2配線の一方をグランド接続する信号切替部をさらに備え、
    前記第1配線と前記第2配線との間の距離は、前記第1配線及び前記第2配線と前記液位検出部との間の距離よりも短くされている
    ことを特徴とする請求項1又は請求項2のいずれかに記載の静電容量式レベルセンサ。
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