JP2015002226A - 多層配線基板及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】多層配線基板10は、基板主面41及び基板裏面42を有するセラミック配線基板40と、セラミック配線基板40の基板主面41上に積層される配線構造体20,21とを備える。配線構造体20,21は、樹脂絶縁層22,23、配線層24,25及びビア導体26を備える。樹脂絶縁層22,23は、熱硬化性樹脂からなる第1樹脂層31と、第1樹脂層31の両面に積層され、熱可塑性樹脂からなる第2樹脂層32とにより構成されている。セラミック配線基板40の基板主面41には、基板中央部54を高所としかつ基板外周部55を低所とする高低差が設けられている。
【選択図】図1
Description
20,21…配線構造体
22,23…樹脂絶縁層
24,25…配線層
26,49…ビア導体
27,28…主面
29…ビア孔
31…第1樹脂層
32…第2樹脂層
40,40A…セラミック配線基板
41…基板主面
42…基板裏面
46…貫通導体部としての導体層
51…基板側配線層としての導体層
54…基板中央部
55…基板外周部
56…段差部
Claims (9)
- 一対の主面を有しかつ前記主面間を貫通するビア孔が形成された樹脂絶縁層、前記樹脂絶縁層の少なくとも一方の前記主面上に配置された配線層、及び前記ビア孔内に設けられ前記配線層と電気的に接続するビア導体を有する配線構造体と、
基板主面及び基板裏面を有し、前記基板主面及び前記基板裏面間を導通させる貫通導体部が設けられ、前記基板主面上に前記配線構造体が積層されるセラミック配線基板と
を備えた多層配線基板であって、
前記樹脂絶縁層は、熱硬化性樹脂からなる第1樹脂層と、前記第1樹脂層に積層されて少なくとも一方の前記主面をなす熱可塑性樹脂からなる第2樹脂層とにより構成され、
前記基板主面には、基板中央部を高所としかつ基板外周部を低所とする高低差が設けられている
ことを特徴とする多層配線基板。 - 前記高所と前記低所との境界には段差部が存在していることを特徴とする請求項1に記載の多層配線基板。
- 前記段差部は、前記配線層及び前記ビア導体が形成されている領域よりも外周部側に配置されていることを特徴とする請求項2に記載の多層配線基板。
- 前記高低差は、前記第2樹脂層の厚さよりも大きくかつ前記樹脂絶縁層の厚さよりも小さくなるように設定されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の多層配線基板。
- 前記基板主面における前記高所は、前記セラミック配線基板の厚み方向に垂直な平坦面であり、かつその上には前記貫通導体部に接続する基板側配線層が形成されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の多層配線基板。
- 請求項1乃至5のいずれか1項に記載の多層配線基板を製造する方法であって、
前記配線層及び前記ビア導体が形成された樹脂絶縁層を有する配線構造体を準備する配線構造体準備工程と、
前記貫通導体部が設けられたセラミック配線基板を準備するセラミック配線基板準備工程と、
前記セラミック配線基板の前記基板主面に前記高低差を設ける高低差付与工程と、
前記高低差の存在する前記基板主面上に前記配線構造体を配置した状態で加熱加圧を行うことにより、前記基板主面に前記配線構造体を圧着させる積層工程と
を含むことを特徴とする多層配線基板の製造方法。 - 前記積層工程では、前記高低差の存在する前記基板主面上に前記配線構造体を複数重ねて配置した状態で加熱加圧を行うことにより、前記基板主面に前記配線構造体を一括して圧着させることを特徴とする請求項6に記載の多層配線基板の製造方法。
- 前記高低差付与工程では、焼成工程を経た前記セラミック配線基板の前記基板主面において、前記基板外周部のセラミック材料を除去することにより、前記高低差を設けることを特徴とする請求項6または7に記載の多層配線基板の製造方法。
- 前記高低差付与工程では、焼成工程を経た前記セラミック配線基板の前記基板主面をあらかじめ表面研磨した後、その表面研磨された前記基板主面において、前記基板外周部のセラミック材料を除去することにより、前記高低差を設けることを特徴とする請求項6または7に記載の多層配線基板の製造方法。
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