JP2014521501A - 動的ナノフォーカスシステムを動作させるための方法および装置 - Google Patents
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Abstract
Description
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- レバー伝達型の圧電アクチュエータと、特に対物レンズのための収容ユニットへと接続された弾性変形可能な固体ジョイントにもとづく無摩擦ガイドとを備える動的ナノフォーカスシステムを、顕微鏡観察、干渉分光法、または同様の用途の分野における使用に関して、フォーカスのための所望の調節距離を実現すべく動作させるための方法であって、
フォーカスの過程における動的特性を向上させるために、調節距離はより小さいが周波数はより高い補助的な細かい調節の運動が、主たる調節の運動に重ねられ、細かい調節が実行されるときに、フォーカス結果が変化するか否かが判断され、この後で、主たる調節の運動の量および/または方向が指定されることを特徴とする方法。 - 前記主たる粗い調節の運動が、1000μmまでの範囲の調節距離を含み、前記補助的な細かい調節の運動が、500nmまでの範囲の調節距離を含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記細かい調節の運動が、方形波信号の形態で実行されることを特徴とする請求項1または2に記載の方法。
- 前記細かい調節の運動の周波数が、最大500Hzに達し、好ましくは200Hzに達することを特徴とする先行する請求項のいずれか一項に記載の方法。
- せん断アクチュエータとして設計された追加の圧電アクチュエータが、前記細かい調節の運動に使用されることを特徴とする先行する請求項のいずれか一項に記載の方法。
- 前記収容ユニットによって保持された質量が、動的特性を改善し、反動および振動からのできる限りの自由を得るために、モーメント補償されていることを特徴とする先行する請求項のいずれか一項に記載の方法。
- 前記追加の圧電アクチュエータのうちの第1の圧電アクチュエータが、前記収容ユニットによって保持された質量へと接続され、前記追加の圧電アクチュエータのうちの第2の圧電アクチュエータが、補償質量へと接続されており、前記第1および第2の圧電アクチュエータがモーメント補償駆動部を形成し、前記アクチュエータの運動の経路が直線上にあることを特徴とする請求項5または6に記載の方法。
- 前記粗い調節の運動のパターンが、正弦波、鋸歯状波、または方形波であることを特徴とする先行する請求項のいずれか一項に記載の方法。
- 請求項1〜8のいずれか一項に記載の方法を実行するための装置であって、
第1および第2の管状の圧電せん断アクチュエータが、前記レバー伝達型の粗い調節用の圧電アクチュエータによって駆動される前記収容ユニットへと取り付けられ、前記第1の管状の圧電せん断アクチュエータが、動かされるべき物体、特に対物レンズへと接続される一方で、前記第2の管状の圧電せん断アクチュエータが、補償質量へと接続されていることを特徴とする装置。 - 前記管状の圧電せん断アクチュエータが、接着力によって広い表面において前記収容ユニットならびに前記動かされるべき物体または前記補償質量へと接続されていることを特徴とする請求項9に記載の装置。
- 前記補償質量が、前記動かされるべき物体を部分的に囲む中空円筒形のおもり本体によって形成されていることを特徴とする請求項9または10に記載の装置。
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