JP2014521093A - 粒子を超解像位置特定するための方法および光学デバイス - Google Patents
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Abstract
Description
顕微鏡検査撮像システムによって検出器の検出面に前記放射粒子の少なくとも1つの画像を形成すること、
前記放射粒子と前記検出面との間に存在する光学的欠点の少なくとも一部を波面変調デバイスによって補正すること、
前記放射粒子によって放出された波面の変形を前記波面変調デバイスによって導入し、検出面における前記放射粒子の像の形状と、顕微鏡検査撮像システムによって検出面と光学的に共役させられる対物面に対する前記放射粒子の軸方向位置との間に、粒子の前記軸方向位置の値の所定の範囲において全単射関係を形成するのを可能にすることを含み、波面の前記変形が、波面変調デバイスを制御するための手段によって制御される方法に関する。
それぞれ、顕微鏡の前記光学撮像システムの像面および検出器の検出面と一致するようになっている入射面および出射面を光学的に共役させるためのリレー光学系と、
補正面を備え、前記制御デバイスが超解像顕微鏡検査システムに接続されたときに前記放射粒子によって放出される波面を変調するのを可能にする、波面を空間的に変調するためのデバイスと、
顕微鏡の光学撮像システムの出射瞳と一致するようになっている制御デバイスの入射瞳面を前記補正面と光学的に共役させる光学系と、
波面を空間的に変調するための前記デバイスを制御し、波面制御デバイスが超解像顕微鏡検査システムに接続されたときに、前記粒子と前記検出面との間に存在する光学的欠点の少なくとも一部を補正するのを可能にし、かつ波面の制御された変形を導入するのを可能にし、検出面における前記放射粒子の像の形状と、検出面と光学的に共役させられる対物面に対する前記放射粒子の軸方向位置との間の全単射関係を、粒子の前記軸方向位置の値の所定の範囲において形成するのを可能にするための手段とを備える。
検出器の検出面において前記放射粒子を撮像するためのシステムと、
波面を空間的に変調し、前記放射粒子によって放出される波面を変調するのを可能にするためのデバイスと、
波面を空間的に変調するための前記デバイスを制御し、前記粒子と前記検出面との間に存在する光学的欠点の少なくとも一部を補正するのを可能にし、かつ波面の制御された変形を導入するのを可能にし、検出面における前記放射粒子の像の形状と、顕微鏡検査撮像システムによって検出面と光学的に共役させられる対物面に対する前記放射粒子の軸方向位置との間の全単射関係を、粒子の前記軸方向位置の値の所定の範囲において形成するのを可能にするための手段とを備える超解像顕微鏡検査デバイスに関する。
φ(r,θ)=0.2*r4*cos(4*θ)−0.2*(6*r2−5)*r4*cos(4*θ)
Claims (18)
- 1つまたは複数の放射粒子(101)を3次元位置特定するための超解像顕微鏡法であって、
顕微鏡検査撮像システム(121、123、124、125)によって検出器(110)の検出面(111)に前記放射粒子の少なくとも1つの画像を形成すること、
前記放射粒子と前記検出面との間に存在する光学的欠点の少なくとも一部を波面変調デバイス(150)によって補正すること、
前記放射粒子によって放出された波面の変形を前記波面変調デバイスによって導入し、前記検出面における前記放射粒子の像の形状と、前記顕微鏡検査撮像システムによって前記検出面と光学的に共役させられる対物面に対する前記放射粒子の軸方向位置との間に、前記粒子の前記軸方向位置の値の所定の範囲において全単射関係を形成するのを可能にすることを含み、前記波面の前記変形が、前記波面変調デバイスを制御するための手段によって制御されることを特徴とする方法。 - 請求項1に記載の方法であって、前記放射粒子と前記検出面との間に存在する波面光学的欠点を波面分析デバイス(160)によって分析する事前のステップを含むことを特徴とする方法。
- 請求項1または2に記載の方法であって、前記放射粒子の画質の程度に基づいてすべてまたは一部の前記光学的欠点の補正が繰り返し実施されることを特徴とする方法。
- 請求項1から3のいずれか一項に記載の方法であって、少なくとも1つの放射粒子を励起させるための1条または複数条の光線を放出し、前記粒子が所定の範囲内の波長で光信号を放出するのを可能にすることをさらに含むことを特徴とする方法。
- 請求項1から4のいずれか一項に記載の方法であって、前記制御された変形は非点収差であることを特徴とする方法。
- 請求項1から5のいずれか一項に記載の方法であって、放射粒子に動的に合焦させるステップをさらに含み、前記動的な合焦は、前記波面変調デバイスにより、前記粒子によって放出される前記波面の焦点を制御可能にぼかすことによって得られることを特徴とする方法。
- 光学撮像システムおよび検出器を搭載した顕微鏡を備える、放射粒子を位置特定するための超解像顕微鏡検査システムに接続されるようになっている波面制御デバイス(200)であって、
それぞれ、前記顕微鏡の前記光学撮像システムの像面(112)および前記検出器の検出面(111)と一致するようになっている入射面および出射面を光学的に共役させるためのリレー光学系(124、125)と、
補正面(151)を備え、前記制御デバイスが前記超解像顕微鏡検査システムに接続されたときに前記放射粒子によって放出される波面を変調するのを可能にする、波面を空間的に変調するためのデバイス(150)と、
前記顕微鏡の前記光学撮像システムの出射瞳と一致するようになっている前記制御デバイスの入射瞳面を前記補正面と光学的に共役させる光学系(124)と、
波面を空間的に変調するための前記デバイスを制御し、前記波面制御デバイスが前記超解像顕微鏡検査システムに接続されたときに、前記粒子と前記検出面との間に存在する光学的欠点の少なくとも一部を補正するのを可能にし、かつ前記波面の制御された変形を導入するのを可能にし、前記検出面における前記放射粒子の像の形状と、前記検出面と光学的に共役させられる対物面に対する前記放射粒子の軸方向位置との間の全単射関係を、前記粒子の前記軸方向位置の値の所定の範囲において形成するのを可能にするための手段(180)とを備えることを特徴とする波面制御デバイス(200)。 - 請求項7に記載の波面制御デバイスであって、光を空間的に変調するための前記デバイスは変形可能なミラーであることを特徴とする波面制御デバイス。
- 請求項7または8に記載の波面制御デバイスであって、前記制御手段に接続された、光学的欠点を分析するためのデバイス(160)をさらに備えることを特徴とする波面制御デバイス。
- 請求項9に記載の波面制御デバイスであって、光学的欠点を分析するための前記デバイスはシャック−ハルトマン分析器であることを特徴とする波面制御デバイス。
- 請求項7から10のいずれか一項に記載の波面制御デバイスであって、前記波面制御デバイスを前記超解像顕微鏡検査システムに接続するための機械的インターフェースをさらに備えることを特徴とする波面制御デバイス。
- 1つまたは複数の放射粒子(101)の3次元位置特定を行うための超解像顕微鏡検査デバイス(100)であって、
検出器(110)の検出面(111)において前記放射粒子を撮像するためのシステム(121、123、124、125)と、
波面を空間的に変調し、前記放射粒子によって放出される前記波面を変調するのを可能にするためのデバイス(150)と、
前記波面を空間的に変調するための前記デバイスを制御し、前記粒子と前記検出面との間に存在する光学的欠点の少なくとも一部を補正するのを可能にし、かつ前記波面の制御された変形を導入するのを可能にし、前記検出面における前記放射粒子の像の形状と、前記撮像システムによって前記検出面と光学的に共役させられる対物面に対する前記放射粒子の軸方向位置との間の全単射関係を、前記粒子の前記軸方向位置の値の所定の範囲において形成するのを可能にするための手段(180)とを備えることを特徴とするデバイス(100)。 - 請求項12に記載の3次元位置特定を行うためのデバイスであって、波面を空間的に変調するための前記デバイスは、前記撮像システムの瞳と光学的に共役させられる補正面(151)を含むことを特徴とする3次元位置特定を行うためのデバイス。
- 請求項12または13に記載の3次元位置特定を行うためのデバイスであって、光を空間的に変調するための前記デバイスは変形可能なミラーであることを特徴とする3次元位置特定を行うためのデバイス。
- 請求項12から14のいずれか一項に記載の3次元位置特定を行うためのデバイスであって、前記制御手段に接続された、光学的欠点を分析するためのデバイス(160)をさらに備えることを特徴とする3次元位置特定を行うためのデバイス。
- 請求項15に記載の3次元位置特定を行うためのデバイスであって、光学的欠点を分析するための前記デバイスはシャック−ハルトマン分析器であることを特徴とする3次元位置特定を行うためのデバイス。
- 請求項12から16のいずれか一項に記載の3次元位置特定を行うためのデバイスであって、前記制御手段は、前記放射粒子で形成された像の画質の程度に基づいてすべてまたは一部の前記光学的欠点を確実に繰り返し補正することを特徴とする3次元位置特定を行うためのデバイス。
- 請求項12から17のいずれか一項に記載の3次元位置特定を行うためのデバイスであって、少なくとも1つの放射粒子を励起させるための1条または複数条の光線を放出し、前記粒子が所定の範囲内の波長で光信号を放出するのを可能にするためのデバイス(141)をさらに備えることを特徴とする3次元位置特定を行うためのデバイス。
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