JP2014520388A - 非c−平面(Al,Ga,In)に対するシリコン(Si)ドーピングによる、傾斜欠陥形成の抑制および臨界厚の増加 - Google Patents
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Abstract
III族窒化物系半導体素子を製作する方法であって、方法は、(a)半極性または非極性GaN基板上またはその上方に1つ以上のバッファ層を成長させることであって、バッファ層は、半極性または非極性III族窒化物バッファ層である、ことと、(b)ドープされたバッファ層上またはその上方に形成されるIII族窒化物素子層内の結晶欠陥の数が、1つ以上のドープされていないバッファ層上またはその上方に形成されるIII族窒化物素子層内の結晶欠陥の数より高くないように、バッファ層をドープすることとを含む。ドープすることは、ミスフィット転位線および追加の貫通転位の形成を低減または防止することができる。バッファ層の厚さおよび/または組成は、バッファ層が、緩和に対するその臨界厚に近いかそれより大きい厚さを有するようなものであることができる。
Description
(関連出願の引用)
本願は、米国特許法§119(e)に基づき、同時係属の同一人に譲渡された米国仮特許出願第61/486,097号(2011年5月13日出願、Matthew T.Hardy,Po Shan Hsu,Steven P.DenBaars,James S.Speck,およびShuji Nakamura,名称「SUPPRESSION OF INCLINED DEFECT FORMATION AND INCREASE IN CRITICAL THICKNESS BY SILICON DOPING ON NON−C−PLANE(Al,Ga,In)N」、代理人事件番号30794.412−US−P1(2011−579−1))の利益を主張する。該出願は、参照により本明細書に引用される。
本願は、米国特許法§119(e)に基づき、同時係属の同一人に譲渡された米国仮特許出願第61/486,097号(2011年5月13日出願、Matthew T.Hardy,Po Shan Hsu,Steven P.DenBaars,James S.Speck,およびShuji Nakamura,名称「SUPPRESSION OF INCLINED DEFECT FORMATION AND INCREASE IN CRITICAL THICKNESS BY SILICON DOPING ON NON−C−PLANE(Al,Ga,In)N」、代理人事件番号30794.412−US−P1(2011−579−1))の利益を主張する。該出願は、参照により本明細書に引用される。
本願は、同時係属の同一人に譲渡された以下の出願に関連する:
米国特許出願第12/861,532号(2010年8月23日出願、Hiroaki Ohta,Feng Wu,Anurag Tyagi,Arpan Chakraborty,James S.Speck,Steven P.DenBaars,Shuji Nakamura,およびErin C.Young,名称「SEMIPOLAR NITRIDE−BASED DEVICES ON PARTIALLY OR FULLY RELAXED ALLOYS WITH MISFIT DISLOCATIONS AT THE HETEROINTERFACE」、代理人事件番号30794.317−US−U1(2009−742−2))、該出願は、米国特許法§119(e)に基づき、米国仮特許出願第61/236,058号(2009年8月21日出願、Hiroaki Ohta,Feng Wu,Anurag Tyagi,Arpan Chakraborty,James S.Speck,Steven P.DenBaars,およびShuji Nakamura,名称「SEMIPOLAR NITRIDE−BASED DEVICES ON PARTIALLY OR FULLY RELAXED ALLOYS WITH MISFIT DISLOCATIONS AT THE HETEROINTERFACE」、代理人事件番号30794.317−US−P1 (2009−742−1))の利益を主張する;
米国特許出願第12/861,652号(2010年8月23日出願、Hiroaki Ohta,Feng Wu,Anurag Tyagi,Arpan Chakraborty,James S.Speck,Steven P.DenBaars,Shuji Nakamura,およびErin C.Young,名称「ANISOTROPIC STRAIN CONTROL IN SEMIPOLAR NITRIDE QUANTUM WELLS BY PARTIALLY OR FULLY RELAXED ALUMINUM INDIUM GALLIUM NITRIDE LAYERS WITH MISFIT DISLOCATIONS」、代理人事件番号30794.318 −US−U1(2009−743−2))、該出願は、米国特許法§119(e)に基づき、米国仮特許出願第61/236,059号(2009年8月21日出願、Hiroaki Ohta,Feng Wu,Anurag Tyagi,Arpan Chakraborty,James S.Speck,Steven P.DenBaars,およびShuji Nakamura,名称「ANISOTROPIC STRAIN CONTROL IN SEMIPOLAR NITRIDE QUANTUM WELLS BY PARTIALLY OR FULLY RELAXED ALUMINUM INDIUM GALLIUM NITRIDE LAYERS WITH MISFIT DISLOCATIONS」、代理人事件番号30794.318−US−P1(2009−743−1)の利益を主張する;
米国特許出願第12/284,449号(2011年10月28日出願、Matthew T.Hardy,Steven P.DenBaars,James S.Speck,およびShuji Nakamura,名称「STRAIN COMPENSATED SHORT−PERIOD SUPERLATTICES ON SEMIPOLAR GAN FOR DEFECT REDUCTION AND STRESS ENGINEERING」、代理人事件番号30794.396−US−P1 (2011−203))、該出願は、米国特許法§119(e)に基づき、同時係属の同一人に譲渡された米国仮特許出願第61/408,280号(2010年10月29日出願、Matthew T.Hardy,Steven P.DenBaars,James S.Speck,およびShuji Nakamura,名称「STRAIN COMPENSATED SHORT−PERIOD SUPERLATTICES ON SEMIPOLAR GAN FOR DEFECT REDUCTION AND STRESS ENGINEERING」、代理人事件番号30794.396−US−P1(2011−203)の利益を主張する;および
米国仮特許出願第61/550,874号(2011年10月24日出願、Po Shan Hsu,Matthew T.Hardy,Steven P.DenBaars,James S.Speck,およびShuji Nakamura,名称「NONPOLAR/SEMIPOLAR (AL,IN,B,GA)N LASERS WITH STRESS RELAXATION AT THE P−CLADDING/P−WAVEGUIDING AND N−CLADDING/N−WAVEGUIDING HETEROINTERFACES」、代理人事件番号30794.437−US−P1(2012−247);
これら全ての出願は、参照により本明細書に引用される。
米国特許出願第12/861,532号(2010年8月23日出願、Hiroaki Ohta,Feng Wu,Anurag Tyagi,Arpan Chakraborty,James S.Speck,Steven P.DenBaars,Shuji Nakamura,およびErin C.Young,名称「SEMIPOLAR NITRIDE−BASED DEVICES ON PARTIALLY OR FULLY RELAXED ALLOYS WITH MISFIT DISLOCATIONS AT THE HETEROINTERFACE」、代理人事件番号30794.317−US−U1(2009−742−2))、該出願は、米国特許法§119(e)に基づき、米国仮特許出願第61/236,058号(2009年8月21日出願、Hiroaki Ohta,Feng Wu,Anurag Tyagi,Arpan Chakraborty,James S.Speck,Steven P.DenBaars,およびShuji Nakamura,名称「SEMIPOLAR NITRIDE−BASED DEVICES ON PARTIALLY OR FULLY RELAXED ALLOYS WITH MISFIT DISLOCATIONS AT THE HETEROINTERFACE」、代理人事件番号30794.317−US−P1 (2009−742−1))の利益を主張する;
米国特許出願第12/861,652号(2010年8月23日出願、Hiroaki Ohta,Feng Wu,Anurag Tyagi,Arpan Chakraborty,James S.Speck,Steven P.DenBaars,Shuji Nakamura,およびErin C.Young,名称「ANISOTROPIC STRAIN CONTROL IN SEMIPOLAR NITRIDE QUANTUM WELLS BY PARTIALLY OR FULLY RELAXED ALUMINUM INDIUM GALLIUM NITRIDE LAYERS WITH MISFIT DISLOCATIONS」、代理人事件番号30794.318 −US−U1(2009−743−2))、該出願は、米国特許法§119(e)に基づき、米国仮特許出願第61/236,059号(2009年8月21日出願、Hiroaki Ohta,Feng Wu,Anurag Tyagi,Arpan Chakraborty,James S.Speck,Steven P.DenBaars,およびShuji Nakamura,名称「ANISOTROPIC STRAIN CONTROL IN SEMIPOLAR NITRIDE QUANTUM WELLS BY PARTIALLY OR FULLY RELAXED ALUMINUM INDIUM GALLIUM NITRIDE LAYERS WITH MISFIT DISLOCATIONS」、代理人事件番号30794.318−US−P1(2009−743−1)の利益を主張する;
米国特許出願第12/284,449号(2011年10月28日出願、Matthew T.Hardy,Steven P.DenBaars,James S.Speck,およびShuji Nakamura,名称「STRAIN COMPENSATED SHORT−PERIOD SUPERLATTICES ON SEMIPOLAR GAN FOR DEFECT REDUCTION AND STRESS ENGINEERING」、代理人事件番号30794.396−US−P1 (2011−203))、該出願は、米国特許法§119(e)に基づき、同時係属の同一人に譲渡された米国仮特許出願第61/408,280号(2010年10月29日出願、Matthew T.Hardy,Steven P.DenBaars,James S.Speck,およびShuji Nakamura,名称「STRAIN COMPENSATED SHORT−PERIOD SUPERLATTICES ON SEMIPOLAR GAN FOR DEFECT REDUCTION AND STRESS ENGINEERING」、代理人事件番号30794.396−US−P1(2011−203)の利益を主張する;および
米国仮特許出願第61/550,874号(2011年10月24日出願、Po Shan Hsu,Matthew T.Hardy,Steven P.DenBaars,James S.Speck,およびShuji Nakamura,名称「NONPOLAR/SEMIPOLAR (AL,IN,B,GA)N LASERS WITH STRESS RELAXATION AT THE P−CLADDING/P−WAVEGUIDING AND N−CLADDING/N−WAVEGUIDING HETEROINTERFACES」、代理人事件番号30794.437−US−P1(2012−247);
これら全ての出願は、参照により本明細書に引用される。
(発明の分野)
本発明は、概して、電子および光電子素子の分野に関し、より具体的には、非c−平面(Al,Ga,In)に対するシリコン(Si)ドーピングによる、傾斜欠陥形成の抑制および臨界厚の増加に関する。
本発明は、概して、電子および光電子素子の分野に関し、より具体的には、非c−平面(Al,Ga,In)に対するシリコン(Si)ドーピングによる、傾斜欠陥形成の抑制および臨界厚の増加に関する。
(注:本願は、明細書の全体を通して示されるように、角括弧内の1つ以上の参照番号、例えば[参考文献X]によっていくつかの異なる刊行物を参照する。これらの参照番号による順序で示されるこれらの異なる刊行物の一覧は、以下の「参考文献」という表題の項に見出すことができる。これらの刊行物のそれぞれは、参照することにより本明細書に組み込まれる。)
最近の進歩にもかかわらず、緑色発光ダイオード(LED)およびレーザダイオード(LD)の性能は、青色または紫色域内で放出する等価素子より遥かに低い。緑色域内で動作する活性領域は、約30%の量子井戸(QW)中インジウム(In)組成を要求する。約10%のInNとGaNとの間の大きな格子不整合のため、そのような構造は、非常に高い歪みで成長されなければならず(例えば、In0.3Ga0.7Nに対して、3%)、それによって、結晶品質を低下させ、量子井内の大きな圧電誘導電場につながる。応力緩和もまた、LD内のInGaN導波層の組成および厚さを制限する[参考文献1]。
最近の進歩にもかかわらず、緑色発光ダイオード(LED)およびレーザダイオード(LD)の性能は、青色または紫色域内で放出する等価素子より遥かに低い。緑色域内で動作する活性領域は、約30%の量子井戸(QW)中インジウム(In)組成を要求する。約10%のInNとGaNとの間の大きな格子不整合のため、そのような構造は、非常に高い歪みで成長されなければならず(例えば、In0.3Ga0.7Nに対して、3%)、それによって、結晶品質を低下させ、量子井内の大きな圧電誘導電場につながる。応力緩和もまた、LD内のInGaN導波層の組成および厚さを制限する[参考文献1]。
従来の平面であるc−平面および非極性歪みへテロエピタキシに対して、c−平面上の分解剪断応力(最も好ましいすべり系である)がないことに起因して、応力緩和は、典型的には、すべりを介して生じない。しかしながら、c−平面すべりは、c−平面上に有意な分解剪断応力を有する、(20−21)および(11−22)半極性配向において観察されている[参考文献2]。
上側層の結晶品質を保存する利用可能な応力緩和機構は、緩和InGaNバッファを成長させる可能性を広げる。成長の間の活性領域歪みの低減に加え、InGaN仮想基板は、バンドオフセットを低減させるための引っ張り歪みまたは非歪みInGaN障壁、QW内の圧電分極の低減、およびInGaN導波層のための臨界厚の増加を可能にすることによって、素子設計空間を拡大するであろう。さらに、c−平面すべりは、c−平面に平行な応力のみ解放することができ、より大きい層厚および組成物では、直交方向における応力は、最終的に、別の機構による緩和につながるであろう。
AlGaN膜は、亀裂を介して、この歪みを解放し得るが、この機構は、エピ歪みの圧縮性質のため、InGaNでは、利用可能ではない。臨界厚を十分に超える厚さでは、暗線が、c−方向に対して傾斜されて観察される。(20−21)InGaNに対して、これらの線は、成長平面と傾斜m−平面の交線に平行であり、(11−22)InGaNでは、線は、成長平面と傾斜m−およびa−平面との交線に平行に観察される。これらの線は、傾斜m−平面および/またはa−平面上のすべりによって形成されたミスフィット転位(MD)である可能性が高い。
図1は、(20−21)GaN基板上の500ナノメートル(nm)のIn0.03Ga0.97Nのカソードルミネッセンス(CL)画像であり、暗点100を示し、c−平面すべり線102およびm−平面すべり線104が、背景に見え、m−平面すべり線106が、前景に見える。図1では、傾斜線104、106は、面内a−方向に対して、90°未満の角度にあって、線102は、a−方向に平行である。図1に示されるように、c−平面およびm−平面すべりからのミスフィット転位線間の相互作用は、傾斜線104、106を装飾する暗点100によって見られるように、貫通転位(TD)の倍増につながる。c−平面およびm−平面すべり線の交差点における暗点100は、1×108cm−2を上回る密度を有する新しく形成されたTDであり、基板TD密度は、約0.5−1×107cm−2である。
活性領域から離れて容易に埋入され得、素子性能に無視できる程度の影響をもたらすすべりによって形成されたミスフィット転位線とは対照的に、TDは、いったん形成されると、除去が非常に困難であり、その後成長させられる素子に有害な結果をもたらす。したがって、TD形成を回避することは、緩和バッファ層を使用して、改善された素子性能を達成するために、非常に望ましく、かつ重要である。
したがって、当技術分野において、追加のTDの形成を防止するための改善された方法の必要性が存在する。本発明は、この必要性を充足させる。具体的には、本発明は、欠陥形態および追加のTD形成の防止に対するSiドーピングの影響を示す。
前述の先行技術における制限を克服するために、かつ本明細書の熟読および理解に応じて明白となるであろう他の制限を克服するために、本発明は、III族窒化物系半導体素子を製作する方法であって、(a)半極性または非極性GaN基板上またはその上方に1つ以上のバッファ層を成長させることであって、バッファ層は、半極性または非極性III族窒化物バッファ層である、ことと、(b)ドープされたバッファ層上またはその上方に形成されるIII族窒化物素子層内の結晶欠陥の数が、1つ以上のドープされていないバッファ層上またはその上方に形成されるIII族窒化物素子層内の結晶欠陥の数より高くないように、バッファ層をドープすることとを含む、方法を開示する。
バッファ層は、例えば、InGaN、AlGaN、またはGaNを含むことができる。
バッファ層は、3×1018cm−3を上回るドーピング濃度でドープされることができる。バッファ層は、シリコン(Si)でドープされることができる。
本方法はさらに、バッファ層上あるいはその上方および/または下方に、1つ以上のIII族窒化物素子層を形成することを含むことができる。III族窒化物素子層は、ドープされたバッファ層上またはその上方にコヒーレントに成長させられることができる。活性領域を含む、ドープされたバッファ層上またはその上方に形成されるIII族窒化物素子層のうちの1つ以上は、107cm−2以下の貫通転位密度を有し得る。活性領域を含む、ドープされたバッファ層上またはその上方に形成されるIII族窒化物素子層のうちの1つ以上のインジウム組成は、少なくとも30%であるか、または素子が緑色波長範囲またはそれより長い波長においてピーク強度を有する光を放出するために十分であることができる。ドープされたバッファ層上またはその上方に形成されるIII族窒化物素子層は、1つ以上の導波層および/または1つ以上のクラッディング層を備えていることができる。
ドープすることは、例えば、傾斜m−平面またはa−平面方向に平行である、追加の貫通転位を含む、ミスフィット転位の形成線を低減または防止することができる。
ドープすることは、ドープされたバッファ層上またはその上方に形成されるIII族窒化物素子層の面内m−またはa−方向に対して傾斜された線方向を有するミスフィット転位の形成を低減または防止することができる。ドープすることは、バッファ層および/またはドープされたバッファ層上またはその上方におけるIII族窒化物素子層の成長の間、貫通転位(例えば、追加の貫通転位)の形成を防止することができる。ドープすることは、c−平面すべりから生じるミスフィット転位の形成線を低減または防止することができ、線方向は、ドープされたバッファ層上またはその上方に形成されるIII族窒化物素子層の面内m−またはa−方向に平行である。
Siを用いてバッファ層(例えば、GaNバッファ層)をドープすることは、拡張欠陥形態に影響を及ぼすまたはそれを制御することができる。
ドープすることおよび/またはドープされたバッファ層の厚さおよび/または組成は、ドープされたバッファ層が、緩和に対するその臨界厚に近いかそれより大きい厚さを有するようなものであり得る。(In,Al)GaN層の厚さまたは組成は、(In,Al)GaN層が、緩和に対するその臨界厚に近いかそれより大きいようなものであり得る。
本方法はさらに、ドープすることによって、バッファ層の臨界厚を増加または最大化することを含むことができるか、またはドープすることは、臨界厚が、ドープすることを伴わない場合と比較して、より厚くなるようなものである。
本発明はまた、本方法に従って製作される素子を包含する。
本発明はさらに、III族窒化物系半導体素子構造であって、半極性または非極性GaN基板上またはその上方に、1つ以上のバッファ層を備え、バッファ層が、半極性または非極性III族窒化物バッファ層であり、バッファ層内のドーピング濃度が、ドープされたバッファ層上またはその上方に形成されるIII族窒化物素子層内の結晶欠陥の数が、1つ以上のドープされていないバッファ層上またはその上方に形成されるIII族窒化物素子層内の結晶欠陥の数より高くないように最適化される、素子構造を開示する。
本発明は、トランジスタまたは高電子移動度トランジスタ(HEMT)等の光電子(LED、LD)あるいは電子素子、もしくは太陽電池を製作するために使用することができる。
全体を通して類似参照数字が対応する部品を表す、図面を参照する。
図1は、(20−21)GaN基板上の500nmのIn0.03Ga0.97Nのカソードルミネッセンス(CL)画像であり、尺度は、2マイクロメートル(μm)であり、倍率は、12000である。
図2(a)は、サンプルエピタキシャル構造の概略であり、図2(b)−(i)は、構造に対する欠陥形態を示す、一連のCL画像であり、尺度は、図2(b)−(e)では、20μmであり、図2(f)−(i)では、10マイクロメートル(μm)である。
図3(a)〜(c)は、例示的エピタキシャル構造であり、ミスフィット転位形態を制御するために、Siでドープされた層が、角度付けられた線で示される。
図4は、素子構造を製作する方法を図示する、流れ図である。
以下の発明を実施するための形態において、本明細書の一部を形成し、かつ本発明が実践され得る特定の実施形態を例証目的で示す添付図面を参照する。本開示の範囲から逸脱することなく、他の実施形態が用いられてもよく、また、構造的な変更が行われてもよいことを理解されたい。
(概要)
前述のように、半極性GaN上の緩和は、最初に、c−平面上のすべりによって生じる[参考文献2]。層組成および厚さが、臨界厚を超えて、さらに移動するにつれて、直交方向における緩和が、図1に見られるように、傾斜m−平面上のすべりによって生じ始める。2つの相互作用機構の相互作用は、追加のTDの生成につながり、この緩和バッファ層の上部に成長された任意の素子に悪影響を及ぼす(例えば、前述の相互参照出願および参考文献1参照)
本発明は、制御されたSiドーピングを使用し、m−平面すべりの発生を抑制し、それによって、追加のTDの形成を防止する。また、Siドーピングが、緩和の程度を低減させることも観察されており、これは、Siドーピングが、臨界厚近傍で成長された膜のために使用され、緩和の発生を抑制し得ることを示唆する。
前述のように、半極性GaN上の緩和は、最初に、c−平面上のすべりによって生じる[参考文献2]。層組成および厚さが、臨界厚を超えて、さらに移動するにつれて、直交方向における緩和が、図1に見られるように、傾斜m−平面上のすべりによって生じ始める。2つの相互作用機構の相互作用は、追加のTDの生成につながり、この緩和バッファ層の上部に成長された任意の素子に悪影響を及ぼす(例えば、前述の相互参照出願および参考文献1参照)
本発明は、制御されたSiドーピングを使用し、m−平面すべりの発生を抑制し、それによって、追加のTDの形成を防止する。また、Siドーピングが、緩和の程度を低減させることも観察されており、これは、Siドーピングが、臨界厚近傍で成長された膜のために使用され、緩和の発生を抑制し得ることを示唆する。
本発明は、半極性(SP)GaN上に低TD密度を有する緩和バッファ層を実現する支援をするために使用することができる。そのような層は、InGaN/AlGaN擬似基板を提供し、後続InGaN/AlGaN層の成長の間、歪みの低減を可能にすることができる。量子井戸(QW)内の歪みの低減は、LED、LD、および太陽電池のための(1)緑色活性領域において(InGaN緩和バッファ上における成長の間の欠陥密度低減のため)、または(2)紫外線(UV)活性領域において(AlGaN緩和バッファ上における成長の間の欠陥密度の低減のため)、より高い内部量子効率をもたらし得る。加えて、歪みの減少は、導波層(すなわち、InGaNバッファ層上のInGaN導波層)のためのより高い臨界厚につながるであろう。
InGaN系SP LDは、c−平面すべりを介して生じる限り、n−InGaN導波路内のある程度の緩和に耐えることができる。m−平面すべりおよび後続TD形成の出現は、活性領域品質の急激な劣化を生じさせる。この場合、高Siドーピングが、m−平面すべりを防止し、活性領域品質を保存するであろう。
Siの添加は、すべりを介した緩和の発生を抑制し、n−InGaN導波層が、その臨界厚を超えてさらに成長させられることを可能にする。これは、活性領域近傍に追加の欠陥を作成することなく、閉じ込め係数を改善するであろう。
本発明は、(20−21)および(11−22)半極性平面上のInGaN成長に対するm−平面およびa−平面すべりの抑制を実験的に実証した。本発明はまた、シリコンでドープされたAlGaN(AlGaN:Si)の成長にも適用可能である。
本発明は、素子性能を向上させるために使用することができる、高品質緩和バッファ層を実証する。本発明を採用する緩和バッファ層は、LED、LD、および太陽電池を含む、より高い性能素子を作製するために使用することができる。コヒーレントに成長させられるn−InGaN導波層に起因するより高い閉じ込め係数を伴うLDは、より低い閾値電流密度、したがって、より低い動作電流および電圧を有するであろう。
(技術説明)
図2(a)は、本発明の実施例による、サンプルエピタキシャル構造200の概略である。サンプルエピタキシャル構造は、(20−21)または(11−22)GaN基板202と、(20−21)または(11−22)GaN基板202上に成長されたIn0.06Ga0.94N層204(厚さ206を有する)とを含む。
図2(a)は、本発明の実施例による、サンプルエピタキシャル構造200の概略である。サンプルエピタキシャル構造は、(20−21)または(11−22)GaN基板202と、(20−21)または(11−22)GaN基板202上に成長されたIn0.06Ga0.94N層204(厚さ206を有する)とを含む。
一連のサンプルが、水平流金属有機化学蒸着(MOCVD)を使用して、(20−21)自立GaN基板202上に成長された。組成は、225nmの厚さ206を伴う層204を成長させるために、In0.06Ga0.94Nに固定され、Si2H6流量は、それぞれ、In0.06Ga0.94N層204内のドーピングレベル0、3×1018cm−3、7×1018cm−3、および2x1019cm−3にほぼ対応する、0、0.4、1および2立方センチメートル毎分(sccm)間で変動された。ドープされていない(0sccm)In0.06Ga0.94N層204を伴うサンプルは、一連の残りに対する225nmの厚さ206の代わりに、200nmの厚さ206まで成長されたが、どちらかといえば、残りのサンプルと比較して、厚さ206に基づく緩和の低減兆候のみを示すはずである。
図2(b)−(i)は、一連のCL画像であり、200nm厚の206(20−21)InGaN204(図2(b)は、Siドーピング無し、図2(c)は、0.4sccmSi2H6流量(〜3x1018cm−3ドーピングレベル)、図2(d)は、1sccm流量(〜7x1018cm−3ドーピングレベル)、および図2(e)は、2sccm流量(〜2x1019cm−3ドーピングレベル))と、200nm厚のInGaN(11−22):図2(f)は、Siドーピング無し、図2(g)は、1sccmSi2H6流量、図2(h)は、2sccmSi2H6流量、および図2(i)は、3sccmSi2H6流量)とにおける欠陥形態を示す。
図2(b)−(i)に示されるように、欠陥形態に及ぼすSiドーピングレベルの強い影響が存在する。ドーピングを伴わない場合、(20−21)上に最初に形成される、c−平面すべり線を見ることが困難であるほど、非常に高密度の傾斜m−平面すべり線208が存在する。0.4sccmSi流では、m−平面すべり線の密度は、c−平面すべり210とともに、いくつかの離散線のみ観察可能であるほど、大幅に低減されている。1sccm流では、単一の短いm−平面区画208のみ、観察可能であり、2sccm流では、c−平面すべり210のみ残っている。
SiでドープされたInGaNサンプルは、軸上逆空間マッピング(RSM)を使用して、特性評価した。この技法は、基板に対するエピ層の測定された巨視的傾きを使用し、塑性歪み、緩和の程度(DoR)、および組成を計算する。等価InGaN組成(InGaNeq)が、膜の総緩和を異なる組成と比較するために使用され、InGaNeq=DoRxによって求められる(式中、xは、InGaN中のInNの割合であり、緩和InGaN層によって作成される「仮想基板」の組成に対応する)。
以下の表1に与えられる結果は、Siの添加が、Siを伴わない膜以上のInGaNeq値を可能にしながら、傾斜欠陥形成を防止することを示す。実行毎の再現性問題、測定誤差、および成長中欠陥密度の基板依存性変動のため、データには、ある程度の分散が存在する。表1では、xは、組成物中のインジウムの割合に対応し、Xは、傾斜欠陥の存在を示す。その機構は、不明であるが、Siが、二次m−平面/a−平面すべり系におけるPeierls力に影響を及ぼしており、これらの系における緩和を遅延させている可能性がある。Siドーピングはまた、一次c−平面すべり系におけるPeierls力にも影響を及ぼし、全体的DoRを低減させ得る。代替として、n−ドーピングは、緩和バッファ層内のFermiレベルを変化させ得、ひいては、ミスフィット転位のFermiレベル依存性形成エネルギーを増加させ得る。いずれの場合も、Siの添加は、c−平面上のすべりを妨害する一方、傾斜m−平面およびa−平面上のすべりに対して、より大きな障壁を提供する役割を果たし得る。完全コヒーレント構造が、所望される場合、高Siドーピングはまた、いかなる緩和の発生に対しても、臨界厚を増加させることが分かり得る。
(素子構造)
図3(a)−(c)は、本発明の1つ以上の実施例による、エピタキシャル構造の実施例である。図3(a)は、GaN基板302、n−型クラッディング(n−クラッディング)層304、n−型導波(n−導波)306層、活性領域308、p−型導波(p−導波)層310、およびp−型クラッディング(p−クラッディング)層312から成る、LD構造300であり、n−導波層306は、緩和n−導波層306である。
図3(a)−(c)は、本発明の1つ以上の実施例による、エピタキシャル構造の実施例である。図3(a)は、GaN基板302、n−型クラッディング(n−クラッディング)層304、n−型導波(n−導波)306層、活性領域308、p−型導波(p−導波)層310、およびp−型クラッディング(p−クラッディング)層312から成る、LD構造300であり、n−導波層306は、緩和n−導波層306である。
図3(b)は、GaN基板316、バッファ層318、n−クラッディング層320、n−導波層322、活性領域324、p−導波層326、およびp−クラッディング層328から成る、LD構造314であり、バッファ層318は、緩和バッファ層318である。
図3(c)は、GaN基板332、バッファ層334、(随意の)スペーサ層336、活性領域338、およびp−クラッディング層340から成る、LEDまたは太陽電池構造330であり、バッファ層334は、緩和バッファ層334である。いずれの場合も、Siでドープされ、ミスフィット転位形態を制御する層が、角度付けられた線342で示されており、すなわち、図3(a)のn−導波層306、図3(b)の緩和バッファ層318、および図3(c)の緩和バッファ層334である。層306、318、および334は、素子構造300、314、および330内の拡張欠陥形態を制御するために、本発明に従って、シリコンによるドーピングを有する。
完全コヒーレント構造の場合、Siドーピングが高いほど、より高い臨界厚の実現を可能にすることができる。これは、より厚いまたはより高い組成n−InGaN導波層306を伴って成長されたLDを可能にし、光学閉じ込めの増加をもたらし、より低い閾値電流密度およびより低い動作電流および電圧を伴う素子の製作を可能にするであろう。
(可能な修正および変形例)
素子300、314、330は、半極性または非極性素子であることができる。基板302、316、および332は、半極性または非極性基板であることができる。素子層304−312、318−328、および334−340は、半極性または非極性層であるか、あるいは半極性または非極性配向を有することができる(例えば、層304−312、318−328は、互の上または上方、および/または、基板302、316、332の半極性または非極性平面の上または上方に成長され得る)。
素子300、314、330は、半極性または非極性素子であることができる。基板302、316、および332は、半極性または非極性基板であることができる。素子層304−312、318−328、および334−340は、半極性または非極性層であるか、あるいは半極性または非極性配向を有することができる(例えば、層304−312、318−328は、互の上または上方、および/または、基板302、316、332の半極性または非極性平面の上または上方に成長され得る)。
活性層308、324、338は、緑色波長範囲またはそれより長い波長(例えば、赤色または黄色光)におけるピーク強度、または500nmまたはそれより長い波長におけるピーク強度を有する光(または、電磁放射)を放出あるいは吸収することができる。しかしながら、本発明は、特定の波長において放出または吸収する素子300、314、330に限定されず、素子300、314、330は、他の波長においても放出または吸収することができる。例えば、本発明は、紫外線、青色、黄色、および赤色発光素子300、314、または太陽電池330に適用可能である。
活性層308、324、338は、所望の波長を有する光を発光素子が放出するか、または太陽電池が吸収するように、十分に厚い厚さt1を有し、十分に高いインジウム組成を有することができる。
発光または吸収活性層308、324、338は、InGaN層(例えば、GaN障壁を伴う1つ以上のInGaN量子井戸)等のインジウム含有層を含むことができる。InGaN量子井戸は、少なくとも7%、少なくとも10%、少なくとも16%、または少なくとも30%のインジウム組成を有し、かつ、4ナノメートル超、例えば、5nm、少なくとも5nm、または少なくとも8nmの厚さまたは井戸幅を有することができる。しかしながら、量子井戸厚はまた、4nm未満であることができるが、典型的には、2nm厚を上回る。
導波層306、310、322、326は、GaN障壁層を伴う1つ以上のInGaN量子井戸等のインジウム含有層を備えていることができる(例えば、少なくとも30%のインジウム含有量)。クラッディング層304、312、340は、例えば、AlGaNおよび/またはGaN層を備えていることができる。
III族窒化物素子層304−312、318−328、および334−340は、コヒーレントに成長させられる層、非コヒーレントに成長させられる層、あるいは部分的または完全に緩和される層を備えていることができる。層Y上に成長させられる層Xに対して、コヒーレント成長の場合、Xの面内格子定数は、下層Yと同一であるように制約される。Xが、完全に緩和される場合、Xの格子定数は、その自然(すなわち、任意の歪みが不在である)値をとる。Xが、Yに対して、コヒーレントでもなく、完全に緩和もされない場合、部分的に緩和されているとみなされる。ある場合には、基板は、いくつかの残留歪みを有する場合がある。
平衡臨界厚は、層/基板界面に1つのミスフィット転位を形成することがエネルギー的に好ましい場合に対応する。
実験的または動力学的臨界厚は、常時、幾分または有意に、平衡臨界厚より大きい。しかしながら、臨界厚が、平衡または動力学的臨界厚であるかどうかにかかわらず、臨界厚は、層が、完全コヒーレントから部分的緩和に変形する場合の厚さに対応する。
臨界厚の別の実施例は、Matthews Blakeslee臨界厚である[3]。
素子層(例えば、304−312、318−328、および334−340)のうちの1つ以上は、素子層のうちの全部または1つ以上を構成する膜が、緩和に対する膜の臨界厚に近いかそれより大きい厚さを有するように十分に高い厚さおよび/またはそのような組成を有し得る。
III族窒化物素子層(例えば、304−312、318−328、および334−340)のうちの1つ以上は、ドープされたバッファ層306、318、334を伴わないIII族窒化物素子層と比較して、より厚い、および/またはより高い合金組成(例えば、より多くのAl、In、および/またはB、または非ガリウム元素)を有し得る。
例えば、全活性層、例えば、308、324、338の総厚t1(例えば、多重量子井戸積層厚)は、本発明のドープされたバッファ層306、318、334を伴わない構造内に成長された類似活性層の臨界厚以上であり得る(例えば、直接、GaN層/基板/格子不整合層またはドープされていないバッファ層上に成長された類似活性層の臨界厚以上)。
例えば、n−型導波層(または、p−型導波層)の総厚t2は、本発明のドープされたバッファ層306、318、334を伴わない構造内に成長された類似n−型導波層(または、類似p−型導波層)の臨界厚以上であり得る(例えば、直接、GaN層/基板/格子不整合層またはドープされていないバッファ層上に成長された類似導波層の臨界厚以上)。
例えば、n−型クラッディング層(または、p−型クラッディング層)の総厚t3は、本発明のドープされたバッファ層を伴わない構造内に成長された類似n−型クラッディング層(または、類似p−型クラッディング層)の臨界厚以上であり得る(例えば、直接、GaN層/基板/格子不整合層またはドープされていないバッファ層上に成長された類似クラッディング層の臨界厚以上)。
層の達成可能厚は、それが成長させられるバッファ層に対するその歪みに依存する。GaN上に成長させられる合金の場合、歪みは、合金組成によって決定される。例えば、X=8%を伴うドープされていないInxGa1−xN膜では、m−平面すべりは、60nm厚程度で観察され得る。〜3×1019cm−3Siドーピングでは、m−平面すべりは、185nm厚でも観察されない。この場合、Matthews−Blakeslee臨界厚hcの観点から、m−平面すべりは、Siドーピングを伴わない〜2hcおよび高Siドーピングを伴う6hc超で生じた。この組成域におけるc−平面すべりの発生は、多くの場合、約1.5hcである。理論的Matthews−Blakeslee hcの計算は、[参考文献2]に見出され得る。
(プロセスステップ)
図4は、(AlInGaN)またはIII族窒化物系半導体素子を製作する方法を図示する。本方法は、以下のステップを含み得る。
図4は、(AlInGaN)またはIII族窒化物系半導体素子を製作する方法を図示する。本方法は、以下のステップを含み得る。
ブロック400は、例えば、半極性または非極性III族窒化物あるいはGaN基板上またはその上方に、1つ以上のバッファ層を成長させることを表し、バッファ層は、半極性または非極性III族窒化物あるいはGaNバッファ層である。
ブロック402は、バッファ層をドープすることを表す。ドーピング(例えば、ドーピングレベルおよびドーパント)は、ドープされたバッファ層上またはその上方に形成されるIII族窒化物素子層内の結晶欠陥の数(例えば、拡張欠陥、貫通転位、積層欠陥)が、1つ以上のドープされていないバッファ層上またはその上方に形成されるIII族窒化物素子層内の結晶欠陥の数より高くないようなものであり得る。例えば、ステップは、半極性または非極性バッファ層(例えば、GaNバッファ層)をドープし、拡張欠陥形態に影響を及ぼすまたはそれを制御することを含むことができる。
バッファ層は、3×1018cm−3より大きいドーピング濃度でドープすることができる。バッファ層は、シリコン(Si)でドープすることができる。
ドーピングは、傾斜m−平面またはa−平面方向に平行なミスフィット転位線の形成を低減または防止することができる。
ドーピングは、ドープされたバッファ層上またはその上方に形成されるIII族窒化物素子層の面内m−またはa−方向に対して傾斜された線方向を伴うミスフィット転位の形成を低減または防止することができる。本発明が本明細書で防止することができるMDは、m−平面またはa−平面すべりから形成される。MD線方向は、すべり平面と成長平面の交線である。この場合、線方向は、面内a−またはm−方向(半極性平面に応じて)に対して傾斜される。
ドーピングは、バッファ層および/またはドープされたバッファ層上またはその上方におけるIII族窒化物素子層の成長の間、追加の貫通転位の形成を防止することができる。
ドーピングは、c−平面方向に平行なミスフィット転位の形成線を低減または防止することができる。
ドーピングは、c−平面すべりから生じるミスフィット転位の形成線を低減または防止することができ、線方向は、ドープされたバッファ層上またはその上方に形成されるIII族窒化物素子層の面内m−またはa−方向に平行である。MDは、c−平面すべりから生じ、(20−21)に対するa−方向および(11−22)に対するm−方向である、c−平面および半極性平面の交線に形成される。
バッファ層は、例えば、GaN、InGaN、AlGaN、またはAlInGaNを備えていることができる。
ドーピングおよび/またはバッファ層の厚さおよび/または組成は、ドープされたバッファ層が、緩和に対するその臨界厚に近いかそれより大きい厚さを有するようなものであり得る。
ドーピングは、バッファ層の臨界厚を増加または最大化することができる。例えば、ドーピングは、臨界厚が、ドーピングを伴わない場合と比較して、より厚くなるようなものであり得る。
m−平面すべり(および/またはc−平面すべり)の抑制が、Fermiレベルの変化による場合、任意の意図的または非意図的n−型ドーパントは、同一の効果を示すであろう。シリコンは、最も一般的意図的ドーパントであるが、酸素は、一般的非意図的ドーパント(特に、Al含有層において)である。他のn−型ドーパントとして、SeおよびCaが挙げられる。加えて、窒素欠陥等のn−型固有欠陥を向上させる成長条件も、この効果に寄与し得る。
m−平面すべり抑制が、不純物硬化の影響による場合、Mg、Zn、Be、C、および多くの他の元素を含む、任意のn−型、p−型、または非電気的に活性不純物を使用することができる。
ブロック404は、ドープされたバッファ層上あるいはその上方および/または下方に1つ以上の(In,Al)GaNまたはIII族窒化物層(例えば、素子層)を形成(例えば、成長または堆積)することを表す。ステップは、(In,Al)GaN層上あるいはその上方および/または下方に1つ以上の(AlInGaN)素子層を形成することを含むことができる。
(In,Al)GaN層の厚さまたは組成は、(In,Al)GaN層が、緩和に対するその臨界厚に近いかそれより大きいようなものであり得る。
活性領域を含む、ドープされたバッファ層上あるいはその上方および/または下方に形成されるIII族窒化物素子層のうちの1つ以上は、107cm−2以下の貫通転位密度を有し得る。III族窒化物素子層は、ドープされたバッファ層上またはその上方にコヒーレントに成長させられることができる。活性領域を含む、ドープされたバッファ層上あるいはその上方におよび/または下方に形成されるIII族窒化物素子層のうちの1つ以上のインジウム組成は、少なくとも30%であるか、または素子が、緑色波長範囲またはそれより長い波長において、光ピーク強度を放出するために十分であり得る。
ドープされたバッファ層上あるいはその上方および/または下方に形成されるIII族窒化物素子層は、1つ以上の導波層および/または1つ以上のクラッディング層を備えていることができる。
ブロック406は、本方法の最終結果である素子構造を表す。素子構造は、図2(a)および図3(a)−(c)に図示されるように、半極性または非極性GaN基板202、316、332上またはその上方に1つ以上の層204、318、334を備えていることができ、層318、334は、半極性または非極性III族窒化物バッファ層であることができ、バッファ層318、334におけるドーピング濃度は、ドープされたバッファ層318、334上またはその上方に形成されるIII族窒化物素子層320−328、338−340内の結晶欠陥の数が、1つ以上のドープされていないバッファ層上またはその上方に形成されるIII族窒化物素子層内の結晶欠陥の数より高くないように最適化される。
素子は、半極性または非極性GaN基板を覆う、1つ以上の(In,Al)GaN層を備えている、(AlInGaN)系半導体素子を備えていることができ、(In,Al)GaN層は、ドーピングを採用し、結晶欠陥または拡張欠陥形態に影響を及ぼすかまたは制御する。1つ以上の(AlInGaN)素子層は、(In,Al)GaN層上あるいはその上方および/または下方にあることができる。半極性または非極性GaN基板を覆う、(In,Al)GaN層の厚さおよび/または組成は、素子構造または(In,Al)GaN層が、緩和に対するその臨界厚に近いかそれより大きいようなものであり得る(例えば、十分に高い)。
素子構造は、図3(a)−3(c)に示されるように、LED、LD、または太陽電池素子構造であることができる。例えば、素子層は、LED(n−型層、p−型層、および活性領域を含む)、太陽電池、またはLDの層であることができる。LDの素子層は、クラッディング層、導波層、および活性領域を含むことができる。素子層はまた、トランジスタ等の電子素子の層であることができる。
(専門用語)
用語「(AlInGaN)」「(In,Al)GaN」、または「GaN」(ならびに、用語「III窒化物」、「III族窒化物」、または「窒化物」)は、概して、本明細書で使用される場合、化学式GawAlxInyBzNを有する、(Ga,Al,In,B)N半導体の任意の合金組成物を指し、ここでは、0≦w≦1、0≦x≦1、0≦y≦1、0≦z≦1、およびw+x+y+z=1である。これらの用語は、単一種、Ga、Al、In、およびBのそれぞれの窒化物、ならびにそのようなIII族金属種の二元、三元、および四元組成物を含むものと広義に解釈されることが意図される。故に、GaNおよびInGaN材料を参照する以下の本発明の議論は、種々の他の(Ga,Al,In,B)N材料種の形成にも適用可能であることを理解されるであろう。さらに、発明の範囲内の(Ga,Al,In,B)N材料はさらに、少量のドーパントおよび/または他の不純物または含有材料を含み得る。
用語「(AlInGaN)」「(In,Al)GaN」、または「GaN」(ならびに、用語「III窒化物」、「III族窒化物」、または「窒化物」)は、概して、本明細書で使用される場合、化学式GawAlxInyBzNを有する、(Ga,Al,In,B)N半導体の任意の合金組成物を指し、ここでは、0≦w≦1、0≦x≦1、0≦y≦1、0≦z≦1、およびw+x+y+z=1である。これらの用語は、単一種、Ga、Al、In、およびBのそれぞれの窒化物、ならびにそのようなIII族金属種の二元、三元、および四元組成物を含むものと広義に解釈されることが意図される。故に、GaNおよびInGaN材料を参照する以下の本発明の議論は、種々の他の(Ga,Al,In,B)N材料種の形成にも適用可能であることを理解されるであろう。さらに、発明の範囲内の(Ga,Al,In,B)N材料はさらに、少量のドーパントおよび/または他の不純物または含有材料を含み得る。
多くの(Ga,Al,In,B)N素子は、極性配向、すなわち、結晶のc−平面に沿って成長させられるが、これは、強圧電および自発分極の存在のため、望ましくない量子閉じ込めシュタルク効果(QCSE)をもたらす。(Ga,Al,In,B)N素子における分極効果を低下させるアプローチの1つは、結晶の非極性または半極性平面上に素子を成長させることである。
用語「非極性平面」は、a−平面として集合的に周知の{11−20}平面と、m−平面として集合的に周知の{10−10}平面とを含む。そのような平面は、平面あたり等数のIII族(例えば、ガリウム)および窒素原子を含有し、電荷中性である。後続非極性層は、相互に均等であり、したがって、バルク結晶は、成長方向に沿って分極されないであろう。
用語「半極性平面」は、c−平面、a−平面、またはm−平面として分類されることができない、任意の平面を指すために使用することができる。結晶学的観点では、半極性平面は、少なくとも2つの非ゼロh、i、またはkミラー指数および非ゼロ1ミラー指数を有する、任意の平面となるであろう。後続半極性層は、相互に均等であり、したがって、結晶は、成長方向に沿って、分極を減少させるであろう。
(参考文献)
以下の参考文献は、参照することにより本明細書にその全体が組み込まれる。
1.A.Tyagi,F.Wu,E.C.Young,A.Chakraborty,H.Ohta,R.Bhat,K.Fujito,S.P.DenBaars,S.Nakamura、およびJ.S.Speck,Appl.Phys.Lett.95 251905(2009).
2.E.C.Young,C.S.Gallinat,A.E.Romanov,A.Tyagi,F.Wu、およびJ.S.Speck,Appl.Phys.Express 3 111002 (2010).
3J.Matthews、およびA.Blakeslee,J.Cryst.Growth 32 265 (1976).
(結論)
これは、本発明の好適な実施形態の説明を締めくくるものである。本発明の1つ以上の実施形態の上述の説明は、図解および説明のために示したものである。本記述は、網羅的であること、または本発明を開示された形態に限定することを意図したものではない。上述の教示に照らして、多数の修正および変形が可能である。本発明の範囲は、この詳細な説明によって限定されるのではなく、むしろ本明細書に添付された請求項によって限定されることを意図する。
以下の参考文献は、参照することにより本明細書にその全体が組み込まれる。
1.A.Tyagi,F.Wu,E.C.Young,A.Chakraborty,H.Ohta,R.Bhat,K.Fujito,S.P.DenBaars,S.Nakamura、およびJ.S.Speck,Appl.Phys.Lett.95 251905(2009).
2.E.C.Young,C.S.Gallinat,A.E.Romanov,A.Tyagi,F.Wu、およびJ.S.Speck,Appl.Phys.Express 3 111002 (2010).
3J.Matthews、およびA.Blakeslee,J.Cryst.Growth 32 265 (1976).
(結論)
これは、本発明の好適な実施形態の説明を締めくくるものである。本発明の1つ以上の実施形態の上述の説明は、図解および説明のために示したものである。本記述は、網羅的であること、または本発明を開示された形態に限定することを意図したものではない。上述の教示に照らして、多数の修正および変形が可能である。本発明の範囲は、この詳細な説明によって限定されるのではなく、むしろ本明細書に添付された請求項によって限定されることを意図する。
Claims (32)
- III族窒化物系半導体素子を製作する方法であって、
(a)半極性または非極性GaN基板上またはその上方に1つ以上のバッファ層を成長させることであって、前記バッファ層は、半極性または非極性III族窒化物バッファ層である、ことと、
(b)ドープされたバッファ層上またはその上方に形成されるIII族窒化物素子層内の結晶欠陥の数が、1つ以上のドープされていないバッファ層上またはその上方に形成されるIII族窒化物素子層内の結晶欠陥の数より高くないように、前記バッファ層をドープすることと
を含む、方法。 - 前記バッファ層は、3×1018cm−3を上回るドーピング濃度でドープされる、請求項1に記載の方法。
- 前記バッファ層は、シリコン(Si)でドープされる、請求項1に記載の方法。
- 前記バッファ層の上方に1つ以上のIII族窒化物素子層を形成することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記III族窒化物素子層は、前記ドープされたバッファ層上またはその上方にコヒーレントに成長させられる、請求項1に記載の方法。
- 活性領域を含む、前記ドープされたバッファ層上またはその上方に形成されるIII族窒化物素子層のうちの1つ以上は、107cm−2以下の貫通転位密度を有する、請求項1に記載の方法。
- 前記活性領域を含む、前記ドープされたバッファ層上またはその上方に形成されるIII族窒化物素子層のうちの1つ以上のインジウム組成は、少なくとも30%であるか、または前記素子が緑色波長範囲またはそれより長い波長においてピーク強度を有する光を放出するために十分である、請求項6に記載の方法。
- 前記ドープされたバッファ層上またはその上方に形成されるIII族窒化物素子層は、1つ以上の導波層または1つ以上のクラッディング層、または、前記1つ以上の導波層および前記1つ以上のクラッディング層を備えている、請求項7に記載の方法。
- 前記ドープすることは、前記ドープされたバッファ層上またはその上方に形成されるIII族窒化物素子層の面内m−またはa−方向に対して傾斜された線方向を有するミスフィット転位の形成を低減または防止する、請求項1に記載の方法。
- 前記ドープすることは、前記ドープされたバッファ層上またはその上方における前記バッファ層および前記III族窒化物素子層の成長の間、追加の貫通転位の形成を防止する、請求項9に記載の方法。
- 前記ドープすることは、c−平面すべりから生じるミスフィット転位線の形成を低減または防止し、前記線の方向は、前記ドープされたバッファ層上またはその上方に形成されるIII族窒化物素子層の面内m−またはa−方向に平行である、請求項1に記載の方法。
- 前記ドープすることと、前記ドープされたバッファ層の厚さ、組成、または前記厚さおよび前記組成とは、前記ドープされたバッファ層が、緩和に対するその臨界厚に近いかそれより大きい厚さを有するようなものである、請求項1に記載の方法。
- 前記ドープすることによって、前記バッファ層の臨界厚を増加または最大化することをさらに含むか、または、前記ドープすることが、前記臨界厚が、前記ドープすることを伴わない場合と比較してより厚いようなものである、請求項1に記載の方法。
- 請求項1に記載の方法に従って製作される素子。
- 前記バッファ層は、InGaNを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記バッファ層は、AlGaNを含む、請求項1に記載の方法。
- III族窒化物系半導体素子構造であって、前記素子構造は、半極性または非極性GaN基板上またはその上方に1つ以上のバッファ層を備え、
前記バッファ層は、半極性または非極性III族窒化物バッファ層であり、
前記バッファ層内のドーピング濃度は、ドープされた前記1つ以上のバッファ層上またはその上方に形成されるIII族窒化物素子層内の結晶欠陥の数が、1つ以上のドープされていないバッファ層上またはその上方に形成されるIII族窒化物素子層内の結晶欠陥の数より高くないように最適化されている、
素子構造。 - 前記ドーピング濃度は、3×1018cm−3を上回る、請求項17に記載の素子構造。
- 前記バッファ層は、シリコン(Si)でドープされている、請求項17に記載の素子構造。
- 前記バッファ層の上方に形成された1つ以上のIII族窒化物素子層をさらに備えている、請求項17に記載の素子構造。
- 前記III族窒化物素子層は、前記ドープされたバッファ層上またはその上方にコヒーレントに成長させられる、請求項17に記載の素子構造。
- 活性領域を含む、前記ドープされたバッファ層上またはその上方に形成されるIII族窒化物素子層のうちの1つ以上は、107cm−2以下の貫通転位密度を有する、請求項17に記載の素子構造。
- 前記活性領域を含む、前記ドープされたバッファ層上またはその上方に形成されるIII族窒化物素子層のうちの1つ以上のインジウム組成は、少なくとも30%であるか、または前記素子が緑色波長範囲またはそれより長い波長においてピーク強度を有する光を放出するために十分である、請求項22に記載の素子構造。
- 前記ドープされたバッファ層上またはその上方に形成されるIII族窒化物素子層は、1つ以上の導波層または1つ以上のクラッディング層、または、前記1つ以上の導波層および前記1つ以上のクラッディング層を備えている、請求項23に記載の素子構造。
- 前記ドーピング濃度は、前記ドープされたバッファ層上またはその上方に形成されるIII族窒化物素子層の面内m−またはa−方向に対して傾斜された線方向を有するミスフィット転位の形成を低減または防止する、請求項17に記載の素子構造。
- 前記ドーピング濃度は、前記ドープされたバッファ層上またはその上方において、前記III族窒化物素子層内の追加の貫通転位の形成を防止する、請求項25に記載の素子構造。
- 前記ドーピング濃度は、c−平面すべりから生じるミスフィット転位線の形成を低減または防止し、前記線の方向は、前記面内m−またはa−方向に平行である、請求項17に記載の素子構造。
- 前記ドーピング濃度と前記ドープされたバッファ層の厚さまたは組成とは、前記ドープされたバッファ層が、緩和に対するその臨界厚に近いかそれより大きいようなものである、請求項17に記載の素子構造。
- 前記バッファ層は、InGaNを含む、請求項17に記載の素子構造。
- 前記バッファ層は、AlGaNを含む、請求項17に記載の素子構造。
- 前記ドープされたバッファ層上またはその上方に形成されるIII族窒化物素子層は、レーザダイオード(LD)、発光ダイオード(LED)、太陽電池、またはトランジスタの層である、請求項17に記載の素子構造。
- 前記ドープされたバッファ層上またはその上方に形成されるIII族窒化物素子層は、クラッディング層、導波層、および活性領域を含むレーザダイオードの層である、請求項17に記載の素子構造。
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