JP2014518941A - 横回転アーク陰極を備えるグロー放電装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本装置は、回転シールド又はチューブシャッタ4が設けられる。本方法は、第2の電極2のアークが上記ドアに対して直接燃焼するように装置を動作させるステップを含む。第1の電極1上の回転シールド又はチューブシャッタが開き、第2の電極2上の上記回転シールド又はチューブシャッタ4が閉じられる。そして、上記第1の電極1上に正の電位が印加されることにより、上記第2の電極2と上記第1の電極1との間に電位が印加される。上記第1の電極1に対する電位が高いほど電子に影響が及ぶので、上記第1の電極1上に印加される正の電位は、電子流がドアに対してのみ燃焼しないように選択される。
【選択図】図1
Description
工具−挿入物ADMX11T308SR
速度−80m/分
工作物材料−C45
供給−0.1mm
深さ−8mm
ae−22mm
ミルの直径−25mm
冷却−エマルジョン
TiAlN+従来のグロー放電−91分
TiAlN+LARCグロー放電−160分
工具 タイプN300
直径 16mm
切断エッチング回数 4
材料 1.2312
強度 1000N/mm2
装置 Deckel/Maho
切断値 vc=100m/分
n=1990U/分
fz=0.08mm
vf=636mm/分
ae=0.2mm
ap=24mm
Vb;クリアランス上の摩耗
2 第2の陰極(Ti又はCr)
3 基板
4 回転シールド
4a 開いた回転シールド
4b 閉じた回転シールド
5 ドア
6 真空チャンバ
8 ターボポンプによる排出口
9 低電圧アーク源
10 低電圧アーク源
11 パルス電流源
12 バイアス
14 固定シャッタ
Claims (14)
- 物理気相成長法によってサンプル又は基板上にコーティングを堆積する装置であって、
反応性ガス及び不活性ガスの注入口を備えるコーティング装置の真空チャンバと、
前記コーティング装置の残りの部分から直流電気的に分離され、電流供給源(11)の正極に接続される第1の回転電極(1)と、
前記コーティング装置の残りの部分から直流電気的に分離される第2の回転電極(2)と
を含んでなり、
前記第1の回転電極(1)及び前記第2の回転電極(2)のそれぞれは回転シールド(4)を備え、
前記装置は高電圧供給源(12)を更に含み、該高電圧供給源の負極は前記サンプル又は前記基板に接続され、前記第2の回転電極(2)の負極は低電圧アーク供給源(9)に接続され、前記第2の電極はアークによって消費されることを特徴とする、装置。 - 前記電流供給源(11)の負極は、前記コーティング装置の前記真空チャンバに接続されることを特徴とする、請求項1に記載の装置。
- 前記低電圧アーク供給源(9)の正極は、前記コーティング装置の前記真空チャンバに接続されることを特徴とする、請求項1に記載の装置。
- 前記高電圧供給源(12)の正極は、前記コーティング装置の前記真空チャンバに接続されることを特徴とする、請求項1に記載の装置。
- 前記電流供給源(11)はパルス供給源であることを特徴とする、請求項1に記載の装置。
- 前記第2の回転電極(2)の前記回転シールドは、前記電極上でアーク燃焼中に前記サンプル又は前記基板に対して前記電極をシールドするように設けられることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一項に記載の装置。
- 前記第1の電極(1)の前記回転シールドは、アーク燃焼中に前記サンプル又は前記基板に対して前記電極をシールドしないように設けられ、前記サンプル又は前記基板上にコーティングを堆積するのに使用可能であることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一項に記載の装置。
- 前記電流供給源の前記正極に接続される前記第1の回転電極(1)は、別の低電圧アーク供給源(10)の負極に択一的に再接続可能であり、前記サンプル又は前記基板上にコーティングを堆積するのに使用可能であることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一項に記載の装置。
- 前記パルス電流供給源(11)は、0.1秒〜0.000001秒の長さ及び10Hz〜106Hzの切替周波数を有するパルスを生成するように設けられていることを特徴とする、請求項5〜8のいずれか一項に記載の装置。
- 請求項1〜9のいずれか一項に記載の物理気相成長コーティング装置におけるグロー放電方法であって、前記装置はドアを有しており、
仮想シャッタモードにおいて前記第2の電極(2)のアークが前記ドアに対して直接燃焼するように前記装置を動作させるステップであって、前記モードでは、第1の電極(1)上のシールド又はチューブシャッタが開き、第2の電極(2)上の前記シールド又は前記チューブシャッタ(4)が閉じられる、動作させるステップと、
前記第2の電極(2)と前記第1の電極(1)との間に電位を印加するように、前記第1の電極(1)上に正の電位を印加するステップと
を含んでなり、
前記第1の電極(1)への電位が高いほど電子に影響が及ぶため、前記第1の電極(1)上に印加される前記正の電位は、電子流がもはやドアに対して燃焼しないように選択されるものである、請求項1〜9のいずれか一項に記載の物理気相成長コーティング装置におけるグロー放電方法。 - 前記仮想シャッタモードにおいて前記第2の電極の前記アークが前記ドアに対して直接燃焼する前記装置の前記動作は、−20V及び100Aで実行されることを特徴とする、請求項10に記載の方法。
- 前記第2の電極(2)と前記第1の電極(1)との間の前記電位が20V〜50Vとなるように、前記第1の電極(1)上に印加される前記正の電位は1V〜50Vであることを特徴とする、請求項10又は11に記載の方法。
- 前記第1の電極(1)はアルミニウムターゲットであり、前記第2の電極(2)はチタンターゲットであり、前記装置内のガスはアルゴンであることを特徴とする、請求項10〜12のいずれか一項に記載の方法。
- 前記第2の回転電極(2)の前記回転シールドは、前記電極上でアーク燃焼中に前記サンプル又は前記基板に対して前記電極をシールドするように向くように配置されること特徴とし、前記第1の回転電極(1)の前記回転シールドは、前記アーク燃焼中に前記サンプル又は前記基板に対して前記電極をシールドしないように向くように配置されることにより、前記サンプル又は前記基板上にコーティングを堆積することを特徴とする、請求項10〜13のいずれか一項に記載の方法。
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---|---|---|---|---|
CN103094021B (zh) * | 2012-12-21 | 2015-05-27 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种阴极制备前处理装置及清洁方法 |
DE102013011072A1 (de) | 2013-07-03 | 2015-01-08 | Oerlikon Trading Ag, Trübbach | Targetpräparation |
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Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06124675A (ja) * | 1992-09-08 | 1994-05-06 | Xerox Corp | グロー放電装置 |
JP2007532783A (ja) * | 2004-04-19 | 2007-11-15 | ピヴォット アー.エス. | 窒化アルミニウムベースの硬い耐摩耗性コーティング |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2718731B2 (ja) * | 1988-12-21 | 1998-02-25 | 株式会社神戸製鋼所 | 真空アーク蒸着装置及び真空アーク蒸着方法 |
DE4125365C1 (ja) | 1991-07-31 | 1992-05-21 | Multi-Arc Oberflaechentechnik Gmbh, 5060 Bergisch Gladbach, De | |
CZ293777B6 (cs) | 1999-03-24 | 2004-07-14 | Shm, S. R. O. | Otěruvzdorný povlak |
CZ296094B6 (cs) * | 2000-12-18 | 2006-01-11 | Shm, S. R. O. | Zarízení pro odparování materiálu k povlakování predmetu |
ATE386334T1 (de) | 2002-04-22 | 2008-03-15 | Pivot A S | Bogenbeschichtung mit drehkathoden |
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JP2005133110A (ja) * | 2003-10-28 | 2005-05-26 | Konica Minolta Opto Inc | スパッタリング装置 |
US20080011599A1 (en) * | 2006-07-12 | 2008-01-17 | Brabender Dennis M | Sputtering apparatus including novel target mounting and/or control |
ES2774167T3 (es) * | 2008-09-02 | 2020-07-17 | Oerlikon Surface Solutions Ag Pfaeffikon | Dispositivo de revestimiento para el revestimiento de un sustrato, así como un procedimiento para el revestimiento de un sustrato |
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2011
- 2011-05-06 EP EP11165152A patent/EP2521159A1/en not_active Withdrawn
-
2012
- 2012-05-03 US US14/115,422 patent/US20140311895A1/en not_active Abandoned
- 2012-05-03 EP EP12719954.5A patent/EP2705522B1/en active Active
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06124675A (ja) * | 1992-09-08 | 1994-05-06 | Xerox Corp | グロー放電装置 |
JP2007532783A (ja) * | 2004-04-19 | 2007-11-15 | ピヴォット アー.エス. | 窒化アルミニウムベースの硬い耐摩耗性コーティング |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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