JP2014515095A - 無線プローブカード検証システム及び方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 プローブカード組立体は、外部検証器(例えば、デバッガ)への無線リンクを含むことができる。無線リンクは、プローブカード組立体上のコントローラの境界スキャンインタフェースとインタフェースすることができる。無線リンクは、プローブカード組立体がプローバに設置されている間、プローブカード組立体を検証可能にすることができる。
【選択図】 図1A
Description
プローブカード組立体は、テスト中、マイクロ電子装置(例えば、複数のダイを含むウェーハ)に一時的に接触するために使用することができる。通常、プローブカード組立体はプローバに設置され、プローブカード組立体の上部がテストヘッドにドッキングされる。テストすべき装置はチャック(又はステージ)に配置され、プローブカードの下面に配置されるプローブに接触させられる。次に、テスタが、テストヘッド及びプローブカード組立体を通して、テストすべき装置と通信する(例えば、テスト信号及び制御信号をテストすべき装置に提供し、テストすべき装置から応答信号を受信する)ことができる。
本発明のいくつかの実施形態では、プローブカード組立体が提供される。プローブカード組立体は、第1の基板に配置され、テスト中の装置の対応するパッドに接触するように構成される複数の弾性プローブを含むことができる。プローブカード組立体はテスタインタフェースも含む。テスト回路は、テスタインタフェース及びプローブに電気的に結合される。コントローラがテスト回路に結合され、コントローラは境界スキャンインタフェースを含む。無線送受信器が境界スキャンインタフェースに結合され、外部検証器(例えば、デバッガ)との無線通信リンクを確立することができる。
本明細書は、本発明の例示的な実施形態及び用途を説明する。しかし、本発明は、これらの例示的な実施形態及び用途、又は例示的な実施形態及び用途が動作するか、若しくは本明細書において説明される様式に限定されない。更に、図は簡易化又は部分的な図を示し得、図中の要素の寸法は、明確にするために誇張されるか、又は他の様式で比例していないことがある。更に、「上」、「に取り付けられる」、又は「に結合される」という用語が本明細書において使用される場合、1つの物体(例えば、物質、層、基板等)は、その一方の物体が直接、他方の物体の上にあるか、直接、他方の物体に取り付けられるか、又は直接、他方の物体に結合されるか、それとも一方の物体と他方の物体との間に1つ又は複数の介在物体があるかどうかに関わらず、別の物体「上」にあり、別の物体「に取り付けられ」、又は別の物体「に結合する」ことができる。方向(例えば、上方、下方、上、下、横、アップ、ダウン、アンダー、オーバー、上の、下の、水平、垂直、「x」、「y」、「z」等)が提供される場合も、方向は相対的であり、単に例として、説明及び考察を容易にするために提供されており、限定として提供されるものではない。いくつかの図では、「x」軸、「y」軸、及び「z」軸が、限定としてではなく、考察及び説明を容易にするために右手座標系に従って提供される。特定の方向又は向きを参照して、「実質的に」という用語を使用し得、それにより、言及された方向又は向きが厳密である必要がなく、例えば、許容差、測定誤差、測定精度限界、変換係数、四捨五入、及び当業者に既知の他の要因を含む逸脱又は変動を含み得ることを理解されたい。同様に、「約」という用語も、数量、寸法、サイズ、公式、パラメータ、形状、及び他の特徴が厳密である必要がなく、必要に応じて、受け入れられる許容差、変換係数、四捨五入、測定誤差等、及び当業者に既知の他の要因を反映した近似及び/又はより大きく若しくはより小さくてもよいことを意味する。更に、要素リスト(例えば、要素a、b、c)が参照される場合、そのような参照は、それ自体が列挙される要素の任意の1つ、列挙された全要素未満の任意の組み合わせ、及び/又は列挙された要素のすべての組み合わせを包含することが意図される。更に、ある範囲の値が参照される場合、そのような参照は、明示的に言及される範囲のみならず、その範囲内に含まれるすべての個々の値及び部分範囲を包含することが意図される。
Claims (16)
- 第1の基板と、
前記基板に配置され、テスト中の装置の対応するパッドに接触するように構成される複数の弾性プローブと、
テスタインタフェースと、
前記テスタインタフェースに電気的に結合されるとともに、前記複数の弾性プローブのうちのいくつかに電気的に結合されるテスト回路と、
前記テスト回路に結合され、インタフェースを含むコントローラと、
前記コントローラの前記インタフェースに結合される無線送受信器であって、前記無線送受信器は、外部コンピュータと無線通信リンクを確立することができる、無線送受信器と、
を備える、プローブカード組立体。 - 前記コントローラの前記インタフェースは境界スキャンインタフェースである、請求項1に記載のプローブカード組立体。
- 前記境界スキャンインタフェースは、JTAG(joint test access group)準拠インタフェースである、請求項2に記載のプローブカード組立体。
- 前記無線送受信器はJTAGコマンド及びステータスを前記無線通信リンクを介して通信する、請求項3に記載のプローブカード組立体。
- 前記無線送受信器は、前記無線通信リンク上で受信するコマンドを前記境界スキャンインタフェース上の複数のJTAGコマンドに変換する、請求項3に記載のプローブカード組立体。
- 前記第1の基板に結合される第2の基板を更に含み、前記テスト回路及び前記コントローラは前記第2の基板に配置される、請求項1に記載のプローブカード組立体。
- 前記第2の基板に結合されるドーターカードを更に含み、前記無線送受信器は前記ドーターカードに配置される、請求項6に記載のプローブカード組立体。
- 前記テスト回路は、テストリソース増強を提供する手段を含む、請求項1に記載のプローブカード組立体。
- 前記テスト回路は、電源拡張を提供する手段を含む、請求項1に記載のプローブカード組立体。
- 前記コントローラは、前記無線通信リンクを介して受信されるコマンドに基づいて前記プローブカード組立体の動作を制御する、請求項1に記載のプローブカード組立体。
- 前記外部コンピュータは検証器である、請求項1に記載のプローブカード組立体。
- プローブカード組立体の無線検証アタッチメントであって、
前記プローブカード組立体がプローバに設置される場合、テストヘッドとプローブカード組立体との間の空間内に収まるようなサイズの基板と、
前記基板に配置される電気コネクタであって、前記プローブカード組立体に配置される電気インタフェースに機械的且つ電気的に接続するように位置決めされる、電気コネクタと、
前記電気インタフェースに結合され、外部コンピュータと無線通信リンクを確立することが可能な無線送受信器と、
を含む、無線検証アタッチメント。 - 前記電気インタフェースは境界スキャンインタフェースである、請求項12に記載の無線検証アタッチメント。
- 前記境界スキャンインタフェースは、JTAG(joint test access group)準拠インタフェースを含む、請求項13に記載の無線検証アタッチメント。
- 前記無線送受信器は、前記無線通信リンクを介して転送される情報を使用して、前記電気コネクタにおいて前記外部コンピュータのJTAG信号を複製する、請求項14に記載の無線検証アタッチメント。
- 前記無線送受信器及び前記電気コネクタに電気的に結合されるコントローラを更に含み、前記コントローラは、前記無線通信リンクを介して転送される情報を使用して、前記電気コネクタにおいてJTAG信号を生成する、請求項14に記載の無線検証アタッチメント。
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