JP2007078407A - 半導体集積回路及びそのテストシステム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 内部回路により動作する半導体集積回路において、前記内部回路に対して試験を行なう試験部と、この試験部と電気的に接続し、無線通信を行なう無線インターフェースモジュールとを設けた半導体集積回路、
及びこの半導体集積回路の無線インターフェースモジュールと無線で通信を行なう無線部を備えるテストシステム。
【選択図】 図1
Description
5は、JTAG対応のテストを実行するためにパッケージ内部に組み込まれたTAPコントローラ(組み込み型試験制御装置)である。
(1)内部回路により動作する半導体集積回路において、
前記内部回路に対して試験を行なう試験部と、
この試験部と電気的に接続し、無線通信を行なう無線インターフェースモジュールと、を設けたことを特徴とする半導体集積回路。
このプローバと電気的に接続するテスト手段と、
を有することを特徴とするテストシステム。
(1)物理コンタクトを伴はないため、プローブカードが不要であり、高集積化及び多I/O化への対応が容易である。
100 試験部
200 無線I/Fモジュール
300 無線部
400 テスト手段
Claims (4)
- 内部回路により動作する半導体集積回路において、
前記内部回路に対して試験を行なう試験部と、
この試験部と電気的に接続し、無線通信を行なう無線インターフェースモジュールと、を設けたことを特徴とする半導体集積回路。 - 請求項1記載の半導体集積回路の無線インターフェースモジュールと無線で通信を行なう無線部を備え、前記半導体集積回路の試験を行なうことを特徴とするテストシステム。
- 前記無線部と電気的に接続するテスト手段を具備したことを特徴とする請求項2記載のテストシステム。
- 請求項1記載の半導体集積回路の無線インターフェースモジュールと無線で通信を行なうプローバと、
このプローバと電気的に接続するテスト手段と、
を有することを特徴とするテストシステム。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
ITMI20111415A1 (it) * | 2011-07-28 | 2013-01-29 | St Microelectronics Srl | Sistema di scheda di misura (probe card) per il testing senza fili (wireless) di dispositivi integrati |
KR20140019376A (ko) * | 2011-03-16 | 2014-02-14 | 폼팩터, 인크. | 무선 프로브 카드 검증 시스템 및 방법 |
KR101388674B1 (ko) * | 2007-09-07 | 2014-04-25 | 삼성전자주식회사 | 고속 원 샷 웨이퍼 테스트를 위한 무선 인터페이스 프로브카드 및 이를 구비한 반도체 테스트 장치 |
KR101407478B1 (ko) * | 2010-06-10 | 2014-06-16 | 에스티에스반도체통신 주식회사 | 무선 신호 전달 및/또는 무선 전원 구동 기능을 갖는 웨이퍼 이면 연마 장치 |
JP2016180673A (ja) * | 2015-03-24 | 2016-10-13 | 株式会社デンソー | 半導体集積回路及び半導体集積回路のテストシステム |
US10192078B2 (en) | 2015-04-10 | 2019-01-29 | Socionext Inc. | Integrated circuit, diagnostic system and diagnostic method |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002063675A1 (fr) * | 2001-02-02 | 2002-08-15 | Hitachi, Ltd. | Circuit integre, procede de test et de fabrication d'un circuit integre |
JP2003060047A (ja) * | 2001-08-09 | 2003-02-28 | Oht Inc | 検査システム及び検査方法 |
JP2003533882A (ja) * | 2000-05-15 | 2003-11-11 | ザ・ガバナーズ・オブ・ザ・ユニバーシティ・オブ・アルバータ | 集積回路およびウェーハを試験する無線周波数技術構造および方法 |
JP2004253561A (ja) * | 2003-02-19 | 2004-09-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ウェハ検査装置、ウェハ検査方法および半導体ウェハ |
JP2005030877A (ja) * | 2003-07-11 | 2005-02-03 | Hitachi Ltd | 無線制御テスト機能を備えた半導体集積回路装置 |
WO2005076885A2 (en) * | 2004-02-05 | 2005-08-25 | Formfactor, Inc. | Contactless interfacing of test signals with a device under test |
JP2006029800A (ja) * | 2004-07-12 | 2006-02-02 | Seiko Epson Corp | 半導体集積回路、検査装置および半導体集積回路の検査方法 |
-
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003533882A (ja) * | 2000-05-15 | 2003-11-11 | ザ・ガバナーズ・オブ・ザ・ユニバーシティ・オブ・アルバータ | 集積回路およびウェーハを試験する無線周波数技術構造および方法 |
WO2002063675A1 (fr) * | 2001-02-02 | 2002-08-15 | Hitachi, Ltd. | Circuit integre, procede de test et de fabrication d'un circuit integre |
JP2003060047A (ja) * | 2001-08-09 | 2003-02-28 | Oht Inc | 検査システム及び検査方法 |
JP2004253561A (ja) * | 2003-02-19 | 2004-09-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ウェハ検査装置、ウェハ検査方法および半導体ウェハ |
JP2005030877A (ja) * | 2003-07-11 | 2005-02-03 | Hitachi Ltd | 無線制御テスト機能を備えた半導体集積回路装置 |
WO2005076885A2 (en) * | 2004-02-05 | 2005-08-25 | Formfactor, Inc. | Contactless interfacing of test signals with a device under test |
JP2006029800A (ja) * | 2004-07-12 | 2006-02-02 | Seiko Epson Corp | 半導体集積回路、検査装置および半導体集積回路の検査方法 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101388674B1 (ko) * | 2007-09-07 | 2014-04-25 | 삼성전자주식회사 | 고속 원 샷 웨이퍼 테스트를 위한 무선 인터페이스 프로브카드 및 이를 구비한 반도체 테스트 장치 |
KR101407478B1 (ko) * | 2010-06-10 | 2014-06-16 | 에스티에스반도체통신 주식회사 | 무선 신호 전달 및/또는 무선 전원 구동 기능을 갖는 웨이퍼 이면 연마 장치 |
KR20140019376A (ko) * | 2011-03-16 | 2014-02-14 | 폼팩터, 인크. | 무선 프로브 카드 검증 시스템 및 방법 |
JP2014515095A (ja) * | 2011-03-16 | 2014-06-26 | フォームファクター, インコーポレイテッド | 無線プローブカード検証システム及び方法 |
ITMI20111415A1 (it) * | 2011-07-28 | 2013-01-29 | St Microelectronics Srl | Sistema di scheda di misura (probe card) per il testing senza fili (wireless) di dispositivi integrati |
US9176185B2 (en) | 2011-07-28 | 2015-11-03 | Stmicroelectronics S.R.L. | Active probe card for electrical wafer sort of integrated circuits |
JP2016180673A (ja) * | 2015-03-24 | 2016-10-13 | 株式会社デンソー | 半導体集積回路及び半導体集積回路のテストシステム |
US10192078B2 (en) | 2015-04-10 | 2019-01-29 | Socionext Inc. | Integrated circuit, diagnostic system and diagnostic method |
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