JP2014500616A5 - ウエハ容器、ウエハ容器のための前扉およびウエハ容器内における扉のたわみを最小化する方法 - Google Patents

Claims (17)

1. 前面開放式ウエハ容器であって、
   前記容器の内部の両側に配置された、４５０ｍｍウエハを保持するための大きさに作られた棚の対向する柱を備えた内部と、前面開口部を画定する扉フレームとを有する容器部分と、
   前記容器部分の前面開口部を作動的に閉じる扉と、
   を含む前面開放式ウエハ容器において、前記扉が、
   それぞれが前記扉の側部において外部的に動作可能な一対の掛止機構であって、各掛止機構が、前記扉の上部周縁部および底部周縁部から、前記扉に配置された受容部内に突出可能な一対の掛止チップを有する、一対の掛止機構と、
   離間した積み重ね構成において配置された水平ウエハの前部縁端を支持するためのウエハクッションであって、間に水平に延びる弓状のウエハ係合部を備えた一対の垂直方向に延びる支持ストリップ部を有しており、前記弓状のウエハ係合部が前記扉の内部表面にある垂直方向に延びる中心凹部に配置され、前記前扉の内部表面から離間しており、前記ウエハクッションが、前記容器部分のウエハクッションと後部ウエハ支持部との間における前記ウエハの圧縮保持による荷重が前記ウエハクッションと前記前扉との間に伝達される、一対の垂直方向に延びる荷重接合部にある前記一対の垂直方向に延びる支持ストリップ部において前記扉の内部に固定されている、ウエハクッションと、
   前記掛止機構のための複数のロボットアクセス用キー孔であって、前記垂直方向に延びる荷重接合部から水平に外側に向かって離間しており、各々の掛止式機構の掛止チップが前記ロボットアクセス用キー孔から水平に片寄っており、前記掛止チップが前記垂直方向に延びる荷重接合部と垂直線において整列して配置されている、複数のロボットアクセス用キー孔と、
   を含む、前面開放式ウエハ容器。
2. ウエハ容器であって、
   前面開口部を備えた、４５０ｍｍウエハ用の大きさに作られた容器部分と、
   前扉であって、前記前面開口部にはめ込むための大きさに作られており、前記扉の上部周縁部および底部周縁部から作動的に突出するようになっている掛止部材を有する２つの掛止機構を備えている前扉と、
   前記前扉によって前記２つの掛止機構の掛止部材と垂直整列している位置に支持されているウエハクッションと、
   を含む、ウエハ容器。
3. 前記ウエハクッションが、間に延びる弓状のウエハ係合部を備えた一対の垂直方向に延びる支持ストリップ部を含む、請求項２に記載のウエハ容器。
4. 前記弓状のウエハ係合部が前記前扉の内部表面にある垂直方向に延びる中心凹部に配置されている、請求項３に記載のウエハ容器。
5. 前記ウエハクッションが、一対の垂直方向に延びる荷重接合部にある前記一対の垂直方向に延びる支持ストリップ部において、前記扉の内部に固定されている、請求項３に記載のウエハ容器。
6. 前記前扉が、前記２つの掛止機構を操作するための複数のロボット用キー孔を含む、請求項２に記載のウエハ容器。
7. 前記ウエハ容器が、ポリカーボネート類、フルオロポリマー類およびポリエーテルエーテルケトンの１つまたは複数から作製されている、請求項１または２に記載のウエハ容器。
8. 二次ラッチが、前記扉の角を前記ウエハ容器に対してさらに固定するために使用されている、請求項１または２に記載のウエハ容器。
9. 前面開放式ウエハ容器のための前扉であって、
   前扉構造であって、前記前扉構造の上部周縁部および底部周縁部から作動的に突出するようになっており、前面開放式ウエハ容器の扉フレームとの掛止機構係合部を提供している掛止機構を備えた前扉構造と、
   ウエハクッションであって、前記掛止機構係合部と実質的に垂直整列しているウエハクッションと前記前扉構造との間に垂直方向に延びるウエハ荷重担持接合部を有するウエハクッションと、
   を含む、前扉。
10. 前記前扉が、前記掛止機構を操作するための複数のロボット用キー孔を含む、請求項９に記載の前扉。
11. 二次ラッチが、前記扉の角を前記ウエハ容器に対してさらに固定するために使用されている、請求項９に記載の前扉。
12. 前面開放式ウエハ容器のための前扉であって、
    扉ハウジングと、
    前記扉ハウジングの内部表面にある、水平に積み重ねられたウエハを担持するためのウエハクッションと、
    前記ウエハの係合による荷重を担持する、前記扉ハウジングの内部表面にある前記ウエハクッションの部分と垂直整列している、複数のウエハ掛止タブと、
    を含む、前扉。
13. 前記ウエハクッションが、間に延びる弓状のウエハ係合部を備えた一対の垂直方向に延びる支持ストリップ部を含む、請求項９または１２に記載の前扉。
14. 前記ウエハクッションが、前記垂直方向に延びるウエハ荷重担持接合部にある前記一対の垂直方向に延びる支持ストリップ部において前記前扉の内部に固定されている、請求項１３に記載の前扉。
15. 前記弓状のウエハ係合部が前記扉ハウジングの内部表面にある垂直方向に延びる中心凹部に配置されている、請求項１４に記載の前扉。
16. 前記前扉が、ポリカーボネート類、フルオロポリマー類およびポリエーテルエーテルケトンの１つまたは複数から作製される、請求項１２に記載の前扉。
17. 前面開放式ウエハ容器内における扉のたわみを最小化する方法であって、
    ウエハ容器を用意するステップと、
    垂直支持部材により前記扉によって支持された一組の内側に配置されたウエハ支持クッションを有する前記ウエハ容器のための前扉を用意するステップと、
    前記前扉を前記ウエハ容器内に保持するため、一組の掛止機構を前記支持部材と垂直整列している位置から展開するステップと、
    を含む、方法。