JP3074610U - ウエハーケースのドア構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ウエハーケースの密封性を高めることができ
るウエハーケースのドア構造の提供。 【解決手段】 カムとそれに連接し且つ外側に斜め溝を
具えた連接棒とを包括し、この斜め溝に可動式にもう一
つの連接棒が套設されている。カムの回転により二つの
連接棒の尾端の舌片がウエハーケースの隣接する二側縁
の挿入溝に対して進入或いは退出する。本考案のもう一
つの特徴は、連接棒の底面に斜面構造が設けられて、ド
ア本体に設けられた別の二つの斜面構造と接触し、連接
棒がウエハーケース側縁の挿入溝に向けて移動する時
に、連接棒とドア本体間の空隙が拡大し、即ちドア本体
がこれにより制圧されてウエハーケース内部に向けて移
動し、これによりその密封性が高められたことにある。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【考案の属する技術分野】

本考案は一種のウエハーケースのドア構造に係り、特に密封性に対する要求が 比較的高いウエハーケースに適用されるドア構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】

ウエハーを収容し移送するための周知のウエハーケース中、そのドアに閂構造 を有するものに、米国パテントＮｏ．５，９１５，５６２５號の「Ｔｒａｎｓｐ ｏｒｔ Ｍｏｄｕｌｅ Ｗｉｔｈ Ｌａｔｃｈｉｎｇ Ｄｏｏｒ」がある。この 周知のドア構造は、ドアの中央或いは両側に、一つのカムの四つの溝で二組の、 一直線を呈する長方形片体を駆動し、各一組の長方形片体が一つのプラグ片と一 つの押上片を包括し、カムが特定方向に回転する時、プラグ片と押上片が接近或 いは離れ、そのうちプラグ体がウエハーケース側縁の挿入溝に挿入可能とされ、 また押上片とプラグ片の対応位置にそれぞれ接触可能な斜面が設けられ、プラグ 片と押上片の間隔を拡大させることでき、並びにドアを制圧してウエハーケース 内部に向けて移動させることにより、その密封性を増加するようにしている。し かし、周知のドア構造は、二つの長方形片体（プラグ片と押上片）を使用し、構 造が複雑で製造が容易でなく、且つ押上片が活動式とされ、即ち特別に上下方向 の案内片を設計して位置決めしなければ位置により脱落する恐れがあった。且つ 大量に製造し及び組み立てるコストが比較的高くついた。このほか、周知のドア 構造のカム及び長方形片体の設計は、僅かにドアの両側を制圧するのに適用する だけであり、その密封性は不足していた。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

本考案は、構造が簡単で且つ密封性が良好であり、大量生産に適し且つ組立が 容易な長所を有するウエハーケースのドア構造を提供することを課題としている 。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

請求項１の考案は、 ドア本体とされ、矩形平面状を呈し、少なくとも二つの隣り合う側縁と、該二 つの隣り合う側縁の内側に位置する少なくとも二つの支持部と、少なくとも二つ の案内構造と一つのカム受け部を具え、そのうち二つの隣り合う側縁にこれら二 つの支持部に対応してそれぞれ第１開口と第２開口が設けられた、上記ドア本体 と、 少なくとも一つの溝を具えた、少なくとも一つのカムと、 少なくとも一つの第１連接棒とされ、各第１連接棒の一端が、活動可能にカム の溝に挿入され、底部に、ドア本体の案内構造においてスライド可能とされてド ア本体の側縁の第１開口を貫通する凸柱とが設けられた、上記少なくとも一つの 第１連接棒と、 少なくとも一つの第２連接棒とされ、各第２連接棒が活動可能に第１連接棒の 外側の斜め溝中に挿入され、底部に、ドア本体の案内構造においてスライド可能 とされてドア本体の側縁の第２開口を貫通する、上記少なくとも一つの第２連接 棒と、 を具えてなるウエハーケースのドア構造としている。 請求項２の考案は、前記第１連接棒の底面に第１斜面が設置され、それと該支 持部が接触する時に、該第１連接棒が押し上げられ、ドア本体を下向きに制圧し てウエハーケースと密に結合させることを特徴とする、請求項１に記載のウエハ ーケースのドア構造としている。 請求項３の考案は、前記第２連接棒の底面に第２斜面が設置され、それと該支 持部が接触する時に、該第２連接棒が押し上げられ、ドア本体を下向きに制圧し てウエハーケースと密に結合させることを特徴とする、請求項１に記載のウエハ ーケースのドア構造としている。

【０００５】

【考案の実施の形態】

本考案は、 矩形平面状を呈し、少なくとも二つの隣り合う側縁と、それぞれ二つの隣り合 う側縁内側に位置する少なくとも二つの支持部と、一つのカム受け部を具え、該 二つの隣り合う側縁の該二つの支持部に対応する位置に第１開口と第２開口が設 けられたドア本体と、 軸でカム受け部に枢接され少なくとも一つの搭載構造本体を具え、各一つの搭 載構造本体が該軸より離れた遠端と該軸に接近する近端とを具えた少なくとも一 つのカムと、 少なくとも一つの第１連接棒とされ、可動式に上述の搭載構造本体中に挿入さ れる搭載組合せ部と、第１連接棒の底面に位置して支持部と対応設置された第１ 斜面と、第１連接棒の尾端に位置しドア本体の第１開口を貫通可能な第１舌片と 、第１連接棒の外側に設けられた斜め搭載構造本体とを包括する上記少なくとも 一つの第１連接棒と、 少なくとも一つの第２連接棒とされ、該斜め搭載構造本体中に可動式に挿入さ れる斜め搭載組合せ部と、第２連接棒底面に位置し並びに支持部と対応設置され た第２斜面と、第２連接棒の尾端に位置しドア本体の第２開口を貫通可能な第２ 舌片とを具えた上記少なくとも一つの第２連接棒と、 を具えている。

【０００６】 上述の搭載構造本体は一つの円弧形溝とされて搭載組合せ部が一つの短軸とさ れるか、或いは搭載構造本体が一つの円弧突起とされ、搭載組合せ部が一つの溝 とされる。斜め搭載構造本体は一つの溝とされて該斜め搭載組合せ部が一つの短 軸とされるか、或いは斜め搭載構造本体が一つの長突起とされて該斜め搭載組合 せ部が一つの溝とされうる。このほか、前述の支持部は前述のドア本体と一体成 形されるか或いは分離設置される。第１連接棒と第２連接棒の底面にそれぞれ第 １、第２案内部が設けられ、ドア本体にこれに対応する第１及び第２案内構造が 設けられる。

【０００７】 本考案の構造は新規で産業上の利用価値を有し、且つ確実に増進された機能を 有し、ゆえに実用新案登録の要件を具備している。

【０００８】

【実施例】

図１及び図２は本考案の望ましい一つの実施例を示している。それは、ウエハ ーケースのドアの左右両側（図１には僅かにその一側のみ示されている）に設け られる。各一つのカム１０は一つの軸１２と二つの溝１１を包括し、そのうち軸 １２は使用者或いは機械のアームの操作によりカム１０を回転させる。各一つの 溝１１はカム１０の軸１２より離れた遠端１１１とカム１０の軸１２に比較的近 い近端１１２を具えている。二つの第１連接棒２０は、その各一つの第１連接棒 ２０が、上面、底面、内側、外側及び尾端を具え、並びに第１短軸２１、第１斜 面２２、第１舌片２３及び斜め溝２４及び第１案内部２５を具えている。そのう ち第１短軸２１は可動式に溝１１中に挿入され、第１斜面２２は第１連接棒２０ の底面に設けられ、第１舌片２３は第１連接棒２０の尾端に位置し、斜め溝２４ は第１連接棒２０と所定の角度を呈するように第１連接棒２０の外側に設けられ 、第１案内部２５は第１連接棒２０の底部に設けられる。二つの第２連接棒３０ の各一つの第２連接棒３０は上面、底面及び尾端を具え、並びに第２短軸３１、 第２斜面３２、第２舌片３３及び第２案内部３５を具え、そのうち第２短軸３１ は可動式に第１連接棒２０の斜め溝２４中に挿入され、第２斜面３２は第２連接 棒３０の底面に設けられ、第２舌片３３は第２連接棒３０の尾端に位置し、第２ 案内部３５は第２連接棒３０の底部に設けられ、並びに第２連接棒３０の底部に 弾性片３４が設けられて（図３参照）、ドア本体４０と弾性接触する。上述の部 品はいずれも一つのドア本体４０に設けられ、該ドア本体４０は一つの矩形平面 とされ、少なくとも二つの隣り合う側縁４１１、４１２と、少なくとも二つの支 持部４３１、４３２と一つのカム受け部４４を具え、そのうち二つの隣り合う側 縁４１１、４１２にそれぞれ第１開口４２１と第２開口４２２が設けられ、その 位置は第１連接棒２０の第１舌片２３と第２連接棒３０の第２舌片３３に対応し 、それらをそれぞれ貫通し、二つの支持部４３１、４３２の位置は第１及び第２ 斜面２２、２３に対応してドア本体４０と一体成形により設置され、カム受け部 ４４はカム１０を収容する。ドア１の外側に別に二つのドアカバー板４０が設け られ、各一つのドアカバー板４９に一つの挿入孔４９１が設けられ、挿入孔４９ １はカム１０の軸１２に対応し軸１２が回転可能であるように設置される。

【０００９】 図３は図２の局部拡大図であり、図中、第１連接棒２０の第１短軸２１はカム １０の近端１１２に位置し、即ち第１連接棒２０の第１舌片２３が内縮状を呈し てウエハーケース９０の挿入溝９１１中に未挿入である。それと共に、第２連接 棒３０の第２短軸３１は第１連接棒２０の斜め溝２４の牽制を受けて、その第２ 舌片３３も内縮状を呈してウエハーケース９０の挿入溝９１２に未挿入である。 図４は図３の分解斜視図であるが、ウエハーケース部分は含まれていない。図よ り分かるように、ドア本体４０と一体成形により第１側縁に設置された第１支持 部４３１、及び二つの案内部２５、３５に対応して第１案内構造４５１と第２案 内構造４５２が設置されて、第１連接棒２０と第２連接棒３０底部に設置された 第１案内部２５と第２案内部３５がそれぞれ第１案内構造４５１と第２案内構造 ４５２内の第１滑り溝４５３と第２滑り溝４５４にあってスライド可能とされる 。図中に示されていない第２支持部４３２は第２側縁内に位置する。

【００１０】 図５、６は本考案の望ましい実施例の、カム回転前後の断面図であり、その位 置については図３の断面指示も参照されたい。そのうち、図５の第１連接棒２０ の底面の第１斜面２２は第１支持部４３１と接触しておらず、その第１舌片２３ は内縮状態を呈している。図６は即ち、カム回転後、第１連接棒２０の第１舌片 ２３がウエハーケースの第１挿入溝９１１に挿入され、且つ第１斜面２２は第１ 支持部４３１と接触して、第１連接棒２０が上向きに押し上げられ、並びにドア 本体４０の受力方向の改変を形成し、ドア本体４０が下向きに制圧されてウエハ ーケース９０とさらに密に結合されている。このほか、第１連接棒２０とウエハ ーケース９０が緊密に閉じられる時、第１連接棒２０が斜面でドア本体２０を下 向きに圧迫する力により、密封パッド４７がウエハーケース９０に緊密に圧接し 、密封効果が達成される。

【００１１】 図７は本考案のもう一つの実施例の局部拡大図であり、それと前述の実施例の 異なるところは以下のとおりである。その二つの支持部４３１、４３２に代えて ドア本体４０と分離して一つの支持ブロック４６が設置され、該支持ブロック４ ６の二側に二つの凸片４６１１、４６１２が設置され、それがドア本体４０に設 置された固定ブロック４６２１、４６２２とドア本体４０に形成された係止溝４ ６３１、４６３２内に固定される。支持ブロック４６の前端４６４はドア本体４ ０と係止ブロック４６６の間に固定され、これにより支持ブロック４６がドア本 体４０に固定可能とされ、そのうち凸面４６５が前述の二つの支持部４３１、３ ４２と同じ斜面制圧機能を提供し、支持ブロック４６のスライドシート４６７１ 、４６７２下部の滑り溝４６８１、４６８２が第１連接棒２０の凸柱２６をその 内側でスライドさせる。

【００１２】

【考案の効果】

総合すると、本考案は、構造が簡単で且つ密封性が良好であり、大量生産に適 し且つ組立が容易な長所を有するウエハーケースのドア構造を提供しており、そ れは実用性、新規性、進歩性、及び産業上の利用価値を有する考案であり、実用 新案登録の要件を具備している。なお、本考案に基づきなしうる細部の修飾或い は改変は、いずれも本考案の請求範囲に属するものとする。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の望ましい実施例の斜視図である。

【図２】本考案の望ましい実施例の正面図である。

【図３】図２の局部拡大図である。

【図４】図３の分解斜視図である。

【図５】本考案の望ましい実施例のカム回転前の断面図
である。

【図６】本考案の望ましい実施例のカム回転後の断面図
である。

【図７】本考案のもう一つの望ましい実施例の局部拡大
図である。

【符号の説明】

１０ カム １２ 軸 １１ 溝 １１１ 遠端 １１２ 近端 ２０ 第１連接棒 ２１ 第１短軸 ２２ 第１斜面 ２３ 第１舌片 ２４ 斜め溝 ２５ 第１案内部 ３５ 第２案内部 ２６１、２６２ 凸柱 ３０ 第２連接棒 ３１ 第２短軸 ３２ 第２斜面 ３３ 第２舌片 ４０ ドア本体 ４１１、４１２ 側縁 ４２１ 第１開口 ４２２ 第２開口 ４３０ スライドシート ４３１ 第１支持部 ４３２ 第２支持部 ４４ カム受け部 ４５１ 第１案内構造 ４５２ 第２案内構造 ４５３ 第１滑り溝 ４５４ 第２滑り溝 ４６ 支持ブロック ４６１１、４６１２
凸片 ４６２１、４６２２ 固定ブロック ４６３１、４
６３２ 係止溝 ４６４ 前端 ４６５ 凸面 ４６６ 係止ブロック ４６７１、４６７２
スライドシート ４６８１、４６８２ 滑り溝 ４７ 密封パッド ４９ ドアカバー板 ４９１ 挿入孔 ９０ ウエハーケース ９１１、９１２ 挿入
溝

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ドア本体とされ、矩形平面状を呈し、少
   なくとも二つの隣り合う側縁と、該二つの隣り合う側縁
   の内側に位置する少なくとも二つの支持部と、少なくと
   も二つの案内構造と一つのカム受け部を具え、そのうち
   二つの隣り合う側縁にこれら二つの支持部に対応してそ
   れぞれ第１開口と第２開口が設けられた、上記ドア本体
   と、 少なくとも一つの溝を具えた、少なくとも一つのカム
   と、 少なくとも一つの第１連接棒とされ、各第１連接棒の一
   端が、活動可能にカムの溝に挿入され、底部に、ドア本
   体の案内構造においてスライド可能とされてドア本体の
   側縁の第１開口を貫通する凸柱とが設けられた、上記少
   なくとも一つの第１連接棒と、 少なくとも一つの第２連接棒とされ、各第２連接棒が活
   動可能に第１連接棒の外側の斜め溝中に挿入され、底部
   に、ドア本体の案内構造においてスライド可能とされて
   ドア本体の側縁の第２開口を貫通する、上記少なくとも
   一つの第２連接棒と、を具えてなるウエハーケースのド
   ア構造。
2. 【請求項２】 前記第１連接棒の底面に第１斜面が設置
   され、それと該支持部が接触する時に、該第１連接棒が
   押し上げられ、ドア本体を下向きに制圧してウエハーケ
   ースと密に結合させることを特徴とする、請求項１に記
   載のウエハーケースのドア構造。
3. 【請求項３】 前記第２連接棒の底面に第２斜面が設置
   され、それと該支持部が接触する時に、該第２連接棒が
   押し上げられ、ドア本体を下向きに制圧してウエハーケ
   ースと密に結合させることを特徴とする、請求項１に記
   載のウエハーケースのドア構造。