JP2014241410A - 放熱部材およびこれを用いた電子装置ならびに画像表示装置 - Google Patents

放熱部材およびこれを用いた電子装置ならびに画像表示装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2014241410A
JP2014241410A JP2014102434A JP2014102434A JP2014241410A JP 2014241410 A JP2014241410 A JP 2014241410A JP 2014102434 A JP2014102434 A JP 2014102434A JP 2014102434 A JP2014102434 A JP 2014102434A JP 2014241410 A JP2014241410 A JP 2014241410A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
fin
heat dissipation
heat
outermost
heat radiating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2014102434A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6418781B2 (ja
Inventor
秀夫 谷本
Hideo Tanimoto
秀夫 谷本
誠也 秋山
Seiya Akiyama
誠也 秋山
一英 草野
Kazuhide Kusano
一英 草野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kyocera Corp filed Critical Kyocera Corp
Priority to JP2014102434A priority Critical patent/JP6418781B2/ja
Publication of JP2014241410A publication Critical patent/JP2014241410A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6418781B2 publication Critical patent/JP6418781B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Abstract

【課題】 放熱特性に優れた放熱部材およびこれを用いた電子装置ならびに画像表示装置を提供する。【解決手段】 基部1と、基部1の一方側の面1aに少なくとも4本以上の隣接して配置されたフィン2を備えるセラミック焼結体からなり、最外フィン2d(2e)と最外フィンに隣接するフィン2b(2c)との間隙3における先端部Aの幅が根元部Bの幅より広い放熱部材10である。このような構成を満たすことにより、放熱部材10は、熱交換効率が高く、放熱特性に優れる。また、電子装置40および画像表示装置50は、高い信頼性を有する。【選択図】 図1

Description

本発明は、放熱部材およびこれを用いた電子装置ならびに画像表示装置に関する。
液晶テレビなどの画像表示装置内においては、EMI(Electro Magnetic Interference:電磁波障害)対策と、各種の電子部品の動作時に生じる熱を逃がすべく、セラミック焼結体からなる放熱部材が用いられている。また、放熱特性を高めるため複数のフィンを立接した構造が提案されている。
例えば、特許文献1には、発熱素子の温度を下げるために用いるセラミック放熱モジュールであって、前記セラミック放熱モジュールが、セラミック放熱モジュール本体を含み、そのうち前記セラミック放熱モジュール本体の組成が実質上重量百分率70%以上の酸化アルミニウムを含むセラミック放熱モジュールが記載されている。
特開2012−222339号公報
しかしながら、電子部品の高出力化や高密度実装が進む今日において、放熱部材には更なる放熱特性の向上が求められている。
本発明は、上記要求を満たすべく案出されたものであり、放熱特性に優れた放熱部材およびこれを用いた電子装置ならびに画像表示装置を提供することを目的とするものである。
本発明の放熱部材は、基部と、該基部の一方側の面に少なくとも4本以上の隣接して配置されたフィンとを備えるセラミック焼結体からなる放熱部材であって、最外フィンと該最外フィンに隣接するフィンとの間隙における先端部の幅が根元部の幅より広いことを特徴とするものである。
また、本発明の電子装置は、上記構成の放熱部材と、電子部品とが組み合わされていることを特徴とするものである。
また、本発明の画像表示装置は、上記構成の電子装置を備えていることを特徴とするものである。
本発明の放熱部材によれば、最外フィンと、最外フィンに隣接するフィンとの間における熱の吸収が行なわれにくくなるとともに、間隙における熱差が大きくなることにより、熱交換が効率よく進むため、放熱特性に優れた放熱部材とすることができる。
また、本発明の電子装置によれば、上記構成の放熱部材と、電子部品とが組み合わされていることから、放熱部材の優れた放熱特性により、電子部品の有する特性を十分に発揮することができるとともに、信頼性の高い電子装置とすることができる。
また、本発明の画像表示装置によれば、上記構成の電子装置を備えていることから、信頼性の高い画像表示装置とすることができる。また、放熱部材自体の放熱特性が高いものであることから、装置のコンパクト化を図ることができる。
本実施形態の放熱部材の一例を示す斜視図である。 本実施形態の放熱部材の他の一例を示す斜視図である。 本実施形態の放熱部材のさらに他の一例を示す斜視図である。 本実施形態の放熱部材のさらに他の一例を示す側面図である。 本実施形態の放熱部材のさらに他の一例を示す、基部の一方側の面の部分拡大図である。 本実施形態の電子装置の一例を示す斜視図である。 本実施形態の画像表示装置の一例であり、画像表示側から見たときの電子装置の搭載部分のみ透過して示す概略図である。
以下、本実施形態の放熱部材およびこれを用いた電子装置ならびに画像表示装置について説明する。図1は、本実施形態の放熱部材の一例を示す斜視図である。
本実施形態の放熱部材10は、セラミック焼結体からなり、基部1と、基部1の一方側の面1aに少なくとも4本以上の隣接して配置されたフィン2とを備えるものであり、各フィン2間に間隙3を有し、熱源である電子部品は、基部1の他方側の面1bに配置されるものである。なお、図1においては、5本のフィン2を備える例を示しており、中央に位置するフィンに2a、最も外側に位置する最外フィンに2d,2e、最外フィン2d,2eと隣接するフィンにそれぞれ2b,2cの符号を付している。
そして、本実施形態の放熱部材10は、最外フィン2d(2e)と、最外フィン2d(2e)に隣接するフィン2b(2c)との間隙3における先端部Aの幅が根元部Bの幅より広い。なお、先端部Aと根元部Bとの間におけるフィン2の表面が、波状や凹凸状であるときには、中心線を基準線とすればよく、本実施形態における先端部Aおよび根元部Bとは、間隙3の高さの上下からそれぞれ15%未満のことを指す。
なお、複数のフィンを有する一般的な放熱部材において、電子部品の動作時に生じる熱は、配置面を介して各フィンに熱が伝達され、各フィンから熱が放射される。また、フィン間においては、熱の放射のみならず、熱の吸収も行なわれる。そのため、熱源が中央に有る場合、図1を用いて説明すれば、温度は、フィン2aが最も高く、フィン2b,2c、次に、フィン2d,2eの順となる。
また、フィン2a−2b(2a−2c)の間隙3と、フィン2b−2d(2c−2e)の間隙3と、最外フィン2d(2e)の外側とに存在する流体においては、フィン2a−2b(2a−2c)の間隙3の温度が最も高く、フィン2b−2d(2c−2e)の間隙3、次に、最外フィン2d(2e)の外側の順となり、このような熱差によってフィン2aからフィン2d側若しくはフィン2aからフィン2e側に向かって熱交換が行なわれる。
そして、本実施形態の放熱部材10は、最外フィン2d(2e)と、最外フィン2d(2e)に隣接するフィン2b(2c)との間隙3における先端部Aの幅が根元部Bの幅より広いことにより、フィン2同士間における熱の吸収が行なわれにくくなる。また、フィン2b−2d(2c−2e)の間隙3において、流体が流入しやすく、存在する流体量も多
くなるため、流体の温度が上がりにくく、最外フィン2d(2e)と、最外フィン2d(2e)に隣接するフィン2b(2c)との間隙3における先端部Aの幅が根元部Bの幅と同じであるときよりも温度は低いものとなり、内側(フィン2a付近)と外側(フィン2dもしくはフィン2e付近)との熱差を大きくすることができることから、熱交換が効率よく進み、放熱特性に優れた放熱部材10とすることができる。
また、本実施形態の放熱部材10は、セラミック焼結体からなることから、耐腐食性に優れているため、長期使用が可能であり、高い信頼性を有する。なお、セラミック焼結体としては、熱伝導性や耐熱性などの熱特性の観点から、主成分が、炭化珪素、窒化珪素、窒化アルミニウムおよびアルミナから選択されるセラミックスであることが好適である。ここで、主成分とは、セラミック焼結体を構成する成分の合計100質量%のうち、70質量%
以上を占める成分のことである。
そして、本実施形態の放熱部材10がアルミナ質焼結体からなるときには、アルミニウム系や銅系の放熱部材のように、他のシールド工法を必要とすることなく、EMIを抑制することができるうえに、加工が容易であることから製造コストを下げることができる。
なお、流体とは、空気などの気体または水などの液体のことである。また、本実施形態の放熱部材10においては、自然対流によっても優れた放熱特性を発揮することができるものであるが、ファンや圧縮ポンプを用いれば、さらに放熱特性を高められることは言うまでもない。
図2は、本実施形態の放熱部材の他の一例を示す斜視図である。なお、以下の図の説明において、図1と同一の部位に関しては、同じ符号を付して説明する。図2に示す例のように、最外フィン2dと、最外フィン2dと隣接するフィン2bとの間のつなぎ部Cが弧状であることが好適である。
このように、つなぎ部Cが弧状であるときには、フィン2b−2dの間隙3において、先端部の幅が広いことにより、流体が流入しやすくなっていることから、流入した流体によって間隙3に存在する熱を帯びた流体が排出されやすくなる。そのため、熱を帯びた流体の滞留が抑制されることとなり、さらに放熱特性に優れた放熱部材20とすることができる。また、フィン2に掛かる応力による亀裂が生じにくいものとすることができることから、図2の放熱部材20のように、すべてのフィン2間のつなぎ部Cが弧状であることが好適であることは言うまでもない。
図3は、本実施形態の放熱部材のさらに他の一例を示す斜視図である。図3に示す例の放熱部材30のように、最外フィン2d(2e)と最外フィン2d(2e)に隣接するフィン2b(2cとの間隙3における先端部の幅L2が、中央に隣接するフィン2f−2gの間隙3における先端部の幅Lより広い(L<L2)ことが好適である。さらには、フィン2f−2gの間隙3の先端部の幅Lと、フィン2f−2h(2g−2i)の間隙3の先端部の幅L1と、フィン2h−2j(2i−2k)との間隙3の先端部の幅L2において、L<L1<L2の関係にあることがより好適である。なお、図1,2に示すように、中央に隣接するフィンとの間隙3が複数あるときには、各間隙3の先端部の幅の平均値を、中央に隣接するフィンの間隙3における先端部の幅とすればよい。
最外フィン2d(2e)と最外フィン2d(2e)に隣接するフィン2b(2cとの間隙3における先端部の幅L2が、中央に隣接するフィン2f−2gの間隙3における先端部の幅Lより広いときには、間隙3における熱差がさらに大きなって熱交換効率が高まるため、放熱特性を向上させることができる。また、図3に示すように、L<L1<L2の関係を満たす構成であるときには、L=L1<L2の関係にある構成のときよりも、フィ
ン2同士間における熱の吸収がさらに行なわれにくくなり、それぞれの間隙3における流体量が多くなって流体の温度が上がりにくくなることから、熱交換がさらに効率よく進み、放熱特性を向上させることができる。
次に、図4は、本実施形態の放熱部材のさらに他の一例を示す側面図である。図4に示す例のように、基部1の他方側の面1bが、フィン2に沿った方向において凸曲面状であるときには、基部1の他方側の面1bの表面積が大きくなることから、放熱特性を向上させることができる。
なお、上述した基部1の他方側の面1bにおける表面形状の測定方法は、接触式の表面粗さ計を用いて、カットオフ波長を0.8mm、測定速度を6.0mm/s、カットオフ種別を2RC、傾斜補正を最小二乗直線補正とした測定条件で、フィン2に沿った方向で測定すればよい。
特に、基部1の他方側の面1bにおける凸曲面状の頂部と、熱源との領域が重なるものであるときには、他方側の面1bにおいて頂部から放射状に、また、一方側の面1aに速やかに熱を伝えることができるため、放熱特性をさらに向上させることができる。
また、基部1の他方側の面1bが、フィン2に沿った方向において凸曲面状であれば、電子部品との接合面積を増やすことができるため好適である。
次に、図5は、本実施形態の放熱部材のさらに他の一例を示す、基部の一方側の面の部分拡大図である。図5においては、フィン2に沿った方向を実線矢印で示しており、フィン2に沿った方向に垂直な方向を中抜き矢印で示している。図5に示すように、基部1の一方側の面1a側の表面において、フィン2に沿った方向の算術平均粗さRaが、フィン2に沿った方向に垂直な方向の算術平均粗さRaよりも小さいときには、フィン2に沿った方向において流体の流れを損なうことが少なく、フィン2に沿った方向に垂直な方向において流体を分散させることができることから、放熱特性を向上させることができる。
なお、フィン2に沿った方向に垂直な方向において流体を分散させることによって放熱特性を向上させることができるのは、例えば、基部1の一方側の面1a側の表面を流体が流れるものであるとき、フィン2に沿った方向に垂直な方向の算術平均粗さRaが小さいときよりも、フィン2に沿った方向に垂直な方向の算術平均粗さRaが大きい方が、フィン2側へ流体を分散できるためである。
また、フィン2の頂面におけるフィン2に沿った方向の算術平均粗さRaが、フィン2の側面におけるフィン2に沿った方向に垂直な方向の算術平均粗さRaよりも大きいことが好適である。
フィン2の頂面におけるフィン2に沿った方向の算術平均粗さRaが、フィン2の側面におけるフィン2に沿った方向に垂直な方向の算術平均粗さRaよりも大きいときには、フィン2の頂部の熱交換が効率よく進み、熱源から基部1の他方側の面1b、他方側の面1bから一方側の面1a、一方側の面1aから各フィン2、各フィン2からそれぞれの頂面へという熱の伝達が行われることから、放熱特性を向上させることができる。
なお、上述した算術平均粗さRaの測定方法は、接触式の表面粗さ計を用いて、カットオフ波長を0.25mm、測定速度を0.3mm/s、カットオフ種別を2RC、傾斜補正を最
小二乗直線補正とした測定条件で測定すればよい。
図6は、本実施形態の電子装置の一例を示す斜視図である。本実施形態の電子装置40は
、本実施形態の放熱部材10と、電子部品4とが組み合わされているものであり、図6においては、電子部品4が放熱部材10の基部1の他方側の面1bに配置された例を示している。このように、本実施形態の電子装置40は、放熱部材10の優れた放熱特性により、電子部品4の有する特性を十分に発揮することができるとともに、信頼性の高い電子装置40とすることができる。
ここで、電子部品4とは、半導体素子、発光素子、抵抗、コンデンサ、インダクタンスおよびスイッチング電源を含み、さらに、トランス、リレー、電動機などをも含むものである。
図7は、本実施形態の画像表示装置の一例であり、画像表示側から見たときの電子装置の搭載部分のみ透過して示す概略図である。
本実施形態の画像表示装置50は、本実施形態の放熱部材10,20,30に電子部品4が搭載された電子装置40を備えている。なお、図7において電子装置40は、画像表示装置50の裏面にあるキャビネット5に取り付けられている例を示している。このような構成を満たしていることにより、本実施形態の放熱部材10,20,30が放熱特性に優れ、これに電子部品4が配置された電子装置40は、信頼性の高いものであることから、画像表示装置50としても信頼性の高いものとなる。また、放熱部材10,20,30自体の放熱特性が高いものであることから、画像表示装置50においては、強制冷却機能を付加せずとも、電子部品4の動作時に生じる熱を逃がすことができるため、コンパクト化を図ることができる。なお、ファンやポンプ等の付加を排除するものではなく、付加してもよいことは言うまでもない。
次に、本実施形態の放熱部材の製造方法の一例を説明する。なお、放熱部材であるセラミック焼結体がアルミナ質焼結体である場合について説明する。
まず、アルミナ(Al)と、焼結助剤、例えば、マグネシア(MgO)、シリカ(SiO)、カルシア(CaO)と、バインダと、溶媒とを秤量する。なお、本実施形態の放熱部材においては、アルミナの含有量が高い方が、熱伝導率が高い傾向にあることから、アルミナと焼結助剤との質量の合計を100質量%のうち、アルミナを93〜99.8質量
%となるように秤量すればよい。また、バインダは、アルミナ100質量%に対し、15〜30
質量%程度添加すればよく、溶媒については、アルミナ100質量%に対し、10〜20質量%
程度添加すればよい。
そして、秤量したアルミナ、焼結助剤、バインダ、溶媒を攪拌混合機にて所定時間攪拌・混合し、さらにこれをニーダー混練機により所定時間混練して坏土とする。得られた坏土を押出成形機に投入し、例えば、図1〜図3に示す放熱部材となる成形体を得ることができる金型を通過させて成形体を得る。その後、成形体を連続炉またはバッチ炉を用いて、最高温度が約1400〜1600℃の大気雰囲気で焼成することにより焼結体を得る。なお、成形後に切削加工を施したり、焼成後に研削加工を施したりしてもよい。
また、成形方法に関して粉末プレス法を用いたり、部位ごとに成形や焼成をした後に接合や接着等を施したりするものであってもよい。
また、基部の他方側の面を、フィンに沿った方向において凸曲面状とするには、表面が凹曲面状の棚板を用いて、フィンに沿った方向が凸曲面状となるように成形体を載置して焼成すればよい。
また、基部の一方側の面側の表面において、フィンに沿った方向の算術平均粗さRaを、フィンに沿った方向に垂直な方向の算術平均粗さRaよりも小さくするには、坏土の粘
度と押し出し速度を調整したり、成形体を得た後に、表面加工を施したりすればよい。
さらに、フィンの頂面におけるフィンに沿った方向の算術平均粗さRaを、フィンの側面におけるフィンに沿った方向に垂直な方向の算術平均粗さRaよりも大きくするには、成形体若しくは焼結体を得た後に、フィンの頂面に表面加工を施せばよい。
そして、このようにして得られた本実施形態の放熱部材は、熱交換効率の高いものであるため、放熱特性に優れた放熱部材とすることができる。
また、本実施形態の放熱部材の他方側の面に、要求特性等によって選択された、両面テープ、接着剤、ろう材などの接合剤を用いて接合して、放熱部材と電子部品とを組み合わせることによって本実施形態の電子装置とすることができる。
1:基部
1a:一方側の面
1b:他方側の面
2:フィン
3:間隙
4:電子部品
5:キャビネット
10,20,30:放熱部材
40:電子装置
50:画像表示装置

Claims (8)

  1. 基部と、該基部の一方側の面に少なくとも4本以上の隣接して配置されたフィンとを備えるセラミック焼結体からなる放熱部材であって、最外フィンと該最外フィンに隣接するフィンとの間隙における先端部の幅が根元部の幅より広いことを特徴とする放熱部材。
  2. 前記最外フィンと該最外フィンに隣接するフィンと間のつなぎ部が弧状であることを特徴とする請求項1に記載の放熱部材。
  3. 前記最外フィンと該最外フィンに隣接するフィンとの間隙における先端部の幅が、中央に隣接する前記フィン同士の間隙における前記先端部の幅より広いことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の放熱部材。
  4. 前記基部の他方側の面が、前記フィンに沿った方向において凸曲面状であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の放熱部材。
  5. 前記基部の一方側の面側の表面において、前記フィンに沿った方向の算術平均粗さRaが、前記フィンに沿った方向に垂直な方向の算術平均粗さRaよりも小さいことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の放熱部材。
  6. 前記フィンの頂面における前記フィンに沿った方向の算術平均粗さRaが、前記フィンの側面における前記フィンに沿った方向に垂直な方向の算術平均粗さRaよりも大きいことを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の放熱部材。
  7. 請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の放熱部材と、電子部品とが組み合わされていることを特徴とする電子装置。
  8. 請求項7に記載の電子装置を備えていることを特徴とする画像表示装置。
JP2014102434A 2013-05-17 2014-05-16 放熱部材およびこれを用いた電子装置ならびに画像表示装置 Active JP6418781B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014102434A JP6418781B2 (ja) 2013-05-17 2014-05-16 放熱部材およびこれを用いた電子装置ならびに画像表示装置

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013105579 2013-05-17
JP2013105579 2013-05-17
JP2014102434A JP6418781B2 (ja) 2013-05-17 2014-05-16 放熱部材およびこれを用いた電子装置ならびに画像表示装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2014241410A true JP2014241410A (ja) 2014-12-25
JP6418781B2 JP6418781B2 (ja) 2018-11-07

Family

ID=52140496

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014102434A Active JP6418781B2 (ja) 2013-05-17 2014-05-16 放熱部材およびこれを用いた電子装置ならびに画像表示装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6418781B2 (ja)

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54167675U (ja) * 1978-05-16 1979-11-26
JPS5911452U (ja) * 1982-07-13 1984-01-24 株式会社東芝 放熱器付き電子部品装置
JPH02113561A (ja) * 1988-10-24 1990-04-25 Hitachi Ltd 放熱用部品
JPH1167990A (ja) * 1997-08-25 1999-03-09 Fujikura Ltd ヒートシンクの製造方法
JP2002314013A (ja) * 2001-04-13 2002-10-25 Hitachi Cable Ltd 放熱材およびその製造方法
JP2010135459A (ja) * 2008-12-03 2010-06-17 Nikon Corp 半導体パッケージおよび放熱器
JP2012222339A (ja) * 2011-04-08 2012-11-12 Yuen Jinn Electrical Ceramic Co Ltd セラミック放熱モジュール及びその製造方法
WO2013115285A1 (ja) * 2012-01-30 2013-08-08 京セラ株式会社 ヒートシンクおよびこのヒートシンクを備えた電子部品装置

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54167675U (ja) * 1978-05-16 1979-11-26
JPS5911452U (ja) * 1982-07-13 1984-01-24 株式会社東芝 放熱器付き電子部品装置
JPH02113561A (ja) * 1988-10-24 1990-04-25 Hitachi Ltd 放熱用部品
JPH1167990A (ja) * 1997-08-25 1999-03-09 Fujikura Ltd ヒートシンクの製造方法
JP2002314013A (ja) * 2001-04-13 2002-10-25 Hitachi Cable Ltd 放熱材およびその製造方法
JP2010135459A (ja) * 2008-12-03 2010-06-17 Nikon Corp 半導体パッケージおよび放熱器
JP2012222339A (ja) * 2011-04-08 2012-11-12 Yuen Jinn Electrical Ceramic Co Ltd セラミック放熱モジュール及びその製造方法
WO2013115285A1 (ja) * 2012-01-30 2013-08-08 京セラ株式会社 ヒートシンクおよびこのヒートシンクを備えた電子部品装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP6418781B2 (ja) 2018-11-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5488619B2 (ja) パワーモジュール用基板及びパワーモジュール
JP2008140802A (ja) ヒートシンク
JP6692299B2 (ja) 窒化珪素回路基板およびそれを用いた電子部品モジュール
WO2015198642A1 (ja) ヒートシンク及びヒートシンクを用いた放熱方法
US20120255719A1 (en) Ceramic heat sink module and manufacturing method thereof
JP2008218938A (ja) 金属−セラミックス接合基板
CN205266113U (zh) 一种片材制散热片
JP2007017497A (ja) バックライトユニットおよび液晶表示装置
JP6418781B2 (ja) 放熱部材およびこれを用いた電子装置ならびに画像表示装置
CN103222046B (zh) 电子电路以及散热部
JP5920356B2 (ja) 水冷装置、水冷装置を有する電子機器、及び水冷方法
JP2013225686A (ja) 金属−セラミックス接合基板の製造方法
CN111670494B (zh) 散热器
JP2014045134A (ja) 流路部材およびこれを用いた熱交換器ならびに半導体装置
JP2012009482A (ja) 冷却フィン
JP6051115B2 (ja) 放熱部材および電子装置ならびに画像表示装置
JPWO2019003725A1 (ja) パワーモジュール用基板およびパワーモジュール
CN207531170U (zh) 一种散热电路板
JP2005024107A (ja) 熱交換器およびその製造方法
JP5942182B2 (ja) ヒートシンクの製造方法
CN207854267U (zh) 印刷电路板
CN206698557U (zh) 一种电子元件散热装置
JP2004055577A (ja) アルミニウム−炭化珪素質板状複合体
CN204005868U (zh) Led散热器
JP2002372351A (ja) 支持容器および半導体製造・検査装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20170123

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20171023

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20171107

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20171228

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20180424

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20180620

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20180906

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20181009

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6418781

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150