JP2014240804A - X線検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 水平のx,y軸方向および鉛直のz軸方向に移動する観察ステージ1を備え、その上下にX線源2とX線検出器3を設けたX線検査装置において、観察ステージ1のx,y軸方向への各位置におけるz軸方向への補正量をあらかじめ測定して記憶する補正量記憶手段28を備え、その補正量記憶手段28の内容に従い、観察ステージ1をx,y軸方向に移動させたときにその刻々の位置に応じて当該観察ステージ1を自動的にz軸方向に移動させることで、観察ステージ1のサンプル搭載面の誤差を補正し、x,y軸方向の任意の位置で同一の透視拡大率を得る。
【選択図】図1
Description
図2はz軸補正量を求める際の動作説明図であり、図2(a)は観察ステージ1上への寸法既知物体Qの搭載位置の説明図で、図2(b)は各搭載位置で得られる物体QのX線透視像の例の説明図である。
2 X線源
3 X線検出器
11 x軸駆動機構
12 y軸駆動機構
13 z軸駆動機構
14 x軸駆動回路
15 y軸駆動回路
16 z軸駆動回路
20 軸制御部
21 操作部
22 画像データ取込回路
23 表示制御部
24 表示器
25 画像処理部
26 z軸位置誤差量算出部
27 z軸補正量演算部
28 z軸補正量記憶部
29 z軸補正部
S サンプル
Q 寸法既知物体
Claims (2)
- サンプル搭載面を有する観察ステージと、その観察ステージを前記サンプル搭載面に沿う平面方向であって直交する2軸で規定される平面である2軸方向のx,y方向およびそれらに直交するz方向に移動させるステージ駆動機構と、上記観察ステージを挟んでz軸方向で対向配置されたX線源およびX線検出器と、そのX線検出器の出力に基づくサンプルのX線透視像を表示する表示器を備えたX線検査装置において、
上記観察ステージのx,y軸方向への各位置におけるz軸方向への上記サンプル搭載面に関する補正量を記憶する補正量記憶手段と、その補正量記憶手段の内容に従い、上記観察ステージをx,y軸方向に移動させたときに、その刻々の位置に応じて当該観察ステージを自動的にz軸方向に移動させるz軸位置補正手段を備えていることを特徴とするX線検査装置。 - 上記観察ステージをz軸方向所定位置に位置決めした状態で、当該観察ステージ上の所定位置に寸法既知の物体を搭載して透視視野の中心に移動させて透視像を採取し、その透視像の大きさと上記観察ステージのz軸方向位置とから、そのx,y軸方向位置での観察ステージの上記サンプル搭載面のz軸方向位置の誤差量を算出する誤差量算出手段と、上記寸法既知の物体の上記観察ステージ上への搭載位置を変化させて、上記動作を実行することにより得た観察ステージの複数のx,y軸方向位置での各z軸方向の誤差量の算出結果から、上記観察ステージのx,y軸方向全位置でのz軸方向への補正量を決定する補正量演算手段を有し、上記補正量記憶手段は、その補正量演算手段により演算された補正量を記憶することを特徴とする請求項1に記載のX線検査装置。
Priority Applications (1)
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JP2013123795A JP2014240804A (ja) | 2013-06-12 | 2013-06-12 | X線検査装置 |
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JP2013123795A JP2014240804A (ja) | 2013-06-12 | 2013-06-12 | X線検査装置 |
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JP2014240804A true JP2014240804A (ja) | 2014-12-25 |
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Family Applications (1)
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-
2013
- 2013-06-12 JP JP2013123795A patent/JP2014240804A/ja active Pending
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