JP2014231806A

JP2014231806A - プランジャポンプおよびそれを用いたポンプ装置

Info

Publication number: JP2014231806A
Application number: JP2013114035A
Authority: JP
Inventors: 真奈美横幕; Manami Yokomaku
Original assignee: Kyocera Corp
Current assignee: Kyocera Corp
Priority date: 2013-05-30
Filing date: 2013-05-30
Publication date: 2014-12-11
Anticipated expiration: 2033-05-30
Also published as: JP6092715B2

Abstract

【課題】信頼性を向上させる要求に応えるプランジャポンプおよびそれを用いたポンプ装置を提供する。【解決手段】本発明の一形態におけるプランジャポンプ１は、シリンダ２と、シリンダ２内に往復運動可能に配されたプランジャ３とを備え、シリンダ２は、プランジャ３が挿入された第１貫通孔４を有する、筒状のセラミックスまたは金属からなる第１部材５と、第１貫通孔４につながっているとともに流体が出入りする第２貫通孔２を有する、第１部材５に接続した、セラミックスまたは金属からなる第２部材７と、第１部材５および第２部材７の間に介在した樹脂部材８とを具備する。その結果、信頼性に優れたプランジャポンプ１を得ることができる。【選択図】図２

Description

本発明は、例えば薬品などの流体を搬送するためのプランジャポンプおよびこれを用いたポンプ装置に関する。

従来、例えば薬品などの流体を搬送するプランジャポンプが用いられている。

特許文献１には、シリンダ（容器２）と、シリンダ内に往復運動可能に配されたプランジャ（プランジャ８）とを備えたプランジャポンプ（定量吐出器１）が記載されている。このシリンダは、プランジャが挿入された第１貫通孔と、第１貫通孔につながった、流体が出入りする第２貫通孔（吐出口３）を有している。

このプランジャポンプは、第２貫通孔から離れる方向にプランジャを移動させることによって、外部から第２貫通孔を介して第１貫通孔へ流体を吸い込み、第２貫通孔に向かう方向にプランジャを移動させることによって、第１貫通孔から第２貫通孔を介して外部へ流体を吐き出す。このようにして、プランジャポンプを用いて流体を搬送することができる。

このプランジャポンプを使用する際にプランジャをシリンダ内で往復運動させると、シリンダの第２貫通孔側の端部に応力が加わりやすい。この応力に起因してシリンダに破損が生じると、プランジャポンプによって搬送される流体の量が不均一となり、プランジャポンプの信頼性が低下しやすい。

特開平９−１５９５０５号公報

本発明は、信頼性を向上させる要求に応えるプランジャポンプおよびそれを用いたポンプ装置を提供するものである。

本発明の一形態におけるプランジャポンプは、シリンダと、該シリンダ内に往復運動可能に配されたプランジャとを備え、前記シリンダは、該プランジャが挿入された第１貫通孔を有する、筒状のセラミックスまたは金属からなる第１部材と、前記第１貫通孔につながっているとともに流体が出入りする第２貫通孔を有する、前記第１部材に接続した、セラミックスまたは金属からなる第２部材と、前記第１部材および前記第２部材の間に介在した樹脂部材とを具備する。

本発明の一形態におけるポンプ装置は、前述したプランジャポンプと、該プランジャポンプの前記プランジャを往復運動させる駆動部とを備える。

本発明の一形態におけるプランジャポンプによれば、第１部材および第２部材を接続することによってシリンダを構成するとともに、第１部材および第２部材の間に樹脂部材８を介在させたため、樹脂部材によって、シリンダの第２貫通孔側の端部に位置する第２部
材に加わった応力を緩和することができる。したがって、シリンダの破損を抑制することができるため、プランジャポンプによって搬送される流体の量をより均一とし、ひいては信頼性に優れたプランジャポンプを得ることができる。

本発明の一形態におけるポンプ装置によれば、前述したプランジャポンプを備えるため、信頼性に優れたポンプ装置を得ることができる。

（ａ）は、本発明の第１実施形態におけるプランジャポンプの長手方向に沿った断面図であり、（ｂ）は、図１（ａ）に示したプランジャポンプに用いられるシリンダの長手方向に沿った断面図である。図１（ｂ）に示したシリンダの第１部材および第２部材の接続箇所の拡大図である。（ａ）は、本発明の第２実施形態におけるプランジャポンプの長手方向に沿った断面図であり、（ｂ）は、図３（ａ）に示したプランジャポンプに用いられるシリンダの長手方向に沿った断面図である。図３（ｂ）に示したシリンダの第１部材および第２部材の接続箇所の拡大図である。

＜第１実施形態＞
以下に、本発明の第１実施形態におけるプランジャポンプについて、図面を参照して詳細に説明する。

図１（ａ）に示したプランジャポンプ１は、薬品などの流体を搬送するため、特に薬品を対象物に送液するためのポンプ装置に用いられるものである。ポンプ装置は、プランジャポンプ１と、プランジャポンプ１の後述するプランジャ３を往復運動（往復方向Ｄ）させる駆動部（図示しない）とを有している。

プランジャポンプ１は、流体を吸い込み、また、吸い込んだ流体を吐き出すことによって、流体を搬送するものである。このプランジャポンプ１は、シリンダ２と、シリンダ２内に往復運動可能に配されたプランジャ３とを含んでいる。

シリンダ２は、図１（ｂ）および図２に示すように、プランジャ３が挿入された第１貫通孔４を有する筒状の第１部材５と、第１貫通孔４につながっているとともに流体が出入りする第２貫通孔６を有する、第１部材５に接続した第２部材７と、第１部材５および第２部材７の間に介在した樹脂部材８とを含んでいる。

第１部材５は、外部から吸い込まれる流体が溜まる第１貫通孔４を有するものである。この第１部材５は、アルミナなどのセラミックスまたはステンレスなどの金属からなり、中でもセラミックスを用いることが望ましい。その結果、第１部材５の耐摩耗性を向上させることによって、プランジャ３との摺動による第１部材５の摩耗に起因した流体の汚染を抑制できる。第１部材５は例えば円筒状であり、第１貫通孔４は例えば円柱状である。

第２部材７は、外部と第１貫通孔４との間で流体が出入りする第２貫通孔６を有するものである。この第２部材７は、アルミナなどのセラミックスまたはステンレスなどの金属からなり、中でもセラミックスを用いることが望ましい。その結果、第１部材５の耐摩耗性を向上させることによって、プランジャ３との衝突による第２部材７の摩耗に起因した流体の汚染を抑制できる。また、第２部材７は、第１部材５と同じ材質のものを用いることが望ましい。その結果、第１部材５と同様に第２部材７の耐摩耗性を向上させることが
できる。また、第１部材５と第２部材７との接続強度を高めることができる。

第２部材７は、例えば漏斗状である。この場合に、第２貫通孔６は、第１貫通孔４よりも径が小さい円柱状である第１部分９と、第１貫通孔４および第２貫通孔６の間に介在しているとともに第１貫通孔４から第２貫通孔６に向かって幅が小さくなるテーパー状の第２部分１０とを有する。

樹脂部材８は、第１部材５および第２部材７の間に介在するものであり、本実施形態においては第１部材５および第２部材７を接着している。この樹脂部材８は、例えばエポキシ樹脂などの樹脂からなる。樹脂部材８の厚みは、例えば２０μｍ以上１００μｍ以下である。

プランジャ３は、シリンダ２の内周面と摺動しつつ第１貫通孔４内を往復運動することによって、第１貫通孔４内の圧力を調節するものである。このプランジャ３は、例えばジルコニアなどのセラミックスまたはステンレスなどの金属からなり、中でもセラミックスを用いることが望ましい。その結果、シリンダ２とプランジャ３とを滑りやすくし、流体の搬送の効率を高めることができる。また、プランジャ３の耐摩耗性を向上させることによって、プランジャ３の摩耗に起因した流体の汚染を抑制できる。プランジャ３は、シリンダ２の内部の形状に対応した形状、すなわち第１貫通孔４および第２貫通孔６に対応した形状となっている。その結果、プランジャ３の外周面は、シリンダ２内を往復運動する際にシリンダ２の内周面と摺動するため、第１貫通孔４内の圧力を調節することができる。

このプランジャポンプ１は、例えば以下のようにして動作する。

まず、外部の流体と第２貫通孔６とを接続させる。この際に第２貫通孔６を外部の流体に直接接続しても構わないし、他の部材を介して第２貫通孔６を外部の流体に接続しても構わない。次に、第１貫通孔４内に挿入されたプランジャ３を第２貫通孔６から離れる方向に移動させることによって、第１貫通孔４内の圧力を低下させて、外部から第２貫通孔６を介して第１貫通孔４に流体を吸い込ませる。次に、このプランジャポンプ１を所望の場所に移動させた後、プランジャ３を第２貫通孔６に向かう方向に移動させることによって、第１貫通孔４内の圧力を増加させて、第１貫通孔４から第２貫通孔６を介して外部に流体を吐き出させる。

以上のようにして、プランジャポンプ１は、流体を所望の場所に搬送することができる。

ところで、プランジャポンプ１を使用する際にプランジャ３をシリンダ２内で往復運動させると、シリンダ２の第２貫通孔６側の端部に応力が加わりやすい。

一方、本実施形態においては、図１および図２に示すように、シリンダ２が、プランジャ３が挿入された第１貫通孔４を有する、筒状のセラミックスまたは金属からなる第１部材５と、第１貫通孔４につながっているとともに流体が出入りする第２貫通孔６を有する、第１部材５に接続した、セラミックスまたは金属からなる第２部材７と、第１部材５および第２部材７の間に介在した樹脂部材８とを具備する。

その結果、第１部材５および第２部材７を接続することによってシリンダ２を構成するとともに、第１部材５および第２部材７の間に樹脂部材８を介在させたため、セラミックスまたは金属と比較して弾性変形しやすい樹脂部材８によって、シリンダ２の第２貫通孔６側の端部に位置する第２部材７に加わった応力を緩和することができる。したがって、
シリンダ２の破損を抑制することができるため、プランジャポンプ１によって搬送される流体の量をより均一とし、ひいては信頼性に優れたプランジャポンプ１を得ることができる。

本実施形態において、樹脂部材８は、第１部材５の端面および第２部材７の端面の間に介在している。すなわち、樹脂部材８は、第１部材５の第２部材７側の端部に位置する端面および第２部材７の第１部材５側の端部に位置する端面の間に介在している。この場合に、第２部材７に加わった応力は、引っ張り応力として樹脂部材８に伝わる。この樹脂部材８は、せん断応力よりも引っ張り応力に対して強度が高いため、樹脂部材８の破壊を抑制することができる。したがって、樹脂部材８による第２部材７に加わった応力の緩和を維持することができる。なお、本実施形態において、第１部材５の端面および第２部材７の端面は、シリンダ２の長手方向（Ｘ方向）に直交している。

さらに、樹脂部材８は、第１部材５の端面および第２部材７の端面を接着している。その結果、前述したように樹脂部材８の破壊を抑制することによって、第１部材５および第２部材７の接着を維持することができる。

本実施形態において、第１部材５は、第２部材７に向かって突出した筒状の第１凸部１１を有し、第２部材７は、第１部材５に向かって突出した筒状の第２凸部１２を有し、第１凸部１１は、第２凸部１２の内側にて第２凸部１２と嵌め合わされている。その結果、第１凸部１１および第２凸部１２によって第１部材５および第２部材７の位置決め精度を高め、特に第２貫通孔６の位置決め精度を高めることができる。なお、第１部材５において、第１凸部１１が接続した、第１部材５の主要部をなす部分を第１本体１３とする。また、第２部材７において、第２凸部１２が接続した、第２部材７の主要部をなす部分を第２本体１４とする。

また、樹脂部材８は、第１凸部１１の外周面および第２凸部１２の内周面の間に介在している。その結果、第１凸部１１の外周面および第２凸部１２の内周面の間に介在した樹脂部材８によって、第２部材７に加わった応力をより緩和することができる。また、シリンダ２の長手方向に沿った第１凸部１１および第２凸部１２の長さを適宜調節することによって、樹脂部材８による応力緩和機能を適宜調節することができる。なお、第１凸部１１の外周面は、第１本体１３の外周面とともに第１部材５の外周面の一部をなしており、第２凸部１２の内周面は、第２本体１４の内周面とともに第２部材７の内周面の一部をなしている。また、本実施形態において、第１凸部１１の外周面および第２凸部１２の内周面は、シリンダ２の長手方向に沿っている。

さらに、第１凸部１１の外周面におけるシリンダ２の長手方向に沿った長さは、第１部材５の端面の幅（ＹＺ平面方向）よりも大きい。その結果、第１部材５および第２部材７の間で樹脂部材８が介在した領域を増やすことができるため、第２部材７に加わった応力をより緩和することができる。

また、樹脂部材８は、第１部材５の端面および第２部材７の端面の間と、第１凸部１１の外周面および第２凸部１２の内周面の間との双方に介在している。その結果、第１部材５および第２部材７の間で樹脂部材８が介在した領域を増やすことができるため、第２部材７に加わった応力をより緩和することができる。

本実施形態において、第１部材５の端面は、第１凸部１１の頂面からなる内側端面と、第１凸部１１よりも外側に位置する外側端面とを有する。さらに、第２部材７の端面は、第２凸部１２の頂面からなる外側端面と、第２凸部１２よりも内側に位置する内側端面とを有する。その上、樹脂部材８は、第１凸部１１の外側端面および第２凸部１２の外側端
面の間に介在している。その結果、第１凸部１１の外側端面および第２凸部１２の外側端面の間に介在した樹脂部材８によって、第２部材７に加わった応力を緩和することができる。また、第１凸部１１の外側端面は、第１凸部１１の外周面および第１凸部１１の内側端面を挟んで第１貫通孔４から離れているため、樹脂部材８が第１凸部１１の外側端面および第２凸部１２の外側端面の間に介在していることによって、樹脂部材８の第１貫通孔４内への突出を抑制できる。したがって、この突出に起因したプランジャ３の往復運動の阻害を抑制できる。

さらに、樹脂部材８は、第１凸部１１の外側端面および第２凸部１２の外側端面の間において、第１凸部１１の外周面から第１本体１３の外周面５に渡って介在している。その結果、第１部材５および第２部材７の間で樹脂部材８が介在した領域を増やすことができるため、第２部材７に加わった応力をより緩和することができる。

また、樹脂部材８は、第１貫通孔４から離れつつ第１凸部１１の内側端面および第２凸部１２の内側端面の間に介在している。その結果、第１凸部１１の内側端面および第２凸部１２の内側端面の間に介在した樹脂部材８によって、第２部材７に加わった応力を緩和することができる。さらに、樹脂部材８が第１貫通孔４から離れているため、樹脂部材８の第１貫通孔４内への突出を抑制できる。したがって、この突出に起因したプランジャ３の往復運動の阻害を抑制できる。なお、第１凸部１１の内側端面および第２凸部１２の内側端面の間において、第１貫通孔４から離れた樹脂部材８と第１貫通孔４との間には空間１５が形成されている。

次に、前述した本実施形態のプランジャポンプ１の製造方法を説明する。

（１）第１部材５、第２部材７およびプランジャ３を作製する。

セラミックスからなる第１部材５、第２部材７およびプランジャ３を用いる場合には、セラミック粉末を種々の成形方法を用いて成形し、切削加工した後に焼成して研削加工を行なうことによって、所望の形状の第１部材５、第２部材７およびプランジャ３を作製することができる。

金属からなる第１部材５、第２部材７およびプランジャ３を用いる場合には、金属に旋盤加工などを行なうことによって、所望の形状の第１部材５、第２部材７およびプランジャ３を作製することができる。

（２）樹脂部材８を介して第１部材５および第２部材７を接続し、シリンダ２を作製する。

まず、第１部材５の端部および第２部材７の端部の所望の領域に未硬化の樹脂部材８を塗布する。次に、第１部材５の端部および第２部材７の端部を接続させた後、樹脂部材８を硬化させることによって、樹脂部材８で第１部材５および第２部材７を接着しつつ、第１部材５および第２部材７の間に樹脂部材８を介在させる。その結果、シリンダ２を作製することができる。

以上のようにして、図１（ａ）に示した、本実施形態のプランジャポンプ１を作製することができる。

＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態におけるプランジャポンプを、図面を参照しつつ詳細に説明する。前述した第１実施形態と同様の構成に関しては、記載を省略する。

本実施形態のプランジャポンプ１は、第１実施形態のプランジャポンプ１とは、第１部材５および第２部材７の構成が異なる。本実施形態のプランジャポンプ１においては、図３および図４に示すように、第１部材５は第１凸部１１を有していないが、第２部材７は第１部材５に向かって突出した筒状の第２凸部１２を有している。そして、樹脂部材８は、第１部材５の外周面および第２凸部１２の内周面の間に介在している。

その結果、第１部材５の外周面および第２凸部１２の内周面の間に介在した樹脂部材８によって、第２部材７に加わった応力をより緩和することができる。また、シリンダ２の長手方向に沿った第２凸部１２の長さを適宜調節することによって、樹脂部材８による応力緩和機能を適宜調節することができる。

さらに、第２凸部１２の内周面におけるシリンダ２の長手方向に沿った長さは、第１部材５の端面の幅よりも大きい。その結果、第１部材５および第２部材７の間で樹脂部材８が介在した領域を増やすことができるため、第２部材７に加わった応力をより緩和することができる。

また、第１部材５の外周面および第２凸部１２の内周面には、ねじが形成されており、第１部材５および第２部材７が締結されている。その結果、樹脂部材８による接着に加えて、締結によって第１部材５および第２部材７を接続することができるため、第１部材５および第２部材７の接続強度を高め、シリンダ２の破損を抑制することができる。なお、第１部材５の外周面はおねじを構成しており、第２凸部１２の内周面はめねじを構成している。

本実施形態のプランジャポンプ１は、第１実施形態のプランジャポンプ１とは、樹脂部材８の構成が異なる。本実施形態のプランジャポンプ１においては、図３および図４に示すように、第１部材５の外周面および第２凸部１２の内周面の間に介在した第１樹脂部材１６と、第１部材５の端面および第２部材７の第２凸部１２よりも内側に位置する内側端面の間に配されているとともに一部が第１貫通孔４内に配された第２樹脂部材１７とを有する。

その結果、前述した如く、第１樹脂部材１６によって、第２部材７に加わった応力を緩和することができる。さらに、第２樹脂部材１７が、第１部材５の端面および第２部材７の内側端面の間に配されているため、第２部材７に加わった応力をより緩和することができる。その上、第２樹脂部材１７が第２部材７とプランジャ３との間に介在するため、プランジャ３から第２部材７に加わる応力を緩和することができる。なお、第１貫通孔４内に配された第２樹脂部材１７の一部は、プランジャ３の端部に対応した形状を有する。

また、第１樹脂部材１６は、第２樹脂部材１７の第１部材５側の端面と第１部材５の端面との間に介在している。その結果、第１樹脂部材１６が第２部材７に加わった応力をより緩和することができる。さらに、第１樹脂部材１６が第２樹脂部材１７および第１部材５を接着するため、第２樹脂部材１７および第１部材５の接着強度を高め、シリンダ２の破損を抑制することができる。

第１樹脂部材１６は、前述した第１実施形態の樹脂部材８と同様の構成を有する。

第２樹脂部材１７は、例えばフッ素樹脂などの樹脂からなり、中でもフッ素樹脂を用いることが望ましい。その結果、プランジャ３との衝突による第２樹脂部材１７の摩耗や破損を抑制し、流体の汚染を抑制することができる。なお、本実施形態においては、第２樹脂部材１７の一部は、第２貫通孔６に入り込んでおり、第２樹脂部材１７は、シリンダ２の長手方向に沿って貫通しているとともに第１貫通孔４につながった第３貫通孔１８を有する。

（１）第１部材５、第２部材７、プランジャ３および第２樹脂部材１７を作製する。

第１実施形態と同様の方法で、所望の形状の第１部材５、第２部材７およびプランジャ３を作製する。また、樹脂を種々の成形方法を用いて成形することによって、所望の形状の第２樹脂部材１７を作製する。

（２）第１樹脂部材１６および第２樹脂部材１７を介して第１部材５および第２部材７を接続し、シリンダ２を作製する。

まず、第２部材７に第２樹脂部材１７を嵌め合せる。次に、第１部材５の端部および第２部材の端部の所望の領域に未硬化の第１樹脂部材１６を塗布する。次に、第１部材５の外周面に形成されたおねじと第２凸部１２の内周面に形成されためねじと締め付ける。次に、第１樹脂部材１６を硬化させることによって、第１樹脂部材１６で第１部材５および第２部材７を接着しつつ、第１部材５および第２部材７の間に第１樹脂部材１６および第２樹脂部材１７を介在させる。その結果、シリンダ２を作製することができる。

以上のようにして、図３（ａ）に示した、本実施形態のプランジャポンプ１を作製することができる。

本発明は前述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良、組合せなどが可能である。

例えば、前述した実施形態においては、第２部材７が第２凸部１２を有する構成を例に説明したが、第２部材７は、第２凸部１２を有していなくても構わない。

また、前述した実施形態においては、樹脂部材８が第１部材５の外周面、および第２部材７の内周面の間に介在した構成を例に説明したが、樹脂部材８は、第１部材５および第２部材７の間の少なくとも一部に介在していればよく、第１部材５の外周面、および第２部材７の内周面の間に介在していなくても構わない。

また、前述した実施形態においては、第１部材５の外周面、および第２部材７の内周面が接続した構成を例に説明したが、第１部材５の内周面および第２部材７の外周面が接続していても構わない。

１プランジャポンプ
２シリンダ
３プランジャ
４第１貫通孔
５第１部材
６第２貫通孔
７第２部材
８樹脂部材
９第１部分
１０第２部分
１１第１凸部
１２第２凸部
１３第１本体
１４第２本体
１５樹脂部材８と第１貫通孔４との間の空間
１６第１樹脂部材
１７第２樹脂部材
１８第３貫通孔

Claims

シリンダと、該シリンダ内に往復運動可能に配されたプランジャとを備え、
前記シリンダは、
該プランジャが挿入された第１貫通孔を有する、筒状のセラミックスまたは金属からなる第１部材と、
前記第１貫通孔につながっているとともに流体が出入りする第２貫通孔を有する、前記第１部材に接続した、セラミックスまたは金属からなる第２部材と、
前記第１部材および前記第２部材の間に介在した樹脂部材とを具備することを特徴とするプランジャポンプ。
請求項１に記載のプランジャポンプにおいて、
前記樹脂部材は、前記第１部材の端面および前記第２部材の端面の間に介在していることを特徴とするプランジャポンプ。
請求項１に記載のプランジャポンプにおいて、
前記第２部材は、前記第１部材に向かって突出した筒状の凸部を有し、
前記樹脂部材は、前記第１部材の外周面および前記凸部の内周面の間に介在していることを特徴とするプランジャポンプ。
請求項３に記載のプランジャポンプにおいて、
前記第２部材の前記凸部は、第２凸部であり、
前記第１部材は、前記第２部材に向かって突出しているとともに前記第２凸部の内側にて前記第２凸部と嵌め合わされた筒状の第１凸部を有し、
前記樹脂部材は、前記第１凸部の外周面および前記第２凸部の内周面の間に介在していることを特徴とするプランジャポンプ。
請求項４に記載のプランジャポンプにおいて、
前記第１部材の端面は、前記第１凸部の頂面からなる内側端面と、前記第１凸部よりも外側に位置する外側端面とを有し、
前記第２部材の端面は、前記第２凸部の頂面からなる外側端面と、前記第２凸部よりも内側に位置する内側端面とを有し、
前記樹脂部材は、前記第１凸部の外側端面および前記第２凸部の外側端面の間に介在していることを特徴とするプランジャポンプ。
請求項４に記載のプランジャポンプにおいて、
前記第１部材の端面は、前記第１凸部の頂面からなる内側端面と、前記第１凸部よりも外側に位置する外側端面とを有し、
前記第２部材の端面は、前記第２凸部の頂面からなる外側端面と、前記第２凸部よりも内側に位置する内側端面とを有し、
前記樹脂部材は、前記第１貫通孔から離れつつ前記第１凸部の内側端面および前記第２凸部の内側端面の間に介在していることを特徴とするプランジャポンプ。
請求項３に記載のプランジャポンプにおいて、
前記第１部材の外周面および前記凸部の内周面には、ねじが形成されていることを特徴とするプランジャポンプ。
請求項３に記載のプランジャポンプにおいて、
前記樹脂部材は、前記第１部材の外周面および前記凸部の内周面の間に介在した第１樹脂部材と、前記第１部材の端面および前記第２部材の前記凸部よりも内側に位置する端面の
間に配されているとともに一部が第１貫通孔内に配された第２樹脂部材とを有することを特徴とするプランジャポンプ。
請求項１ないし８のいずれかに記載のプランジャポンプと、該プランジャポンプの前記プランジャを往復運動させる駆動部とを備えたことを特徴とするポンプ装置。