JP2014227325A - 光ファイバの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】温度変化を生じさせることなく線引き炉内の気圧の圧力変動を抑制し、外径変動を極力抑えて高品質な光ファイバの製造方法を提供する。
【解決手段】光ファイバ母材を線引きして光ファイバＧ２を製造する線引き装置２１を設置した製造設備室１３は、製造設備室１３の内部の気圧を製造設備室１３の外部の気圧に対して陽圧に維持されている。内部の気圧の圧力変動速度が３Ｐａ／秒以下で、かつ、内部での１回の気圧の圧力変動量が５Ｐａ以下に管理された製造設備室１３内で光ファイバＧ２を製造する。
【選択図】図１

Description

本発明は、光ファイバ母材を線引きして光ファイバを製造する光ファイバの製造方法に関する。

一般に、光ファイバを製造する場合、まず、石英等の材料で製造した光ファイバ母材をフィーダによって線引き炉に供給し、線引き炉において先端部を加熱溶融して下方に引き出して細径化することによりガラスファイバとし、次いで、この細径化したガラスファイバの外周に樹脂を被覆して光ファイバとする。そして、光ファイバを製造する際には、所定外径にて線引きするように、光ファイバを引き取るキャプスタンによる引き取り速度を制御している。

ところで、線引きする光ファイバは、不活性ガスが吹き込まれる線引き炉内におけるガス流の乱れや気圧の圧力変動によって外径変動が生じることがある。
このため、図１１に示すように、光ファイバ母材が投入される線引き炉１の上端開口部２に、シャッタリング３を設け、さらに、その上にシールリング４を設置することで、線引き炉１内のガスの流動を低減し、光ファイバの外径変動を抑制する技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。
また、図１２に示すように、線引き炉５の上端近傍に、炉内ガスの気圧の圧力変動を監視する圧力監視手段６を設け、この圧力監視手段６からの指令に基づいて炉内へガスを吹き込むガス流量調整手段７によるガスの吹き込み量を調整することで、線引き炉５内の気圧の圧力変動を低減し、光ファイバの外径変動を抑制する技術も知られている（例えば、特許文献２参照）。

特開平８−１８８４４０号公報 特開２０００−６３１４２号公報

ところで、特許文献１においては、線引き炉１の上端開口部２に、シャッタリング３及びシールリング４を設置したとしても、線引き炉１の上下端部には、光ファイバ母材を支持する支持棒及び引き延ばしたガラスファイバを通すための開口部が存在している。そのため、線引き炉１内の不活性ガス雰囲気と外部雰囲気との間を完全にシールすることはできず、外部雰囲気である製造設備室内の気圧に大きな圧力変動が生じた際に、線引き炉１から流出する不活性ガスの流量に変化が生じ、線引き炉１内の気圧の圧力変動が生じて光ファイバの外径変動が発生してしまう。

また、特許文献２においては、圧力監視手段６からの指令に基づいて炉内へのガスの吹き込み量を調整することにより、線引き炉５内の気圧の圧力変動を抑制することができる。しかし、例えば、外部雰囲気である製造設備室内の気圧に大きな圧力変動が生じた際に、線引き炉５内の気圧の圧力変動を抑制するために不活性ガスの吹き込み量が調整されると、温度の低い不活性ガスの吹き込み量の増減により光ファイバ母材の溶融部にて温度変動が発生する。これにより、光ファイバ母材の溶け方が変動し、やはり、光ファイバの外径変動が生じてしまう。

この発明は、線引き炉内の気圧の圧力変動を抑制し、外径変動を極力抑えて高品質な光ファイバを製造することが可能な光ファイバの製造方法を提供することを目的としている。

上記目的を達成するために、本発明の光ファイバの製造方法は、ガラス母材を線引きして光ファイバを製造する線引き炉を設置した製造設備室で、前記製造設備室の内部の気圧を前記製造設備室の外部の気圧に対して陽圧に維持された前記製造設備室において、前記製造設備室の内部の気圧の圧力変動速度が３Ｐａ／秒以下で、かつ、前記製造設備室の内部での１回の気圧の圧力変動量が５Ｐａ以下に管理された前記製造設備室内で光ファイバを製造することを特徴とする。

また、本発明の光ファイバの製造方法は、ガラス母材を線引きして光ファイバを製造する線引き炉を設置した製造設備室で、前記製造設備室の内部の気圧を前記製造設備室の外部の気圧に対して陽庄に維持された前記製造設備室において、前記製造設備室の内部の気圧の変動速度が１０Ｐａ／秒以下で、かつ、前記製造設備室の内部での１回の気圧の圧力変動量が３Ｐａ以下に管理された前記製造設備室内で光ファイバを製造することを特徴とする。

本発明の光ファイバの製造方法によれば、線引き炉内の気圧の圧力変動を抑制し、外径変動を極力抑えて高品質な光ファイバを製造することができる。

第１の実施形態に係る光ファイバの製造方法が適応可能な製造設備を示す概略断面図である。 製造設備内に設置された光ファイバの線引き装置の概略構成図である。 出入り口に設けた自動開閉扉を説明する正面図である。 製造設備室内の気圧の圧力変動速度と光ファイバの外径変動量との関係を示すグラフ図である。 製造設備室内の気圧の圧力変動量と光ファイバの外径変動量との関係を示すグラフ図である。 第３の実施形態に係る光ファイバの製造方法が適応可能な製造設備を示す概略断面図である。 第４の実施形態における回転扉機構の構造を説明する平面図である。 第５の実施形態に係る光ファイバの製造方法が適応可能な製造設備を示す概略断面図である。 第６の実施形態に係る光ファイバの製造方法が適応可能な製造設備を示す概略断面図である。 第７の実施形態に係る光ファイバの製造方法が適応可能な製造設備を示す概略断面図である。 従来技術を説明する線引き炉の要部の断面図である。 従来技術を説明する線引き炉の概略断面図である。

[本願発明の実施形態の説明]
最初に本願発明の実施形態の内容を列記して説明する。
本願発明の実施形態に係る光ファイバの製造方法は、
（１）ガラス母材を線引きして光ファイバを製造する線引き炉を設置した製造設備室で、前記製造設備室の内部の気圧を前記製造設備室の外部の気圧に対して陽圧に維持された前記製造設備室において、前記製造設備室の内部の気圧の圧力変動速度が３Ｐａ／秒以下で、かつ、前記製造設備室の内部での１回の気圧の圧力変動量が５Ｐａ以下に管理された前記製造設備室内で光ファイバを製造する。
線引き炉内の気圧の圧力変動を引き起こす要因を低減させることにより、ガラス母材の溶融部における温度変化を生じさせることなく線引き炉内の気圧の圧力変動を抑制し、外径変動を極力抑えて高品質な光ファイバを製造することができる。

本願発明の実施形態に係る光ファイバの製造方法は、
（２）ガラス母材を線引きして光ファイバを製造する線引き炉を設置した製造設備室で、前記製造設備室の内部の気圧を前記製造設備室の外部の気圧に対して陽庄に維持された前記製造設備室において、前記製造設備室の内部の気圧の変動速度が１０Ｐａ／秒以下で、かつ、前記製造設備室の内部での１回の気圧の圧力変動量が３Ｐａ以下に管理された前記製造設備室内で光ファイバを製造することを特徴とする。
上記（１）と同様に、線引き炉内の気圧の圧力変動を引き起こす要因を低減させることにより、ガラス母材の溶融部における温度変化を生じさせることなく線引き炉内の気圧の圧力変動を抑制し、外径変動を極力抑えて高品質な光ファイバを製造することができる。

（３）前記製造設備室の内部と外部とを連通・遮断する開閉機構の開閉速度を制御することで前記製造設備室の内部の気圧を管理して光ファイバを製造することが好ましい。
製造設備室内の気圧を管理しながら光ファイバを製造することにより、光ファイバの外径変動を確実に抑制することができるためである。

（４）前記製造設備室の内部と外部の間にダンパー式扉の付いた通気口を設けることで前記製造設備室の内部の気圧を管理して光ファイバを製造することが好ましい。
ダンパー式扉を用いることで、製造設備室の内部と外部との差圧を設定した値に維持することが出来るため、製造設備室内の気圧管理が容易となり、光ファイバの外径変動を抑制することができるためである。

（５）前記製造設備室の内部と外部との間に、複数の区画部を有した回転扉機構を設け、いずれか一の区画部が前記製造設備室の内部と連通される際に、前記一の区画部と連通しない他の区画部のいずれかが前記製造設備室の外部と連通され、前記回転扉機構の回転速度を制御することで前記製造設備室の内部の気圧を管理して光ファイバを製造することが好ましい。
製造設備室の内部と外部との間に複数の区画部を設けることにより、製造設備室の内部と外部とが直接連通されないので、製造設備室への空気の流入出量を抑えることができ、製造設備室内の気圧管理を円滑に行うことができ、光ファイバの外径変動をさらに抑制することができるためである。

（６）前記製造設備室の内部と外部との間に緩衝室を設け、この緩衝室の一方側で前記製造設備室の内部と連通されるとともに前記緩衝室の他方側で前記製造設備室の外部と連通されることで前記製造設備室の内部の気圧を管理して光ファイバを製造することが好ましい。
緩衝室の開閉のタイミングを制御することにより、製造設備室への空気の流入出量を大幅に抑えることができ、製造設備室内の気圧管理を円滑に行うことができ、光ファイバの外径変動をさらに抑制することができるためである。

（７）前記線引き炉の上部開口及び下部開口の少なくとも一方をチャンバで覆い、前記製造設備室の内部の気圧を管理して光ファイバを製造することが好ましい。
（８）前記線引き炉全体をチャンバで覆い、前記製造設備室及びチャンバの内部の気圧を管理して光ファイバを製造することが好ましい。
これらの構成によれば、製造設備室内の気圧の圧力変動による線引き炉内の気圧への影響がさらに低減され、光ファイバの外径変動をさらに低減させることができる。

[本願発明の実施形態の詳細]
以下、本発明を実施するための実施の形態について図面を参照して説明する。
（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態に係る光ファイバの製造方法が適応可能な製造設備を示す概略断面図、図２は、製造設備内に設置された光ファイバの線引き装置の概略構成図、図３は、出入り口に設けた自動開閉扉を説明する正面図である。
図１に示すように、光ファイバを製造する製造設備１１は、その建物１２内に、製造設備室１３及び空調機室１４を備えている。

製造設備室１３は、スラブ１５によって上下方向に沿って複数階に分割されて１階区画室１３ａ、２階区画室１３ｂ及び３階区画室１３ｃとされている。これら１階区画室１３ａ、２階区画室１３ｂ及び３階区画室１３ｃは、製造設備室１３を複数階に区画するスラブ１５の連通路１５ａなどを介して互いに連通されている。なお、３階までの区画室を備えた本実施形態は一例であり、４階区画室以上の階まであっても良い。

空調機室１４には、空調装置１７が設置され、この空調装置１７のダクト１８が製造設備室１３の各区画室１３ａ、１３ｂ、１３ｃに接続されている。また、各区画室１３ａ、１３ｂ、１３ｃには、それぞれ製造設備１１の外部の大気圧と各区画室１３ａ、１３ｂ、１３ｃ内との差圧を測定する差圧計１９が設置されている。これら差圧計１９は、空調装置１７の図示しないコントローラに接続され、このコントローラに測定結果を送信する。空調装置１７はこのコントローラによって管理され、製造設備室１３は大気圧に対して陽圧になるよう維持されている。

製造設備室１３には、３階区画室１３ｃから１階区画室１３ａにわたって光ファイバの線引き装置２１が設置されている。
図２に示すように、光ファイバの線引き装置２１は、光ファイバ母材Ｇ（ガラス母材の一例）を加熱する線引き炉２２を備えている。この線引き炉２２は、内側に光ファイバ母材Ｇが供給される円筒状の炉心管２４と、この炉心管２４を囲むヒータである発熱体２３とを備えている。線引き炉２２は、発熱体２３を発熱させることで炉心管２４が昇温して、その内側の空間に加熱領域が形成される。ここでいう加熱領域とは、ガラスが軟化して線引き可能な温度となっている領域であり、例えば、１８００℃以上となっている領域である。

また、線引き炉２２には、ガス供給部Ｐが設けられ、このガス供給部Ｐから加熱領域にヘリウムやアルゴン、窒素等の不活性ガスが供給される。
光ファイバ母材Ｇは、送り手段２５によってその上部が把持されて、炉心管２４の内側の加熱領域にその下端部分が位置するように線引き炉２２内に送られる。このように、線引き炉２２内に供給された光ファイバ母材Ｇは、その下端側が加熱領域内で加熱されて軟化して溶融部となり、この溶融部から下方に引き延ばされて細径化し、ガラスファイバＧ１が形成される。

線引き炉２２の下流側には、例えば、ヘリウムガス等のガスを用いた冷却装置２６が設けられており、線引き炉２２を出た直後のガラスファイバＧ１が数百℃から室温近くまで急速に冷却される。
また、冷却装置２６の下流側には、例えば、レーザ光式の外径測定器２７が設けられており、冷却装置２６を出たガラスファイバＧ１は、この外径測定器２７によりその外径が測定される。

外径測定器２７の下流側には、ガラスファイバＧ１に紫外線硬化型樹脂を塗布するプライマリダイス２８及びセカンダリダイス２９が順に設けられている。また、これらプライマリダイス２８及びセカンダリダイス２９の下流側には、紫外線硬化型樹脂に紫外線を照射して硬化させるための紫外線照射装置３０が設けられている。

これにより、ガラスファイバＧ１は、プライマリダイス２８及びセカンダリダイス２９と紫外線照射装置３０を通過することにより、その外周側にプライマリ樹脂及びセカンダリ樹脂が塗布されて２層の被覆層が形成された光ファイバＧ２とされる。

その後、光ファイバＧ２は、紫外線照射装置３０の下流側に設けられた直下ローラ３１に巻回されて複数の導入ローラ３２に送り出される。そして、光ファイバＧ２は、これら導入ローラ３２に巻回されて案内された後、キャプスタン３３によって引き込まれ、所定の張力が加えられる。

キャプスタン３３は、複数のローラ３４に巻回されたキャプスタンベルト３５と、このキャプスタンベルト３５が密着されるキャプスタンローラ３６とを有しており、これらキャプスタンベルト３５とキャプスタンローラ３６との間に光ファイバＧ２を挟持して引き込む構造とされている。
キャプスタン３３によって引き込まれた光ファイバＧ２は、ガイドローラ３７、ダンサローラ３８，３９を介して巻き取りボビン４０に送られ、この巻き取りボビン４０に巻き取られる。

また、製造設備室１３の１階区画室１３ａには、出入り口１６が設けられている。この出入り口１６には、図３に示すように、自動開閉扉４１が設けられている。この自動開閉扉４１は、スライド可能な左右の扉体４２と、これら扉体４２をスライドさせて出入り口１６を開閉させる駆動モータ４３を備えた開閉機構４４とから構成されている。

次に、光ファイバＧ２を製造する場合について説明する。
まず、線引き炉２２に光ファイバ母材Ｇを投入し、発熱体２３によって加熱溶融して下方に引き延ばして細径化されたガラスファイバＧ１とする。
なお、このとき、線引き炉２２内の気圧が、製造設備室１３内の気圧よりも若干高くなるように、線引き炉２２内の加熱領域へガス供給部Ｐから不活性ガスを供給する。

次いで、ガラスファイバＧ１の外周に、プライマリダイス２８及びセカンダリダイス２９によって紫外線硬化型樹脂を被覆し、さらに、紫外線照射装置３０によって紫外線硬化型樹脂に紫外線を照射して硬化させ、２層の樹脂が被覆された光ファイバＧ２とする。

その後、光ファイバＧ２を、直下ローラ３１を介して導入ローラ３２に送り出し、導入ローラ３２に巻回させる。さらにその後、光ファイバＧ２を、キャプスタン３３によって引き込んで所定の張力を加え、巻き取りボビン４０へ送り込み、巻き取りボビン４０に巻き取らせる。

ここで、第１の実施形態に係る光ファイバの製造方法では、光ファイバ母材ＧからガラスファイバＧ１を線引きして光ファイバＧ２とする際に、空調装置１７及び自動開閉扉４１の開閉機構４４を制御することにより、製造設備室１３の内部の気圧の圧力変動速度を３Ｐａ／秒以下、かつ、製造設備室１３の内部での１回の気圧の圧力変動量を５Ｐａ以下に管理する。
つまり、外部雰囲気である製造設備室１３の内部の気圧の圧力変動を極力抑えるように管理することにより、線引き炉２２内の気圧の圧力変動を、不活性ガスの吹き込み量の調整によらずに光ファイバＧ２の外径変動を抑制することができる。

このように、第１の実施形態に係る光ファイバの製造方法によれば、線引き炉２２内の気圧の圧力変動を引き起こす要因である製造設備室１３の気圧の圧力変動を低減させることにより、光ファイバ母材Ｇの溶融部の温度変化を生じさせることなく線引き炉２２内の気圧の圧力変動を抑制することができる。これにより、外径変動が極力抑えられた高品質な光ファイバＧ２を製造することができる。

図４は、製造設備室１３内の気圧の圧力変動速度と光ファイバの外径変動量との関係を示すものであり、製造設備室１３の外部の気圧に対する製造設備室１３の内部の気圧を、＋５Ｐａとした場合のデータを示す。なお、線引き炉２２には、不活性ガスとしてヘリウムを供給した。

図４に示すように、製造設備室１３の内部の気圧の圧力変動速度を３Ｐａ／秒以下に管理することにより、光ファイバＧ２の外径変動を、ガラス欠陥以外で生じる外径変動の許容変動量である±０．４μｍに抑えられる。

即ち、本実施形態では、線引き炉２２内の気圧の圧力変動を抑制することができ、外径変動が極力抑えられた高品質な光ファイバＧ２を製造することができる。

（第２の実施形態）
次に、第２の実施形態に係る光ファイバの製造方法について説明する。
この第２の実施形態の場合も、第１の実施形態と同様に、まず、線引き炉２２に光ファイバ母材Ｇを投入し、線引き炉２２内の気圧が、製造設備室１３内の気圧よりも若干高くなるように、線引き炉２２内の加熱領域へガス供給部Ｐから不活性ガスを供給しながら発熱体２３によって光ファイバ母材Ｇを加熱溶融して下方に引き延ばして細径化されたガラスファイバＧ１とする。

次いで、ガラスファイバＧ１の外周に、プライマリダイス２８及びセカンダリダイス２９によって紫外線硬化型樹脂を被覆し、さらに、紫外線照射装置３０によって紫外線硬化型樹脂に紫外線を照射して硬化させ、２層の樹脂が被覆された光ファイバＧ２とする。その後、光ファイバＧ２を、直下ローラ３１を介して導入ローラ３２に送り出し、導入ローラ３２に巻回させる。さらにその後、光ファイバＧ２を、キャプスタン３３によって引き込んで所定の張力を加え、巻き取りボビン４０へ送り込み、巻き取りボビン４０に巻き取らせる。
なお、製造設備室１３の内部の気圧は、製造設備室１３の外部の気圧に対して陽圧を維持しておく。

ここで、この第２の実施形態に係る光ファイバの製造方法では、空調装置１７及び自動開閉扉４１の開閉機構４４を制御することにより、製造設備室１３の内部の気圧の圧力変動速度を１０Ｐａ／秒以下とし、かつ、製造設備室１３の内部での１回の気圧の圧力変動量を３Ｐａ以下に管理して製造設備室１３内にて光ファイバＧ２を製造する。
つまり、外部雰囲気である製造設備室１３の内部の気圧の圧力変動を極力抑えるように管理することにより、線引き炉２２内の気圧の圧力変動を、不活性ガスの吹き込み量の調整によらずに光ファイバＧ２の外径変動を抑制することができる。

このように、第２の実施形態に係る光ファイバの製造方法の場合も、線引き炉２２内の気圧の圧力変動を引き起こす要因である製造設備室１３の気圧の圧力変動を低減させることにより、光ファイバ母材Ｇの溶融部の温度変化を生じさせることなく線引き炉２２内の気圧の圧力変動を抑制することができる。これにより、外径変動が極力抑えられた高品質な光ファイバＧ２を製造することができる。

図５は、製造設備室１３内の気圧の圧力変動量と光ファイバの外径変動量との関係を示すものであり、製造設備室１３の内部の気圧の圧力変動速度を１０Ｐａ／秒とした場合のデータを示す。なお、図４と同様に、線引き炉２２には、不活性ガスとしてヘリウムを供給した。
図５に示すように、製造設備室１３の気圧の圧力変動量が３Ｐａを越えると、光ファイバＧ２の外径変動量が許容変動量である０．４μｍを越えてしまう。
つまり、製造設備室１３の内部の気圧の圧力変動速度を１０Ｐａ／秒以下とし、かつ、製造設備室１３の内部での１回の気圧の圧力変動量を３Ｐａ以下に管理しながら光ファイバＧ２を製造することにより、光ファイバＧ２の外径変動を±０．４μｍに抑えることができ、高品質な光ファイバＧ２を製造することができる。

（第３の実施形態）
次に、第３の実施形態に係る光ファイバの製造方法を説明する。
この第３の実施形態では、製造設備室１３の内部と外部の間にダンパー式扉の付いた通気口Ｄを備えている。
図６は、第３の実施形態に係る光ファイバの製造方法が適応可能な製造設備を示す概略断面図である。
図６に示すように、製造設備１１Ａは、製造設備室１３の１階区画室１３ａの内部と１階区画室１３ａの問の隔壁上にダンパー式扉の付いた通気口Ｄを備えている。このダンパーとしてクリフ株式会社製微庄調整ダンパーを使用した。
この微圧調整ダンパーを使用することで、製造設備室１３内と製造設備室１３外の差圧を設定した値に維持することが出来るので、製造設備室１３内の気圧管理が容易となり、光ファイバＧ２の外径変動を抑制することができる。

（第４の実施形態）
次に、第４の実施形態に係る光ファイバの製造方法を説明する。
この第４の実施形態では、自動開閉扉として回転扉機構を備えている。
図７は、回転扉機構の構造を説明する平面図である。
図７に示すように、回転扉機構５１は、出入り口１６の両側部に設けられた平面視円弧状の隔壁５２と、この隔壁５２の間に回転可能に設けられた連通機構５３とを備えている。連通機構５３は、平面視放射状に配置された複数の扉体５４を備えている。そして、この回転扉機構５１では、連通機構５３の扉体５４同士の間が扇状の区画部５５とされている。いずれか一つの区画部５５が製造設備室１３の内部と連通された際に、その一つの区画部５５が連通しない他の区画部５５の一つが製造設備室１３の外部と連通する。つまり、出入り口１６では、製造設備室１３の内部と外部とが直接連通しないようになっている。

そして、この回転扉機構５１を備えた場合は、連通機構５３の回転速度を制御して、製造設備室１３内の気圧を管理しながら光ファイバＧ２を製造することにより、光ファイバＧ２の外径変動を抑制することができる。
特に、この回転扉機構５１では、製造設備室１３の内部と外部とが直接連通されないので、出入り口１６における空気の流入出量を抑えることができる。そのため、製造設備室１３内の気圧管理を円滑に行うことができ、光ファイバＧ２の外径変動をさらに抑制することができる。

（第５の実施形態）
次に、第５の実施形態に係る光ファイバの製造方法を説明する。
図８は、第５の実施形態に係る光ファイバの製造方法が適応可能な製造設備を示す概略断面図である。
図８に示すように、製造設備１１Ｂの建物１２の出入り口１６には、製造設備室１３の内部と外部との間に緩衝室６１が設けられている。この緩衝室６１は、製造設備室１３の内部と連通する連通口６２と、製造設備室１３の外部と連通する連通口６３とを有し、これら連通口６２、６３は、それぞれ自動開閉扉６４、６５を備えている。

そして、この緩衝室６１を備えた場合は、自動開閉扉６４、６５の開閉速度及び開閉のタイミングを制御して、製造設備室１３内の気圧を管理しながら光ファイバＧ２を製造することにより、光ファイバＧ２の外径変動を抑制することができる。
特に、この緩衝室６１を備えた場合は、自動開閉扉６４、６５のいずれか一方だけを開閉するように開閉のタイミングを制御することにより、出入り口１６における空気の流入出量を大幅に抑えることができる。そのため、製造設備室１３内の気圧管理を円滑に行うことができ、光ファイバＧ２の外径変動をさらに抑制することができる。

（第６の実施形態）
次に、第６の実施形態に係る光ファイバの製造方法を説明する。
図９は、第６の実施形態に係る光ファイバの製造方法が適応可能な製造設備を示す概略断面図である。
図９に示すように、この実施形態の製造方法が適応可能な製造設備１１Ｃでは、光ファイバの線引き装置２１を構成する線引き炉２２の上下端に、チャンバ７１を取り付けている。これにより、この線引き炉２２は、その上部開口部及び下部開口部の周囲が、チャンバ７１によって覆われている。

そして、この実施形態に係る光ファイバの製造方法では、上記のように、線引き炉２２の上部開口部及び下部開口部の周囲を、チャンバ７１によって覆った状態にて、製造設備室１３の内部の気圧を管理して光ファイバＧ２を製造する。
これにより、線引き炉２２では、製造設備室１３内の気圧の圧力変動による線引き炉２２内の気圧への影響がさらに低減され、光ファイバＧ２の外径変動をさらに低減させることができる。
なお、チャンバ７１は、線引き炉２２の上下端のいずれか一方に設けても良く、この場合も、線引き炉２２内における気圧の圧力変動を抑制することができる。

（第７の実施形態）
次に、第７の実施形態に係る光ファイバの製造方法を説明する。
図１０は、第７の実施形態に係る光ファイバの製造方法が適応可能な製造設備を示す概略断面図である。
図１０に示すように、この実施形態の製造方法が適応可能な製造設備１１Ｄでは、光ファイバの線引き装置２１を構成する線引き炉２２全体をチャンバ８１で覆っている。そして、このチャンバ８１には、空調装置８２のダクト８３が接続されている。

また、空調装置８２の図示しないコントローラには、チャンバ８１の内部の気圧と製造設備室１３の外部の大気圧との差圧を測定する差圧計８４が接続されている。この差圧計８４の測定結果がコントローラに送信され、この測定結果に基づいてコントローラが空調装置８２を制御する。
そして、この実施形態に係る光ファイバの製造方法では、上記のように、線引き炉２２の全体を、チャンバ８１によって覆った状態にて、製造設備室１３の内部の気圧及びチャンバ８１の内部の気圧をそれぞれ管理して光ファイバＧ２を製造する。

これにより、線引き炉２２では、製造設備室１３内の気圧の圧力変動による線引き炉２２内の気圧への影響がさらに低減され、光ファイバＧ２の外径変動をさらに低減させることができる。

以上、本発明を詳細にまた特定の実施態様を参照して説明したが、本発明の精神と範囲を逸脱することなく様々な変更や修正を加えることができることは当業者にとって明らかである。また、上記説明した構成部材の数、位置、形状等は上記実施の形態に限定されず、本発明を実施する上で好適な数、位置、形状等に変更することができる。

１１、１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃ、１１Ｄ：製造設備
１３：製造設備室
１６：出入り口
２２：線引き炉
４４：開閉機構
５１：回転扉機構
６１：緩衝室
７１、８１：チャンバ
Ｇ：光ファイバ母材（ガラス母材の一例）
Ｇ２：光ファイバ
Ｄ：通気口

Claims (8)

1. ガラス母材を線引きして光ファイバを製造する線引き炉を設置した製造設備室で、前記製造設備室の内部の気圧を前記製造設備室の外部の気圧に対して陽圧に維持された前記製造設備室において、前記製造設備室の内部の気圧の圧力変動速度が３Ｐａ／秒以下で、かつ、前記製造設備室の内部での１回の気圧の圧力変動量が５Ｐａ以下に管理された前記製造設備室内で光ファイバを製造する、光ファイバの製造方法。
2. ガラス母材を線引きして光ファイバを製造する線引き炉を設置した製造設備室で、前記製造設備室の内部の気圧を前記製造設備室の外部の気圧に対して陽圧に維持された前記製造設備室において、前記製造設備室の内部の気圧の圧力変動速度が１０Ｐａ／秒以下で、かつ、前記製造設備室の内部での１回の気圧の圧力変動量が３Ｐａ以下に管理された前記製造設備室内で光ファイバを製造する、光ファイバの製造方法。
3. 前記製造設備室の内部と外部とを連通および遮断する開閉機構の開閉速度を制御することで前記製造設備室の内部の気圧を管理して光ファイバを製造する、請求項１または２に記載の光ファイバの製造方法。
4. 前記製造設備室の内部と外部の間にダンパー式扉の付いた通気口を設けることで前記製造設備室の内部の気圧を管理して光ファイバを製造する、請求項１または２に記載の光ファイバの製造方法。
5. 前記製造設備室の内部と外部との間に、複数の区画部を有した回転扉機構を設け、いずれか一の区画部が前記製造設備室の内部と連通される際に、前記一の区画部と連通しない他の区画部のいずれかが前記製造設備室の外部と連通され、
   前記回転扉機構の回転速度を制御することで前記製造設備室の内部の気圧を管理して光ファイバを製造する、請求項１または２に記載の光ファイバの製造方法。
6. 前記製造設備室の内部と外部との間に緩衝室を設け、この緩衝室の一方側で前記製造設備室の内部と連通されるとともに前記緩衝室の他方側で前記製造設備室の外部と連通されることで前記製造設備室の内部の気圧を管理して光ファイバを製造する、請求項１または２に記載の光ファイバの製造方法。
7. 前記線引き炉の上部開口及び下部開口の少なくとも一方をチャンバで覆い、前記製造設備室の内部の気圧を管理して光ファイバを製造する、請求項１から６のいずれか一項に記載の光ファイバの製造方法。
8. 前記線引き炉全体をチャンバで覆い、前記製造設備室及びチャンバの内部の気圧を管理して光ファイバを製造する、請求項１から６のいずれか一項に記載の光ファイバの製造方法。

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