JP2014225432A - 有機発光表示装置の製造装置及び有機発光表示装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】有機発光表示装置の製造装置及びこれを利用した有機発光表示装置の製造方法を提供する。【解決手段】本発明の一実施形態による有機発光表示装置は、基板を加熱または冷却させる温度調節装置を含むステージ、基板上に有機発光インクを吐出する少なくとも一つのノズルを含むプリントヘッド、基板上に光線を照射する光線照射部と、ステージまたはプリントヘッドを移動させる駆動部と、を含む。【選択図】図１

Description

本発明は、有機発光表示装置の製造装置及びこれを利用する有機発光表示装置の製造方法に関し、より詳細には基板上に有機層を形成する有機発光表示装置の製造装置及びこれを利用する有機発光表示装置の製造方法を提供するものである。

多様な情報を画面で実現する表示装置は、情報通信時代の核心技術としてより薄く、軽く、かつ携帯が可能であり、さらには高性能の方向に発展しつつある。これに陰極線管（Ｃａｔｈｏｄｅ−Ｒａｙ Ｔｕｂｅ、ＣＲＴ）の短所である重さと大きさを減らせる有機発光表示装置のようなフラットパネル表示装置が脚光を浴びている。ここで、有機発光表示装置は、電極の間の薄い有機発光層を利用した自発光素子であって紙のように薄膜化が可能であることは長所である。有機発光表示装置は、光を生成する有機発光層の材料によって小分子（Ｓｍａｌｌ Ｍｏｌｅｃｕｌｅ）及び高分子（Ｐｏｌｙｍｅｒ）有機発光表示装置に区分される。低分子有機発光表示装置の有機発光層は、一般的に真空蒸着により薄膜形態で形成され、高分子有機発光表示装置の有機発光層はスピンコーティング（Ｓｐｉｎ ｃｏａｔｉｎｇ）あるいはインクジェットプリンティング（Ｉｎｋ ｊｅｔ ｐｉｎｔｉｎｇ）などの溶液コーティング方法を使用して薄膜形態で形成される。

インクジェットプリンティング方法によって、有機発光層を形成する場合、有機発光層はインクジェットプリントヘッドから有機発光材料及び溶媒を含む有機発光インクが基板上の表示領域の少なくとも一つの画素上に吐出され、吐出された有機発光インクが乾燥して形成される。ここで、有機発光インクが乾燥するということは有機発光インクが含む溶媒が蒸発することを意味する。一般的には、溶媒は揮発性が強く、有機発光インクが吐出された後には短時間内に溶媒が揮発し、有機発光インクが乾燥される。この際、蒸発される溶媒の分子（以下、蒸発溶媒分子）の濃度は有機発光インクが吐出された領域の中心部で高くなり、有機発光インクが吐出された領域のエッジ、すなわち、有機発光インクが吐出された領域と吐出されない領域の境界部では低くなる。このように基板上で蒸発溶媒分子の濃度勾配が不均一に形成される場合、有機発光インクが吐出された領域の中心部で有機発光インクが吐出された領域のエッジに蒸発溶媒分子の拡散が誘導され、有機発光インクが吐出された領域のエッジが、有機発光インクが吐出された領域の中心部より相対的に速く乾燥し、有機発光インクが吐出された領域のエッジに位置する画素の有機発光層が外側に傾く。すなわち、有機発光インクが吐出された領域のエッジに位置する画素の有機発光層の厚さが不均一になり、これは有機発光表示装置の表示品質に直接的な影響を与える。

本発明が解決しようとする課題は、有機膜の厚さが均一な有機発光表示装置の製造装置を提供するものである。

本発明が解決しようとする他の課題は、有機膜の厚さが均一な有機発光表示装置の製造方法を提供するものである。

本発明の課題は、以上で言及した技術的課題に制限されず、言及されていないまた他の技術的課題は次の記載から当業者に明確に理解できるであろう。

前記課題を解決するための本発明の一実施形態による有機発光表示装置は、基板を加熱または冷却させる温度調節装置を含むステージ、基板上に有機発光インクを吐出する少なくとも一つのノズルを含むプリントヘッド、基板上に光線を照射する光線照射部及びステージまたはプリントヘッドを移動させる駆動部を含む。

前記課題を解決するための本発明の一実施形態による有機発光表示装置の製造方法は、基板をステージ上に配置する段階、基板上に第１方向に沿って順次に有機発光インクを吐出する段階、前記有機発光インクを基板上に吐出すると同時にまたは順次に有機発光インクが塗布された領域を加熱する段階、塗布された有機発光インク上に光線を照射し、有機発光インクの表面を硬化させる段階を含む。

その他実施形態の具体的な内容は詳細な説明及び図面に含まれている。

本発明の実施形態によれば少なくとも次のような効果がある。

すなわち、有機膜の膜厚さが均一な有機発光表示装置を製造できる。

また、有機発光インクの吐出、乾燥、冷却を実質に同時に行うことによって工程にかかる時間を短縮できる。

また、本発明による効果は、以上で例示した内容によって制限されず、より多様な効果が本明細書内に含まれている。

本発明の一実施形態による有機発光表示装置の製造装置の斜視図である。 図１をＩ−Ｉ’方向に沿って切断した断面図である。 本発明の一実施形態による有機発光表示装置の製造装置のプリントヘッドの平面図である。 本発明の他の実施形態による有機発光表示装置の製造装置の温度調節領域の配置を示す平面図である。 単位熱電素子の概略図である。 プリントヘッド２０が第１方向に移動することを示す断面図である。 プリントヘッド２０が第１方向に移動することを示す断面図である。 プリントヘッド２０が第１方向に移動することを示す断面図である。 本発明の他の実施形態による有機発光表示装置の製造装置の斜視図である。 本発明の他の実施形態による有機発光表示装置の製造装置の平面図である。 本発明の他の実施形態による有機発光表示装置の製造装置のプリントヘッドの平面図である。 本発明の他の実施形態による有機発光表示装置の製造装置が基板の他側で第３方向に基板の一側に向かって移動することを示す断面図である。 本発明の他の実施形態による有機発光表示装置の製造装置の温度調節領域の配置を示す平面図である。 本発明の他の実施形態による有機発光表示装置の製造装置の温度調節領域の配置を示す平面図である。

本発明の利点及び特徴、これらを達成する方法は添付する図面と共に詳細に後述する実施形態において明確になるであろう。しかし、本発明は、以下で開示する実施形態に限定されるものではなく、互いに異なる多様な形態で実現されるものであり、本実施形態は、単に本発明の開示を完全にし、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者に発明の範疇を完全に知らせるために提供されるものであり、本発明は、請求項の範囲によってのみ定義される。

素子（ｅｌｅｍｅｎｔｓ）または層が他の素子または層の「上（ｏｎ）」と指称された場合、他の素子の真上にまたは中間に他の層または他の素子を介在する場合のすべてを含む。明細書全体において、同一の参照符号は同一の構成要素を示す。

第１、第２などが多様な素子、構成要素を叙述するために使用されるが、これら素子、構成要素はこれらの用語によって制限されないことはいうまでもない。これらの用語は、単に一つ構成要素を他の構成要素と区別するために使用するものである。したがって、以下で言及される第１構成要素は本発明の技術的思想内で第２構成要素であり得ることは勿論である。

以下、添付する図面を参照して本発明の実施形態について説明する。

図１は、本発明の一実施形態による有機発光表示装置の製造装置の斜視図である。図２は、図１をＩ−Ｉ’方向に沿って切断した断面図である。

図１及び図２を参照すると、本発明の一実施形態による有機発光表示装置５００は、基板３０を加熱または冷却させる温度調節装置（図示せず）を含むステージ１０、基板３０上に有機発光インクを吐出する少なくとも一つのノズル（２０１ないし２０６）を含むプリントヘッド２０、基板３０上に光線を照射する光線照射部２１０及びステージ１０またはプリントヘッド２０を移動させる駆動部（図示せず）を備える。

ステージ１０は基板３０を支持し、剛性材質で形成される。ただし、ステージ１０の材質はこれに限定されない。例示的な実施形態で、ステージ１０は直六面体形状であるがステージ１０の形状がこれに制限されるものではない。ステージ１０は温度調節装置を含み、温度調節装置は複数の温度調節領域を含む。温度調節領域は複数の熱電素子を含み、各温度調節領域の温度は個別に制御される。これに関する詳しい説明は後述する。

ステージ１０上には基板３０が配置される。基板３０はベース基板、駆動薄膜トランジスタ（図示せず）及び絶縁層（図示せず）を含む。ベース基板は透明ガラス、プラスチックシートまたはシリコンなどのような物質からなるが、ベース基板の材質がこれに限定されるものではない。

基板３０は、単位表示基板であり、複数個の単位表示基板に切断して分割される前の母基板である。基板３０は一枚の基板３０であるが、積層された複数の基板を含んでもよい。

本技術分野の当業者に自明であるように、基板３０上には駆動薄膜トランジスタ（図示せず）の他にもスイッチング薄膜トランジスタ（図示せず）及びキャパシタ（図示せず）が形成されている場合もある。スイッチング薄膜トランジスタ及び／または駆動薄膜トランジスタは活性層（図示せず）、前記活性層の上にまたは下に平行するように配置されるゲート電極（図示せず）、前記活性層と前記ゲート電極との間に配置されるゲート絶縁層（図示せず）、前記活性層の両端部に電気的に接続されるソース／ドレーン電極（図示せず）を含む。

駆動薄膜トランジスタ上には絶縁層が形成されている。絶縁層には駆動薄膜トランジスタの一部を露出するビアホールが各領域ごとに形成される。絶縁層はアクリル係化合物などのような感光性有機物質からなる層を含み、薄膜トランジスタのような下部構造物による段差を除去するために平坦化される。

絶縁膜上には電極４１０が配置される。電極はビアコンタクトにより駆動薄膜トランジスタの出力端子に電気的に接続される。電極は陽極であり、透明電極である。また、図面に図示していないが、陽極上に陽極と対向するように陰極が配置される。

また、基板３０上には画素定義膜４００が形成される。画素定義膜４００はその用語が有している意味のように表示領域内の画素（３１０、３２０、３３０、３４０、３５０、３６０）が形成される領域を定義する。図１は画素（３１０、３２０、３３０、３４０、３５０、３６０）が長方形形状である場合を例示するが、画素（３１０、３２０、３３０、３４０、３５０、３６０）の形状はこれに制限されない。

画素定義膜４００、３００は、絶縁物質からなり、マスクパターニング工程、例えばファインメタルマスク（Ｆｉｎｅ ｍｅｔａｌ ｍａｓｋ）を利用したパターニング工程により形成される。また、画素定義膜４００は表面にふっ素を含む物質でコーティングされ、画素定義膜４００自体がふっ素を含んでもよい。また、画素定義膜４００を形成した後にふっ素プラズマ処理を行ってもよい。このように画素定義膜４００にふっ素処理を行うと、画素定義膜４００の表面の表面エネルギーが低くなり、表面に異物の吸着を防止できる。

基板３０上には複数個の画素が位置する。複数個の画素（３１０、３２０、３３０、３４０、３５０、３６０）は長方形形状である。複数個の画素（３１０、３２０、３３０、３４０、３５０、３６０）はｎｘｍ（ここでｎ及びｍは１以上の整数）のマトリックス形態で配列される。図１に図示する例示的な実施形態で、行方向をｙ方向、列方向をｘ方向とする場合、基板３０上には６ｘ６のマトリックス形態で画素が配列される。しかし、図１の画素配列形態は例示的なものであり、実際はこれより多くの数の画素が基板３０上に配列される。また、マトリックス形態だけではなく、ストライプ形態またはペンタイル（Ｐｅｎｔｉｌｅ）形態などの多様な形態で画素が配列されてもよい。

ステージ１０上にはプリントヘッド２０が配置される。図３を参照してプリントヘッドについてより具体的に説明する。

図３は、本発明の一実施形態による有機発光表示装置の製造装置のプリントヘッド２０の平面図である。

図３を参照すると、本発明の一実施形態による有機発光表示装置の製造装置５００のプリントヘッド２０は、複数個のノズル（２０１、２０２、２０３、２０４、２０５、２０６）が配置されたノズル部２２０とノズル部２２０の一側に接するかまたは隣接するように配置され、プリントヘッド２０の長さ方向に沿って延長された光線照射部２１０を含む。

プリントヘッド２０は複数個のノズル（２０１、２０２、２０３、２０４、２０５、２０６）を含むノズル部２２０と基板３０上に光線を照射する光線照射部２１０を含む。ノズル部２２０には複数個のノズル（２０１、２０２、２０３、２０４、２０５、２０６）が配置される。ノズル部２２０は基板３０の一辺と平行するように延長して形成され、基板３０の一辺と平行し、基板３０と一定の距離だけ離隔して形成される。ノズル部２２０は直六面体形状であるが、これに限定されるものではない。複数個のノズル（２０１、２０２、２０３、２０４、２０５、２０６）は基板３０の上面と対向する面に配置される。

複数個のノズル（２０１、２０２、２０３、２０４、２０５、２０６）はノズル部２２０の長さ方向に整列して一列に配置される。また、複数個のノズル２２０は複数個の列と行を有するように、すなわちマトリックス形態に配置されてもよい。ただし、ノズルの配列形態はこれに制限されず、複数個のノズルは基板３０上に配列された画素形態に対応するように多様な方式で配列される。

例示的な実施形態で、プリントヘッドのノズル数は基板３０の一つの行に配置された画素の数と同じである。すなわち、画素が６ｘ６のマトリックス形態に配置された基板３０でプリントヘッド２０のノズルはプリントヘッド２０の長さ方向に整列し、一列に配置される６個のノズル（２０１、２０２、２０３、２０４、２０５、２０６）を含む。

ノズル（２０１、２０２、２０３、２０４、２０５、２０６）は有機発光インクを基板３０上に吐出する。有機発光インク８８は有機発光層を形成するための原材料に該当し、有機発光材料及び溶媒を含む。すなわち、基板３０上で有機発光インク８８が乾燥し、溶媒がすべて蒸発すると有機発光層が形成される。有機発光材料は、赤色有機発光材料、緑色有機発光材料、または青色有機発光材料であり、これらに電圧が印加される場合、それぞれ赤、緑、および青の光を発光する。溶媒は有機発光材料を溶かして液体状態にするためのものであって、揮発性が強くかつ有機発光材料とよく混ざる物質を使用する。有機発光インクは赤色有機発光材料を含む赤インク、緑色有機発光材料を含む緑インク、または青色有機発光材料含む青インクである。赤インク、緑インク、および青インクが乾燥し、溶媒が蒸発すると、それぞれ赤色発光層、緑色発光層、および青色発光層が形成される。

ノズル（２０１、２０２、２０３、２０４、２０５、２０６）は赤インクを吐出する赤インク吐出ノズル、緑インクを吐出する緑インク吐出ノズル、および青インクを吐出する青インク吐出ノズルのうち少なくとも一つである。例示的な実施形態で、一セットの赤インク吐出ノズル２０１、緑インク吐出ノズル２０２及び青インク吐出ノズルが形成され、前記セットが繰り返されて配列される。図２に図示する例示的な実施形態で、二セットの赤インク吐出ノズル（２０１、２０４）、緑インク吐出ノズル（２０２、２０５）、および青インク吐出ノズル（２０３、２０６）が一列に配列される。赤インク吐出ノズル２０１、緑インク吐出ノズル２０２、および青インク吐出ノズルが配列された順序及び形態は多様である。

光線照射部２１０はノズル部２２０の一側に隣接するかまたは接して配置され、プリントヘッド２０の長さ方向に沿って延長される。光線照射部２１０は基板３０上に光線を照射する。光線照射部２１０の具体的な動作については後述する。

光線照射部２１０は少なくとも一つの紫外線ランプ（図示せず）を含む。光線照射部２１０が紫外線ランプを含む場合、光線照射部２１０は基板３０上に紫外線を照射する。ただし、これに制限されるものではなく、光線照射部２１０は少なくとも一つの赤外線ランプを含む。この場合、光線照射部は基板３０上に赤外線を照射する。また、光線照射部２１０は紫外線ランプ及び赤外線ランプを含む。この場合、光線照射部は基板３０上に紫外線及び／または赤外線を照射する。赤外線または紫外線の選択は使用される有機発光インク８８の種類によって変わる。
駆動部（図示せず）はステージ１０またはプリントヘッド２０を移動させる。駆動部によるステージ１０またはプリントヘッド２０の動作に対する具体的な説明は後述する。

図４は、本発明の他の実施形態による有機発光表示装置の製造装置の温度調節領域の配置を示す平面図である。

図４を参照すると、本発明の他の実施形態による有機発光表示装置の製造装置は、行方向（図４でｙ軸方向）に延長され、一定間隔離隔して平行するように配置される複数の温度調節領域（１０１、１０２、１０３、１０４、１０５、１０６）を含む。

前述したようにステージ１０は温度調節装置（図示せず）を含む。温度調節装置は複数の温度調節領域（１０１、１０２、１０３、１０４、１０５、１０６）を含む。また、各温度調節領域（１０１、１０２、１０３、１０４、１０５、１０６）の温度は個別に制御される。このため、温度調節装置は複数の温度調節領域（１０１、１０２、１０３、１０４、１０５、１０６）の温度を個別に制御する制御部を含む。各温度調節領域は、例示的に長方形形状であるが、温度調節領域（１０１、１０２、１０３、１０４、１０５、１０６）の形状がこれに制限されるものではない。

各温度調節領域（１０１、１０２、１０３、１０４、１０５、１０６）は複数の熱電素子を含む。図５を参照して熱電素子について具体的な説明する。

図５は、単位熱電素子の概略図である。図５を参照すると、単位熱電素子７００は、Ｎ型半導体７０１、Ｐ型半導体７０２、Ｎ型半導体７０１とＰ型半導体７０２の上部に結合された上部伝導体板７０３、Ｎ型半導体７０１の下部に結合された第１下部伝導体板７０４、及びＰ型半導体７０２の下部に結合された第２下部伝導体板７０５を含む。前記のように構成された熱電素子で、第１下部伝導体板７０４に（−）電力線を接続し、第２下部伝導体板７０５に（＋）電力線を接続した後、直流電流を印加すると、いわゆるペルティエ効果（Ｐｅｌｔｉｅｒ ｅｆｆｅｃｔ）により第１及び第２下部伝導体板７０４、７０５は加熱され、上部伝導体板７０３は冷却される。これに対し、（−）電力線と（＋）電力線の電流方向を変えると、第１及び第２下部伝導体板７０４、７０５は冷却され、上部伝導体板７０３は加熱される。このような原理を利用して制御部は複数の温度調節領域を個別に制御できる。すなわち、制御部は、温度調節領域に配置された複数の熱電素子に印加される電流の方向を転換させることによって、温度調節領域の上面を加熱または冷却させる。以下では、温度調節領域の上面が加熱する場合を加熱モード、温度調節領域の上面が冷却される場合を冷却モードと示す。

再び図４を参照すると、各温度調節領域（１０１、１０２、１０３、１０４、１０５、１０６）は基板３０上に配置された画素の各行に対応して配置される。図４は、図１に図示する例示的な基板３０に対応する温度調節領域の配列形態を例示する。すなわち、基板３０の画素が６行ｘ６列のマトリックス配列を有する場合、一つの温度調節領域は基板３０の一つの行に対応して配置される。ただし、これは例示的なものであり、温度調節領域の配列形態はこれに制限されない。すなわち、一つの温度調節領域は基板３０上に配置された画素中の一つの画素に対応して形成されるか、または一つ以上の画素に対応して形成される。また、その配列形態にも、対応する画素の配列形態によって多様な配列形態を有する。

以下、本発明の一実施形態による有機発光表示装置の製造装置５００の動作方式について説明する。

図６及び図８を参照して動作方式について具体的に説明する。図６ないし図８は、プリントヘッド２０が第１方向に移動することを示す断面図である。

図６を参照すると、本発明の一実施形態による有機発光表示装置の製造装置５００でプリントヘッド２０は第１方向に移動する。

前述したように、プリントヘッド２０は基板３０の一辺と平行するように延長して配置される。言い換えれば、基板３０に配置された画素の行方向に延長して配置される。このように配置された状態でプリントヘッド２０またはステージ１０は互いに対向する状態で一定の方向に向かって直線運動する。

図面に図示していないが、駆動部はプリントヘッド２０またはステージ１０を移動させる。駆動部はモータ（ｍｏｔｏｒ）またはアクチュエータ（ａｃｔｕａｔｏｒ）を含む。以下では説明の便宜上、ステージ１０が固定されてプリントヘッド２０が移動する場合を例示して説明する。

基板３０の一辺と平行するように延長して配置されたプリントヘッド２０は、前記一辺と垂直な方向（以下、第１方向という）に移動する。すなわち、図６で第１方向はｘ軸の陽の方向である。プリントヘッドは基板３０と対向する状態で移動し、移動する間にプリントヘッドと基板３０との間の距離は一定に維持される。また、プリントヘッド２０は等速直線運動するが、プリントヘッド２０の移動速度はこれに制限されるものではない。すなわち、プリントヘッド２０の移動速度は調節され、プリントヘッド２０の移動速度を調節するために駆動部はプリントヘッド２０の移動速度を調節する速度調節装置をさらに含む。

プリントヘッド２０が移動する間、複数のノズルは基板３０に向かって有機発光インク８８を吐出する。ノズル（２０１、２０２、２０３、２０４、２０５、２０６）は有機発光インク８８を連続的または断続的に吐出する。すなわち、本発明の一実施形態による有機発光表示装置の製造装置５００は、ラインプリンティング方式だけでなく、ドットプリント方式も使用する。以下では、説明の便宜上、ノズル（２０１、２０２、２０３、２０４、２０５、２０６）が有機発光インク８８を断続的に吐出する場合を例示して説明する。

また、説明の便宜上、図６ないし図８の断面図において複数の温度調節領域を左側から第１ないし第６温度調節領域（１０１、１０２、１０３、１０４、１０５、１０６）と示し、複数の画素を左側から第１行画素ないし第６行画素（３３５、３３４、３３３、３３２、３３１、３３０）と示す。また、断面図でノズルはプリントヘッド２０の複数のノズル（２０１、２０２、２０３、２０４、２０５、２０６）のうち少なくとも一つを意味することはもちろんである。

前述したようにプリントヘッドは基板３０の一側から他側まで移動する。プリントヘッド２０の移動によりプリントヘッド２０のノズル（２０１、２０２、２０３、２０４、２０５、２０６）は第１行画素３３５の上部に位置する。プリントヘッドのノズル（２０１、２０２、２０３、２０４、２０５、２０６）が第１行画素３３５の上部に位置すると、ノズル（２０１、２０２、２０３、２０４、２０５、２０６）は基板３０上の第１行画素３３５に向かって有機発光インク８８を吐出する。

ノズル（２０１、２０２、２０３、２０４、２０５、２０６）が基板３０に向かって有機発光インク８８を吐出すると同時にまたは順次に第１温度調節領域１０１が加熱モードに転換される。（図６ないし図８で温度調節領域の矢印が上部に向かうことは、温度調節領域が加熱モードであることを意味し、温度調節領域の矢印が下部に向かうことは、温度調節領域が冷却モードであることを意味する。）

ノズル（２０１、２０２、２０３、２０４、２０５、２０６）が第１行画素３３５に有機発光インク８８を吐出すると同時にまたは順次に第１温度調節領域１０１が加熱する場合、第１行画素３３５に塗布された有機発光インク８８の内部にある不純物がアウトガス（Ｏｕｔｇａｓｓｉｎｇ）する。

プリントヘッド２０が継続して移動することにより、光線照射部２１０が第１行画素３３５の上部に位置する。プリントヘッド２０の光線照射部２１０が第１行画素３３５の上部に位置すると、光線照射部２１０は基板３０上の有機発光インク８８に向かって赤外線または紫外線を照射する。光線照射部２１０が有機発光インク８８に向かって赤外線または紫外線を照射すると、有機発光インク８８の表面８７が仮硬化される。有機発光インク８８の表面８７が仮硬化されると、有機発光インク８８の表面８７の流動が防止され、有機発光インク８８が形成する有機発光層の膜の均一度が向上する。

また、光線照射部２１０が第１行画素３３５を向かって赤外線または紫外線を照射する間にも第１温度調節領域１０１は第１行画素３３５に塗布された有機発光インク８８を加熱する。

プリントヘッド２０が継続して移動すると、プリントヘッド２０のノズル（２０１、２０２、２０３、２０４、２０５、２０６）は第２行画素３３４の上部に位置する。プリントヘッド２０のノズル（２０１、２０２、２０３、２０４、２０５、２０６）が第２行画素３３４の上部に位置すると、ノズル（２０１、２０２、２０３、２０４、２０５、２０６）は基板３０上の第２行画素３３４に向かって有機発光インク８８を吐出する。

ノズル（２０１、２０２、２０３、２０４、２０５、２０６）が第２行画素３３４に向かって有機発光インク８８を吐出すると同時にまたは順次に第２温度調節領域１０２が加熱される。プリントヘッド２０が第１行画素３３５を経て基板３０の他側まで移動する過程で第１温度調節領域１０１は冷却モードに転換される。例えば、第２温度調節領域１０２が加熱モードであるとき、第１温度調節領域１０１は冷却モードである。ただし、これは例示的なものであり、第１温度調節領域１０１が冷却モードに転換される時点はこれに制限されない。

このように工程中に、温度調節領域（１０１、１０２、１０３、１０４、１０５、１０６）が冷却モードに転換されると、有機発光インク８８の塗布工程が終わり、別途の冷却工程を省略できるため、全体工程の効率が向上する。

プリントヘッド２０が第１方向に継続して移動すると、光線照射部２１０が第２行画素３３４の上部に位置する。プリントヘッド２０の光線照射部２１０が第２行画素３３４の上部に位置すると、光線照射部２１０は基板３０上の有機発光インク８８に向かって赤外線または紫外線を照射する。光線照射部２１０が有機発光インク８８に向かって赤外線または紫外線を照射すると、有機発光インク８８の表面８７が仮硬化される。

プリントヘッド２０は継続して第１方向に移動する。すなわち、プリントヘッド２０は前記した動作を繰り返し、第１ないし第６行画素（３３０、３３１、３３２、３３３、３３４、３３５））を経て基板３０の他側まで到達する。第３行画素３３２から第６行画素３３０までの移動は前述した第１行画素３３５から始めて第２行画素３３４に移動することと実質に同じであるため、これに関する重複する説明は省略する。

以下、本発明の他の実施形態について説明する。以下の実施形態ですでに説明した構成と同じ構成については同一参照番号で示し、重複する説明は省略または簡略にする。

図９は、本発明の他の実施形態による有機発光表示装置の製造装置の斜視図である。図１０は、本発明の他の実施形態による有機発光表示装置の製造装置の平面図である。

図９及び図１０を参照すると、本発明の他の実施形態による有機発光表示装置の製造装置５０１のプリントヘッド２１は三個のノズルを含む点が図１の実施形態と異なる点である。

プリントヘッド２１のノズル数は基板３０の一つの行に配置された画素の数より少なくてもよい。この場合、プリントヘッドは基板３０上で数回繰り返して移動する。

さらに具体的に説明すると、プリントヘッドは基板３０の一側から第１方向に移動して基板３０の他側まで到達する。プリントヘッド２１が基板３０の一側から他側まで到達する方式は図６ないし図８で説明した方式と実質に同じである。ただし、温度調節領域の配置は図４で説明した内容と異なる。これについては後述する。

基板３０の他側に到達したプリントヘッド２１は第１方向と異なる第２方向に直線運動する。第２方向は第１方向と垂直を成し、図９でｙ軸の正の方向である。第２方向に一定間隔移動したプリントヘッド２１は第２方向と異なる第３方向に移動する。第３方向は第２方向と垂直であり、図９でｘ軸の負の方向である。すなわち、プリントヘッド２１は基板の一側で第１方向に移動し、基板の他側に到達し、基板の他側に到達した後、基板と他側に沿って第２方向に一定間隔移動した後、再び基板の他側で基板の一側に向かって第３方向に移動する。

前述したように基板３０上には図９及び図１０で図示した画素よりさらに多い画素が形成されてもよい。基板３０上にさらに多い画素が形成された場合、プリントヘッド２１は前述した動作を一回以上行う。すなわち、第１方向、第２方向及び第３方向の移動を順次に繰り返し、基板３０上に画素が配置された全領域に有機発光インク８８を塗布する。言い換えれば、プリントヘッド２１は基板３０上で第１方向、第２方向及び第３方向からなる群から選択された何れか一つの方向に移動する。

図１１は、本発明の他の実施形態による有機発光表示装置の製造装置のプリントヘッドの平面図である。

図１１を参照すると、本発明の他の実施形態による有機発光表示装置の製造装置のプリントヘッド２１は複数個のノズル（２０１、２０２、２０３）が配置されたノズル部２２１とノズル部２２１両側に接するかまたは隣接するように配置され、プリントヘッド２１の長さ方向に沿って延長された光線照射部（２１１、２１２）を含む点が図１の実施形態と異なる点である。

説明の便宜上、ノズル部２２１の一側に配置された光線照射部を第１光線照射部２１１、ノズル部２２１の他側に配置された光線照射部を第２光線照射部２１２と示す。第１光線照射部２１１及び第２光線照射部２１２は、前述した光線照射部２１０と実質的に同じである。したがって、これに関する具体的な説明は省略する。

図１２は、本発明の他の実施形態による有機発光表示装置の製造装置が基板の他側から第３方向に基板の一側に向かって移動することを示す断面図である。

図１２を参照すると、本発明の他の実施形態による有機発光表示装置の製造装置５０１は、プリントヘッドが第３方向に移動する際、第２光線照射部２１２が基板３０に向かって光線を照射する点が図１の実施形態と異なる点である。

前述したように、ノズル（２０１、２０２、２０３）が有機発光インク８８を画素に吐出すると、次いで光線照射部が前記画素に紫外線または赤外線を照射する。

本発明の他の実施形態による有機発光表示装置の製造装置は、二つの光線照射部（２１１、２１２）のうち何れか一つがプリントヘッド２１の進行方向により選択され、有機発光インク８８の表面に紫外線または赤外線を照射する。すなわち、プリントヘッド２１が第１方向に移動する場合、ノズル（２０１、２０２、２０３）が有機発光インク８８を吐出すると、次いで第１光線照射部２１１が前記画素に紫外線または赤外線を照射する。プリントヘッド２１が第３方向に移動する場合、ノズル（２０１、２０２、２０３）が有機発光インク８８を吐出すると、次いで第２光線照射部２１２が前記画素に紫外線または赤外線を照射する。

図１３は、本発明の他の実施形態による有機発光表示装置の製造装置の温度調節領域の配置を示す平面図である。

図１３を参照すると、本発明の他の実施形態による有機発光表示装置の製造装置の温度調節領域は、２行ｘ６列のマトリックス配列を有する点が図４の実施形態との差異点である。

前述したように一つの温度調節領域は一つの画素に対応するかまたは一つ以上の画素に対応するように配置される。例示的な実施形態で、一つの温度調節領域は同じ行にある三個の画素に対応するように配置される。図１３の温度調節領域の配置は、図１０の本発明の他の実施形態による有機発光表示装置の製造装置に使用されてもよい。すなわち、プリントヘッドが第１方向に移動しながら基板３０上に有機発光インク８８を塗布すると、図１３で第１列（説明の便宜上、図１３で左側に配置された列を第１列、右側に配置された列を第２列と示す。）に配置された温度調節領域（１０１ａ、１０２ａ、１０３ａ、１０４ａ、１０５ａ、１０６ａ）がプリントヘッド２１の移動により同時にまたは順次に有機発光インク８８が塗布された領域を加熱したり冷却したりする。また、基板３０の他側に到達したプリントヘッド２１が基板３０の一側に向かって第３方向に移動しながら基板３０上に有機発光インク８８を塗布すると、第２列に配置された温度調節領域（１０１ｂ、１０２ｂ、１０３ｂ、１０４ｂ、１０５ｂ、１０６ｂ）がプリントヘッド２１の移動により同時にまたは順次に有機発光インク８８が塗布された領域を加熱したり冷却したりする。温度調節領域が有機発光インク８８を加熱したり冷却する方式と順序は前の図６ないし図８を参照して説明した内容と実質的に同じであるため、これに関する詳細な説明は省略する。

図１４は、本発明の他の実施形態による有機発光表示装置の製造装置の温度調節領域の配置を示す平面図である。

図１４を参照すると、本発明の他の実施形態による有機発光表示装置の製造装置の温度調節領域は６行ｘ６列のマトリックス配列を有する点が図４の実施形態と異なる点である。

前述したように複数の温度調節領域は一つの画素に対応するように形成される。すなわち、一つの温度調節領域１２３が一つの画素を加熱したり冷却させる。図１４は、図１に図示する例示的な基板３０に対応する温度調節領域１２３の配列形態を例示する。すなわち、図１４では温度調節領域が６ｘ６マトリックス配列を有する場合を例示するが、温度調節領域の配列形態はこれに制限されない。

温度調節領域１２３が一つの画素に対応して形成される場合、複数のノズル（２０１、２０２、２０３）と多様な形状を有するプリントヘッドが有機発光インク８８を塗布すると、これに対応して有機発光インク８８が塗布された領域を加熱したり冷却させる。

以下、本発明の一実施形態による有機発光表示装置の製造方法について説明する。本発明の一実施形態による有機発光表示装置の製造方法は、本発明のいくつかの実施形態による有機発光表示装置の製造装置によって実施される。説明の便宜上、図１ないし図８に示す各構成要素と実質に同一な構成要素に対しては同一符号で示し重複する説明は省略する。

本発明の一実施形態による有機発光表示装置の製造方法は、基板３０をステージ１０上に配置する段階、基板３０上に第１方向に沿って順次に有機発光インク８８を吐出する段階、前記有機発光インク８８を基板３０上に吐出すると同時にまたは順次に有機発光インク８８が塗布された領域を加熱する段階、塗布された有機発光インク８８上に光線を照射し、有機発光インク８８の表面を硬化させる段階を含む。

先に、ステージ１０上に基板３０を配置する。基板３０とステージ１０は先立って図１を参照して説明したように実質に同一である。したがって、これにかかる詳しい説明は省略する。

ステージ１０上に基板３０が配置されると、基板３０上に第１方向に沿って順次に有機発光インク８８を吐出する。有機発光インク８８の吐出は、複数のノズル（２０１、２０２、２０３）を有するプリントヘッドによって行われる。プリントヘッドは先立って本発明のいくつかの実施形態による有機発光表示装置の製造装置で説明したプリントヘッドと実質的に同じである。

有機発光インク８８が吐出されると、有機発光インク８８が基板３０上に塗布されると同時にまたは順次に塗布された領域を加熱させる。有機発光インク８８の加熱は先立って説明した本発明のいくつかの実施形態による有機発光表示装置の製造装置で説明した温度調節装置によって行われる。

塗布された有機発光インク８８上に光線を照射し、有機発光インク８８の表面を硬化させる段階は有機発光インク８８の表面に紫外線または赤外線照射する段階を含む。有機発光インク８８表面に紫外線または赤外線を照射すると、有機発光インク８８の表面が仮硬化されることは前述した通りである。

本発明の一実施形態による有機発光表示装置の製造方法は、有機発光インク８８上に光線を照射し、前記有機発光インク８８の表面を硬化させる段階以後に有機発光インク８８が塗布された領域を冷却させる段階をさらに含む。

先立って本発明のいくつかの実施形態で説明したように有機発光インク８８の加熱または冷却は熱電素子を含む温度調節装置によって行われる。温度調節装置は複数の熱電素子に印加される電流の方向を転換させることによって有機発光インク８８を加熱したり冷却させる。

以上添付する図面を参照して本発明の実施形態について説明したが、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者は、本発明のその技術的思想や必須の特徴を変更しない範囲で他の具体的な形態で実施され得ることを理解することができる。したがって、上記実施形態はすべての面で例示的なものであり、限定的なものではないと理解しなければならない。

１０ 基板
３０ ステージ
２０、２１ プリントヘッド
２０１、２０２、２０３、２０４、２０５、２０６ ノズル
３１０、３２０、３３０、３４０、３５０、３６０画素
４１０ 電極
４００ 画素定義膜
２１０、２１１、２１２ 光線照射部
７００ 単位熱電素子

Claims (10)

1. 基板を加熱または冷却させる温度調節装置を含むステージと、
   前記基板上に有機発光インクを吐出する少なくとも一つのノズルを含むプリントヘッドと、
   前記基板上に光線を照射する光線照射部と、
   前記ステージまたは前記プリントヘッドを移動させる駆動部と、を備える有機発光表示装置の製造装置。
2. 前記基板は少なくとも一つの行と少なくとも一つの列を成して配列された複数の画素を含み、前記温度調節装置は、前記少なくとも一つの行と対応する少なくとも一つの温度調節領域を備え、
   前記プリントヘッドのノズル数は、前記一つの行に配置された画素の数より少ないかまたは同じである請求項１に記載の有機発光表示装置の製造装置。
3. 前記プリントヘッドのノズル数は、前記一つの行に配置された画素の数より少なく、前記プリントヘッドは前記基板上で第１方向、第１方向と垂直な第２方向及び第２方向と垂直し、第１方向と平行な第３方向からなる群から選択された何れか一つの方向に移動する請求項２に記載の有機発光表示装置の製造装置。
4. 前記プリントヘッドのノズルは、前記プリントヘッドが第１方向に移動することにより、基板上に前記有機発光インクを吐出し、前記温度調節領域は、前記有機発光インクの吐出と同時にまたは順次に前記有機発光インクが塗布された領域を加熱または冷却し、
   前記プリントヘッドは、前記ノズルが配置されるノズル部とノズル部の一側に隣接して配置された第１光線照射部及びノズル部の他側に隣接して配置された第２光線照射部を含む請求項１に記載の有機発光表示装置の製造装置。
5. 前記温度調節装置は、複数の熱電素子及び前記熱電素子に印加する電流の方向を制御する制御部を含む請求項１に記載の有機発光表示装置の製造装置。
6. 温度調節装置を含むステージと、
   前記ステージと一定間隔離隔して対向するように配置され、少なくとも一つ以上のノズルと前記ノズルに隣接して配置された光線ランプを含むプリントヘッドと、前記ステージまたは前記プリントヘッドを移動させる駆動部と、を含む有機発光表示装置の製造装置。
7. 前記温度調節装置は、少なくとも一つの行と少なくとも一つの列を成して配列された複数の温度調節領域を含み、
   前記プリントヘッドは第１方向に移動し、前記複数の温度調節領域は前記プリントヘッドが移動することにより第１方向に順次に加熱する請求項６に記載の有機発光表示装置の製造装置。
8. 前記温度調節装置は、複数の熱電素子及び前記熱電素子に印加する電流の方向を制御する制御部を含む請求項６に記載の有機発光表示装置の製造装置。
9. 基板をステージ上に配置する段階と、
   前記基板上に第１方向に沿って順次に有機発光インクを吐出する段階と、
   前記有機発光インクを基板上に吐出すると同時にまたは順次に前記有機発光インクが塗布された領域を加熱する段階と、
   塗布された前記有機発光インク上に光線を照射し、前記有機発光インクの表面を硬化させる段階と、
   を、含む有機発光表示装置の製造方法。
10. 前記有機発光インク上に光線を照射し、前記有機発光インクの表面を硬化させる段階以後に前記有機発光インクが塗布された領域を冷却させる段階をさらに含み、
    前記温度調節装置は、複数の熱電素子を含み、前記基板を冷却させる段階は、前記熱電素子に供給される電流の方向を転換させる段階を含む請求項９に記載の有機発光表示装置の製造方法。

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