Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Method and device for measuring a structure on a substrate, models for error correction, computer software products for implementing these methods and device
Model configuration method, forming simulation method, manufacturing method for forming tool, program, computer readable recording medium with program stored therein, and finite element model
Sposób i układ związany z rolką czujnikową, zawierającą pierwszy układ czujników, i rolką współpracującą, zawierającą drugi układ czujników, do zbierania danych rolki