JP2014224555A - ボールネジ送り装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ボールネジ軸と、ボールネジ軸を回転可能に支持する一対の軸受と、一対の軸受の間に配置されてボールネジ軸を摺動可能に貫通させる一対の第一ブラケットと当該一対の第一ブラケットを互いに連結する第一連結部とを有する第一移動サポート体と、一対の第一ブラケットの間に配置されてボールネジ軸を摺動可能に貫通させる一対の第二ブラケットと当該一対の第二ブラケットを互いに連結する第二連結部とを有する第二移動サポート体と、一対の第二ブラケットの間に配置されてボールネジ軸に螺合されたナットと、を備え、一対の第二ブラケットの一方が一対の第一ブラケットの一方に当接される時、一対の第二ブラケットの他方は一対の第一ブラケットの他方から離間された状態となる。
【選択図】図1
Description
nc=f(dr/L2)×107 ……(1)
11a 軸受
11b 軸受
12 ナット
13 第一移動サポート体
13a 第一ブラケット
13b 第一ブラケット
13c 第一連結部
131 第一スリーブ部
132 第一ブラケット部
133 回転軸受
14 第二移動サポート体
14a 第二ブラケット
14b 第二ブラケット
14c 第二連結部
141 第二スリーブ部
142 第二ブラケット部
143 回転軸受
15 第三移動サポート体
15a 第三ブラケット
15b 第三ブラケット
15c 第三連結部
151 第三スリーブ部
152 第三ブラケット部
153 回転軸受
16 ボールネジ軸
17 回転駆動部
18 ベッド
19 テーブル
20 ボールネジ送り装置
21 第一当接緩衝体
21’ 第一当接緩衝体
22 第二当接緩衝体
22’ 第二当接緩衝体
23 第三当接緩衝体
Claims (14)
- ボールネジ軸と、
前記ボールネジ軸を回転可能に支持する一対の軸受と、
前記一対の軸受の間に配置されて前記ボールネジ軸を摺動可能に貫通させる一対の第一ブラケットと、当該一対の第一ブラケットを互いに連結する第一連結部と、を有する第一移動サポート体と、
前記一対の第一ブラケットの間に配置されて前記ボールネジ軸を摺動可能に貫通させる一対の第二ブラケットと、当該一対の第二ブラケットを互いに連結する第二連結部と、を有する第二移動サポート体と、
前記一対の第二ブラケットの間に配置されて前記ボールネジ軸に当該ボールネジ軸用の複数のボールを介して螺合されたナットと、
を備え、
前記一対の第二ブラケットの一方が前記一対の第一ブラケットの一方に当接される時、前記一対の第二ブラケットの他方は前記一対の第一ブラケットの他方から離間された状態となる
ことを特徴とするボールネジ送り装置。 - 前記ナットが前記一対の第二ブラケットの一方に当接され、当該一対の第二ブラケットの一方が前記一対の第一ブラケットの一方に当接され、当該一対の第一ブラケットの一方が前記一対の軸受の一方に可及的に近接された状態では、
前記ボールネジ軸の軸線と平行な直線座標において、前記一対の軸受の他方の中心座標を0、前記ナットの中心座標を1とした時、
前記一対の第一ブラケットの他方の中心座標が、0.3〜0.4の範囲内にあり、
前記一対の第二ブラケットの他方の中心座標が、0.6〜0.7の範囲内にある
ことを特徴とする請求項1に記載に記載のボールネジ送り装置。 - 前記一対の第二ブラケットの各々は、前記第一連結部を支持するようになっている
ことを特徴とする請求項1または2に記載のボールネジ送り装置。 - 前記一対の第二ブラケットの各々は、前記ボールネジ軸を貫通させる筒状の第二スリーブ部と、当該第二スリーブ部の外側に当該第二スリーブ部と同軸状に配置されて当該第二スリーブ部に回転軸受を介して回転可能に支持された第二ブラケット部と、を有し、当該第二ブラケット部と前記ナットとが当接可能になっており、
前記一対の第一ブラケットの各々は、前記ボールネジ軸を貫通させる筒状の第一スリーブ部と、当該第一スリーブ部の外側に当該第一スリーブ部と同軸状に配置されて当該第一スリーブ部に回転軸受を介して回転可能に支持された第一ブラケット部と、を有し、当該第一ブラケット部と前記第二ブラケットの前記第二ブラケット部とが当接可能になっている
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のボールネジ送り装置。 - 前記第二ブラケット部の前記ナット側の端面の少なくとも一部には、前記第二スリーブ部の前記ナット側の端面よりも前記ナット側に突出する第一当接緩衝体が設けられており、
前記第一ブラケット部の前記第二ブラケット側の端面の少なくとも一部には、前記第一スリーブ部の前記第二ブラケット側の端面よりも前記第二ブラケット側に突出する第二当接緩衝体が設けられている
ことを特徴とする請求項4に記載のボールネジ送り装置。 - 前記第二ブラケット部の前記ナット側の端面の少なくとも一部には、前記第二スリーブ部の前記ナット側の端面よりも前記ナット側に突出する第一当接緩衝体が設けられており、
前記第二ブラケット部の前記第一ブラケット側の端面の少なくとも一部には、前記第二スリーブ部の前記第一ブラケット側の端面よりも前記第一ブラケット側に突出する第二当接緩衝体が設けられている
ことを特徴とする請求項4に記載のボールネジ送り装置。 - 前記ナットの前記第二ブラケット側の端面のうち前記第二ブラケット部に対向する部分の少なくとも一部には、前記第二スリーブ部に対向する部分よりも前記第二ブラケット側に突出する第一当接緩衝体が設けられており、
前記第一ブラケット部の前記第二ブラケット側の端面の少なくとも一部には、前記第一スリーブ部の前記第二ブラケット側の端面よりも前記第二ブラケット側に突出する第二当接緩衝体が設けられている
ことを特徴とする請求項4に記載のボールネジ送り装置。 - 前記ナットの前記第二ブラケット側の端面のうち前記第二ブラケット部に対向する部分の少なくとも一部には、前記第二スリーブ部に対向する部分よりも前記第二ブラケット側に突出する第一当接緩衝体が設けられており、
前記第二ブラケット部の前記第一ブラケット側の端面の少なくとも一部には、前記第二スリーブ部の前記第一ブラケット側の端面よりも前記第一ブラケット側に突出する第二当接緩衝体が設けられている
ことを特徴とする請求項4に記載のボールネジ送り装置。 - 前記一対の軸受の中心間距離は、8000mm〜12000mmであり、
前記ボールネジ軸の谷径は、60mm〜100mmである
ことを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載のボールネジ送り装置。 - ボールネジ軸と、
前記ボールネジ軸を回転可能に支持する一対の軸受と、
前記一対の軸受の間に配置されて前記ボールネジ軸を摺動可能に貫通させる一対の第一ブラケットと、当該一対の第一ブラケットを互いに連結する第一連結部と、を有する第一移動サポート体と、
前記一対の第一ブラケットの間に配置されて前記ボールネジ軸を摺動可能に貫通させる一対の第二ブラケットと、当該一対の第二ブラケットを互いに連結する第二連結部と、を有する第二移動サポート体と、
前記一対の第二ブラケットの間に配置されて前記ボールネジ軸を摺動可能に貫通させる一対の第三ブラケットと、当該一対の第三ブラケットを互いに連結する第三連結部と、を有する第三移動サポート体と、
前記一対の第三ブラケットの間に配置されて前記ボールネジ軸に当該ボールネジ軸用の複数のボールを介して螺合されたナットと、
を備え、
前記一対の第三ブラケットの一方が前記一対の第二ブラケットの一方に当接される時、前記一対の第三ブラケットの他方は前記一対の第二ブラケットの他方から離間された状態となり、
前記一対の第二ブラケットの一方が前記一対の第一ブラケットの一方に当接される時、前記一対の第二ブラケットの他方は前記一対の第一ブラケットの他方から離間された状態となる
ことを特徴とするボールネジ送り装置。 - 前記ナットが前記一対の第三ブラケットの一方に当接され、当該一対の第三ブラケットの一方が前記一対の第二ブラケットの一方に当接され、当該一対の第二ブラケットの一方が前記一対の第一ブラケットの一方に当接され、当該一対の第一ブラケットの一方が前記一対の軸受の一方に可及的に近接された状態では、
前記ボールネジ軸の軸線と平行な直線座標において、前記一対の軸受の他方の中心座標を0、前記ナットの中心座標を1とした時、
前記一対の第一ブラケットの他方の中心座標が、0.23〜0.33の範囲内にあり、
前記一対の第二ブラケットの他方の中心座標が、0.45〜0.55の範囲内にあり、
前記一対の第三ブラケットの他方の中心座標が、0.67〜0.77の範囲内にある
ことを特徴とする請求項10に記載のボールネジ送り装置。 - 前記一対の第二ブラケットの各々は、前記第一連結部を支持するようになっており、
前記一対の第三ブラケットの各々は、前記第一連結部及び前記第二連結部を支持するようになっている
ことを特徴とする請求項10または11に記載のボールネジ送り装置。 - 前記一対の第三ブラケットの各々は、前記ボールネジ軸を貫通させる筒状の第三スリーブ部と、当該第三スリーブ部の外側に当該第三スリーブ部と同軸状に配置されて当該第三スリーブ部に回転軸受を介して回転可能に支持された第三ブラケット部と、を有し、当該第三ブラケット部と前記ナットとが当接可能になっており、
前記一対の第二ブラケットの各々は、前記ボールネジ軸を貫通させる筒状の第二スリーブ部と、当該第二スリーブ部の外側に当該第二スリーブ部と同軸状に配置されて当該第二スリーブ部に回転軸受を介して回転可能に支持された第二ブラケット部と、を有し、当該第二ブラケット部と前記第三ブラケットの前記第三ブラケット部とが当接可能になっており、
前記一対の第一ブラケットの各々は、前記ボールネジ軸を貫通させる筒状の第一スリーブ部と、当該第一スリーブ部の外側に当該第一スリーブ部と同軸状に配置されて当該第一スリーブ部に回転軸受を介して回転可能に支持された第一ブラケット部と、を有し、当該第一ブラケット部と前記第二ブラケットの前記第二ブラケット部とが当接可能になっている
ことを特徴とする請求項10乃至12のいずれかに記載のボールネジ送り装置。 - 前記一対の軸受の中心間距離は、10600mm〜16000mmであり、
前記ボールネジ軸の谷径は、60mm〜100mmである
ことを特徴とする請求項10乃至13のいずれかに記載のボールネジ送り装置。
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CN108247455A (zh) * | 2018-01-10 | 2018-07-06 | 苏州聚晶科技有限公司 | 一种硅片单面处理装置 |
CN116159750A (zh) * | 2023-04-21 | 2023-05-26 | 江苏大江干燥设备有限公司 | 一种自动筛分型振动流化床干燥机 |
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JPS6128900Y2 (ja) * | 1982-08-12 | 1986-08-27 | ||
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JP2000179638A (ja) * | 1998-12-14 | 2000-06-27 | Shibaura Mechatronics Corp | 送り装置 |
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2013
- 2013-05-15 JP JP2013103449A patent/JP6147565B2/ja active Active
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