JP2014222756A5 - - Google Patents

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続いて、フィルタ部４を加圧して、フィルタ４２から気泡を除去する加圧工程を実施する（ステップＳ２）。この工程では、図１１に示すように、フィルタ部４の下流側のバルブＶ４、フィルタ部４の補助流路４５のバルブＶ３及び中間タンク３の補助流路３２のバルブＶ２を全て閉じる。そして、バルブＶ１を開いて貯留部１をＮ２ガスにより加圧し、三方弁２を貯留部１と中間タンク３とを接続するように設定する。フィルタ本体４１内では、既述のように、全ての流路４６ａ〜４６ｅが薬液１０で満たされているので、徐々にフィルタ本体４１内の圧力が高まっていく。

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