KR102666440B1 - 감광액 공급 시스템 및 감광액 관리 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 감광액 공급 시스템을 제공한다. 일 실시 예에 있어서, 감광액 공급 시스템은, 약액 보틀에서 제1 탱크까지 연결되는 공급 라인에 제공되는 압력 조절 용기를 포함하고, 상기 압력 조절 용기는: 내부에 공간을 형성하는 하우징; 하우징의 공간을 제1 공간과 제2 공간으로 분리하는 분리막; 상기 제1 공간으로 감광액을 유입하는 유입 포트; 상기 제1 공간에서 감광액을 배출시키는 배출포트; 및 상기 제2 공간으로 가압 유체를 공급하는 가압 유체 유입 포트를 포함하고, 상기 가압 유체의 공급에 따라, 상기 제1 공간의 용적이 변경된다.

Description

감광액 공급 시스템 및 감광액 관리 방법{SYSTEM FOR SUPPLYING PHOTORESIST AND METHOD FOR MANAGING PHOTORESIST}

본 발명은 감광액을 공급하는 시스템 및 상기 시스템 내에서 감광액을 관리하는 방법에 관한 것이다.

감광액의 공급 시스템에서 감광액이 저장되는 약액 보틀과 감광액이 임시 저장되는 트랩 탱크 사이에는 설비 레이 아웃에 따른 수두차가 존재한다. 수두차는 최고 1540mm 이 이른다. 이로 인해 공급 계통에 음압이 형성되면서 배관 내 마이크로 버블의 발생 가능성이 나타난다.

또한, 약액 보틀을 교체할 때 발생한 버블이 트랩 탱크까지 유입되고, 이로 인해 감광액과 함께 토출된 버블이 펌프 및 공정 성능에까지 영향을 미치는 문제가 있다.

본 발명은 감광액 공급 계통에서 발생할 수 있는 버블을 최소화 할 수 있는 감광액 공급 시스템 및 감광액 관리 방법을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.

본 발명은 수두차로 인해 공급 계통에 발생하는 음압을 해소할 수 있는 감광액 공급 시스템 및 감광액 관리 방법을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.

본 발명은 특히 고점도 감광액에서 효과적으로 버블을 관리할 수 있는 감광액 공급 시스템 및 감광액 관리 방법을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.

본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

본 발명은 감광액 공급 시스템을 제공한다. 일 실시 예에 있어서, 감광액 공급 시스템은, 약액 보틀에서 제1 탱크까지 연결되는 공급 라인에 제공되는 압력 조절 용기를 포함하고, 상기 압력 조절 용기는: 내부에 공간을 형성하는 하우징; 하우징의 공간을 제1 공간과 제2 공간으로 분리하는 분리막; 상기 제1 공간으로 감광액을 유입하는 유입 포트; 상기 제1 공간에서 감광액을 배출시키는 배출포트; 및 상기 제2 공간으로 가압 유체를 공급하는 가압 유체 유입 포트를 포함하고, 상기 가압 유체의 공급에 따라, 상기 제1 공간의 용적이 변경된다.

일 실시 예에 있어서, 상기 제1 탱크는 상기 악액 보틀보다 높은 위치에 위치될 수 있다.

일 실시 예에 있어서, 상기 공급 라인은 상기 약액 보틀보다 높은 위치로 이어질 수 있다.

일 실시 예에 있어서, 성가 압력 조절 용기의 상류에는 유로를 개폐하는 개폐 밸브가 제공될 수 있다.

일 실시 예에 있어서, 상기 공급 라인 중 압력 조절 용기와 약액 보틀을 연결하는 공급 라인에 드레인 라인이 연결될 수 있다.

일 실시 예에 있어서, 상기 제1 탱크는 트랩 탱크일 수 있다.

일 실시 예에 있어서, 제어기를 포함하고, 상기 제어기는, 상기 약액 보틀에서 상기 제1 탱크로 상기 감광액을 전송하는 경우 또는 감광액을 전송하지 않는 경우에: 상기 가압 유체가 상기 제2 공간으로 공급되는 것을 제어하여 상기 공급 라인이 형성하는 유로를 양압으로 유지시킬 수 있다.

일 실시 예에 있어서, 상기 압력 조절 용기의 상류에 제공되며 상기 감광액이 흐르는 유로를 개폐하는 개폐 밸브와; 제어기를 포함하고, 상기 제어기는, 상기 약액 보틀에서 상기 제1 탱크로 상기 감광액을 전송하는 경우에: 상기 제1 공간은 제1 용적이 되도록 하고, 상기 약액 보틀에서 상기 제1 탱크로 상기 감광액의 전송을 중단하는 경우에: 상기 개폐 밸브 폐쇄하고, 상기 가압 유체의 공급을 제어하여 상기 제1 공간은 제2 용적이 되도록 하며, 상기 제2 용적이 상기 제1 용적보다 큰 것일 수 있다.

일 실시 예에 있어서, 상기 제2 용적은, 상기 공급 라인이 형성하는 유로가 양압으로 유지되는 용적일 수 있다.

일 실시 예에 있어서, 상기 공급 라인 중 상기 압력 조절 용기와 상기 약액 보틀을 연결하는 공급 라인에 기포 감지 센서가 제공될 수 있다.

일 실시 예에 있어서, 상기 압력 조절 용기와 상기 약액 보틀을 연결하는 공급 라인에 제공되며, 상기 기포 감지 센서의 하류에 연결되는 드레인 라인과; 상기 기포 감지 센서로부터 데이터를 수집하고 상기 드레인 라인의 개폐를 제어하는 제어기 포함하고, 상기 제어기는: 상기 기포 감지 센서가 센싱한 기포가 설정 값 이상인 경우, 상기 드레인 라인 개방할 수 있다.

일 실시 예에 있어서, 상기 기포 감지 센서의 센싱값이 설정 값 이하가 되면 상기 드레인 라인을 폐쇄할 수 있다.

일 실시 예에 있어서, 내부 공간이 형성되고 상기 내부 공간에 상기 약액 보틀이 위치되는 보틀 수용 용기; 상기 보틀 수용 용기의 상기 내부 공간에 연결되어 상기 내부 공간에 가압 가스를 공급하는 가압 가스 유입 포트; 및 상기 약액 보틀의 내부로 연장되고 상기 공급 라인과 연결되는 공급 파이프를 포함할 수 있다.

본 발명의 다른 관점에 따른 실시 예의 감광액 공급 시스템은, 내부 공간이 형성되고 상기 내부 공간에 상기 약액 보틀이 위치되는 용기를 포함하고; 상기 용기의 내부 공간에 연결되어 상기 내부 공간에 가압 가스를 공급하는 가압 가스 유입 포트; 상기 약액 보틀의 내부로 연장되고 상기 약액 보틀에 저장된 감광액을 상기 약액 보틀의 외부로 배출하는 파이프를 포함하는 감광액 공급 시스템.

또한, 본 발명은 감광액을 관리하는 방법을 제공한다. 일 실시 예에 있어서, 감광액 관리 방법은. 약액 보틀에서 상기 약액 보틀 보다 높은 위치에 제공되는 제1 탱크까지 연결되는 공급 라인 중에서, 감광액이 흐르는 제1 공간과, 분리막에 의하여 상기 제1 공간과 분리되는 제2 공간을 포함하고, 상기 제2 공간에는 상기 제2 공간을 채우는 가압 유체가 공급될 수 있고, 상기 가압 유체의 공급에 따라 상기 제1 공간의 용적이 변경되도록 하여 상기 공급 라인 내부의 상기 감광액이 양압이 되도록 한다.

일 실시 예에 있어서, 압력 조절 용기의 상류에는 유로를 개폐하는 개폐 밸브가 제공될 수 있다.

일 실시 예에 있어서, 상기 공급 라인 중 상기 제2 공간이 형성되는 영역과 상기 약액 보틀의 사이의 공급 라인에 기포 감지 센서가 제공되고, 상기 기포 감지 센서의 하류이고 상기 제2 공간이 형성되는 영역의 상류에는 드레인 라인이 연결되고, 상기 기포 감지 센서의 센싱 값이 설정 값 이상인 경우, 상기 드레인 라인을 개방할 수 있다.

일 실시 예에 있어서, 상기 제2 공간이 형성되는 영역의 상류에는 유로를 개폐하는 개폐 밸브가 제공되고, 상기 약액 보틀에서 상기 제1 탱크로 상기 감광액의 전송을 중단하는 경우에: 상기 개폐 밸브를 폐쇄하고, 상기 가압 유체를 상기 제2 공간으로 공급하여, 상기 제1 공간의 용적을 상대적으로 감소시킬 수 있다.

일 실시 예에 있어서, 상기 제1 공간의 용적 감소로 상기 공급 라인 내부는 양압이 될 수 있다.

일 실시 예에 있어서, 상기 제1 탱크는 트랩 탱크일 수 있다.

본 발명의 일 실시 예에 의하면, 감광액 공급 계통에서 발생할 수 있는 버블을 최소화 할 수 있다.

본 발명의 일 실시 예에 의하면, 수두차로 인해 공급 계통에 발생하는 음압을 해소할 수 있다.

본 발명의 일 실시 예에 의하면, 특히 고점도 감광액에서 효과적으로 버블을 관리할 수 있다.

본 발명의 효과가 상술한 효과들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 않은 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 감광액 공급 시스템을 표현한다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 압력 조절 용기의 단면도이다.
도 3은 본 발명의 본 발명의 일 실시 예에 따른 감광액 공급 시스템의 운용에 따른 제1 양태를 설명한 도면이다.
도 4는 도 3에서 설명되는 단계에서 압력 조절 용기의 작동을 설명한 도면이다.
도 5는 본 발명의 본 발명의 일 실시 예에 따른 감광액 공급 시스템의 운용에 따른 제2 양태를 설명한 도면이다.
도 6은 도 5에서 설명되는 단계에서 압력 조절 용기의 작동을 순차적으로 설명한 도면이다.
도 7은 본 발명의 본 발명의 일 실시 예에 따른 감광액 공급 시스템의 운용에 따른 제3 양태를 설명한 도면이다.
도 8은 본 발명의 본 발명의 일 실시 예에 따른 감광액 공급 시스템의 운용에 따른 제4 양태를 설명한 도면이다.

아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시 예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시 예에 한정되지 않는다. 또한, 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구용적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용한다.

어떤 구성요소를 '포함한다'는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다. 구용적으로, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한 도면에서 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.

용어 "및/또는"은 해당 열거된 항목 중 어느 하나 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다. 또한, 본 명세서에서 "연결된다"라는 의미는 A 부재와 B 부재가 직접 연결되는 경우뿐만 아니라, A 부재와 B 부재의 사이에 C 부재가 개재되어 A 부재와 B 부재가 간접 연결되는 경우도 의미한다.

본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 감광액 공급 시스템을 표현한다. 도 1을 참조하여 설명한다.

감광액 공급 시스템(1000)은 약액 보틀(210), 압력 조절 용기(100), 트랩 탱크(300), 펌프(400)를 포함한다.

약액 보틀(210)은 내부 공간을 갖는다. 약액 보틀(210)의 내부 공간(215)에는 감광액이 수용되어 제공된다. 약액 보틀(210)은 보틀 수용 용기(220)의 내부에 수용되어 제공된다. 보틀 수용 용기(220)는 폐쇄된 내부 공간(225)을 제공하고, 약액 보틀(210)은 내부 공간(225)에 수용된다. 약액 보틀(210)의 내부 공간(215)은 보틀 수용 용기(220)의 내부 공간(225)과 연통된다.

보틀 수용 용기(220)의 내부 공간(225)은 가압 가스 공급 라인(710)과 연결된다. 가압 가스 공급 라인(710)을 통해 보틀 수용 용기(220)의 내부 공간(225)으로 가압 가스가 인가된다. 인가된 가압 가스는, 내부 공간(225)의 압력을 일정한 압력으로 상승시킨다. 약액 보틀(210)은 제1 공급 라인(610)과 연결된다. 약액 보틀(210)은 제1 공급 라인(610), 제2 공급 라인(620) 및 제3 공급 라인(640)을 통하여 트랩 탱크(300)와 연결된다. 약액 보틀(210)에 수용된 감광액은 가압 가스에 의한 상대적인 압력 차이를 통해 제1 공급 라인(610)을 통해 이송된다. 일 실시 예에 있어서, 가압 가스는 질소일 수 있다. 다른 예로, 가압 가스는 비활성 가스일 수 있다.

본 발명의 실시 예와 같이, 보틀 수용 용기(220)의 내부 공간(225)을 가압하는 방식에 의하면, 약액 보틀(210)의 내부 공간(215)을 직접 가압하는 방식과 비교하여 가할 수 있는 내압이 3배 이상 증가하며, 높은 내압을 이용하여 차징 타임(Charging time) 단축이 가능하다.

가압 가스 공급 라인(710)은 가압 가스 공급원(720)과 연결된다. 가압 가스 공급 라인(710)에는 밸브(713)와 레귤레이터(715)가 설치된다. 밸브(713)는 가압 가스 공급 라인(710)가 형성하는 유로를 개폐한다. 레귤레이터(715)는 공급되는 가압 가스의 압력을 설정된 압력으로 조절한다.

약액 보틀(210)에서 트랩 탱크(300)를 연결하는 제1 공급 라인(610) 중에는 압력 조절 용기(100)가 설치된다. 도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 압력 조절 용기의 단면도이다. 도 2를 참조하여 압력 조절 용기의 일 실시 예를 설명한다.

압력 조절 용기(100)는 하우징(110)과 분리막(120)을 포함한다. 하우징(110)은 내부 공간(215)을 형성한다. 분리막(120)은 내부 공간(215)을 제1 공간(112)과 제2 공간(115)으로 분리한다. 제1 공간(112)은 감광액이 이송되는 공간으로, 제1 공급 라인(610) 및 제2 공급 라인(620)과 연결되는 공간이다. 제2 공간(115)은 가압 가스가 공급되며 가압 가스가 채워지는 공간이다.

분리막(120)은 플렉서블한 소재의 시트로 제공될 수 있다. 또한, 분리막(120)은 탄성 변형되어 면적이 변화될 수 있는 소재일 수 있다. 분리막(120)은 내부식성의 것일 수 있다.

제2 공간(115)은 가압 유체 공급 라인(740)과 연결되는 유입 포트와 연결된다. 유입 포트는 가압 유체 공급 라인(740)과 연결된다. 가압 유체 공급 라인(740)은 가압 유체 공급원(750)과 연결된다. 가압 유체는 질소 가스 일 수 있다. 그러나 이에 한정되는 것은 아니고, 가압 유체는 에어(Air)일 수도 있다. 또한, 가압 유체는 기체에 한정 되는 것이 아니고 액체일 수도 있다. 가압 유체 공급 라인(740)에는 밸브(743)와 레귤레이터(745)가 설치된다. 밸브(743)는 가압 유체 공급 라인(740)가 형성하는 유로를 개폐한다. 레귤레이터(745)는 공급되는 가압 유체의 압력을 설정된 압력으로 조절한다. 레귤레이터(745)는 압력 조절 용기(100)에서 트랩 탱크(300)로 이어지는 공급 라인이 형성하는 유로에 있는 감광액을 설정 압력으로 유지되도록 하는 압력으로 가압 유체의 공급 압력을 조절한다. 예컨대, 레귤레이터(745)에 의한 압력 조절은, 압력 조절 용기(100)에서 트랩 탱크(300)로 이어지는 공급 라인이 형성하는 유로 상에 제공되는 압력을 양압으로 유지하는 압력일 수 있다. 다른 예에 있어서, 예컨대, 레귤레이터(745)에 의한 압력 조절은, 압력 조절 용기(100)에서 트랩 탱크(300)로 이어지는 공급 라인이 형성하는 유로 상에 유체 압력 센서를 제공하고 유체 압력 센서의 측정 값을 기반으로 피드백 제어될 수 있다.

제2 공간(115)은 배기 라인(746)과 연결된다. 배기 라인(746)은 배기 라인(746)이 형성하는 유로를 개폐하는 밸브(747)가 제공된다.

제1 공간(112)의 용적은 가압 유체 공급 라인(740)을 통해 공급되는 가압 유체의 양에 따라 변경된다. 가압 유체의 양이 많으면, 분리막(120)이 변형되면서 제1 공간(112)의 용적이 줄어든다. 가압 유체가 제2 공간(115)에서 배출된 상태에서는 제1 공간(112)의 용적이 늘어난다. 제1 공간(112)은 감광액이 흐르는 유로의 일부분이므로, 제1 공간(112)의 용적이 줄어들면 감광액은 가압된다. 감광액은 양압이 될 정도로 가압된다. 감광액이 양압을 유지하면, 약액 보틀(210)과 트랩 탱크(300)의 수두차에 의하여 공급 라인 내에 발생하는 음압이 해소되고 양압으로 유지될 수 있어 음압에 의한 기포 발생이 방지될 수 있다.

다시 도 1을 참조하여 설명한다.

압력 조절 용기(100)와 약액 보틀(210)을 연결하는 제1 공급 라인(610)에는 기포 감지 센서(615)가 제공된다. 압력 조절 용기(100)와 약액 보틀(210)을 연결하는 제1 공급 라인(610)에는 드레인 라인(630)이 연결된다. 드레인 라인(630)은 기포 감지 센서(615)의 하류에는 설치된다. 기포 감지 센서(615)가 제공한 측정값은 제어부(미도시)로 전달된다. 제어부(미도시)는 기포 감지 센서(615)로부터 측정된 기포가 측정값 이상인 경우, 드레인 라인(630)을 개방하도록 밸브(633)를 개방한다. 제어부(미도시)는 기포 감지 센서(615)로부터 측정된 기포가 측정값 이하인 경우, 드레인 라인(630)을 폐쇄하도록 밸브(633)를 폐쇄한다. 기포 감지 센서(615)와 드레인 라인(630)의 적용을 통해, 제1 공급 라인(610) 또는 약액 보틀(210)에 내포되어 있는 기포, 또는, 약액 보틀(210) 교체시 발생한 기포를 제거할 수 있다.

트랩 탱크(300)에는 제공받은 감광액이 임시 저장된다. 트랩 탱크(300)의 일측에는 수위 감지센서(미도시)들이 설치되어 포토레지스트의 수위를 감지하여 적정 수위까지 포토레지스트가 계속적으로 충전되도록 한다. 트랩 탱크(300)는 약액 보틀(210)보다 높은 위치에 위치된다. 예컨대, 약액 보틀(210)이 장비의 1층(1F)에 제공되면 트랩 탱크(300)는 장비의 2층(2F)에 제공될 수 있다.

트랩 탱크(300)의 상단에는 드레인 라인(630)에 연결된다. 드레인 라인(630)은 트랩 탱크(300)의 상단에 모아지는 기포를 제거한다. 트랩 탱크(300)에는 제4 공급 라인(650)이 연결된다. 제4 공급 라인(650)은 펌프(400)의 유입포트에 연결된다.

펌프(400)는 흡입 및 배출 동작에 의해 발생되는 유동압에 의해 트랩 탱크(300)에 저장되어 있는 감광액을 노즐(500)로 정량 공급한다. 펌프(400)와 노즐(500)은 제5 공급 라인(660)을 통해 연결된다. 펌프(400)는 트랩 탱크(300)로부터 웨이퍼 1회분의 감광액을 펌프실(미도시)로 흡입해 놓고, 도포 처리시에 노즐(500)로 일정한 압력 및 유량으로 감광액를 배출하는 것이다. 실시 예에 있어서, 펌프(400)는 액체 정량 펌프(Metering pump)일 수 있다.

도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 감광액 공급 시스템의 운용에 따른 제1 양태를 설명한 도면이다. 도 4는 도 3에서 설명되는 단계에서 압력 조절 용기의 작동을 설명한 도면이다. 도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 감광액 공급 시스템의 운용에 따른 제2 양태를 설명한 도면이다. 도 6은 도 5에서 설명되는 단계에서 압력 조절 용기의 작동을 설명한 도면이다. 도 7은 본 발명의 본 발명의 일 실시 예에 따른 감광액 공급 시스템의 운용에 따른 제3 양태를 설명한 도면이다. 도 8은 본 발명의 본 발명의 일 실시 예에 따른 감광액 공급 시스템의 운용에 따른 제4 양태를 설명한 도면이다. 도 3 내지 도 8를 참조하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 감광액 공급 시스템의 운용 방법을 설명한다. 후술하는 실시 양태를 설명하는데 앞서서, 후술하는 실시 양태는 하나의 예시일 뿐, 본 발명이 후술하는 실시 양태에 한정되는 것이 아님을 언급한다.

도 3을 참조하면, 가압 가스 공급 라인(710)을 통해 가압 가스를 내부 공간(215)으로 전달하여 내부 공간(215)을 제1 압력으로 조절하면, 가압 가스는 감광액을 가압하고, 가압된 감광액은 압력의 상대차로 인하여 배출 포트와 연결된 제1 공급 라인(610)을 따라 배출된다. 약액 보틀(210)에 저장된 감광액은 제1 공급 라인(610)을 따라 압력 조절 용기(100)를 지나 흐른다. 압력 조절 용기(100)를 지난 감광액은 제2 공급 라인(620)을 지나 밸브(645)를 통과하여 제3 공급 라인(640)을 타고 트랩 탱크(300)에 임시 수용된다. 트랩 탱크(300)에는 수위 감지 센서(미도시)가 제공된다. 수위 감지 센서(미도시)로부터 감지되는 감광액의 수용량이 설정한 수위에 도달할 때까지 트랩 탱크(300)로 감광액이 제공된다. 도 4를 더 참조한다. 감광액이 트랩 탱크(300)로 제공되는 상태에서 압력 조절 용기(100)의 제1 공간(112)은 제1 용적을 갖도록 될 수 있다. 제1 용적은 가압 유체를 제2 공간(115)에 인가하지 않은 상태에서 감광액이 흐를 때 자연스럽게 형성되는 용적일 수 있다. 수위 감지 센서(미도시)로부터 감지되는 감광액의 수용량이 설정한 수위에 도달하면, 감광액의 공급을 중단한다.

트랩 탱크(300)로 전달되는 감광액의 공급 중단은 밸브(645)에 의해 행해질 수 있다. 또한, 트랩 탱크(300)로 전달되는 감광액의 공급 중단은 가압 가스 공급 라인(710)을 통해 공급되는 가압 가스의 공급을 중단하는 것으로 행해질 수 있다.

감광액의 공급을 중단하면, 약액 보틀(210)과 트랩 탱크(300)의 위치 차이, 즉, 수두차에 의하여 약액 보틀(210)과 트랩 탱크(300)를 잇는 공급 라인의 유로가 음압으로 될 수 있다. 유로가 음압이 되면 미세 버블이 발생할 수 있다. 도 5와 도 6을 참조한다. 본 발명의 실시 예에 의하면, 감광액의 공급을 중단하면, 제2 공급 라인(620)과 제3 공급 라인(630) 사이의 밸브(645)를 잠금 상태로 하고, 제1 공급 라인(610)의 밸브(623)를 잠금 상태로 한다. 그리고, 압력 조절 용기(100)의 제2 공간(115)에 가압 유체를 인가한다. 제1 공간(112)의 용적은 제2 용적으로 조절된다. 제2 용적은 상술한 제1 용적보다 작은 용적이다. 제1 공간(112)이 제2 용적으로 줄어들게 되면, 제1 공급 라인(610)에서 밸브(623)의 하류와, 밸브(645)의 상류인 제2 공급 라인(620)이 형성하는 유로의 압력이 양압이 될 수 있다. 따라서, 본 발명은 약액 보틀(210)과 트랩 탱크(300)의 수두차에도 불구하고 공급 라인의 유로가 양압으로 될 수 있고, 미세 버블 발생이 방지될 수 있다. 또한, 공급 라인의 유로를 양압으로 유지하기 위하여, 가압 가스 공급 라인(710)을 통한 가압 가스를 상시로 공급하여 감광액을 가압하지 않아도 된다. 가압 가스를 상시로 공급하여 감광액을 가압 상태에 있게 하면, 가압 가스가 감광액에 녹아 들어 미세 버블을 발생시킬 가능성이 있으나, 본 발명의 실시 예에 의하면, 가압 가스와 비접촉식 가압을 행하므로, 공급 라인을 양압으로 유지하기 위한 가압 가스에 의해 발생 가능한 미세 버블의 문제로부터 자유롭다.

도 7을 참조한다. 본 발명의 양태에 의하면, 드레인 라인(630)을 통해 제1 공급 라인(610)을 통과하는 감광액을 설정량 배출할 수 있다. 기포 감지 센서(615)는 감광액에 포함된 기포를 측정한다. 제어기는 기포 감지 센서(615)로부터 측정된 기포가 설정량 이상인 경우, 기포가 포함된 감광액을 드레인 라인(630)을 통해 배출하도록 제어할 수 있다. 약액 보틀(210)의 교체 시 버블이 발생할 수 있고, 발생한 버블이 트랩 탱크(300)까지 유입되는 문제가 있다. 드레인 라인(630)을 통해 기포가 포함된 감광액을 드레인하면 상술한 문제를 해소할 수 있다. 도 8을 참조한다. 기포가 포함된 감광액의 드레인을 하고, 기포 감지 센서(615)로부터 측정된 기포가 설정량 이하인 경우, 밸브(633)를 잠궈 드레인을 중단한다. 그리고 밸브(623)와 밸브(645)를 개방하여 감광액을 트랩 탱크(300)로 전송한다.

상술한 실시 예에서, 반도체 고집적화를 위하여, 보다 고점도의 감광액이 사용된다. 고점도의 감광액에서는 버블 관리가 중요하여, 고점도 감광액을 전송하는 감광액 공급 시스템에서 본 발명의 실시 예가 보다 유효할 수 있다.

상술하여 미도시된 제어기는 기판 처리 장치(1000)의 전체 동작을 제어할 수 있다. 제어기(미도시)는 CPU(Central Processing Unit), ROM(Read Only Memory) 및 RAM(Random Access Memory)을 포함할 수 있다. CPU는 이들의 기억 영역에 저장된 각종 레시피에 따라, 에칭 처리 등의 원하는 처리를 실행한다.

레시피에는 프로세스 조건에 대한 장치의 제어 정보가 이 입력되어 있다. 한편, 이들 프로그램이나 처리 조건을 나타내는 레시피는, 비일시적 컴퓨터 판독 가능 매체에 기억되어도 좋다. 비일시적 컴퓨터 판독 가능 매체란 레지스터, 캐쉬, 메모리 등과 같이 짧은 순간 동안 데이터를 저장하는 매체가 아니라 반영구적으로 데이터를 저장하며, 컴퓨터에 의해 판독(reading)이 가능한 매체를 의미한다. 구체적으로는, 상술한 다양한 어플리케이션 또는 프로그램들은 CD, DVD, 하드 디스크, 블루레이 디스크, USB, 메모리카드, ROM 등과 같은 비일시적 판독 가능 매체에 저장되어 제공될 수 있다.

이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 바람직하거나 다양한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한, 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다. 이러한 변형 실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어서는 안될 것이다.

Claims (20)

1. 기판 처리 장치에 있어서,
   기판을 처리하는 공간을 가지는 챔버;
   상기 챔버 내에 제공된 노즐;
   상기 노즐로 감광액을 공급하는 액 공급 유닛을 구비하되,
   상기 액 공급 유닛은,
   감광액을 저장하는 약액 보틀;
   상기 약액 보틀에서 공급되는 감광액을 임시로 저장하는 트랩 탱크;
   상기 약액 보틀과 상기 트랩 탱크를 연결하는 공급 라인에 제공되는 압력 조절 용기;
   상기 트랩 탱크에 저장된 상기 감광액을 상기 노즐로 공급하는 펌프 및; 제어기를 포함하고,
   상기 압력 조절 용기는:
   내부에 공간을 형성하는 하우징;
   상기 하우징의 공간을 제1 공간과 제2 공간으로 분리하는 분리막;
   상기 제1 공간으로 감광액을 유입하는 유입 포트;
   상기 제1 공간에서 감광액을 배출시키는 배출포트;
   상기 제2 공간으로 가압 유체를 공급하는 가압 유체 유입 포트를 포함하고,
   상기 제어기는,
   상기 약액 보틀에서 상기 트랩 탱크로 상기 감광액의 전송을 중단하는 경우에 상기 가압 유체가 상기 제2 공간으로 공급되도록 상기 가압 유체의 공급을 제어하는 유지시키고,
   상기 공급 라인 중 상기 약액 보틀과 상기 압력 조절 용기 사이에 설치되는 제1밸브와;
   상기 공급 라인 중 상기 압력 조절 용기와 상기 트랩 탱크 사이에 설치되는 제2밸브를 더 포함하고,
   상기 제어기는,
   상기 약액 보틀에서 상기 트랩 탱크로 상기 감광액의 전송을 중단하는 경우에 상기 제1밸브와 상기 제2밸브가 폐쇄된 상태에서 상기 가압 유체가 상기 제2 공간으로 공급되도록 하는 기판 처리 장치.
2. 제1 항에 있어서,
   상기 트랩 탱크는 상기 약액 보틀보다 높은 위치에 위치되는 기판 처리 장치.
3. 제1 항에 있어서,
   상기 공급 라인은 상기 약액 보틀보다 높은 위치로 이어지는 기판 처리 장치.
4. 삭제
5. 제1 항에 있어서,
   상기 공급 라인 중 압력 조절 용기와 약액 보틀을 연결하는 공급 라인에 드레인 라인이 연결되는 기판 처리 장치.
   기판 처리 장치.
6. 삭제
7. 삭제
8. 제1 항에 있어서,
   상기 제어기는,
   상기 약액 보틀에서 상기 트랩 탱크로 상기 감광액을 전송하는 경우에:
   상기 제1 공간은 제1 용적이 되도록 하고,
   상기 약액 보틀에서 상기 트랩 탱크로 상기 감광액의 전송을 중단하는 경우에:
   상기 가압 유체의 공급을 제어하여 상기 제1 공간은 제2 용적이 되도록 하며,
   상기 제2 용적이 상기 제1 용적보다 작은 것인 기판 처리 장치.
9. 제8 항에 있어서,
   상기 제2 용적은,
   상기 공급 라인이 형성하는 유로가 양압으로 유지되는 용적인 기판 처리 장치.
10. 제1 항에 있어서,
    상기 공급 라인 중 상기 압력 조절 용기와 상기 약액 보틀 사이에 기포 감지 센서가 제공되는 기판 처리 장치.
11. 제10 항에 있어서,
    상기 공급 라인 중 상기 압력 조절 용기와 상기 약액 보틀 사이에 제공되며, 상기 기포 감지 센서의 하류에 연결되는 드레인 라인과;
    상기 기포 감지 센서로부터 데이터를 수집하고 상기 드레인 라인의 개폐를 제어하는 제어기 포함하고,
    상기 제어기는:
    상기 기포 감지 센서가 센싱한 기포가 설정 값 이상인 경우,
    상기 드레인 라인 개방하는 기판 처리 장치.
12. 제11 항에 있어서,
    상기 기포 감지 센서의 센싱값이 설정 값 이하가 되면 상기 드레인 라인을 폐쇄하는 기판 처리 장치.
13. 제1 항에 있어서,
    내부 공간이 형성되고 상기 내부 공간에 상기 약액 보틀이 위치되는 보틀 수용 용기;
    상기 보틀 수용 용기의 상기 내부 공간에 연결되어 상기 내부 공간에 가압 가스를 공급하는 가압 가스 유입 포트; 및
    상기 약액 보틀의 내부로 연장되고 상기 공급 라인과 연결되는 공급 파이프를 포함하는 기판 처리 장치.
14. 삭제
15. 감광액을 저장하는 약액 보틀, 상기 약액 보틀에서 공급되는 감광액을 임시로 저장하는 트랩 탱크, 상기 약액 보틀과 상기 트랩 탱크를 연결하는 공급 라인에 제공되는 압력 조절 용기, 상기 트랩 탱크에 저장된 상기 감광액을 기판을 처리하는 공간을 제공하는 챔버 내의 노즐로 공급하는 펌프를 구비하고, 상기 압력 조절 용기는 내부에 공간을 형성하는 하우징, 상기 하우징의 공간을 제1 공간과 제2 공간으로 분리하는 분리막, 상기 제1 공간으로 감광액을 유입하는 유입 포트, 상기 제1 공간에서 감광액을 배출시키는 배출포트, 그리고 상기 제2 공간으로 가압 유체를 공급하는 가압 유체 유입 포트를 포함하는 감광액 공급 장치를 이용하여 감광액을 공급하되,
    상기 약액 보틀에서 상기 트랩 탱크로 상기 감광액의 전송을 중단하는 경우에 상기 가압 유체가 상기 제2 공간으로 공급되어 상기 공급 라인이 형성되는 유로를 양압으로 유지하되,
    상기 공급 라인 중 상기 약액 보틀과 상기 압력 조절 용기 사이에 설치되는 제1밸브와 상기 공급 라인 중 상기 압력 조절 용기와 상기 트랩 탱크 사이에 설치되는 제2밸브는 폐쇄되는 감광액 공급 방법
16. 삭제
17. 제15 항에 있어서,
    상기 공급 라인 중 상기 제2 공간이 형성되는 영역과 상기 약액 보틀의 사이의 공급 라인에 기포 감지 센서가 제공되고,
    상기 기포 감지 센서의 하류이고 상기 제2 공간이 형성되는 영역의 상류에는 드레인 라인이 연결되고,
    상기 기포 감지 센서의 센싱 값이 설정 값 이상인 경우,
    상기 드레인 라인을 개방하는 감광액 공급 방법.
18. 제15 항에 있어서,
    상기 약액 보틀에서 상기 트랩 탱크로 상기 감광액을 전송하는 경우에 상기 제1 공간은 제1 용적이 되도록 하고,
    상기 약액 보틀에서 상기 트랩 탱크로 상기 감광액의 전송을 중단하는 경우에 상기 가압 유체의 공급을 제어하여 상기 제1 공간은 제2 용적이 되도록 하며,
    상기 제2 용적이 상기 제1 용적보다 작은 감광액 공급 방법.
    
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