JP2014216503A - 保持部材、処理装置及び物品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ステージとともに移動するのに有利な保持装置を提供する。
【解決手段】静電力で基板を保持する保持装置であって、前記静電力を生成するための電極を含む基部と、前記基部の上面に設けられた複数のピンと、前記上面に設けられ、前記複数のピンを囲む第1空間を封止する封止部と、を有し、前記基部には、空洞と、前記空洞と前記第1空間との間を貫通する第1貫通孔とが形成され、前記ピン及び前記封止部の上に前記静電力で前記基板が保持されることにより、真空中において、前記第1空間、前記第1貫通孔及び前記空洞の内の気体が封止される、ことを特徴とする保持装置を提供する。
【選択図】図1
【解決手段】静電力で基板を保持する保持装置であって、前記静電力を生成するための電極を含む基部と、前記基部の上面に設けられた複数のピンと、前記上面に設けられ、前記複数のピンを囲む第1空間を封止する封止部と、を有し、前記基部には、空洞と、前記空洞と前記第1空間との間を貫通する第1貫通孔とが形成され、前記ピン及び前記封止部の上に前記静電力で前記基板が保持されることにより、真空中において、前記第1空間、前記第1貫通孔及び前記空洞の内の気体が封止される、ことを特徴とする保持装置を提供する。
【選択図】図1
Description
本発明は、基板を保持する保持部材、処理装置及び物品の製造方法に関する。
半導体デバイスの製造プロセスでは、シリコンウエハなどの基板を保持する様々な基板保持部材が用いられている。基板保持部材には、保持される基板(露光面)の平坦性やパターン像のミスアライメントの要因となる基板の変形が小さいことなど、パターン像の品質に関わる考慮が要求される。
基板保持部材の1つとして、静電力で基板を保持するチャック(静電チャック)を含むものがある。このような基板保持部材は、基板の表面の全て(全面)にプロセスを施すことが可能であり、また、高真空環境下でも効果的に用いることができる。典型的な静電チャックは、基板を保持する保持面と、電気的なポテンシャルによって基板に対して静電的に偏った静電部材とを含む。基板は、静電力によって、保持面に対して所定の位置に保持される。
基板にプロセスを施している間には、基板に熱が生じることがあるため、基板の温度上昇を制限するとともに、基板の表面の温度の均一性を維持することが重要となる。これは、基板の表面に過度の温度分布(例えば、不均一な熱伝達に起因する温度分布)があると、基板が変形(熱変形)することがあるからである。但し、真空環境下では、基板からチャックへの熱の伝達は効率的ではない。
また、チャックと基板との間に微粒子が挟み込まれると、基板の変形につながるため、基板を保持するチャックには、通常、複数のピンで構成されるピンチャックが用いられる。従って、チャックと基板との間で良好な接触を達成することは難しく、熱伝達効率が更に減少するため、基板の表面の温度の均一性を維持することができず、基板の変形によってパターン像の品質が劣化してしまう。
そこで、CVD(Chemical Vapor Deposition)装置で提案されているように、チャックと基板との間にヘリウムなどの不活性気体を供給して排熱することが考えられる(特許文献1参照)。
しかしながら、特許文献1の技術では、基板を保持するチャックが移動することを考慮していない。一方、露光装置では、基板を保持するチャックがステージに載置され、かかるステージが露光処理に応じて移動する。従って、特許文献1の技術を露光装置に適用した場合、チャックと基板との間に供給する不活性気体を供給する配管をステージが引きずることになり、ステージの移動に影響を与えてしまうため、現実的ではない。
本発明は、このような従来技術の課題に鑑みてなされ、ステージとともに移動するのに有利な保持装置を提供することを例示的目的とする。
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての保持装置は、静電力で基板を保持する保持装置であって、前記静電力を生成するための電極を含む基部と、前記基部の上面に設けられた複数のピンと、前記上面に設けられ、前記複数のピンを囲む第1空間を封止する封止部と、を有し、前記基部には、空洞と、前記空洞と前記第1空間との間を貫通する第1貫通孔とが形成され、前記ピン及び前記封止部の上に前記静電力で前記基板が保持されることにより、真空中において、前記第1空間、前記第1貫通孔及び前記空洞の内の気体が封止される、ことを特徴とする。
本発明の更なる目的又はその他の側面は、以下、添付図面を参照して説明される好ましい実施形態によって明らかにされるであろう。
本発明によれば、例えば、ステージとともに移動するのに有利な保持装置を提供することができる。
以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施の形態について説明する。なお、各図において、同一の部材については同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。
図1は、本発明の一側面としての保持部材(保持装置)100を示す概略平面図である。図2は、図1に示す保持部材100のA−A線に沿った概略断面図である。保持部材100は、静電力で基板を保持して搬送されるパレットである。保持部材100は、基板を保持する静電チャック101と、静電チャック101を支持するベースプレート102とを有する。本実施形態において、静電チャック101及びベースプレート102は、保持部材100の基部を構成する。
静電チャック101は、基体103と、静電力を生成するための静電電極104とを含むクーロン力型静電チャックである。基体103は、セラミックスで構成され、ベースプレート102の上に接着層を介して固定されている。換言すれば、ベースプレート102は、静電チャック101の基板側の表面103aとは反対側の裏面103fの側から静電チャック101を支持する。また、ベースプレート102の下面(基体側の上面とは反対側の面)には、誘電体層が形成されている。
静電チャック101の表面103aには、複数の保持ピン103dがマトリクス状に点在するように形成されている。複数の保持ピン103dは、例えば、基板と接する円柱形状の突起部で構成され、基板を載置して保持するためのものである。また、静電チャック101の表面103aには、詳細には、その外縁部には、基板と接して静電チャック101の表面103aと基板との間の空間を封止するための外周シールリング(封止部)SRが複数の保持ピン103dを囲むように形成されている。外周シールリングSRは、円環状の突起部で構成され、複数の保持ピン103dを囲む第1空間を封止する。外周シールリングSRは、本実施形態では、内側シールリング(第1封止部)103bと、内側シールリング103bを囲む(即ち、内側シールリング103bより外側の)外側シールリング(第2封止部)103cとを含む。
内側シールリング103b、外側シールリング103c及び保持ピン103dは、同一の高さH1を有する。内側シールリング103b、外側シールリング103c及び保持ピン103dの高さH1は、例えば、5μm〜40μmの範囲で設定される。また、保持ピン103dの直径φ1は、例えば、1.0mm〜2.0mmの範囲で設定される。
静電電極104は、薄膜静電電極であって、基体103に内蔵されている。静電電極104は、外部の直流電源(不図示)に接続される。静電電極104に所定の電圧が印加されると、基板などの保持対象物が内側シールリング103b、外側シールリング103c及び保持ピン103dの上に吸着される。保持対象物に対する吸着力は、静電電極104に印加される電圧が高いほど大きくなる。
基体103には、基体103(静電チャック101)を貫通する第1貫通孔105が形成されている。第1貫通孔105は、ベースプレート102に形成されたガス溜め部106に接続している。ガス溜め部106は、第1貫通孔105を介して静電チャック101の表面103aと基板との間の空間(即ち、第1空間)に接続し、かかる空間に充填される(封じ込められる)気体、例えば、不活性気体を溜めるための空洞である。このように、第1貫通孔105は、ガス溜め部106と第1空間との間を貫通する。また、ガス溜め部106は、第1貫通孔105を介してのみ外部空間と連通する。
更に、基体103には、内側シールリング103bと外側シールリング103cとの間の領域に基体103(静電チャック101)を貫通する第2貫通孔107が形成されている。第2貫通孔107は、ベースプレート102に形成された接続路109に接続している。接続路109は、第2貫通孔107と外部空間とを接続する。従って、第2貫通孔107及び接続路109は、内側シールリング103bと外側シールリング103cとの間の第2空間と外部空間との間を貫通する。
このような構成において、保持部材100は、真空中において、静電チャック101の表面103aが露出した状態を経て、内側シールリング103b、外側シールリング103c及び保持ピン103dによって基板を保持する。これにより、静電チャック101の表面103aと基板との間の空間(即ち、第1空間)、第1貫通孔105及びガス溜め部106を含む閉空間に、かかる平空間の内の気体が封じ込められ(封止され)、静電チャック101と基板との間の熱伝導性が向上する。
図3を参照して、本発明の一側面としての処理装置1について説明する。処理装置1は、保持部材100を用いて基板を搬送し、かかる基板を真空中において処理する真空処理装置である。処理装置1は、処理室10と、ゲートバルブ11と、基板ステージ12と、静電チャック13と、荷電粒子源14と、電磁偏向器15と、静電偏向器16とを有する。また、処理装置1は、前室20と、ゲートバルブ21と、真空バルブ22と、真空ポンプ23と、搬送ロボット24と、保持ロボット25と、ガスバルブ26と、ガス源27とを有する。また、処理装置1は、ロードロック室30と、基板搬送ロボット31と、ゲートバルブ32と、真空バルブ33と、真空ポンプ34と、制御部50とを有する。制御部50は、CPUやメモリなどを含み、処理装置1の全体(動作)を制御する。制御部50は、基板200の処理、本実施形態では、基板200にパターンを描画(形成)する処理だけではなく、保持部材100に基板200を保持させるための処理も制御する。
処理装置1における基板200の処理について説明する。かかる処理は、制御部50が処理装置1の各部を統括的に制御することで行われる。まず、大気側に配置された基板ステーション40に格納されていた基板200を、基板搬送ロボット31によって、前室20に基板200を搬送するためのロードロック室30に搬送する。ロードロック室30に基板200が搬送されると、大気側とロードロック室30との間を隔てるゲートバルブ32を閉じて真空バルブ33を開き、ロードロック室30を真空ポンプ34で真空排気する。このように、ロードロック室30は、前室20に搬送する基板200を真空雰囲気で保持するためのものである。
次に、ロードロック室30と前室20との間を隔てるゲートバルブ21を開く。前室20は、前室20に準備されている保持部材100に、ロードロック室30から搬送された(即ち、処理室10に搬送する)基板200を保持させるための真空室である。前室20に接続された真空バルブ22は開かれおり、真空ポンプ(排気部)23によって前室20は真空排気されている。また、前室20には、保持部材100を保持する搬送ロボット24が配置されている。
ゲートバルブ21が開かれると、基板搬送ロボット31によって搬送された基板200を保持ロボット25に載置して、ゲートバルブ21及び真空バルブ22を閉じる。そして、ガスバルブ26を開いて、ガス源(供給部)27から不活性気体、本実施形態では、ヘリウムガスを前室20に供給する。この際、ガス源27は、前室20におけるヘリウムガスの圧力が500Paから5000Paの間の圧力となるように、ヘリウムガスを前室20に供給することが可能である。
前室20におけるヘリウムガスの圧力が所定の圧力になると、ガスバルブ26を閉じる。これにより、ヘリウムガス雰囲気中に静電チャック101の表面103aが露出した状態となり、第1貫通孔105を介して、ヘリウムガスがガス溜め部106に前室20と略同一の圧力で充填される。
次に、保持ロボット25によって、基板200を搬送ロボット24に保持された保持部材100に載置し、静電電極104に電圧を印加して基板200を静電チャック101に吸着させる。これにより、保持部材100、即ち、内側シールリング103b、外側シールリング103c及び保持ピン103dによって基板200が保持される。そして、真空バルブ22を開き、前室20を真空ポンプ23で真空排気する。
図4は、ヘリウムガス雰囲気中に静電チャック101の表面103aが露出した状態を経て、即ち、前室20において、基板200を保持した保持部材100を示す概略断面図である。図4において、保持部材100の外部(周り)の雰囲気は真空である。また、外周シールリングSRで封止された空間、即ち、静電チャック101の表面103aと基板との間の空間108、第1貫通孔105及びガス溜め部106を含む閉空間には、ヘリウムガスが封じ込められている。ここで、空間108は、第1貫通孔105を介してガス溜め部106と接続している。従って、基板200と内側シールリング103bとの間から僅かな量のヘリウムガスがリークしても、ヘリウムガスの圧力変動を低減するとともに、空間108におけるヘリウムガスの圧力の均一性を維持することができる。これにより、基板200と保持部材100との間の熱伝達が安定して向上する。
また、内側シールリング103bと外側シールリング103cとの間の領域は、第2貫通孔107及び接続路109を介して、外部(真空雰囲気)に接続している。従って、内側シールリング103b及び外側シールリング103cと接する基板200の領域は、内側シールリング103bよりも内側の基板200の領域と異なり、保持部材側(裏面)とその反対側(表面)の両方が真空雰囲気となる。従って、内側シールリング103b及び外側シールリング103cと接する基板200の領域においては、裏面と表面とで差圧が発生しないため、保持部材100による吸着力の低減を抑制することができる。これにより、微粒子の挟み込みを防止するとともに、内側シールリング103bの内側の基板200の領域よりも内側シールリング103b及び外側シールリング103cと接する基板200の領域における吸着力を大きくすることができる。その結果、静電チャック101の表面103aと基板との間の空間108(空間108、第1貫通孔105及びガス溜め部106を含む閉空間)の密閉性を高め、ヘリウムガスのリークを低減させることができる。
図3に戻って、前室20が真空排気されると、前室20と処理室10との間を隔てるゲートバルブ11を開き、基板200を保持した保持部材100を、搬送ロボット24によって処理室10に搬送する。処理室10は、基板200を真空中において処理するためのものである。そして、搬送ロボット24によって搬送された保持部材100を、基板ステージ12の上の静電チャック13に載置して、静電チャック13で保持部材100を吸着(固定)する。ここで、基板200を保持した保持部材100は、処理室10において真空排気される。但し、静電チャック101の表面103aと基板との間の空間108におけるヘリウムガスの圧力は5000Pa程度であるため、真空排気しても、気体の断熱膨張による温度低下は無視することができる。従って、保持部材100の温度制御は不要である。
保持部材100が静電チャック13に吸着されると、ゲートバルブ11を閉じる。処理室10には、荷電粒子線を保持部材100に保持された基板200に照射し、かかる荷電粒子線で基板200に描画を行う荷電粒子光学系が配置され、常時、真空排気系(不図示)で真空排気されている。換言すれば、処理室10は、保持部材100に保持された基板200にエネルギー線を照射してパターンを基板200に形成する照射部を有する。本実施形態では、荷電粒子光学系は、荷電粒子源14、電磁偏向器15、静電偏向器16などを含む。基板200へのパターンの描画は、基板ステージ12を移動させながら、荷電粒子源14からの荷電粒子線を電磁偏向器15や静電偏向器16を用いて走査することで行われる。
基板200へのパターンの描画が終了すると、基板200を保持した保持部材100を、搬送ロボット24によって前室20に搬送し、ゲートバルブ11を閉じる。次いで、保持ロボット25によって、搬送ロボット24の上の保持部材100から基板200を取り外す。そして、ゲートバルブ21を開けて、保持ロボット25の上の基板200を、基板搬送ロボット31によって、ロードロック室30に搬送し、ゲートバルブ21を閉めてから、ロードロック室30を大気開放する。ロードロック室30を大気開放したら、ゲートバルブ32を開けて、パターンが形成された基板200を、基板搬送ロボット31によって、基板ステーション40に搬送する。
このように、処理装置1では、基板200の搬送や保持に保持部材100を用いている。従って、不活性気体を供給する配管を保持部材100に接続することなく、静電チャック101の表面103aと基板との間の空間、第1貫通孔105及びガス溜め部106を含む閉空間に不活性気体が封じ込められた状態で基板200を搬送することができる。これにより、静電チャック101と基板との間の熱伝導性が向上するとともに、保持部材100の搬送や基板ステージ12の移動に影響を与えることなく、基板200を処理することができる。換言すれば、処理装置1は、高いスループットで経済性よく高品位なデバイスななどの物品を提供することができる。
また、保持部材100は、図1、図2及び図4に示す構成に限定されるものではなく、例えば、図5に示すような構成であってもよい。図5に示す保持部材100は、図1、図2及び図4に示す保持部材100と比較して、ベースプレート102に形成された接続路110が異なる。接続路110は、内側シールリング103bと外側シールリング103cとの間の領域に形成された第2貫通孔107とガス溜め部106とを接続している。このように、第2貫通孔107及び接続路110は、内側シールリング103bと外側シールリング103cとの間の第2空間とガス溜め部106との間を貫通する。
このような構成では、静電チャック101の表面103aと基板との間の空間108に封じ込められたヘリウムガスが、内側シールリング103b及び外側シールリング103cによって2重に密閉(シールド)されることになる。厳密には、ガス溜め部106は共通であるが、第2貫通孔107が第2貫通孔107のコンダクタンスが第1貫通孔105のコンダクタンスよりも小さくなるように形成されているため、実質的に、2重に密閉されることになる。従って、基板200と内側シールリング103bとの間からヘリウムガスがリークしても、空間108におけるヘリウムガスの圧力の均一性を維持することができる。これにより、基板200と保持部材100との間の熱伝達が安定して向上する。
本発明の実施形態における物品の製造方法は、例えば、半導体デバイスなどのマイクロデバイスや微細構造を有する素子などの物品を製造するのに好適である。かかる製造方法は、処理装置1を用いて、感光剤が塗布された基板にパターンを形成する工程と、パターンを形成された基板を処理(例えば、現像)する工程を含む。また、上記形成工程につづけて、かかる製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージングなど)を含みうる。本実施形態における物品の製造方法は、従来に比べて、物品の性能、品質、生産性及び生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されないことはいうまでもなく、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。
Claims (13)
- 静電力で基板を保持する保持装置であって、
前記静電力を生成するための電極を含む基部と、
前記基部の上面に設けられた複数のピンと、
前記上面に設けられ、前記複数のピンを囲む第1空間を封止する封止部と、
を有し、
前記基部には、空洞と、前記空洞と前記第1空間との間を貫通する第1貫通孔とが形成され、
前記ピン及び前記封止部の上に前記静電力で前記基板が保持されることにより、真空中において、前記第1空間、前記第1貫通孔及び前記空洞の内の気体が封止される、
ことを特徴とする保持装置。 - 前記封止部は、第1封止部と、前記第1封止部より外側の第2封止部とを含む、ことを特徴とする請求項1に記載の保持装置。
- 前記基部には、前記第1封止部と前記第2封止部との間の第2空間と外部空間との間を貫通する第2貫通孔が形成されている、ことを特徴とする請求項2に記載の保持装置。
- 前記基部には、前記第1封止部と前記第2封止部との間の第2空間と前記空洞との間を貫通する第2貫通孔が形成されている、ことを特徴とする請求項2に記載の保持装置。
- 前記第2貫通孔は、前記第2貫通孔のコンダクタンスが前記第1貫通孔のコンダクタンスよりも小さくなるように形成されている、ことを特徴とする請求項4に記載の保持部材。
- 前記空洞は、前記第1貫通孔を介してのみ外部空間と連通する、ことを特徴とする請求項1乃至3のうちいずれか1項に記載の保持装置。
- 前記気体は、不活性気体を含む、ことを特徴とする請求項1乃至6のうちいずれか1項に記載の保持装置。
- 基板を処理する処理装置であって、
真空中において前記基板を処理するための処理室と、
前記処理室に搬送する基板を保持装置に保持させるための前室と、
前記前室に気体を供給する供給部と、
前記保持装置に前記基板を保持させるための処理を制御する制御部と、を有し、
前記保持装置は、請求項1乃至7のうちいずれか1項に記載の保持装置を含み、
前記制御部は、
前記供給部によって前記前室に前記気体を供給する第1処理と、
前記気体の雰囲気中において前記ピン及び前記封止部の上に前記静電力で前記基板を保持させることによって、前記第1空間、前記第1貫通孔及び前記空洞の内の前記気体を封止する第2処理と、
を行うことを特徴とする処理装置。 - 前記前室を真空排気する排気部を更に有し、
前記制御部は、前記第2処理の後、前記排気部によって前記前室を真空排気し、前記基板を保持する前記保持装置を前記処理室に搬送する第3処理を行う、ことを特徴とする請求項8に記載の処理装置。 - 前記制御部は、前記第1処理において、前記前室における前記気体の圧力が500Paから5000Paの間の圧力となるように、前記前室に前記気体を供給する、ことを特徴とする請求項8又は9に記載の処理装置。
- 前記前室に基板を搬送するためのロードロック室を更に有する、ことを特徴とする請求項8乃至10のうちいずれか1項に記載の処理装置。
- 前記処理室は、前記保持装置に保持された基板にエネルギー線を照射してパターンを前記基板に形成する照射部を有する、ことを特徴とする請求項8乃至11のうちいずれか1項に記載の処理装置。
- 請求項12項に記載の処理装置を用いてパターンを基板に形成する工程と、
前記工程で前記パターンを形成された前記基板を処理する工程と、
を有することを特徴とする物品の製造方法。
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