JP2014207380A - 可変抵抗素子を用いたメモリセル - Google Patents
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Abstract
Description
前記選択トランジスタが、縦型トランジスタであり、
前記縦型トランジスタは、
ソース層、ドレイン層、及び、前記ソース層と前記ドレイン層の間に挟まれたバルク部が、基板と垂直方向に積層された構造を有し、
前記ソース層、前記ドレイン層、及び、前記バルク部がn型シリコンからなり、前記バルク部のドーパント濃度が1×1017〜5×1018cm−3の範囲にあり、
前記ゲート電極が、前記バルク部の側壁面を覆う絶縁膜上を、前記バルク部を挟むように、対向して配置され、
前記ゲート電極、及び、前記ソース層と前記ドレイン層間に電圧が印加されない状態で、前記バルク部が完全空乏化していることを第1の特徴とする。
前記バルク部の誘電率をεs、前記ドーパント濃度をNd、前記絶縁膜の単位面積当たりのキャパシタンスをCi、前記ゲート電極の仕事関数から前記バルク部のフェルミ準位と真空準位との間のエネルギー差を引いたものをφms、素電荷をq、及び、前記ゲート電極が対向する方向の前記バルク部の寸法をRとしたとき、
の関係を満たすことを第2の特徴とする。
前記ゲート電極が、前記バルク部の側壁面を覆う絶縁膜上を、前記バルク部の全側壁面を覆うように配置されていることが好ましい。
前記可変抵抗素子は、前記第1電極、前記金属酸化物膜、及び、前記第2電極が、前記基板と垂直方向に積層されていることが好ましい。
前記バルク部の中心が、前記基板に垂直方向から見て、前記金属酸化物膜の形成領域の内側にあるように配置されており、
前記金属酸化物膜の前記基板に平行な少なくとも一方向の特定方向の線幅が、前記バルク部の前記特定方向の線幅以下である構成とすることができる。
前記第2電極が、前記ドレイン層に接し、
前記ドレイン層と前記第2電極を併せた高さの、基板に平行な一の断面方向の前記第2電極の線幅に対する比が、0.9以下であることが好ましい。
前記可変抵抗素子は、フォーミング処理を施すことにより、前記両電極間の抵抗状態が前記フォーミング処理前の初期高抵抗状態から可変抵抗状態に変化し、
前記可変抵抗状態において、前記両電極間に前記電気的ストレスを印加することにより、前記抵抗状態が二以上の異なる状態間で遷移し、当該遷移後の一の抵抗状態を情報の記憶に用いることが好ましい。
以下において、本発明に係るメモリセルの一実施形態について、従来構成のメモリセルと比較しながら、図面を参照して説明する。
一般に、スイッチとして用いられるトランジスタは、Inversion型のものである。
Inversion型トランジスタは、ソース/ドレインとチャネル部の導電型が異なった構成である。例えば、ソース/ドレインをn型とし、チャネルを形成する領域をp型とする。ゲートにオン電圧を加えると、ゲート絶縁膜とp型チャネル層の界面に電子が誘起されソース/ドレイン間が導通する。
これに対し、Accumulation型トランジスタを用いた本発明の一実施形態に係るメモリセルの構成の一例を図3に示す。図3は、Accumulation型の縦型MOSトランジスタ20と可変抵抗素子10を直列に接続した1T1R型のメモリセルについて、その断面構造を模式的に示す図である。
11: 従来構成の縦型の選択トランジスタ
20: 本発明の一実施形態に係る縦型の選択トランジスタ
101: 第1電極(上部電極)
102: 可変抵抗体(金属酸化物膜)
103: 第2電極(下部電極)
104: n+層(ドレイン層)
105: n+層(ソース層)
106: p型層(チャネル領域)
107: ゲート電極
108: 絶縁膜
109: 共通線
110: ビット線
111: ワード線
112: n型層(バルク部)
120: ダメージ領域
121: フィラメントパス
200、204: メモリセルアレイ
201、205: ワード線デコーダ
202、206: ビット線デコーダ
203: ソース線デコーダ
R: 可変抵抗素子
T: 選択トランジスタ
BL1〜BLm: ビット線
SL1〜SLn: ソース線
WL1〜WLn: ワード線
Claims (8)
- 第1電極と第2電極の間に金属酸化物膜が挟持され、前記両電極間への電気的ストレスの印加に応じて、前記両電極間の電気抵抗で規定される抵抗状態が可逆的に変化する可変抵抗素子と、セル選択用の選択トランジスタを備え、前記可変抵抗素子の前記第2電極と前記選択トランジスタのドレイン領域が接続されたメモリセルであって、
前記選択トランジスタが、縦型トランジスタであり、
前記縦型トランジスタは、
ソース層、ドレイン層、及び、前記ソース層と前記ドレイン層の間に挟まれたバルク部が、基板と垂直方向に積層された構造を有し、
前記ソース層、前記ドレイン層、及び、前記バルク部がn型シリコンからなり、前記バルク部のドーパント濃度が1×1017〜5×1018cm−3の範囲にあり、
前記ゲート電極が、前記バルク部の側壁面を覆う絶縁膜上を、前記バルク部を挟むように、対向して配置され、
前記ゲート電極、及び、前記ソース層と前記ドレイン層間に電圧が印加されない状態で、前記バルク部が完全空乏化していることを特徴とするメモリセル。 - 前記バルク部の誘電率をεs、前記ドーパント濃度をNd、前記絶縁膜の単位面積当たりのキャパシタンスをCi、前記ゲート電極の仕事関数から前記バルク部のフェルミ準位と真空準位との間のエネルギー差を引いたものをφms、素電荷をq、及び、前記ゲート電極が対向する方向の前記バルク部の寸法をRとしたとき、
の関係を満たすことを特徴とする請求項1に記載のメモリセル。 - 前記ゲート電極が、前記バルク部の側壁面を覆う絶縁膜上を、前記バルク部の全側壁面を覆うように配置されていることを特徴とする請求項1又は2に記載のメモリセル。
- 前記可変抵抗素子は、
前記第1電極、前記金属酸化物膜、及び、前記第2電極が、前記基板と垂直方向に積層されていることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載のメモリセル。 - 前記バルク部の中心が、前記基板に垂直方向から見て、前記金属酸化物膜の形成領域の内側にあるように配置されており、
前記金属酸化物膜の前記基板に平行な少なくとも一方向の特定方向の線幅が、前記バルク部の前記特定方向の線幅以下であることを特徴とする請求項4に記載のメモリセル。 - 前記金属酸化物膜の前記第1方向の線幅、及び、前記バルク部の前記第1方向の線幅が、共に50nm以下であることを特徴とする請求項5に記載のメモリセル。
- 前記第2電極が、前記ドレイン層に接し、
前記ドレイン層と前記第2電極を併せた高さの、基板に平行な一の断面方向の前記第2電極の線幅に対する比が、0.9以下であることを特徴とする、請求項4〜6の何れか一項に記載のメモリセル。 - 前記可変抵抗素子は、
フォーミング処理を施すことにより、前記両電極間の抵抗状態が前記フォーミング処理前の初期高抵抗状態から可変抵抗状態に変化し、
前記可変抵抗状態において、前記両電極間に前記電気的ストレスを印加することにより、前記抵抗状態が二以上の異なる状態間で遷移し、当該遷移後の一の抵抗状態を情報の記憶に用いることを特徴とする請求項1〜7の何れか一項に記載のメモリセル。
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