JP2014207353A - 真空装置及びバルブ制御方法 - Google Patents
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Abstract
Description
n×V11≦m×V2≦n×V12…(1)
(ここで、nは前記第1の排気路の本数を示し、mは前記第2の排気路の本数を示す。)
の関係が成立するように前記第1のバルブの開度及び前記第2のバルブの開閉を調節するものであってもよい。
前記処理容器内の圧力を検出する圧力検出装置と、を備えている。また、本発明のバルブの制御方法において、前記真空装置は、前記処理容器に接続され、第1のバルブが設けられた複数の第1の排気路と、前記処理容器に接続され、第2のバルブが設けられた複数の第2の排気路と、前記第1の排気路又は第2の排気路に接続された排気装置と、を備えている。さらに、本発明のバルブの制御方法において、前記真空装置は、前記処理容器内の圧力が所定の値になるように、前記圧力検出装置により検出された検出圧力値と設定圧力値とに基づき、前記第1のバルブ及び前記第2のバルブをそれぞれ制御する制御部と、を備えている。また、本発明のバルブの制御方法において、前記第1のバルブは、前記第1の排気路のコンダクタンスを可変に調節するバルブであり、前記第2のバルブは、前記第2の排気路の開閉の切り替えを行うバルブであり、前記制御部は、複数の前記第1の排気路にそれぞれ設けられた前記第1のバルブの開度を統括して調節する開度調節部と、複数の前記第2の排気路にそれぞれ設けられた前記第2のバルブの開閉の切り替えを統括して行う開閉切替部を含むものである。そして、本発明のバルブの制御方法は、全ての前記第2のバルブの開度を同期して全開にするステップと、前記圧力検出装置により検出された検出圧力値と設定圧力値に基づき、全ての前記第1のバルブの開度を同期して調節するステップと、を備えている。
n×V11≦m×V2≦n×V12…(1)
(ここで、nは前記第1の排気路の本数を示し、mは前記第2の排気路の本数を示す。)
の関係が成立するように前記第1のバルブの開度及び前記第2のバルブの開閉を調節するものであってもよい。
図1は、本発明の処理装置の第1の実施の形態としてのプラズマエッチング装置の概略構成を示す断面図である。図1に示したように、プラズマエッチング装置100は、被処理体として、例えばFPD用のガラス基板(以下、単に「基板」と記す)Sに対してエッチングを行なう容量結合型の平行平板プラズマエッチング装置として構成されている。なお、FPDとしては、液晶ディスプレイ(LCD)、エレクトロルミネセンス(Electro Luminescence;EL)ディスプレイ、プラズマディスプレイパネル(PDP)等が例示される。
次に、図6を参照しながら本実施の形態のプラズマ処理装置100の作用について説明する。図6は、実際の実験データに基づき作成したものであり、排気装置57を用いてプラズマエッチング装置100の処理容器1内を減圧排気しながら処理ガスを導入した場合の圧力変化(縦軸)と、処理ガスの流量(横軸)との関係を示す特性図である。曲線Aは、処理容器1に接続された複数(例えば8本)の排気管53のすべてのAPCバルブ55の開度を300(30%)に設定した場合を示している。曲線Bは、処理容器1に接続された複数(例えば8本)の排気管53のすべてのAPCバルブ55の開度を1000(100%)に設定した場合を示している。曲線Aと曲線Bとの比較から、同じ圧力P1でも、APCバルブ55の開度を全開にした曲線Bの方が、開度を300に設定した曲線Aに比べて、より大流量の処理ガスを排気できることが理解される(Q1<Q3)。換言すれば、曲線Bの場合は、曲線Aに比べ、同じ流量でも、より低圧力での処理が可能になる。
n×V11≦m×V2≦n×V12…(1)
(ここで、nは第1の排気管53Aの本数を示し、mは第2の排気管53Bの本数を示す。)
の関係が成立するようにAPCバルブ55Aの開度及びとAPCバルブ55Bの開閉を調節することが好ましい。ここで、第1の排気管53AにおいてAPCバルブ55Aによってコンダクタンスを所定の値に調節する場合の開度としては、例えば開度15%〜30%の範囲内、好ましくは開度15〜25%の範囲内、より好ましくは開度20%とすることができる。式(1)の関係を満たす場合は、処理容器1内の圧力を制御性よくコントロールしながら、十分に大きな総排気量を得ることができる。ここで、n×V11>m×V2の場合は、m本の第2の排気管53Bにおける合計の排気ガス流量が小さすぎて、装置全体での排気量を大きくすることができないため、大流量プロセスへの対応が困難になる。一方、m×V2>n×V12の場合は、m本の第2の排気管53Bにおける合計の排気ガス流量が大きくなりすぎて、n本の第1の排気管53AにおけるAPCバルブ55Aによる処理容器1内の圧力制御性が低下することがある。また、上記式(1)を満たすようにすることによって、APCバルブ55AとAPCバルブ55Bとの設置比率を最適な配分にすることもできる。
次に、図7及び図8を参照して、本発明の第2の実施の形態のプラズマエッチング装置について説明する。以下の説明では、第1の実施の形態との相違点を中心に説明し、第1の実施の形態と同一の構成について重複する説明は省略する。
Claims (8)
- 被処理体を収容するとともに、内部を真空保持可能な処理容器と、
前記処理容器内にガス供給路を介して処理ガスを供給するガス供給源と、
前記ガス供給路に設けられ、前記処理ガスの供給流量を調節する流量調節装置と、
前記処理容器内の圧力を検出する圧力検出装置と、
前記処理容器に接続され、第1のバルブが設けられた複数の第1の排気路と、
前記処理容器に接続され、第2のバルブが設けられた複数の第2の排気路と、
前記第1の排気路又は第2の排気路に接続された排気装置と、
前記処理容器内の圧力が所定の値になるように、前記圧力検出装置により検出された検出圧力値と設定圧力値とに基づき、前記第1のバルブ及び前記第2のバルブをそれぞれ制御する制御部と、
を備え、
前記第1のバルブは、前記第1の排気路のコンダクタンスを可変に調節するバルブであり、
前記第2のバルブは、前記第2の排気路の開閉の切り替えを行うバルブであり、
前記制御部は、複数の前記第1の排気路にそれぞれ設けられた前記第1のバルブの開度を統括して調節する開度調節部と、複数の前記第2の排気路にそれぞれ設けられた前記第2のバルブの開閉の切り替えを統括して行う開閉切替部を含むものである真空装置。 - 前記第1の排気路及び前記第2の排気路の両方に、一つの前記排気装置が接続されている請求項1に記載の真空装置。
- 前記制御部は、前記第1の排気路において前記第1のバルブによってコンダクタンスを調節したときの排気ガス流量をV11とし、前記第1の排気路において前記第1のバルブの開度を全開にしたときの排気ガス流量をV12とし、前記第2の排気路における排気ガス流量をV2としたとき、下記の式(1);
n×V11≦m×V2≦n×V12…(1)
(ここで、nは前記第1の排気路の本数を示し、mは前記第2の排気路の本数を示す。)
の関係が成立するように前記第1のバルブの開度及び前記第2のバルブの開閉を調節する請求項1又は2に記載の真空装置。 - 前記第2のバルブとして、前記第2の排気路のコンダクタンスを可変に調節するバルブを用い、開閉動作のみを行う請求項1から3のいずれか1項に記載の真空装置。
- 被処理体に対して、エッチングを行うエッチング装置である請求項1から4のいずれか1項に記載の真空装置。
- 被処理体が、FPD用基板である請求項5に記載の真空装置。
- 真空装置におけるバルブの制御方法であって、
前記真空装置は、
被処理体を収容するとともに、内部を真空保持可能な処理容器と、
前記処理容器内にガス供給路を介して処理ガスを供給するガス供給源と、
前記ガス供給路に設けられ、前記処理ガスの供給流量を調節する流量調節装置と、
前記処理容器内の圧力を検出する圧力検出装置と、
前記処理容器に接続され、第1のバルブが設けられた複数の第1の排気路と、
前記処理容器に接続され、第2のバルブが設けられた複数の第2の排気路と、
前記第1の排気路又は第2の排気路に接続された排気装置と、
前記処理容器内の圧力が所定の値になるように、前記圧力検出装置により検出された検出圧力値と設定圧力値とに基づき、前記第1のバルブ及び前記第2のバルブをそれぞれ制御する制御部と、
を備えており、
前記第1のバルブは、前記第1の排気路のコンダクタンスを可変に調節するバルブであり、
前記第2のバルブは、前記第2の排気路の開閉の切り替えを行うバルブであり、
前記制御部は、複数の前記第1の排気路にそれぞれ設けられた前記第1のバルブの開度を統括して調節する開度調節部と、複数の前記第2の排気路にそれぞれ設けられた前記第2のバルブの開閉の切り替えを統括して行う開閉切替部を含むものであり、
全ての前記第2のバルブの開度を同期して全開にするステップと、
前記圧力検出装置により検出された検出圧力値と設定圧力値に基づき、全ての前記第1のバルブの開度を同期して調節するステップと、
を備えていることを特徴とするバルブの制御方法。 - 前記第1の排気路において前記第1のバルブによってコンダクタンスを調節したときの排気ガス流量をV11とし、前記第1の排気路において前記第1のバルブの開度を全開にしたときの排気ガス流量をV12とし、前記第2の排気路における排気ガス流量をV2としたとき、下記の式(1);
n×V11≦m×V2≦n×V12…(1)
(ここで、nは前記第1の排気路の本数を示し、mは前記第2の排気路の本数を示す。)
の関係が成立するように前記第1のバルブの開度及び前記第2のバルブの開閉を調節する請求項7に記載のバルブの制御方法。
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