JP2014190804A - Humidity sensor - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、小型かつ低コストで表面実装が可能であると共に高精度に湿度検出が可能な湿度センサに関する。 The present invention relates to a humidity sensor that can be surface-mounted at a small size and at a low cost, and can detect humidity with high accuracy.
従来、サーミスタ素子を用いた湿度センサとして、例えば特許文献１には、独立した二つの凹部を中心軸に対称に形成すると共に、一方の凹部に上面に対して貫通した開口部を設けてなる均熱ケースと、特性の揃った自己加熱型の二つの感温素子とを備え、二つの感温素子のうち一方を、開口部を有する一方の凹部に対して基板を介して封止して感湿素子とし、他方の感温素子を他方の凹部に対して基板を介して封止して温度補償素子とする絶対湿度センサが記載されている。 Conventionally, as a humidity sensor using a thermistor element, for example, in Patent Document 1, two independent recesses are formed symmetrically with respect to the central axis, and one recess is provided with an opening penetrating the top surface. A thermal case and two self-heating type thermosensitive elements with uniform characteristics are provided, and one of the two thermosensitive elements is sealed with respect to one concave portion having an opening through a substrate. An absolute humidity sensor is described in which a humidity element is used and the other temperature-sensitive element is sealed with respect to the other recess through a substrate to form a temperature compensation element.
この絶対湿度センサでは、二つの感温素子が自己発熱型サーミスタからなり、これらの自己発熱型サーミスタは、２つのリード線が基板を貫通して立設され、凹部中の空中に支持されている。
このような湿度センサは、熱拡散の違いが湿度によって異なる現象を利用して、サーミスタの発熱量が外気に通じた方と完全に封止された方とで異なることから、両者のサーミスタにおける抵抗値も変化することで、その差異に基づいて湿度を算出するものである。
また、特許文献２には、温度センサであるが、ガラス管内にチップ型サーミスタ素子が挿入され、ガラス管の両端にそれぞれ封止電極が封着されたアキシャルリードガラス封止型サーミスタが記載されている。
In this absolute humidity sensor, two temperature sensing elements are composed of self-heating type thermistors, and these self-heating type thermistors have two lead wires standing through the substrate and supported in the air in the recess. .
Such a humidity sensor uses a phenomenon in which the difference in heat diffusion differs depending on the humidity, and the amount of heat generated by the thermistor differs between the one that communicates with the outside air and the one that is completely sealed. By changing the value, the humidity is calculated based on the difference.
Further, Patent Document 2 describes an axial lead glass sealed thermistor that is a temperature sensor, but in which a chip thermistor element is inserted into a glass tube and sealing electrodes are sealed at both ends of the glass tube. Yes.
上記従来の技術には、以下の課題が残されている。
すなわち、従来の湿度センサでは、リード線によってサーミスタ素子を基板上に立設させて空中に支持しているために、大きな凹部内の空間が必要になり、特殊な構造が必要になって部品コストが増大すると共に全体が大型化してしまう不都合があった。また、リード線に外部配線を接続する必要があり、回路基板上へ直接、表面実装を行うことができないという不都合がある。
また、特許文献２に記載のサーミスタでは、サーミスタ素子とガラス管との間に空間があるため、外気の影響を比較的受け難いが、封止電極とガラス管内面との接触面積が大きく、この接触部分から熱が伝わって、少なからず外気等の影響を受けてしまう不都合があった。
The following problems remain in the conventional technology.
In other words, in the conventional humidity sensor, the thermistor element is erected on the substrate by the lead wire and supported in the air, so a large space in the recess is required, and a special structure is required, resulting in component costs. However, there is a disadvantage that the whole size increases. Further, it is necessary to connect external wiring to the lead wire, and there is a disadvantage that surface mounting cannot be performed directly on the circuit board.
Further, in the thermistor described in Patent Document 2, since there is a space between the thermistor element and the glass tube, it is relatively less affected by the outside air, but the contact area between the sealing electrode and the inner surface of the glass tube is large. There was an inconvenience that heat was transmitted from the contact portion and was affected by the outside air.
本発明は、前述の課題に鑑みてなされたもので、小型かつ低コストで表面実装が可能であると共に高精度に湿度検出が可能な湿度センサを提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a humidity sensor that can be surface-mounted in a small size and at low cost and can detect humidity with high accuracy.
本発明は、前記課題を解決するために以下の構成を採用した。すなわち、第１の発明に係る湿度センサは、互いに近接配置された外気温度検出部と温度補償部とを備えた湿度センサであって、前記外気温度検出部及び前記温度補償部が、サーミスタ部材と、該サーミスタ部材の両端部に対向配置されて該両端部に接触する一対の端子電極部材と、前記一対の端子電極部材を両端に配して前記サーミスタ部材を内部に収納する絶縁性管とをそれぞれ備え、前記サーミスタ部材が、サーミスタ材料で形成されたサーミスタ素体と、該サーミスタ素体の両端部に形成された電極となる一対の端子部とを有したチップ状であり、前記温度補償部の前記絶縁性管が、前記サーミスタ部材を内部に不活性ガスと共に又は真空中で封止し、前記外気温度検出部の前記絶縁性管が、実装面以外の面の少なくとも一つに貫通孔を有していることを特徴とする。 The present invention employs the following configuration in order to solve the above problems. That is, the humidity sensor according to the first aspect of the present invention is a humidity sensor that includes an outside air temperature detector and a temperature compensator arranged in close proximity to each other, wherein the outside air temperature detector and the temperature compensator are thermistor members. A pair of terminal electrode members disposed opposite to both end portions of the thermistor member and in contact with the both end portions; and an insulating tube that houses the thermistor member inside by arranging the pair of terminal electrode members at both ends. Each of the thermistor members is in the form of a chip having a thermistor body formed of a thermistor material and a pair of terminal portions serving as electrodes formed at both ends of the thermistor body, and the temperature compensation unit The insulating tube seals the thermistor member together with an inert gas or in a vacuum, and the insulating tube of the outside air temperature detecting portion penetrates at least one surface other than the mounting surface. Characterized in that it has a.
この湿度センサでは、両端部に端子部を有するチップ状のサーミスタ部材が、両端部に端子電極部材を有する絶縁性管内に収納されているので、全体がコンパクトになると共に、基板上への表面実装が容易となる。また、小型化により応答性も向上すると共に、シンプルな構造の部材により低コストで作製可能である。
なお、この湿度センサでは、温度補償部の絶縁性管が、サーミスタ部材を内部に不活性ガスと共に又は真空中で封止し、外気温度検出部の絶縁性管が、実装面以外の面の少なくとも一つに貫通孔を有しているので、外気温度検出部のサーミスタ部材が貫通孔を介して水分を含む外気に触れて検出回路に生じるジュール熱が湿度により変化するのに対し、温度補償部のサーミスタ部材は外気の湿度の影響を受けない。このため同じ電流で検出を行うと、外気に触れない方は、周辺の湿度に関係なく検出回路に接続したときのジュール熱による発熱量が一定になるが、外気に触れる方のジュール熱は少なくなり、温度が低く検出される。すなわち、外気温度検出部のサーミスタ部材と温度補償部のサーミスタ部材との検出温度（抵抗値又は電圧値）の比較を行うことにより、外気の湿度を推定し、検出することが可能になる。
In this humidity sensor, chip-like thermistor members having terminal portions at both ends are housed in an insulating tube having terminal electrode members at both ends, so that the whole is compact and surface-mounted on a substrate Becomes easy. Further, the responsiveness is improved by downsizing, and it can be manufactured at a low cost by a member having a simple structure.
In this humidity sensor, the insulating tube of the temperature compensation unit seals the thermistor member together with an inert gas or in a vacuum, and the insulating tube of the outside air temperature detection unit is at least on the surface other than the mounting surface. Since the thermistor member of the outside air temperature detection unit touches the outside air containing moisture through the through hole, the Joule heat generated in the detection circuit changes depending on the humidity because it has a through hole. The thermistor member is not affected by the humidity of the outside air. For this reason, if detection is performed with the same current, the amount of heat generated by Joule heat when connected to the detection circuit is constant regardless of the ambient humidity, but the amount of Joule heat that is exposed to outside air is small. The temperature is detected low. That is, by comparing the detected temperature (resistance value or voltage value) between the thermistor member of the outside air temperature detection unit and the thermistor member of the temperature compensation unit, the humidity of the outside air can be estimated and detected.
第２の発明に係る湿度センサは、第１の発明において、前記端子電極部材が、前記絶縁性管との間に隙間を介して内側に突出して前記端子部に当接する凸状電極部を中心軸上に有していることを特徴とする。
すなわち、この湿度センサでは、端子電極部材が、絶縁性管との間に隙間を介して内側に突出して端子部に当接する凸状電極部を中心軸上に有しているので、凸状電極部と絶縁性管との間にも環状の空間が形成されて該空間によって絶縁性管との間の断熱性が向上し、絶縁性管からの熱伝導性を低減することができる。これにより、絶縁性管が受ける外気等の影響を低減することができる。なお、外気温度検出部と温度補償部とを上記のような同じ電極構造にすることで、湿度以外での熱伝導を同じにして素子周辺の湿度のみの影響を受けることができる。
The humidity sensor according to a second aspect of the present invention is the humidity sensor according to the first aspect, wherein the terminal electrode member is centered on the convex electrode portion that protrudes inward through a gap with the insulating tube and contacts the terminal portion. It is characterized by having on the shaft.
That is, in this humidity sensor, since the terminal electrode member has a convex electrode portion on the central axis that protrudes inward through a gap between the insulating tube and abuts on the terminal portion, the convex electrode An annular space is also formed between the portion and the insulating tube, and the heat insulation between the insulating tube and the insulating tube is improved by the space, and the thermal conductivity from the insulating tube can be reduced. Thereby, the influence of the outside air etc. which an insulating tube receives can be reduced. In addition, by using the same electrode structure as described above for the outside air temperature detection unit and the temperature compensation unit, the heat conduction other than the humidity can be made the same and affected by only the humidity around the element.
第３の発明に係る湿度センサは、第１又は第２の発明において、前記外気温度検出部と前記温度補償部とが、間に配した絶縁板又は絶縁シートを介して互いに接着され、全体としてチップ状とされていることを特徴とする。
すなわち、この湿度センサでは、外気温度検出部と温度補償部とが、間に配した絶縁板又は絶縁シートを介して互いに接着され、全体としてチップ状とされているので、外気温度検出部と温度補償部とがチップ状に一体化された状態で回路基板等に直接、実装することができ、さらに容易に表面実装が可能になる。
A humidity sensor according to a third invention is the humidity sensor according to the first or second invention, wherein the outside air temperature detection unit and the temperature compensation unit are bonded to each other via an insulating plate or an insulating sheet disposed therebetween. It is characterized by being in the shape of a chip.
That is, in this humidity sensor, the outside air temperature detector and the temperature compensator are bonded to each other via an insulating plate or an insulating sheet disposed between them, and are formed into a chip shape as a whole. It can be directly mounted on a circuit board or the like in a state where the compensation unit is integrated in a chip shape, and surface mounting becomes possible more easily.
第４の発明に係る湿度センサは、第１から第３の発明のいずれかにおいて、前記端子電極部材が、前記凸状電極部の基端側に設けられ前記絶縁性管の内径より外径が大きいフランジ部を有し、前記フランジ部が、前記絶縁性管の端面に接合されて外部に露出していることを特徴とする。
すなわち、この湿度センサでは、フランジ部が、絶縁性管の端面に接合されて外部に露出しているので、フランジ部が実装対象物である基板等に半田等によって直接接合されて実装可能であり、表面実装が容易になると共に基板等からフランジ部を介して効率的に熱を受けることができる。
The humidity sensor according to a fourth aspect of the present invention is the humidity sensor according to any one of the first to third aspects, wherein the terminal electrode member is provided on a proximal end side of the convex electrode portion and has an outer diameter that is larger than an inner diameter of the insulating tube. It has a large flange part, The said flange part is joined to the end surface of the said insulating pipe | tube, and is exposed outside, It is characterized by the above-mentioned.
That is, in this humidity sensor, the flange portion is bonded to the end face of the insulating tube and exposed to the outside, so that the flange portion can be directly bonded to the substrate or the like that is the mounting target by soldering or the like and can be mounted. In addition, surface mounting is facilitated and heat can be efficiently received from the substrate or the like through the flange portion.
第５の発明に係る湿度センサは、第１から第４の発明のいずれかにおいて、前記凸状電極部が、前記端子部が嵌め込み可能な凹部を先端に有していることを特徴とする。
すなわち、この湿度センサでは、凸状電極部が、端子部が嵌め込み可能な凹部を先端に有しているので、一対の凸状電極部の凹部内にサーミスタ素体の両端部が嵌まってサーミスタ素体が位置決めされる。これにより、絶縁性管内の中心軸上にサーミスタ素体を高精度に設置することができる。
The humidity sensor according to a fifth aspect of the present invention is characterized in that, in any one of the first to fourth aspects, the convex electrode portion has a concave portion into which the terminal portion can be fitted.
That is, in this humidity sensor, since the convex electrode portion has a concave portion at which the terminal portion can be fitted, the both ends of the thermistor body are fitted in the concave portions of the pair of convex electrode portions. The element body is positioned. Thereby, the thermistor body can be installed with high accuracy on the central axis in the insulating tube.
第６の発明に係る湿度センサは、第１から第５の発明のいずれかにおいて、前記凸状電極部が、前記端子部に向けて突出した柱部と、前記柱部の先端に設けられて前記端子部に当接する支持板部とを有し、前記柱部が、前記端子部よりも外径が小さいことを特徴とする。
すなわち、この湿度センサでは、柱部が、前記端子部よりも外径が小さいので、柱部と絶縁性管との間に広く環状の空間を得ることができると共に、柱部による支柱構造によって外からの熱の流入に対してジュール熱の放出がより小さくなって、端子部における外気との影響を抑制することができる。
A humidity sensor according to a sixth aspect of the present invention is the humidity sensor according to any one of the first to fifth aspects, wherein the convex electrode portion is provided at a column portion protruding toward the terminal portion and at a tip of the column portion. And a support plate portion that contacts the terminal portion, wherein the column portion has an outer diameter smaller than that of the terminal portion.
That is, in this humidity sensor, since the column portion has a smaller outer diameter than the terminal portion, a wide annular space can be obtained between the column portion and the insulating tube, and the column structure has a column structure. The release of Joule heat becomes smaller with respect to the inflow of heat from the terminal, and the influence of the outside air at the terminal portion can be suppressed.
第７の発明に係る湿度センサは、第１から第６の発明のいずれかにおいて、前記サーミスタ素体の露出面にガラス膜がコーティングされていることを特徴とする。
すなわち、この湿度センサでは、サーミスタ素体の露出面にガラス膜がコーティングされているので、サーミスタ素体が封止時の高熱や不活性ガスの影響を受けず、良好な封止状態が得られる。
A humidity sensor according to a seventh invention is characterized in that, in any one of the first to sixth inventions, a glass film is coated on an exposed surface of the thermistor body.
That is, in this humidity sensor, the exposed surface of the thermistor body is coated with a glass film, so that the thermistor body is not affected by high heat and inert gas during sealing, and a good sealed state can be obtained. .
第８の発明に係る湿度センサは、第７の発明において、前記絶縁性管が、セラミックスで形成され、前記端子電極部材と前記絶縁性管とがロウ付けされていることを特徴とする。
すなわち、この湿度センサでは、絶縁性管が、セラミックスで形成され、端子電極部材と絶縁性管とがロウ付けされているので、ガラスコーティングされたサーミスタ素体がロウ付け時の高熱の影響を受け難いと共に、高強度の絶縁性管と高接合強度の封止状態とによって高い信頼性を得ることができる。
A humidity sensor according to an eighth aspect is characterized in that, in the seventh aspect, the insulating tube is made of ceramics, and the terminal electrode member and the insulating tube are brazed.
That is, in this humidity sensor, since the insulating tube is made of ceramics and the terminal electrode member and the insulating tube are brazed, the glass-coated thermistor body is affected by high heat during brazing. It is difficult, and high reliability can be obtained by a high-strength insulating tube and a high bonding strength sealing state.
第９の発明に係る湿度センサは、第１から第８の発明のいずれかにおいて、前記サーミスタ素体が、立方晶スピネル相を主相とする結晶構造を有したセラミックス焼結体であることを特徴とする。
すなわち、この湿度センサでは、サーミスタ素体が、立方晶スピネル相を主相とする結晶構造を有したセラミックス焼結体であるので、異方性もなく、また不純物層がないので、セラミックス焼結体内で電気特性のバラツキが小さく、複数の湿度センサを用いる際に高精度な測定が可能になる。また、安定した結晶構造のため、耐環境に対する信頼性も高い。なお、セラミックス焼結体としては、立方晶スピネル相からなる単相の結晶構造が最も望ましい。
A humidity sensor according to a ninth aspect of the present invention is the humidity sensor according to any one of the first to eighth aspects, wherein the thermistor body is a ceramic sintered body having a crystal structure having a cubic spinel phase as a main phase. Features.
That is, in this humidity sensor, since the thermistor body is a ceramic sintered body having a crystal structure with a cubic spinel phase as the main phase, there is no anisotropy and there is no impurity layer. The variation in electrical characteristics in the body is small, and high-precision measurement is possible when using a plurality of humidity sensors. In addition, since it has a stable crystal structure, it is highly reliable against the environment. As the ceramic sintered body, a single-phase crystal structure composed of a cubic spinel phase is most desirable.
本発明によれば、以下の効果を奏する。
すなわち、本発明に係る湿度センサによれば、両端部に端子部を有するチップ状のサーミスタ部材が、両端部に端子電極部材を有する絶縁性管内に収納されているので、全体がコンパクトになると共に、基板上への表面実装が容易となる。
したがって、小型で高精度な湿度測定ができると共に、ＳＭＤタイプの湿度センサとして容易に表面実装ができ、ガラスエポキシ基板等への実装自動化も可能になり、高い量産性を有することができる。特に、本発明の湿度センサは、複写機やエアコンなど、湿度計測を必要とする機器の湿度計測用のセンサとして好適である。
The present invention has the following effects.
That is, according to the humidity sensor of the present invention, since the chip-like thermistor member having the terminal portions at both ends is housed in the insulating tube having the terminal electrode members at both ends, the whole is compact. The surface mounting on the substrate becomes easy.
Accordingly, the humidity measurement can be performed with a small size and high accuracy, and can be easily surface-mounted as an SMD type humidity sensor, and can be automatically mounted on a glass epoxy substrate or the like, so that high mass productivity can be achieved. In particular, the humidity sensor of the present invention is suitable as a sensor for measuring the humidity of devices that require humidity measurement, such as copying machines and air conditioners.
以下、本発明に係る湿度センサの第１実施形態を、図１から図３を参照しながら説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能又は認識容易な大きさとするために縮尺を適宜変更している。 Hereinafter, a first embodiment of a humidity sensor according to the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 3. In each drawing used for the following description, the scale is appropriately changed in order to make each member recognizable or easily recognizable.
本実施形態の湿度センサ１は、図１及び図２に示すように、互いに近接配置された外気温度検出部１０Ａと温度補償部１０Ｂとを備えた湿度センサであって、外気温度検出部１０Ａ及び温度補償部１０Ｂが、サーミスタ部材２と、該サーミスタ部材２の両端部に対向配置されて該両端部に接触する一対の端子電極部材３と、一対の端子電極部材３を両端に配してサーミスタ部材２を内部に収納する絶縁性管４Ａ，４Ｂとをそれぞれ備えている。
上記外気温度検出部１０Ａと温度補償部１０Ｂとは、回路基板等の基板Ｓ上に近接状態に表面実装される。
As shown in FIGS. 1 and 2, the humidity sensor 1 of the present embodiment is a humidity sensor including an outside air temperature detection unit 10 </ b> A and a temperature compensation unit 10 </ b> B arranged close to each other, and the outside air temperature detection unit 10 </ b> A and The temperature compensation unit 10B includes a thermistor member 2, a pair of terminal electrode members 3 that are disposed opposite to and in contact with both ends of the thermistor member 2, and a pair of terminal electrode members 3 disposed at both ends. Insulating tubes 4A and 4B that house the member 2 therein are provided.
The outside air temperature detection unit 10A and the temperature compensation unit 10B are surface-mounted on a substrate S such as a circuit board in close proximity.
上記サーミスタ部材２は、サーミスタ材料で形成されたサーミスタ素体５と、該サーミスタ素体５の両端部に形成された電極となる一対の端子部６とを有したチップ状とされている。すなわち、サーミスタ部材２は、チップサーミスタである。
上記サーミスタ素体５としては、ＮＴＣ型、ＰＴＣ型、ＣＴＲ型等のサーミスタ材料があるが、本実施形態では、例えばＮＴＣ型サーミスタを採用している。このサーミスタ材料は、Ｍｎ−Ｃｏ−Ｃｕ系材料、Ｍｎ−Ｃｏ−Ｆｅ系材料等のサーミスタ材料で形成されている。
The thermistor member 2 has a chip shape having a thermistor element body 5 made of a thermistor material and a pair of terminal portions 6 serving as electrodes formed at both ends of the thermistor element body 5. That is, the thermistor member 2 is a chip thermistor.
Examples of the thermistor body 5 include thermistor materials such as NTC type, PTC type, and CTR type. In this embodiment, for example, an NTC type thermistor is used. This thermistor material is formed of a thermistor material such as a Mn—Co—Cu-based material or a Mn—Co—Fe-based material.
特に、本実施形態では、サーミスタ素体５として、Ｍｎ，ＣｏおよびＦｅの金属酸化物を含有するセラミックス焼結体、すなわちＭｎ−Ｃｏ−Ｆｅ系材料で形成されたものを採用している。さらに、このセラミックス焼結体は、立方晶スピネル相を主相とする結晶構造を有していることが好ましい。特に、セラミックス焼結体としては、立方晶スピネル相からなる単相の結晶構造が最も望ましい。 In particular, in the present embodiment, as the thermistor element body 5, a ceramic sintered body containing metal oxides of Mn, Co, and Fe, that is, one formed of a Mn—Co—Fe-based material is employed. Furthermore, this ceramic sintered body preferably has a crystal structure having a cubic spinel phase as a main phase. In particular, as a ceramic sintered body, a single-phase crystal structure composed of a cubic spinel phase is most desirable.
上記温度補償部１０Ｂの絶縁性管４Ｂは、サーミスタ部材２を内部に不活性ガスで封止し、外気温度検出部１０Ａの絶縁性管４Ａは、実装面以外の面の少なくとも一つに貫通孔４ａを有している。本実施形態では、貫通孔４ａが絶縁性管４Ａの上面に形成されている。なお、側面に貫通孔４ａを形成しても構わない。 The insulating tube 4B of the temperature compensating unit 10B seals the thermistor member 2 with an inert gas inside, and the insulating tube 4A of the outside air temperature detecting unit 10A has a through hole in at least one of the surfaces other than the mounting surface. 4a. In the present embodiment, the through hole 4a is formed on the upper surface of the insulating tube 4A. The through hole 4a may be formed on the side surface.
また、サーミスタ素体５の露出面には、ガラス膜７がコーティングされている。
上記絶縁性管４Ａ，４Ｂは、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）等のセラミックスで角筒形状に形成され、端子電極部材３と絶縁性管４Ａ，４Ｂとがロウ付けされている。
上記不活性ガスは、例えばＨｅ、Ａｒ、Ｎｅ、Ｘｅ、ＳＦ６、ＣＯ２、Ｃ３Ｆ８、Ｃ２Ｆ６、ＣＦ４、Ｈ２及びこれらの混合ガス等である。
The exposed surface of the thermistor body 5 is coated with a glass film 7.
The insulating tubes 4A and 4B are formed in a rectangular tube shape with ceramics such as alumina (Al 2 O 3 ), and the terminal electrode member 3 and the insulating tubes 4A and 4B are brazed.
Examples of the inert gas include He, Ar, Ne, Xe, SF 6 , CO 2 , C 3 F 8 , C 2 F 6 , CF 4 , H 2, and a mixed gas thereof.
上記端子電極部材３は、高温加熱によるロウ付けで絶縁性管４Ａ，４Ｂの両端に封着されており、サーミスタ部材２の中心軸が絶縁性管４Ａ，４Ｂの中心軸に一致するように収納される。
この端子電極部材３は、例えば、ニッケル（Ｎｉ）、コバルト（Ｃｏ）、鉄（Ｆｅ）を備える合金であるコバール（登録商標）、又は、ニッケル（Ｎｉ）、鉄（Ｆｅ）を備える４２合金等で構成されている。また、この端子電極部材３は、内側に突出して絶縁性管４Ａ，４Ｂ内に嵌め込まれる突出部３ａを有しており、突出部３ａがサーミスタ部材２の端子部６に当接している。
The terminal electrode member 3 is sealed at both ends of the insulating tubes 4A and 4B by brazing by high-temperature heating, and is stored so that the central axis of the thermistor member 2 coincides with the central axis of the insulating tubes 4A and 4B. Is done.
This terminal electrode member 3 is, for example, Kovar (registered trademark), which is an alloy including nickel (Ni), cobalt (Co), iron (Fe), or 42 alloy including nickel (Ni), iron (Fe). It consists of The terminal electrode member 3 has a protruding portion 3 a that protrudes inward and is fitted into the insulating tubes 4 </ b> A and 4 </ b> B, and the protruding portion 3 a is in contact with the terminal portion 6 of the thermistor member 2.
また、この端子電極部材３は、絶縁性管４Ａ，４Ｂとの間に隙間を介して内側に突出して端子部６に当接する凸状電極部３ａを中心軸上に有していると共に、凸状電極部３ａの基端側に設けられ絶縁性管４Ａ，４Ｂの内径より外径が大きいフランジ部３ｂを有している。すなわち、上記凸状電極部３ａは、絶縁性管４Ａ，４Ｂの内径よりも小径に形成されている。
また、上記フランジ部３ｂは、絶縁性管４Ａ，４Ｂの端面に接合されて外部に露出している。すなわち、本実施形態の湿度センサ１を実装対象物である回路基板等に実装する際、絶縁性管４Ａ，４Ｂの端部から外部に露出している一対のフランジ部３ｂを半田等の導電性接着剤で回路基板の配線等に接合することで、表面実装することができる。
The terminal electrode member 3 has a convex electrode portion 3a on the central axis that protrudes inward through a gap between the insulating tubes 4A and 4B and abuts against the terminal portion 6. The flange portion 3b is provided on the base end side of the electrode portion 3a and has an outer diameter larger than the inner diameter of the insulating tubes 4A and 4B. That is, the convex electrode portion 3a is formed to have a smaller diameter than the inner diameters of the insulating tubes 4A and 4B.
The flange portion 3b is joined to the end faces of the insulating tubes 4A and 4B and exposed to the outside. That is, when the humidity sensor 1 of the present embodiment is mounted on a circuit board or the like that is an object to be mounted, the pair of flange portions 3b exposed to the outside from the end portions of the insulating tubes 4A and 4B are electrically conductive such as solder. It can be surface-mounted by bonding to the wiring of the circuit board with an adhesive.
このように本実施形態の湿度センサ１では、両端部に端子部６を有するチップ状のサーミスタ部材２が、両端部に端子電極部材３を有する絶縁性管４Ａ，４Ｂ内に収納されているので、全体がコンパクトになると共に、基板Ｓ上への表面実装が容易となる。また、小型化により応答性も向上すると共に、シンプルな構造の部材により低コストで作製可能である。 Thus, in the humidity sensor 1 of the present embodiment, the chip-like thermistor member 2 having the terminal portions 6 at both ends is housed in the insulating tubes 4A and 4B having the terminal electrode members 3 at both ends. As a result, the whole becomes compact and surface mounting on the substrate S becomes easy. Further, the responsiveness is improved by downsizing, and it can be manufactured at a low cost by a member having a simple structure.
なお、この湿度センサ１では、温度補償部１０Ｂの絶縁性管４Ｂが、サーミスタ部材２を内部に不活性ガスと共に封止し、外気温度検出部１０Ａの絶縁性管４Ａが、実装面以外の面の少なくとも一つに貫通４ａ孔を有しているので、外気温度検出部１０Ａのサーミスタ部材２が貫通孔４ａを介して水分を含む外気に触れて検出回路に生じるジュール熱が湿度により変化するのに対し、温度補償部１０Ｂのサーミスタ部材２は外気の湿度の影響を受けない。このため同じ電流で検出を行うと、外気に触れない方は、周辺の湿度に関係なく検出回路に接続したときのジュール熱による発熱量が一定になるが、外気に触れる方のジュール熱は少なくなり、温度が低く検出される。 In this humidity sensor 1, the insulating tube 4B of the temperature compensation unit 10B seals the thermistor member 2 together with an inert gas, and the insulating tube 4A of the outside air temperature detection unit 10A is a surface other than the mounting surface. Since the thermistor member 2 of the outside air temperature detection unit 10A touches the outside air containing moisture through the through hole 4a, the Joule heat generated in the detection circuit varies depending on the humidity. On the other hand, the thermistor member 2 of the temperature compensation unit 10B is not affected by the humidity of the outside air. For this reason, if detection is performed with the same current, the amount of heat generated by Joule heat when connected to the detection circuit is constant regardless of the ambient humidity, but the amount of Joule heat that is exposed to outside air is small. The temperature is detected low.
すなわち、外気温度検出部１０Ａのサーミスタ部材２と温度補償部１０Ｂのサーミスタ部材２との検出温度（抵抗値又は電圧値）の比較を行うことにより、外気の湿度を推定し、検出することが可能になる。例えば、図３に示すように、乾燥空気（不活性ガス）中における温度補償部１０Ｂのサーミスタ部材２は、外気の湿度の影響を受けないのに対し、外気に暴露されて湿度の影響を受ける外気温度検出部１０Ａのサーミスタ部材２では、温度補償部１０Ｂのサーミスタ部材２と同じ電流となるように制御すると、より大きな電力が必要となる。 That is, by comparing the detected temperature (resistance value or voltage value) between the thermistor member 2 of the outside air temperature detection unit 10A and the thermistor member 2 of the temperature compensation unit 10B, the humidity of the outside air can be estimated and detected. become. For example, as shown in FIG. 3, the thermistor member 2 of the temperature compensation unit 10B in dry air (inert gas) is not affected by the humidity of the outside air, but is exposed to the outside air and affected by the humidity. When the thermistor member 2 of the outside air temperature detection unit 10A is controlled to have the same current as that of the thermistor member 2 of the temperature compensation unit 10B, a larger electric power is required.
したがって、外気温度検出部１０Ａのサーミスタ部材２と温度補償部１０Ｂのサーミスタ部材２とに互いに同じ一定の電流Ｉを印加して、そのときの発熱状態からセンサ周辺の温度と湿度とを推定することが可能である。すなわち、密封されている温度補償部１０Ｂのサーミスタ部材２側を湿度ゼロの基準として、外気に暴露された外気温度検出部１０Ａのサーミスタ部材２から湿度を、図３に示すように、予め求めておいた電流Ｉを一定にした時の電圧と湿度との関係から推定することができる。 Therefore, the same constant current I is applied to the thermistor member 2 of the outside air temperature detection unit 10A and the thermistor member 2 of the temperature compensation unit 10B, and the temperature and humidity around the sensor are estimated from the heat generation state at that time. Is possible. That is, the humidity is determined in advance from the thermistor member 2 of the outside air temperature detection unit 10A exposed to the outside air as shown in FIG. 3, with the thermistor member 2 side of the sealed temperature compensation unit 10B as a reference of zero humidity. It can be estimated from the relationship between voltage and humidity when the placed current I is constant.
また、端子電極部材３が、絶縁性管４Ａ，４Ｂとの間に隙間を介して内側に突出して端子部６に当接する凸状電極部３ａを中心軸上に有しているので、凸状電極部３ａと絶縁性管４Ａ，４Ｂとの間にも環状の空間が形成されて該空間によって絶縁性管４Ａ，４Ｂとの間の断熱性が向上し、絶縁性管４Ａ，４Ｂからの熱伝導性を低減することができる。これにより、絶縁性管４Ａ，４Ｂが受ける外気等の影響を低減することができる。なお、外気温度検出部１０Ａと温度補償部１０Ｂとを上記のような同じ電極構造にすることで、湿度以外での熱伝導を同じにして素子周辺の湿度のみの影響を受けることができる。 Moreover, since the terminal electrode member 3 has the convex electrode part 3a which protrudes inward through a gap between the insulating tubes 4A and 4B and contacts the terminal part 6 on the central axis, the convex shape An annular space is also formed between the electrode portion 3a and the insulating tubes 4A and 4B, and the heat insulation between the insulating tubes 4A and 4B is improved by the space, and heat from the insulating tubes 4A and 4B is improved. Conductivity can be reduced. Thereby, the influence of the outside air etc. which the insulating tubes 4A and 4B receive can be reduced. In addition, by making the outside air temperature detection unit 10A and the temperature compensation unit 10B have the same electrode structure as described above, the heat conduction other than the humidity can be made the same and affected by only the humidity around the element.
また、サーミスタ素体５の露出面にガラス膜７がコーティングされているので、サーミスタ素体５が封止時の高熱や不活性ガスの影響を受けず、良好な封止状態が得られる。
さらに、絶縁性管４Ａ，４Ｂが、セラミックスで形成され、端子電極部材３と絶縁性管４Ａ，４Ｂとがロウ付けされているので、ガラスコーティングされたサーミスタ素体５がロウ付け時の高熱の影響を受け難いと共に、高強度の絶縁性管４Ａ，４Ｂと高接合強度の封止状態とによって高い信頼性を得ることができる。
Moreover, since the glass film 7 is coated on the exposed surface of the thermistor element body 5, the thermistor element body 5 is not affected by high heat or inert gas during sealing, and a good sealing state is obtained.
Furthermore, since the insulating tubes 4A and 4B are made of ceramics and the terminal electrode member 3 and the insulating tubes 4A and 4B are brazed, the glass-coated thermistor element 5 is heated at the time of brazing. In addition to being hardly affected, high reliability can be obtained by the high-strength insulating tubes 4A and 4B and the sealed state of high bonding strength.
また、サーミスタ素体５が、立方晶スピネル相を主相とする結晶構造を有したセラミックス焼結体であるので、異方性もなく、また不純物層がないので、セラミックス焼結体内で電気特性のバラツキが小さく、外気温度検出部１０Ａのサーミスタ部材２と温度補償部１０Ｂのサーミスタ部材２とで高精度な測定が可能になる。また、安定した結晶構造のため、耐環境に対する信頼性も高い。 Further, since the thermistor body 5 is a ceramic sintered body having a crystal structure having a cubic spinel phase as a main phase, there is no anisotropy and there is no impurity layer. And the thermistor member 2 of the outside air temperature detector 10A and the thermistor member 2 of the temperature compensator 10B can measure with high accuracy. In addition, since it has a stable crystal structure, it is highly reliable against the environment.
次に、本発明に係る湿度センサの第２実施形態について、図４を参照して以下に説明する。なお、以下の実施形態の説明において、上記実施形態において説明した同一の構成要素には同一の符号を付し、その説明は省略する。 Next, a second embodiment of the humidity sensor according to the present invention will be described below with reference to FIG. Note that, in the following description of the embodiment, the same components described in the above embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.
第２実施形態と第１実施形態との異なる点は、第１実施形態では、外気温度検出部１０Ａと温度補償部１０Ｂとが別体に形成されて基板Ｓ上に僅かな隙間を介して近接状態に表面実装されているのに対し、第２実施形態の湿度センサ２１では、図４に示すように、外気温度検出部１０Ａと温度補償部１０Ｂとが、間に配した絶縁板２２を介して互いに接着され、全体としてチップ状とされている点である。 The difference between the second embodiment and the first embodiment is that in the first embodiment, the outside air temperature detection unit 10A and the temperature compensation unit 10B are formed separately and are close to each other on the substrate S through a slight gap. On the other hand, in the humidity sensor 21 of the second embodiment, as shown in FIG. 4, the outside air temperature detection unit 10 </ b> A and the temperature compensation unit 10 </ b> B are interposed via an insulating plate 22 interposed therebetween. Are bonded together to form a chip as a whole.
すなわち、第２実施形態では、アルミナのセラミックス板等である絶縁板２２の両面に接着剤によって外気温度検出部１０Ａと温度補償部１０Ｂとを接着し、一体化している。
このように第２実施形態の湿度センサ２１では、外気温度検出部１０Ａと温度補償部１０Ｂとが、間に配した絶縁板２２を介して互いに接着され、全体としてチップ状とされているので、外気温度検出部１０Ａと温度補償部１０Ｂとがチップ状に一体化された状態で回路基板等の基板Ｓに直接、実装することができ、さらに容易に表面実装が可能になる。
That is, in the second embodiment, the outside air temperature detection unit 10A and the temperature compensation unit 10B are bonded and integrated on both surfaces of an insulating plate 22 such as an alumina ceramic plate by an adhesive.
As described above, in the humidity sensor 21 of the second embodiment, the outside air temperature detection unit 10A and the temperature compensation unit 10B are bonded to each other via the insulating plate 22 arranged therebetween, and are formed into a chip shape as a whole. The outside air temperature detection unit 10A and the temperature compensation unit 10B can be directly mounted on a substrate S such as a circuit board in a state where the outside air temperature detection unit 10A and the temperature compensation unit 10B are integrated in a chip shape, and surface mounting becomes possible more easily.
次に、第３実施形態と第１実施形態との異なる点は、第１実施形態では、凸状電極部３ａの先端面が平面であるのに対し、第３実施形態の湿度センサでは、図５に示すように、凸状電極部２３ａが、端子部６が嵌め込み可能な凹部２３ｂを先端に有している点である。
すなわち、第３実施形態では、端子部６の形状に対応した断面矩形状で軸方向から見た形状が略正方形状の凹部２３ｂが凸状電極部２３ａの先端に形成されており、この凹部２３ｂに端子部６が嵌め込まれた状態でサーミスタ素体５が絶縁性管４Ａ，４Ｂ内に組み込まれている。
Next, the difference between the third embodiment and the first embodiment is that the tip surface of the convex electrode portion 3a is flat in the first embodiment, whereas the humidity sensor of the third embodiment is different from FIG. As shown in FIG. 5, the convex electrode part 23a has a concave part 23b into which the terminal part 6 can be fitted at the tip.
That is, in the third embodiment, a concave portion 23b having a rectangular cross section corresponding to the shape of the terminal portion 6 and having a substantially square shape when viewed from the axial direction is formed at the tip of the convex electrode portion 23a. The thermistor body 5 is incorporated in the insulating tubes 4A and 4B in a state where the terminal portion 6 is fitted into the insulating tube 4A.
したがって、第３実施形態の湿度センサでは、凸状電極部２３ａが、端子部６が嵌め込み可能な凹部２３ｂを先端に有しているので、一対の凸状電極部２３ａの凹部２３ｂ内にサーミスタ素体５の両端部が嵌まってサーミスタ素体５が位置決めされる。これにより、絶縁性管４Ａ，４Ｂ内の中心軸上にサーミスタ素体５を高精度に設置することができる。 Therefore, in the humidity sensor of the third embodiment, the convex electrode portion 23a has the concave portion 23b into which the terminal portion 6 can be fitted, and the thermistor element is disposed in the concave portion 23b of the pair of convex electrode portions 23a. The thermistor body 5 is positioned by fitting both ends of the body 5. Thereby, the thermistor element | base_body 5 can be installed with high precision on the center axis | shaft in insulating tube 4A, 4B.
また、第４実施形態と第３実施形態との異なる点は、第４実施形態では、断面矩形状の凹部２３ｂが凸状電極部２３ａの先端に形成されているのに対し、第４実施形態の湿度センサでは、図６に示すように、断面円弧状の凹部３３ｂが凸状電極部３３ａの先端に形成されている点である。すなわち、第４実施形態では、凸状電極部３３ａの先端面が凹曲面状になっており、端子部６を凹部３３ｂの曲面で挟むようにして嵌めることで位置決めを行う。このように第４実施形態の湿度センサでも、第３実施形態と同様に、サーミスタ素体５を位置決めして絶縁性管４Ａ，４Ｂ内に支持することができる。 Further, the difference between the fourth embodiment and the third embodiment is that in the fourth embodiment, the concave section 23b having a rectangular cross section is formed at the tip of the convex electrode section 23a, whereas the fourth embodiment is different. In this humidity sensor, as shown in FIG. 6, a concave portion 33b having an arcuate cross section is formed at the tip of the convex electrode portion 33a. That is, in 4th Embodiment, the front end surface of the convex electrode part 33a is a concave curved surface, and positioning is performed by fitting so that the terminal part 6 may be pinched | interposed by the curved surface of the recessed part 33b. As described above, also in the humidity sensor of the fourth embodiment, the thermistor element body 5 can be positioned and supported in the insulating tubes 4A and 4B as in the third embodiment.
さらに、第５実施形態と第１実施形態との異なる点は、第１実施形態では、凸状電極部３ａが直方体形状であるのに対し、第５実施形態の湿度センサでは、図７に示すように、フランジ部３ｂから端子部６に向けて突出した柱部４３ｃと、柱部４３ｃの先端に設けられて端子部６に当接する支持板部４３ｂとを有し、柱部４３ｃが、端子部６よりも外径が小さい点である。
すなわち、第５実施形態では、略正方形状の支持板部４３ｂの中央に柱部４３ｃが設けられ、凸状電極部４３ａが断面Ｔ字状とされている。上記支持板部４３ｂは、端子部６の端面と略同じ形状の平面を有し、上記柱部４３ｃは、軸方向に直交する断面積が端子部６の端面よりも小さい面積に設定されている。
Further, the difference between the fifth embodiment and the first embodiment is that, in the first embodiment, the convex electrode portion 3a has a rectangular parallelepiped shape, whereas the humidity sensor of the fifth embodiment is shown in FIG. As described above, the column part 43c that protrudes from the flange part 3b toward the terminal part 6 and the support plate part 43b that is provided at the tip of the column part 43c and contacts the terminal part 6 are provided. The outer diameter is smaller than that of the portion 6.
That is, in the fifth embodiment, the column part 43c is provided in the center of the substantially square support plate part 43b, and the convex electrode part 43a has a T-shaped cross section. The support plate portion 43 b has a plane having substantially the same shape as the end surface of the terminal portion 6, and the column portion 43 c is set to have an area where the cross-sectional area orthogonal to the axial direction is smaller than the end surface of the terminal portion 6. .
したがって、第５実施形態の湿度センサでは、柱部４３ｃが、端子部６よりも外径が小さいので、柱部４３ｃと絶縁性管４Ａ，４Ｂとの間に広く環状の空間を得ることができると共に、柱部４３ｃによる支柱構造によって外からの熱の流入に対してジュール熱の放出がより小さくなって、端子部における外気との影響を抑制することができる。 Therefore, in the humidity sensor of the fifth embodiment, since the column portion 43c has a smaller outer diameter than the terminal portion 6, a wide annular space can be obtained between the column portion 43c and the insulating tubes 4A and 4B. At the same time, the post structure by the pillar portion 43c makes it possible to reduce the release of Joule heat with respect to the inflow of heat from the outside, thereby suppressing the influence of outside air at the terminal portion.
温度を測定する際、図８の（ａ）に示すように、外からの熱の流入（図中の矢印Ａ）とサーミスタ素体５で発生したジュール熱の放出（図中の矢印Ｂ１）とで平衡状態となる。このとき、第１実施形態では、端子部６よりも外径の大きい凸状電極部３ａでサーミスタ素体５を支持しているが、ジュール熱の放出（図中の矢印Ｂ１）が比較的大きくなり、端子部６における外気との影響が大きくなってしまう。これに対して、第５実施形態では、図８の（ｂ）に示すように、細い柱部４３ｃによってジュール熱の放出（図中の矢印Ｂ２）を比較的小さくすることができ、端子部６における外気との影響を抑制することができる。 When measuring the temperature, as shown in FIG. 8A, the inflow of heat from the outside (arrow A in the figure) and the release of Joule heat generated in the thermistor body 5 (arrow B1 in the figure) At equilibrium. At this time, in the first embodiment, the thermistor element body 5 is supported by the convex electrode portion 3a having a larger outer diameter than the terminal portion 6, but the release of Joule heat (arrow B1 in the figure) is relatively large. Thus, the influence of the outside air at the terminal portion 6 is increased. On the other hand, in the fifth embodiment, as shown in FIG. 8B, the release of Joule heat (arrow B2 in the figure) can be made relatively small by the thin column part 43c, and the terminal part 6 The influence with the outside air in can be suppressed.
なお、本発明の技術範囲は上記各実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。 The technical scope of the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.
例えば、上記各実施形態では、絶縁性管がセラミックスで形成され、端子電極部材とロウ付けされているが、端子電極部材と溶接により接合されていても構わない。また、絶縁性管が樹脂で形成されており、この樹脂製の絶縁性管と端子電極部材とが接着剤で接着されているものでも構わない。
また、上記各実施形態では、温度補償部のサーミスタ部材を絶縁性管内に不活性ガスと共に封止しているが、絶縁性管内に真空中でサーミスタ部材を封止しても構わない。また、温度補償部のサーミスタ部材を絶縁性管内に乾燥空気と共に封止しても構わない。
さらに、上記第２実施形態では、絶縁板を介して外気温度検出部と温度補償部とを接着しているが、両面に接着剤がついた絶縁シートを介して外気温度検出部と温度補償部とを接着しても構わない。
For example, in each of the above embodiments, the insulating tube is made of ceramics and brazed to the terminal electrode member, but may be joined to the terminal electrode member by welding. Moreover, the insulating tube may be formed of resin, and the insulating tube made of resin and the terminal electrode member may be bonded with an adhesive.
Further, in each of the above embodiments, the thermistor member of the temperature compensation unit is sealed in the insulating tube together with the inert gas. However, the thermistor member may be sealed in the insulating tube in a vacuum. Further, the thermistor member of the temperature compensation unit may be sealed together with dry air in the insulating tube.
Further, in the second embodiment, the outside air temperature detecting unit and the temperature compensating unit are bonded via the insulating plate, but the outside air temperature detecting unit and the temperature compensating unit are interposed via the insulating sheet with the adhesive on both sides. And may be bonded.
１，２１…湿度センサ、２…サーミスタ部材、３，２３，３３，４３…端子電極部材、２３ａ，３３ａ，４３ａ…凸状電極部、３ｂ…フランジ部、４Ａ，４Ｂ…絶縁性管、４ａ…貫通孔、５…サーミスタ素体、６…端子部、７…ガラス膜、１０Ａ…外気温度検出部、１０Ｂ…温度補償部、２２…絶縁板、２３ｂ，３３ｂ…凹部、４３ｂ…支持板部、４３ｃ…柱部、Ｓ…基板 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,21 ... Humidity sensor, 2 ... Thermistor member, 3, 23, 33, 43 ... Terminal electrode member, 23a, 33a, 43a ... Convex electrode part, 3b ... Flange part, 4A, 4B ... Insulating tube, 4a ... Through hole, 5 ... Thermistor element, 6 ... Terminal part, 7 ... Glass film, 10A ... Outside air temperature detection part, 10B ... Temperature compensation part, 22 ... Insulating plate, 23b, 33b ... Recess, 43b ... Support plate part, 43c ... Column part, S ... Substrate
Claims (9)
前記外気温度検出部及び前記温度補償部が、サーミスタ部材と、該サーミスタ部材の両端部に対向配置されて該両端部に接触する一対の端子電極部材と、前記一対の端子電極部材を両端に配して前記サーミスタ部材を内部に収納する絶縁性管とをそれぞれ備え、
前記サーミスタ部材が、サーミスタ材料で形成されたサーミスタ素体と、該サーミスタ素体の両端部に形成された電極となる一対の端子部とを有したチップ状であり、
前記温度補償部の前記絶縁性管が、前記サーミスタ部材を内部に不活性ガスと共に又は真空中で封止し、
前記外気温度検出部の前記絶縁性管が、実装面以外の面の少なくとも一つに貫通孔を有していることを特徴とする湿度センサ。 A humidity sensor including an outside air temperature detection unit and a temperature compensation unit arranged in close proximity to each other,
The outside air temperature detection unit and the temperature compensation unit are provided with a thermistor member, a pair of terminal electrode members disposed opposite to both ends of the thermistor member and in contact with the both ends, and the pair of terminal electrode members disposed at both ends. And an insulating tube for accommodating the thermistor member therein,
The thermistor member is a chip having a thermistor body formed of a thermistor material, and a pair of terminal portions serving as electrodes formed at both ends of the thermistor body,
The insulating tube of the temperature compensation unit seals the thermistor member together with an inert gas or in a vacuum,
The humidity sensor, wherein the insulating tube of the outside air temperature detecting unit has a through hole in at least one of surfaces other than the mounting surface.
前記端子電極部材が、前記絶縁性管との間に隙間を介して内側に突出して前記端子部に当接する凸状電極部を中心軸上に有していることを特徴とする湿度センサ。 The humidity sensor according to claim 1,
The humidity sensor characterized in that the terminal electrode member has a convex electrode part on the central axis that protrudes inward through a gap between the terminal electrode member and the insulating tube and contacts the terminal part.
前記外気温度検出部と前記温度補償部とが、間に配した絶縁板又は絶縁シートを介して互いに接着され、全体としてチップ状とされていることを特徴とする湿度センサ。 The humidity sensor according to claim 1 or 2,
The humidity sensor characterized in that the outside air temperature detecting unit and the temperature compensating unit are bonded to each other through an insulating plate or an insulating sheet disposed therebetween to form a chip shape as a whole.
前記端子電極部材が、前記凸状電極部の基端側に設けられ前記絶縁性管の内径より外径が大きいフランジ部を有し、
前記フランジ部が、前記絶縁性管の端面に接合されて外部に露出していることを特徴とする湿度センサ。 The humidity sensor according to any one of claims 1 to 3,
The terminal electrode member has a flange portion provided on a proximal end side of the convex electrode portion and having a larger outer diameter than an inner diameter of the insulating tube;
The humidity sensor, wherein the flange portion is joined to an end face of the insulating tube and exposed to the outside.
前記凸状電極部が、前記端子部が嵌め込み可能な凹部を先端に有していることを特徴とする湿度センサ。 In the humidity sensor according to any one of claims 1 to 4,
The humidity sensor characterized in that the convex electrode part has a concave part into which the terminal part can be fitted.
前記凸状電極部が、前記端子部に向けて突出した柱部と、
前記柱部の先端に設けられて前記端子部に当接する支持板部とを有し、
前記柱部が、前記端子部よりも外径が小さいことを特徴とする湿度センサ。 In the humidity sensor according to any one of claims 1 to 5,
The convex electrode portion, a column portion protruding toward the terminal portion,
A support plate provided at the tip of the column and abutting against the terminal,
The humidity sensor, wherein the column part has an outer diameter smaller than that of the terminal part.
前記サーミスタ素体の露出面にガラス膜がコーティングされていることを特徴とする湿度センサ。 The humidity sensor according to any one of claims 1 to 6,
A humidity sensor, wherein an exposed surface of the thermistor body is coated with a glass film.
前記絶縁性管が、セラミックスで形成され、
前記端子電極部材と前記絶縁性管とがロウ付けされていることを特徴とする湿度センサ。 The humidity sensor according to claim 7,
The insulating tube is formed of ceramics;
The humidity sensor, wherein the terminal electrode member and the insulating tube are brazed.
前記サーミスタ素体が、立方晶スピネル相を主相とする結晶構造を有したセラミックス焼結体であることを特徴とする湿度センサ。 In the humidity sensor according to any one of claims 1 to 8,
The humidity sensor, wherein the thermistor body is a ceramic sintered body having a crystal structure with a cubic spinel phase as a main phase.
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| CN107505062A (en) * | 2017-08-21 | 2017-12-22 | 绵阳鑫阳知识产权运营有限公司 | The temperature sensor of anti-interference |
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2013
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