JP2014188747A - 延伸フィルムの製造方法及びフィルム延伸設備 - Google Patents

Abstract

【課題】フィルムに擦り傷や波板状のシワを発生させることなく、搬送方向に延伸する。
【解決手段】低速ローラ対４１と高速ローラ対４２とのローラ周速差により、フィルム１５を搬送方向に延伸する。延伸前のフィルム１５を予熱室２０で加熱風３６の吹き出しによりフィルム１５を予熱する。従来の予熱ローラによるフィルムへの熱伝導による直接加熱に比べて、加熱風３６によりフィルム１５を加熱するため、熱膨張による波板状のシワの発生が無くなる。シワの発生が無くなるため、擦り傷の発生が抑えられる。
【選択図】図１

Description

本発明は、一対のローラの周速差によりフィルムを搬送方向に延伸する延伸フィルムの製造方法及びフィルム延伸設備に関する。

一般に、熱可塑性樹脂フィルムの製造は大きく分けて、溶液製膜法と溶融製膜法とに分類される。溶液製膜法では、熱可塑性樹脂が溶剤に溶解されたドープをダイから支持体、例えば冷却ドラムや乾燥バンド上に流延した後、剥がしてフィルムとする。また、溶融製膜法は、熱可塑性樹脂を押出機で溶融した後、ダイから支持体、例えば冷却ドラム上に押し出した後、剥がしてフィルムにする。

これらの方法により製膜された熱可塑性フィルム、例えばセルロースアシレートフィルムは、通常、縦方向（搬送方向）、横方向（幅方向）に延伸することによって、面内レターデーション（Ｒｅ）、厚み方向のレターデーション（Ｒｔｈ）を発現させる。これにより、液晶表示装置の位相差フィルムとして使用する際に、視野角拡大を図ることができる（例えば特許文献１、特許文献２参照）。

熱可塑性フィルムを縦方向に延伸する場合には、複数本の予熱ローラで熱可塑性フィルムを予熱した後に、一対の延伸ローラの周速差により縦方向に延伸加工する。この場合に、複数本の予熱ローラにフィルムが接触して、フィルム表面に擦り傷が発生したり、シワが発生したりする問題があった。このため、特許文献３の延伸フィルムの製造方法では、複数本の予熱ローラと上流側の延伸ローラの周速度を、各ローラへのフィルム接触前後での温度変化に基づき、下流に向かうに従い次第に増速させて、各予熱ローラ間に適度な張力を付与して擦り傷やシワの発生を抑えている。具体的には、予熱ローラにフィルムが接触する前後の温度差ΔＴに一定の係数を乗じて、上流側の予熱ローラに対する下流側の予熱ローラの増速分を求めている。また、それぞれの予熱ローラにフィルムが接触する時間を０．５秒以上１０秒以下の範囲にしている。

特表平６−５０１０４０号公報 特開２００１−４２１３０号公報 特開２００８−２１３３３２号公報

ところで、最近の液晶表示装置は、軽量、薄型、高品質が求められるようになり、使用されるフィルムも、例えば２５μｍ〜１００μｍ程度の薄く高品質なものが求められている。このような薄型フィルムを縦延伸して製造する場合には、特許文献３のような予熱ローラによる予熱方法でも限界があり、フィルム表面に擦り傷が発生したり、シワが発生したりすることがあり、改善が求められていた。

本発明はこのような課題を解決するものであり、フィルムの薄手化に対応可能であり、フィルムに擦り傷やシワを発生させることのない延伸フィルムの製造方法及びフィルム延伸設備を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明の延伸フィルムの製造方法は、ガラス転移温度がＴｇである帯状の熱可塑性樹脂からなるフィルムを搬送方向に延伸して延伸フィルムを製造する方法であり、予熱工程と延伸工程を含む。延伸工程は、搬送方向に離間して配置される低速ローラ及び高速ローラを有し、両者の周速差によりフィルムを搬送方向に延伸する。低速ローラは、フィルムに接触してフィルムをＴｇ℃以上（Ｔｇ＋２０）℃以下の延伸温度Ｔｅに加熱する。予熱工程は延伸工程の前に行われる。この予熱工程は、予熱室内に加熱風を供給してフィルムを（Ｔｅ−４０）℃以上（Ｔｇ−５）℃以下に予熱する。

高速ローラは、低速ローラを経たフィルムを、（Ｔｇ−１００）℃以上（Ｔｇ−５）℃以下に冷却することが好ましい。また、予熱室内でのフィルムのテンションは２０Ｎ／ｍ以上２００Ｎ／ｍ以下であることが好ましい。

予熱室は、搬送方向に複数の予熱域に区画され、各区画された予熱域の上流側から下流側に向けて予熱温度が上げられ、隣接する下流側予熱域と上流側予熱域の温度差は５０℃以下であることが好ましい。

予熱工程は、フィルムの搬送方向を変更しパスを長くするための複数の搬送方向変更部材にフィルムが掛け渡されていることが好ましい。また、搬送方向変更部材はフリーローラまたはターンバーであることが好ましい。

搬送方向変更部材は、搬送方向に複数のグループに区画される。そして、グループ毎の搬送方向変更部材は、上流側から下流側に向けて温度が次第に上げられることが好ましい。

隣接する下流側グループと上流側グループの搬送方向変更部材の温度差は５０℃以下であることが好ましい。

上記目的を達成するために、本発明のフィルム延伸設備は、ガラス転移温度がＴｇである帯状の熱可塑性樹脂からなるフィルムを搬送方向に延伸して延伸フィルムを製造する。フィルム延伸設備は、予熱部及び縦延伸部を備える。縦延伸部は、搬送方向に離間して配置される低速ローラ及び高速ローラを有し、両者の周速差によりフィルムを搬送方向に延伸する。低速ローラは、フィルムに接触してフィルムをＴｇ℃以上（Ｔｇ＋２０）℃以下の延伸温度Ｔｅに加熱する。予熱部は縦延伸部の前に配される。この予熱部は、予熱室内に加熱風を供給してフィルムを（Ｔｅ−４０）℃以上（Ｔｇ−５）℃以下に予熱する。

本発明によれば、延伸工程の前に、フィルムのガラス転移温度をＴｇとし、フィルムの延伸温度をＴｅ（ＴｅはＴｇ℃以上（Ｔｇ＋２０）℃以下）とした際に、予熱室内に加熱風を供給してフィルムを（Ｔｅ−４０）℃以上（Ｔｇ−５）℃以下に予熱することにより、従来のように予熱ローラに接触させてフィルムを加熱するものと異なり、予熱ローラ上でのフィルム膨張に起因する波板状のシワの発生が無くなる。

本発明のフィルム延伸設備の一例の概要を示す側面図である。 予熱室を複数に区画した別実施形態のフィルム延伸設備の一例の概要を示す側面図である。 予熱室内のフリーローラを温度調節する別実施形態の予熱室の概要を示す側面図である。 ターンバーを用いた別実施形態の予熱室の概要を示す側面図である。 延伸温度Ｔｅと予熱温度Ｔｐとの適正範囲を示すグラフである。

図１に示すように、本発明のフィルム延伸設備１０は予熱部１１、縦延伸部１２を備える。フィルム延伸設備１０には、入口側に前工程装置１３が接続され、出口側に後工程装置１４が接続される。前工程装置１３としては、図示しない製膜設備、フィルム送出装置などがある。製膜設備としては周知の溶液製膜設備、溶融製膜設備などが用いられる。フィルム送出装置は、製膜設備からフィルム１５が直接送られる場合と異なり、製膜後にロール状に巻き取られたロールフィルムからフィルム１５を引き出して、フィルム１５を供給する。後工程装置１４として、縦延伸の後に、横延伸する場合に用いられるクリップテンタや、フィルム巻取り装置などがある。縦延伸に続いて横延伸を連続して行わない場合には、クリップテンタが省略され、フィルム巻取り装置によりロール状にフィルム１５が巻き取られる。

延伸するフィルム１５は熱可塑性樹脂フィルムであれば良く、例えば位相差フィルムなどの光学フィルムに用いるのに適しているセルロースアシレートやノルボルネン系樹脂、アクリル、ポリカーボネート製のフィルム１５が好ましい。

前工程装置１３とフィルム延伸設備１０との間には、テンション調節部１６が設けられている。テンション調節部１６はフリーローラ１７ａ，１７ｂ間のテンションローラ１８をシフト機構１９により昇降させて、予熱部１１内のフィルム１５のテンションを一定に維持する。予熱部１１内のフィルムテンションは２０Ｎ／ｍ以上２００Ｎ／ｍ以下が好ましい。２０Ｎ／ｍ以上であると、フリーローラ２５の回転不良が生じることがなく、フィルム１５への擦り傷の発生が抑えられる。また、２００Ｎ／ｍ以下であると、予熱部１１内で縦延伸が生じることがなく、縦延伸部１２で適正な縦延伸が行われる。

予熱部１１は、予熱室２０を備える。予熱室２０内には、上下方向に離間して複数のフリーローラ（搬送方向変更部材）２５が配されている。これらフリーローラ２５間にフィルム１５が交互に巻き掛けられることによって、フィルム１５が各ローラ２５間で上下方向に搬送され、予熱室２０内のフィルム経路（パス）が長く設定されている。

予熱室２０のフィルムパス長は予熱温度Ｔｐやフィルム１５の搬送速度にもよるが、例えば５ｍ以上５０ｍ以下が好ましい。フリーローラ２５は、例えば直径が８０ｍｍであり、フィルム１５の巻き掛けによるフィルム１５とフリーローラ２５との接触面積が小さくされている。フリーローラ２５の直径は、好ましくは４０ｍｍ以上１５０ｍｍ以下である。４０ｍｍ以上であるとフリーローラ２５に撓みが生じることがなく、撓みに起因する回転ムラや傷の発生が抑えられる。また、１５０ｍｍ以下であると、フリーローラ２５との接触時間が適正な範囲になり、シワが抑制される他に、フリーローラ２５の回転不良に起因するフィルムの擦り傷の発生が抑えられる。フリーローラ２５は、外周面がハードクロムメッキされていることが好ましい。ハードクロムメッキが施されることにより、フィルム１５との密着性が向上し、フィルム１５が滑りにくくなる。

予熱部１１内には、例えば上側に送気ノズル３１が、下側に排気ノズル３２が配されている。送気ノズル３１及び排気ノズル３２にはダクト３３を介して送風機３４及び温度調節器３５が接続されている。温度調節器３５は、加熱媒体例えば空気を所望の温度に加熱する。送風機３４は、ダクト３３を介して、温度調節器３５で温度が調節された空気を送気ノズル３１に送る。送気ノズル３１からは加熱空気が送り出され、この加熱風３６によって予熱部１１内のフィルム１５を一定温度に予熱する。加熱風３６は予熱室２０内でフィルム１５の側方から回り込み、フィルム１５の上面及び下面の全体を予熱する。

加熱風３６による予熱温度Ｔｐは、延伸可能となる温度（延伸温度）Ｔｅよりも低い温度にする必要がある。そこで、フィルム１５のガラス転移温度をＴｇとした際に、予熱部１１内に加熱風３６を供給してフィルム１５を（Ｔｅ−４０）℃以上（Ｔｇ−５）℃以下に予熱する。延伸温度ＴｅはＴｇ℃以上（Ｔｇ＋２０）℃以下である。また、送気ノズル３１からの加熱風の吹き出し速度は２ｍ／ｓｅｃ以上１５ｍ／ｓｅｃ以下が好ましい。２ｍ／ｓｅｃ以上であると、予熱室２０の温度を均一に保つことができ、延伸ムラの発生が無くなる。また、１５ｍ／ｓｅｃ以下であると、フィルム１５のばたつきに起因する擦り傷の発生が無くなる。

予熱部１１を経て一定温度に予熱されたフィルム１５は、縦延伸部１２に送られる。縦延伸部１２は、低速ローラ対４１、高速ローラ対４２、冷却ローラ４３を備える。低速ローラ対４１は低速ローラ４１ａとニップローラ４１ｂとを有する。高速ローラ対４２は、高速ローラ４２ａとニップローラ４２ｂとを有する。低速ローラ４１ａ、高速ローラ４２ａ、冷却ローラ４３には、温調媒体循環部から個別に温調媒体、例えばオイルや加圧蒸気が供給される。この温調媒体の循環供給によって、各ローラ４１ａ，４２ａ，４３は所望の表面温度に設定される。例えば、低速ローラ４１ａの温度はＴｇ℃以上（Ｔｇ＋２０）℃以下であり、高速ローラ４２ａの温度は（Ｔｇ−１００）℃以上（Ｔｇ−５）℃以下であり、冷却ローラ４３の温度は２０℃以上（Ｔｇ−１００）℃以下である。これら各ローラ４１a，４２a，４３にフィルム１５が接触することにより、フィルム１５は各ローラ４１a，４２a，４３の表面温度と同じ温度に加熱、または冷却される。

各ローラ４１ａ，４２ａ，４３には、図示は省略したが、モータが接続されており、所望の回転速度で回転が可能になっている。そして、低速ローラ４１ａと高速ローラ４２ａの周速差によって、フィルム１５は搬送方向に引き延ばされて縦延伸される。低速ローラ４１ａと高速ローラ４２ａの周速差は延伸倍率によって適宜変更され、低速ローラ４１ａの周速は例えば２０ｍ／ｍｉｎ以上８０ｍ／ｍｉｎ以下の範囲で設定することが好ましい。２０ｍ／ｍｉｎ以上とすることにより製造効率を低下させることなくなる。また、８０ｍ／ｍｉｎ以下とすることにより、フィルム１５と低速ローラ４１aとの接触時間を確保して、確実に加熱することができる。

縦延伸を行う際には、縦延伸倍率は、１．０より大きく１．５以下の範囲であることが好ましい。縦延伸倍率が１．０より大きく１．５以下の範囲である場合に、厚みムラが生じることを抑制でき、発現するレターデーションの変動を抑制することができる。

予熱部１１で、フィルム１５を（Ｔｅ−４０）℃以上に予熱することにより、縦延伸部１２の低速ローラ４１ａでのフィルム１５への加熱時の温度上昇量が大きくなり過ぎることがなく、低速ローラ４１ａ上で波板状のシワの発生が抑えられる。また、予熱部１１で、フィルム１５を（Ｔｇ−５）℃以下に予熱することにより、予熱部１１内でフィルム１５が延伸されることがなく、縦延伸部１２で均一に延伸することができる。

縦延伸部１２で縦延伸されたフィルム１５は、後工程装置１４の例えばフィルム巻取り機によって、フィルムロールに巻き取られる。

本実施形態では、予熱室２０に加熱風３６を送り込み、加熱風３６によって加熱するため、従来の予熱ローラによる熱伝導による加熱と異なり、予熱ローラ上でフィルム１５が熱膨張して波板状になることがなく、シワや擦り傷の発生が抑えられる。特に、フィルム１５の延伸前の厚みが、２５μｍ以上１００μｍ以下、好ましくは２５μｍ以上６０μｍ以下である薄膜フィルムに対して、シワや擦り傷の発生が抑えられる。

なお、一つの予熱室２０を同一温度で予熱すると、フリーローラ２５の温度も予熱室５０の室温に近い温度になりうる。このため、予熱室５０に入ったフィルム１５は、予熱室５０の出口温度まで高められた入口側のフリーローラ２５に接触するため、フィルム１５が熱膨張してフィルム幅方向に凹凸を繰り返す波板状のシワになる懸念がある。これを防ぐために、フリーローラ２５の熱伝達による加熱を抑えるべく、フリーローラ２５の直径をできるだけ細くし、またそのラップ角も小さくする。このため、フィルム搬送速度が４０ｍ／ｍｉｎの場合に、フリーローラ２５の直径を４０ｍｍ以上１５０ｍｍ以下にして、加熱風３６で加熱されたフリーローラ２５がフィルム１５に接触しても、熱膨張して変形を起こさないようにする。実際には、フリーローラ２５は、連続して送られてくるフィルム１５（予熱室２０の温度よりも低い温度である）との接触によって、予熱室２０内の温度よりも低い温度になっているので、フリーローラ２５へのフィルム接触により熱変形は発生しないこともある。

上記実施形態では、１個の予熱室２０でフィルム１５を加熱しているが、図２に示すように、予熱室５０を隔壁４９によりフィルム搬送方向に複数個に区画した予熱域５０ａ〜５０ｃを有する予熱部５１としてよい。なお、上記実施形態と同一構成部材には同一符号が付してある。この第２実施形態の場合には、各予熱域５０ａ〜５０ｃに、送気ノズル３１、排気ノズル３２、ダクト３３、送風機３４、温度調節器３５を設けて、各予熱域５０ａ〜５０ｃ内の温度をフィルム搬送方向で次第に高くなるように設定する。隣接する予熱室２０間の温度差は、例えば２０℃以上５０℃以下である。この温度差が２０℃以上の場合には、区画数を適正な範囲に減らすことができ設備効率が向上する。また、５０℃以下の場合には、隣接する予熱域間で空気のやりとりによる温度不均一が発生することがなく、延伸ムラにならない。

各予熱域５０ａ〜５０ｃの区画数は、予熱温度Ｔｐに応じて増減する。例えば、一つの予熱室５０を同一温度で予熱すると、予熱室５０に入ったフィルム１５は、予熱室５０の出口温度まで高められた入口側のフリーローラ２５に接触するため、フィルム１５が熱膨張しフィルム幅方向に凹凸を繰り返す波板状のシワになる懸念がある。これを防ぐために、加熱風３６で加熱されたフリーローラ２５がフィルム１５に接触しても熱膨張して変形を起こさない程度に、各予熱域５０ａ〜５０ｃの予熱温度Ｔｐを小さく設定する。そして、複数の予熱域５０ａ〜５０ｃによって縦延伸に可能な温度にまで、段階的に予熱する。

また、予熱室５０を複数個に区画する代わりに、図３に示すような一つの予熱室６０において、各フリーローラ６１に温調機構６２ａ〜６２ｃにより、温調媒体を供給して、フリーローラ６１の表面温度をグループ毎に温度調節する予熱部６３としてもよい。この場合には、入口側から順にグループ毎にフリーローラ６１の表面温度を高くする。各フリーローラ６１の表面温度は、フィルム１５が接触し熱膨張により波板状のシワが発生することがない温度に設定する。なお、温度調節はグループ毎に行う他に、フリーローラ６１毎に温度調節してもよい。更には、図２に示すように区画された予熱室５０内のフリーローラ２５に対して、同様にして温度調節してもよい。隣接する下流側グループと上流側グループのフリーローラ６１の温度差は５０℃以下であり、最上流グループのフリーローラ６１の温度は予熱室５０の外部室温に対して＋２０℃以上５０℃以下の範囲である。

上記各実施形態では、フリーローラ２５，６１を用いて、予熱室２０，５０，６０内でのフィルムパス長を長く設定しているが、フリーローラ２５，６１に代えて、図４に示すように、ターンバー７０を用いた予熱部７１としてもよい。この場合には、ターンバー７０に、送風機７２及び温度調節器７３を接続して、ターンバー７０に浮上空気を供給する。浮上空気は予熱室７４の予熱温度Ｔｐと同じに設定しても、または低く設定してもよい。なお、図３及び図４においては、予熱室６０，７４は図１に示すように、送風機３４及び温度調節器３５を備えるが、図示は省略している。また、図２の実施形態と同様に、予熱室６０，７４を複数に区画し、これら各予熱室に対して、送風機３４及び温度調節器３５を設け、予熱室毎に予熱温度Ｔｐを設定し、入口側から出口側に向かうに従い次第に予熱温度Ｔｐを高くしてもよい。また、図３の実施形態のフリーローラ６１と同様に、各ターンバー７０からの浮上空気の温度を、各ターンバー７０個別に、またはグループ毎に変えて、予熱室７４の入口から出口に向かうに従い、次第に高くしてもよい。

上記実施形態では、縦延伸部１２として低速ローラ対４１及び高速ローラ対４２を用いたが、ニップ方式に限らず、溝付き加工ロールなどの高保持力ローラを低速ローラ及び高速ローラに用いてもよい。また、縦延伸部１２は、上流側低速ローラ対４１と下流側高速ローラ対４２とによる１段の縦延伸としたが、複数段の縦延伸としても良い。

フィルム１５として、厚みが５５μｍ、幅が６００ｍｍであり、Ｔｇが１４５℃のセルロースアシレートフィルムを用い、予熱、縦延伸、冷却を行った。縦延伸部１２では、上流側低速ローラ対４１と下流側高速ローラ対４２とによる１段の縦延伸を行った。前工程装置１３としてフィルム送出機を用い、フィルムロールからフィルム１５を引き出して予熱部１１に送出し、後工程装置１４として、フィルム巻取り機を用い、フィルム１５を巻き取ってフィルムロールとした。予熱部１１では、予熱室２０内に直径が６０ｍｍのフリーローラ２５を配して、これらにフィルム１５を掛け渡し、予熱室２０内のフィルムパス長を２０ｍとした。そして、所望のフィルム温度になるように加熱風３６を供給して予熱を行った。延伸倍率を１．３倍、延伸長さＬｅ（図１参照）を３００ｍｍ、冷却温度を１００℃、フィルム搬送速度を４０ｍ／ｍｉｎとし、上記表１に示すように、予熱温度Ｔｐ及び延伸温度Ｔｅを変えて、実験１〜実験１７を行った。なお、実験１〜実験１６では加熱室を用いた加熱風供給による予熱を行い、実験１７では予熱ローラに接触させて予熱を行った。

得られた延伸フィルムについて、擦り傷、シワ、延伸ムラを評価した。擦り傷は、マイクロスコープ観察により、シワは目視観察により行った。擦り傷、シワが無い時に優Ａとし、擦り傷、シワがあるが許容内の時に良Ｂとし、許容できない擦り傷、シワの時に不可Ｃとした。延伸ムラは、長さ５ｍのサンプルピースの長手方向の最大厚みと最少厚みとの差が３μｍ以下である時に優Ａとし、３μｍを超えて５μｍ以下の時に許容内の良Ｂとし、５μｍを超える時に不可Ｃとした。実験結果により、加熱風による予熱を行った実験１〜実験１６では、予熱温度Ｔｐについては、（延伸温度Ｔｅ−４０）℃未満及び（Ｔｇ−５）℃を超えると、擦り傷、シワ、延伸ムラのいずれかの評価で不可Ｃがあることが分かった。したがって、予熱温度Ｔｐについては、（Ｔｅ−４０）℃以上（Ｔｇ−５）℃以下の範囲が適正であることが分かった。また、延伸温度Ｔｅについては、Ｔｇ未満及び（Ｔｇ＋２０）℃を超えると、擦り傷、シワ、延伸ムラのいずれかの評価で不可Ｃがあることが分かった。したがって、延伸温度Ｔｅについては、Ｔｇ℃以上（Ｔｇ＋２０）℃以下の範囲が適正であることが分かった。また、予熱ローラにフィルムを接触させて予熱を行った実験１７では延伸ムラは無かったものの、擦り傷及びシワで評価が不可Ｃとなった。

図５は、上記適正範囲をグラフ化したものであり、ハッチングを付した領域が本願発明の適正条件範囲である。このように、均一な延伸をするためには、延伸温度ＴｅをＴｇ℃以上（Ｔｇ＋２０）℃以下にする必要があり、かつ予熱温度Ｔｐを（Ｔｇ−５）℃以下にする必要があることが分かる。また、シワや擦り傷を発生させないためには、予熱温度Ｔｐを（Ｔｅ−４０）℃以上が必要なことが分かる。

１０ フィルム延伸設備
１１，５１，６３，７１ 予熱部
１２ 縦延伸部
１５ フィルム
１６ テンション調節部
２０，５０，６０，７２ 予熱室
２５，６１ フリーローラ
３１ 送気ノズル
３２ 排気ノズル
３３ ダクト
３４ 送風機
３５ 温度調節器
４１ 低速ローラ対
４１ａ 低速ローラ
４１ｂ，４２ｂ ニップローラ
４２ 高速ローラ対
４２ａ 高速ローラ
４３ 冷却ローラ
５０ａ，５０ｂ，５０ｃ 予熱域
７０ ターンバー

Claims (10)

1. ガラス転移温度がＴｇである帯状の熱可塑性樹脂からなるフィルムを搬送方向に延伸して延伸フィルムを製造する方法において、
   前記搬送方向に離間して配置され、前記フィルムに接触して前記フィルムをＴｇ℃以上（Ｔｇ＋２０）℃以下の延伸温度Ｔｅに加熱する低速ローラ、前記低速ローラに対し周速差を有する高速ローラにより、前記フィルムを前記搬送方向に延伸する延伸工程と、
   前記延伸工程の前に、予熱室内に加熱風を供給して前記フィルムを（Ｔｅ−４０）℃以上（Ｔｇ−５）℃以下に予熱する予熱工程と、
   を含む延伸フィルムの製造方法。
2. 前記低速ローラを経たフィルムを、前記高速ローラにより、（Ｔｇ−１００）℃以上（Ｔｇ−５）℃以下に冷却する請求項1記載の延伸フィルムの製造方法。
3. 前記予熱室内での前記フィルムのテンションは２０Ｎ／ｍ以上２００Ｎ／ｍ以下である請求項１または２記載の延伸フィルムの製造方法。
4. 前記予熱室は、前記搬送方向に複数の予熱域に区画され、
   各区画された予熱域の上流側から下流側に向けて予熱温度が上げられ、隣接する下流側予熱域と上流側予熱域の温度差は５０℃以下である請求項１から３いずれか１項記載の延伸フィルムの製造方法。
5. 前記予熱工程は、前記フィルムの搬送方向を変更する複数の搬送方向変更部材に前記フィルムが掛け渡されている請求項１から４いずれか１項記載の延伸フィルムの製造方法。
6. 前記搬送方向変更部材はフリーローラである請求項５記載の延伸フィルムの製造方法。
7. 前記搬送方向変更部材はターンバーである請求項５記載の延伸フィルムの製造方法。
8. 前記搬送方向変更部材は、前記搬送方向に複数のグループに区画され、グループ毎に前記搬送方向変更部材は、上流側から下流側に向けて温度が次第に上げられる請求項５から７いずれか１項記載の延伸フィルムの製造方法。
9. 隣接する下流側グループと上流側グループの前記搬送方向変更部材の温度差は５０℃以下である請求項８記載の延伸フィルムの製造方法。
10. ガラス転移温度がＴｇである帯状の熱可塑性樹脂からなるフィルムを搬送方向に延伸して延伸フィルムを製造するフィルム延伸設備において、
    前記搬送方向に離間して配置され、前記フィルムに接触して前記フィルムをＴｇ℃以上（Ｔｇ＋２０）℃以下の延伸温度Ｔｅに加熱する低速ローラ、前記低速ローラに対し周速差を有する高速ローラにより、前記フィルムを前記搬送方向に延伸する縦延伸部と、
    前記縦延伸部の前に配され、予熱室内に加熱風を供給して前記フィルムを（Ｔｅ−４０）℃以上（Ｔｇ−５）℃以下に予熱する予熱部と
    を備えるフィルム延伸設備。

Images