JP2014187262A - Mems装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】MEMS装置であって、支持基板10上に設けられた第1の電極20と、第1の電極20に対向配置され、第1の電極20との対向方向に可動可能に設けられた第2の電極30と、第2の電極30の対向する2辺にそれぞれ接続されて第2の電極30を弾性的に支持する梁部33と、を具備している。そして、第2の電極30は、梁部33が接続されている辺と平行方向に表裏を貫通して形成されたスリット31を有し、且つ該スリット31と交差するように該スリット31に架け渡され、第2の電極30とは異なる材料で形成された少なくとも一つのブリッジ部32を有している。
【選択図】 図3
Description
図3及び図4は、第1の実施形態に係わるMEMS装置の概略構成を示す説明するためのもので、図3は平面図、図4(a)は図3の矢視A−A’断面図、図4(b)は図3の矢視B−B’断面図である。
次に、第2の実施形態として電極部分のパターンを変えた例を、図10〜図15を用いて説明する。
なお、本発明は上述した各実施形態に限定されるものではない。
11…Si基板
12…絶縁膜
20…下部電極(第1の電極)
25…アンカー用電極
26…下部電極の穴
30…上部電極(第2の電極)
31…スリット
32…ブリッジ部
33…第1のバネ部(梁部)
34…第2のバネ部
35…アンカー部
36…上部電極の穴
37…スリット
41…キャパシタ絶縁膜
42…第1の犠牲層
43…第2の犠牲層
45…保護膜
46…封止膜
47…防湿膜
Claims (9)
- 支持基板上に設けられた第1の電極と、
前記第1の電極に対向配置され、前記第1の電極との対向方向に可動可能に設けられた第2の電極と、
前記第2の電極の対向する2辺にそれぞれ接続されて前記第2の電極を弾性的に支持する梁部と、
を具備し、
前記第2の電極は、前記梁部が接続されている辺と平行方向に表裏を貫通して形成されたスリットを有し、且つ該スリットと交差するように該スリットに架け渡され、前記第2の電極とは異なる材料で形成された少なくとも一つのブリッジ部を有することを特徴とするMEMS装置。 - 前記ブリッジ部は、前記第2の電極よりも圧縮応力の大きい、又は引っ張り応力の小さい材料で形成されていることを特徴とする、請求項1記載のMEMS装置。
- 前記ブリッジ部は、絶縁膜で形成されていることを特徴とする、請求項2記載のMEMS装置。
- 前記第2の電極はアルミニウム又はアルミニウム合金で形成され、前記ブリッジ部はシリコン窒化膜で形成されていることを特徴とする、請求項3記載のMEMS装置。
- 前記スリットは、前記第2の電極の中央部に形成されていることを特徴とする、請求項1乃至4の何れかに記載のMEMS装置。
- 前記第1及び第2の電極でスイッチング素子を構成することを特徴とする請求項1乃至5の何れかに記載のMEMS装置。
- 前記第1の電極を覆うようにキャパシタ絶縁膜が形成され、前記第1及び第2の電極で可変容量素子を構成することを特徴とする請求項1乃至5の何れかに記載のMEMS装置。
- 前記第1の電極は複数に分離されていることを特徴とする、請求項1乃至7の何れかに記載のMEMS装置。
- 前記支持基板は、シリコン基板上にシリコン酸化膜を形成したものであることを特徴とする、請求項1乃至8の何れかに記載のMEMS装置。
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