JP2014187225A - レーザ発振装置及びレーザ加工機 - Google Patents
レーザ発振装置及びレーザ加工機 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014187225A JP2014187225A JP2013061330A JP2013061330A JP2014187225A JP 2014187225 A JP2014187225 A JP 2014187225A JP 2013061330 A JP2013061330 A JP 2013061330A JP 2013061330 A JP2013061330 A JP 2013061330A JP 2014187225 A JP2014187225 A JP 2014187225A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- light
- oscillation device
- excitation
- solid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 title claims abstract description 56
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims abstract description 59
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 58
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 40
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 35
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 9
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 claims description 7
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 11
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 6
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 3
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N neodymium atom Chemical compound [Nd] QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910016525 CuMo Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004541 SiN Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000593 degrading effect Effects 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910003465 moissanite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
【課題】小型化を図ることができるレーザ発振装置を提供する。
【解決手段】 固体レーザ結晶11、ヒートシンク13、波長変換素子15、ミラー素子17、励起用光源装置20、及び受光器40などを有している。励起用光源装置20は、バータイプの半導体レーザ素子、励起光学系、及びホルダを有している。半導体レーザ素子は、射出面の長手方向が、励起光学系の光軸と共振器における共振レーザ光の光路とが含まれる仮想面(ここでは、YZ面)に直交するように配置されている。
【選択図】図2
【解決手段】 固体レーザ結晶11、ヒートシンク13、波長変換素子15、ミラー素子17、励起用光源装置20、及び受光器40などを有している。励起用光源装置20は、バータイプの半導体レーザ素子、励起光学系、及びホルダを有している。半導体レーザ素子は、射出面の長手方向が、励起光学系の光軸と共振器における共振レーザ光の光路とが含まれる仮想面(ここでは、YZ面)に直交するように配置されている。
【選択図】図2
Description
本発明は、レーザ発振装置及びレーザ加工機に係り、更に詳しくは、固体レーザ結晶を有するレーザ発振装置、及び該レーザ発振装置を備えるレーザ加工機に関する。
近年、レーザ光を利用した装置として、レーザ加工機やレーザ計測器などが実用化されている。そして、レーザ光を射出するレーザ発振装置として、固体レーザ結晶を励起用レーザ光で励起し、特定波長のレーザ光を射出するレーザ発振装置が検討されている。このレーザ発振装置は、安定性及び高出力の点で優れている。特に、薄い板状の固体レーザ結晶を用いたレーザ発振装置は、マイクロチップレーザとも呼ばれ、固体レーザ結晶における熱の影響が小さく、ビーム品質に優れたレーザ光を射出することができる。
例えば、特許文献1には、レーザ結晶と、該レーザ結晶が内部に配置されたレーザ共振器と、上記レーザ結晶を励起するための励起用半導体レーザと、該励起用半導体レーザからのレーザ光を集光し上記レーザ結晶に入射させる励起用半導体レーザ集光光学系を備えた小型半導体レーザ励起固体レーザ装置が開示されている。
また、特許文献2には、半導体レーザ素子からの半導体レーザ光により、ディスク状のレーザ結晶を励起し、レーザ発振を行わせる半導体レーザ励起固体レーザ装置が開示されている。
近年、レーザ発振装置に対する小型化の要求が年々高くなってきている。しかしながら、従来のレーザ発振装置では、更なる小型化を図るのは困難であった。
本発明は、固体レーザ結晶と、2つの反射面の間に前記固体レーザ結晶を挟む共振器と、前記固体レーザ結晶の励起用レーザ光を射出する半導体レーザと、前記半導体レーザからの前記励起用レーザ光を集光する光学系とを備え、前記半導体レーザは、射出面の長手方向が、前記光学系の光軸と前記共振器における共振レーザ光の光路とが含まれる仮想面に交差するように配置されているレーザ発振装置である。
なお、本明細書では、共振器によって共振されるレーザ光を「共振レーザ光」という。
本発明のレーザ発振装置によれば、小型化を図ることができる。
以下、本発明の一実施形態を図1〜図12(B)に基づいて説明する。図1には、一実施形態に係るレーザ加工機2000の概略構成が示されている。
レーザ加工機2000は、レーザ発振装置10、光学系100、被加工物Pが載置されるテーブル150、テーブル駆動装置160、操作パネル180及び制御装置200などを備えている。
なお、以下では、XYZ3次元直交座標系において、レーザ発振装置10から射出されるレーザ光の進行方向を+Z方向とする。
レーザ発振装置10は、制御装置200の指示に基づいて、波長が532nmのレーザ光を射出する。このレーザ発振装置10の詳細については、後述する。
光学系100は、レーザ発振装置10から射出されたレーザ光を被加工物Pの表面近傍で集光させる。
テーブル駆動装置160は、制御装置200の指示に基づいて、テーブル150をX軸方向、Y軸方向、及びZ軸方向に沿って移動させる。
操作パネル180は、作業者が各種設定を行うための複数のキー、及び各種情報を表示するための表示器を有している。
制御装置200は、操作パネル180からの各種設定情報に基づいて、レーザ発振装置10及びテーブル駆動装置160を制御する。
ここで、レーザ発振装置10の詳細について説明する。レーザ発振装置10は、一例として図2及び図3に示されるように、固体レーザ結晶11、ヒートシンク13、波長変換素子15、ミラー素子17、励起用光源装置20、及び受光器40などを有している。なお、以下では、説明を分かりやすくするため、励起用光源装置20から固体レーザ結晶11に向かう方向をa方向、該a方向及びX軸方向のいずれにも直交する方向をb方向とする。
固体レーザ結晶11は、Nd(ネオジム)の濃度が5at%のNd:YVO4結晶が、いわゆるc軸カットされた板状部材である。一例として、この板状部材は、3mm×3mm×0.5mm(板厚)である。以下では、便宜上、固体レーザ結晶11の−Z側の面を「A面」と表記し、+Z側の面を「B面」と表記する。
固体レーザ結晶11のA面には、波長が808nmの光に対して98.0%以上の反射率を有し、波長が1064nmの光に対して99.0%以上の反射率を有する誘電体多層膜がコーティングされている。
また、固体レーザ結晶11のB面には、波長が808nmの光に対して95.0%以上の透過率を有し、波長が1064nmの光に対して99.0%以上の透過率を有し、波長が532nmの光に対して99.0%以上の反射率を有する誘電体多層膜がコーティングされている。
ヒートシンク13は、熱伝導率の高い材料で構成され、内部に水路となる空洞を有している。熱伝導率の高い材料として、Cu、CuW、CuMo、SiC、SiN、ダイヤモンド、及びそれらを組合せたものを用いることができる。
ヒートシンク13は、固体レーザ結晶11の−Z側に配置されている。ヒートシンク13と固体レーザ結晶11は、AuSnはんだなどによって接合されている。そこで、固体レーザ結晶11で発生した熱は、A面を介してヒートシンク13に移行することができる。なお、ヒートシンク13と固体レーザ結晶11の接合は、これに限定されるものではなく、要するに、固体レーザ結晶11で発生した熱がヒートシンク13に移行することができれば良い。
励起用光源装置20は、一例として図4及び図5に示されるように、半導体レーザ素子21、励起光学系22及びホルダ30を有している。
半導体レーザ素子21は、シングルエミッタと呼ばれる点光源を基礎ユニットとし、該基礎ユニットが複数個(例えば、10〜15個)、X軸方向に沿って配列されたバータイプの半導体レーザ素子である。すなわち、半導体レーザ素子21は、一例として図6に示されるように、X軸方向に沿って配列された複数の発光部を有している。
半導体レーザ素子21における射出面は、X軸方向を長手方向、b方向を短手方向とする長方形状を有している。ここでは、一例として、長手方向の長さL1は約11mmであり、短手方向の長さL2は約4mmである。なお、射出面の形状は長方形状に限定されるものではない。要するに、長手方向を有し、該長手方向がX軸方向と一致していれば良い。
半導体レーザ素子21は、外部から電力が供給されると、波長が808nmのレーザ光(励起用レーザ光)を射出する。半導体レーザ素子21の出力は45Wである。
図7及び図8に示されるように、励起光学系22は、第1レンズ23、第2レンズ24、第3レンズ25、及び第4レンズ26を含んでいる。
第1レンズ23は、半導体レーザ素子21の+a側に配置され、半導体レーザ素子21から射出されたレーザ光をX軸に直交する面内で略平行光にする。
第2レンズ24は、第1レンズ23の+a側に配置され、第1レンズ23を介したレーザ光をaX面内で略平行光にする。
第3レンズ25は、第2レンズ24の+a側に配置され、第2レンズ24を介したレーザ光をX軸に直交する面内で集光する。
第4レンズ26は、第3レンズ25の+a側に配置され、第3レンズ25を介したレーザ光をaX面内で集光する。この第4レンズ26を介した波長が808nmのレーザ光が、励起用レーザ光として励起用光源装置20から固体レーザ結晶11のB面に向けて射出される。なお、固体レーザ結晶11のB面における励起用レーザ光の入射角をθ1(図2参照)とする。
半導体レーザ素子21と4つのレンズは、所定の位置関係でホルダ30に保持されている。
ところで、仮に、図9に示されるように、半導体レーザ素子21における射出面の長手方向がb方向と一致するように励起用光源装置20が配置されていると、レーザ発振装置の大型化を招く。そして、干渉を避けるために固体レーザ結晶11のB面における励起用レーザ光の入射角θ2は、上記θ1よりも大きくなる。
なお、固体レーザ結晶を励起用レーザ光で励起し、特定波長のレーザ光を射出するレーザ発振装置で、高出力化を図るのには、励起用レーザ光の固体レーザ結晶への入射角を小さくすることが好適である。
本実施形態では、半導体レーザ素子21における射出面の長手方向がX軸方向と一致するように励起用光源装置20が配置されているため、小型化を図るとともに、励起用レーザ光の固体レーザ結晶への入射角を小さくすることができる。
図2に戻り、波長変換素子15は、固体レーザ結晶11の+Z側に配置され、固体レーザ結晶11から射出されたレーザ光の波長を変換する。
この波長変換素子15は、3mm×3mm×10mmの四角柱状の部材であり、長手方向がZ軸方向と一致するように配置されている。
ここでは、波長変換素子15として、LiB3O5結晶、いわゆるLBO結晶が用いられている。
波長変換素子15のZ軸方向に関する両端面には、波長が1064nmの光及び波長が532nmの光に対して99.0%以上の透過率を有する誘電体多層膜がコーティングされている。
ミラー素子17は、波長変換素子15の+Z側に配置されている。ミラー素子17の−Z側の面は曲面であり、+Z側の面は平面である。ここでは、ミラー素子17の−Z側の面の曲率半径は、400mmである。
ミラー素子17の−Z側の面には、波長が1064nmの光に対して99.5%以上の反射率を有し、波長が532nmの光に対して99.0%以上の透過率を有する誘電体多層膜がコーティングされている。
そこで、固体レーザ結晶11のA面にコーティングされている誘電体多層膜とミラー素子17の−Z側の面にコーティングされている誘電体多層膜とによって、いわゆる共振器が構成されている。このように、該共振器は、2つの反射面の間に固体レーザ結晶11を挟んでいる。
ここでは、Z軸方向に関して、固体レーザ結晶11のA面とミラー素子17の−Z側の面との距離は250mmである。すなわち、共振器の長さは250mmである。
また、ミラー素子17の+Z側の面には、波長が532nmの光に対して99.5%以上の透過率を有する誘電体多層膜がコーティングされている。
励起用光源装置20から波長が808nmの励起用レーザ光が射出されると、該励起用レーザ光は固体レーザ結晶11に吸収される。そして、該吸収によって固体レーザ結晶11は発光し、上記共振器によって波長が1064nmのレーザ光が共振される。ここでは、共振器によって共振される波長が1064nmのレーザ光が「共振レーザ光」である。
波長変換素子15は、波長が1064nmのレーザ光を波長が532nmのレーザ光に変換する。波長変換素子15から射出された波長が532nmのレーザ光は、ミラー素子17を透過し、レーザ発振装置10から外部に射出される。以下では、ミラー素子17を透過したレーザ光を「発振レーザ光」ともいう。
本実施形態では、励起用レーザ光の固体レーザ結晶への入射角を小さくすることができるため、高出力の発振レーザ光を得ることができる。
換言すれば、発振レーザ光のビーム品質を低下させることなく、小型化を図ることができる。
ところで、固体レーザ結晶に励起用レーザ光を斜入射させると、固体レーザ結晶に吸収されなかった励起用レーザ光が入射角と同じ大きさの反射角で反射される。例えば、Nd(ネオジム)の濃度が5at%のNd:YVO4結晶で、板厚が0.5mmの場合、固体レーザ結晶に入射された励起用レーザ光の約60%が吸収されずに反射される。固体レーザ結晶に吸収されなかった励起用レーザ光は、レーザ発振に対する影響は少ないが、該励起用レーザ光が照射された光学部材は、照射された部分の温度が上昇し、寸法変化や変形等の何らかの不都合を引き起こすおそれがある。
上記温度上昇を抑制する方法として、ファンなど利用した空冷方式と冷却水を用いた水冷方式とが考えられる。空冷方式の場合は、発生する熱を処理しきれないため、高出力の励起用レーザ光には対応できない、あるいは対応できても、大型化していた。水冷方式の場合は、高出力の励起用レーザ光に対応できるが、サイズの大きいものが多く、その機構上、高価な構成であることがほとんどであった。
本実施形態では、固体レーザ結晶11で反射された励起用レーザ光を吸収する受光器40が設けられている。以下では、便宜上、固体レーザ結晶11で反射された励起用レーザ光を、「反射レーザ光」と略述する。ところで、反射レーザ光を受け止める従来の装置は、レーザ光減衰装置、ダンパー、ストッパなどと呼ばれていた。
この受光器40は、−Y側の面が受光面であり、該受光面がXZ面に平行となるように配置されている。従来は、反射レーザ光を効率的に受光するため、受光面に直交する方向から反射レーザ光が受光面に入射するように受光器を配置していた(図10参照)。しかしながら、この場合は、他の光学部材との干渉を避けるため、固体レーザ結晶11に対する励起用レーザ光の入射角を大きくするなど、レーザ発振装置の大型化を招来していた。
本実施形態では、一例として図11に示されるように、反射レーザ光が受光器40の受光面に斜入射されるように受光器40が配置されている。そして、受光器40の受光面には、一例として図12(A)及び図12(B)に示されるように、X軸方向に延びる複数の溝が形成されている。この場合は、反射レーザ光が受光面に斜入射されても、反射レーザ光を効率的に受光することができる。そして、受光面がXZ面に平行となるように受光器40を配置することができるため、固体レーザ結晶11に対する励起用レーザ光の入射角を大きくする必要がない。そこで、本実施形態では、レーザ発振装置の小型化を図ることができる。
受光器40は、アルミニウム製の部材であり、表面に反射防止のつや消し黒塗装、あるいはサテン処理+アルマイト処理がなされている。また、反射レーザ光の波長が近赤外のときは、カニブラック(登録商標)などの無電解黒色めっき処理を行っても良い。要するに、反射レーザ光を効率的に吸収し、熱的に安定した表面状態が得られる処理であれば良い。なお、受光器40の材質は、アルミニウムに限定されるものではなく、例えば、アルミニウム合金、銅、銅合金など熱伝導率が大きく、加工が容易なものであれば良い。
また、受光器40には、冷却水の流路となる貫通孔が設けられている。すなわち、受光器40は、受光部と冷却部とが一体化されている。この場合は、製造コストを低減することができる。
受光器40の貫通孔は、冷却水の供給源とパイプ等で繋がっており、該パイプ等の途中に電磁弁が設けられている。制御装置200は、レーザ発振装置10が稼働を開始すると、電磁弁を開状態にし、受光器40の貫通孔への冷却水の供給を開始する。そして、レーザ発振装置10が稼働を終了すると、制御装置200は、電磁弁を閉状態にし、受光器40の貫通孔への冷却水の供給を停止する。
以上の説明から明らかなように、本実施形態に係るレーザ加工機2000では、テーブル駆動装置160と制御装置200とによって、本発明のレーザ加工機における駆動機構が構成されている。
以上説明したように、本実施形態に係るレーザ発振装置10によると、固体レーザ結晶11、ヒートシンク13、波長変換素子15、ミラー素子17、励起用光源装置20、及び受光器40などを有している。
励起用光源装置20は、バータイプの半導体レーザ素子21、励起光学系22、及びホルダ30を有している。
そして、半導体レーザ素子21は、射出面の長手方向が、励起光学系22の光軸と共振器における共振レーザ光の光路とが含まれる仮想面(ここでは、YZ面)に直交するように配置されている。
この場合は、固体レーザ結晶11に対する励起用レーザ光の入射角を小さくすることができるとともに、レーザ発振装置10の小型化を図ることができる。
また、反射レーザ光を吸収する受光器40は、受光面が共振器における共振レーザ光の光路に対して平行となるように配置されている。そして、受光面には、共振器における共振レーザ光の光路に直交する方向(ここでは、X軸方向)に延びる複数の溝が設けられている。この場合は、反射レーザ光が受光面に斜入射されても、反射レーザ光を効率的に受光することができる。また、小さなスペースであっても所望の位置に受光器を配置することができる。そこで、レーザ発振装置の小型化を更に図ることができる。
また、受光面に複数の溝が設けられているため、受光面の表面積が大きくなり、冷却効率を向上させることができる。
また、受光器40は、冷却水の流路となる貫通孔が設けられているため、励起用光源装置が高出力タイプであっても、受光器40の温度上昇を抑えることができる。
そして、レーザ加工機2000は、レーザ発振装置10を備えているため、その結果として、加工効率を低下させることなく、小型化を図ることができる。
なお、上記実施形態では、半導体レーザ素子21は、射出面の長手方向が、励起光学系22の光軸と共振器における共振レーザ光の光路とが含まれる仮想面(ここでは、YZ面)に直交するように配置されている場合について説明したが、これに限定されるものではない。射出面の長手方向が、上記仮想面に交差するように半導体レーザ素子21が配置されていれば良い。この場合であっても、射出面の長手方向が、上記仮想面に平行となるように半導体レーザ素子21が配置されている場合よりも、レーザ発振装置の小型化を図ることができる。
また、上記実施形態では、受光器が反射レーザ光を吸収する場合について説明したが、これに限定されるものではなく、反射レーザ光を散乱させても良いし、反射レーザ光の一部を吸収し、残りを散乱させても良い。
また、上記実施形態では、受光器における受光面に複数の溝が設けられている場合について説明したが、これに限定されるものではなく、受光面に凹凸が設けられていれば良い。例えば、図13(A)及び図13(B)に示されるように、受光面に複数の柱状突起が設けられていても良い。この場合は、反射レーザ光を一様に吸収することができる。また、複数の溝が設けられている場合は、溝の方向がX軸方向と一致するように取り付ける必要があるが、複数の柱状突起が設けられている場合は、Y軸まわりの姿勢について、有る程度ラフに取り付けることができる。
また、上記実施形態では、レーザ発振装置の励起光学系が4つのレンズで構成される場合について説明したが、これに限定されるものではない。要するに、半導体レーザ素子からの励起用レーザ光を固体レーザ結晶に集光できれば良い。
また、上記実施形態では、発振レーザ光の波長が532nmの場合について説明したが、これに限定されるものではない。
また、上記実施形態では、レーザ加工機が1つのレーザ発振装置を有している場合について説明したが、これに限定されるものではなく、レーザ加工機が複数のレーザ発振装置を有しても良い。
また、上記実施形態では、レーザ光の照射位置を固定し、被加工物を移動させながら加工を行うレーザ加工機について説明したが、これに限定されるものではなく、被加工物を固定し、レーザ光の照射位置を移動させながら加工を行うレーザ加工機であっても良い。
また、レーザ発振装置10は、レーザ加工機以外のレーザ光を利用する装置にも好適である。この場合であっても、装置の小型化を図ることができる。
10…レーザ発振装置、11…固体レーザ結晶、13…ヒートシンク、15…波長変換素子、17…ミラー素子(共振器の一部)、20…励起用光源装置、21…半導体レーザ素子、22…励起光学系(光学系)、23…第1レンズ、24…第2レンズ、25…第3レンズ、26…第4レンズ、30…ホルダ、40…受光器、100…光学系、150…テーブル、160…テーブル駆動装置、180…操作パネル、200…制御装置、2000…レーザ加工機、P…被加工物。
Claims (9)
- 固体レーザ結晶と、
2つの反射面の間に前記固体レーザ結晶を挟む共振器と、
前記固体レーザ結晶の励起用レーザ光を射出する半導体レーザと、
前記半導体レーザからの前記励起用レーザ光を集光する光学系とを備え、
前記半導体レーザは、射出面の長手方向が、前記光学系の光軸と前記共振器における共振レーザ光の光路とが含まれる仮想面に交差するように配置されているレーザ発振装置。 - 前記射出面の長手方向は、前記仮想面に直交することを特徴とする請求項1に記載のレーザ発振装置。
- 前記固体レーザ結晶で反射された前記励起用レーザ光を吸収する、あるいは散乱させる受光器を備え、
前記受光器は、その受光面に前記励起用レーザ光が斜入射するように配置されていることを特徴とする請求項1又は2に記載のレーザ発振装置。 - 前記受光器は、前記受光面が前記共振器における共振レーザ光の光路に対して平行となるように配置されていることを特徴とする請求項3に記載のレーザ発振装置。
- 前記受光面は、凹凸を有していることを特徴とする請求項3又は4に記載のレーザ発振装置。
- 前記受光面は、前記共振器における共振レーザ光の光路に直交する方向に延びる複数の溝を有していることを特徴とする請求項5に記載のレーザ発振装置。
- 前記受光面は、複数の柱状突起を有していることを特徴とする請求項5に記載のレーザ発振装置。
- 前記受光器は、冷却水の流路となる貫通孔を有することを特徴とする請求項3〜7のいずれか一項に記載のレーザ発振装置。
- 請求項1〜8のいずれか一項に記載のレーザ発振装置と、
被加工物が載置されるテーブルと、
前記テーブルを少なくとも互いに直交する2軸方向に移動させる駆動機構と、
前記レーザ発振装置からのレーザ光を集光するとともに、前記テーブル上の前記被加工物に照射する光学系とを備えるレーザ加工機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013061330A JP2014187225A (ja) | 2013-03-25 | 2013-03-25 | レーザ発振装置及びレーザ加工機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013061330A JP2014187225A (ja) | 2013-03-25 | 2013-03-25 | レーザ発振装置及びレーザ加工機 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014187225A true JP2014187225A (ja) | 2014-10-02 |
Family
ID=51834480
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013061330A Pending JP2014187225A (ja) | 2013-03-25 | 2013-03-25 | レーザ発振装置及びレーザ加工機 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2014187225A (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1197778A (ja) * | 1997-09-19 | 1999-04-09 | Toshiba Corp | レーザ装置 |
JPH11220194A (ja) * | 1998-02-04 | 1999-08-10 | Shimadzu Corp | 半導体レーザ励起固体レーザ装置 |
JPH11354864A (ja) * | 1998-06-11 | 1999-12-24 | Fuji Photo Film Co Ltd | 半導体レーザ励起固体レーザ |
JP2007110039A (ja) * | 2005-10-17 | 2007-04-26 | Mitsubishi Electric Corp | 固体レーザ励起モジュール |
JP2008073733A (ja) * | 2006-09-22 | 2008-04-03 | Nippon Sharyo Seizo Kaisha Ltd | レーザ加工装置 |
JP2008164673A (ja) * | 2006-12-27 | 2008-07-17 | Seiko Epson Corp | 光源装置、画像表示装置、モニタ装置、照明装置 |
-
2013
- 2013-03-25 JP JP2013061330A patent/JP2014187225A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1197778A (ja) * | 1997-09-19 | 1999-04-09 | Toshiba Corp | レーザ装置 |
JPH11220194A (ja) * | 1998-02-04 | 1999-08-10 | Shimadzu Corp | 半導体レーザ励起固体レーザ装置 |
JPH11354864A (ja) * | 1998-06-11 | 1999-12-24 | Fuji Photo Film Co Ltd | 半導体レーザ励起固体レーザ |
JP2007110039A (ja) * | 2005-10-17 | 2007-04-26 | Mitsubishi Electric Corp | 固体レーザ励起モジュール |
JP2008073733A (ja) * | 2006-09-22 | 2008-04-03 | Nippon Sharyo Seizo Kaisha Ltd | レーザ加工装置 |
JP2008164673A (ja) * | 2006-12-27 | 2008-07-17 | Seiko Epson Corp | 光源装置、画像表示装置、モニタ装置、照明装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5330801B2 (ja) | レーザ利得媒質、レーザ発振器及びレーザ増幅器 | |
JPS61253878A (ja) | Nd−YAGレ−ザ | |
JP5146436B2 (ja) | レーザ光吸収装置及びその固体レーザ装置 | |
JP2007110039A (ja) | 固体レーザ励起モジュール | |
WO2015121911A1 (en) | Scanning unit, laser scanning microscope, and temperature adjustment method | |
JP2012023274A (ja) | アクティブファイバ冷却装置およびそれを備えたファイバレーザ発振器 | |
JP5247795B2 (ja) | 光モジュール | |
JPWO2006001063A1 (ja) | 固体レーザ励起モジュール | |
JP2014187225A (ja) | レーザ発振装置及びレーザ加工機 | |
WO2005011075A1 (ja) | 固体レーザ励起モジュール及びレーザ発振器 | |
KR100525423B1 (ko) | Dpss 레이저 | |
CN108899753B (zh) | 一种端面均匀泵浦固体激光器 | |
JP6210732B2 (ja) | レーザ増幅器及びレーザ発振器 | |
US20050259704A1 (en) | Laser oscillation device | |
JP2014202902A (ja) | ホルダ、レーザ発振装置及びレーザ加工機 | |
JP2011254035A (ja) | 固体レーザ装置 | |
JP2006203117A (ja) | 固体レーザ装置 | |
CN218983540U (zh) | 一种微型激光装置 | |
JP5991539B2 (ja) | レーザ発振装置及びレーザ加工機 | |
JP2015530756A (ja) | 集束光学部材を使用しない長尺固体レーザのレーザダイオードサイドポンピング | |
JP2001068768A (ja) | 光励起固体レーザ発振器 | |
JP2006134960A (ja) | レーザ発振器及びレーザ加工機 | |
JP2006108501A (ja) | レーザーユニットとその光学的調整方法、光学装置及びその組み立て方法 | |
KR101195540B1 (ko) | 레이저장치 | |
CN108963730A (zh) | 一种光纤紫外激光器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160212 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160721 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160720 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20170201 |