JP2014187146A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】放熱性を高めることができ、かつ、半導体チップの接合部の破損を抑制することができる半導体装置を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る半導体装置1は、放熱板10と、放熱板10上に配置されており、放熱板10と反対側の主面20a上に配線パターンが形成されてた絶縁性の基板20と、基板20の主面20a上に配置された半導体チップ30と、半導体チップ30と基板20との間に配置されており、半導体チップ30の電極及び基板20の配線パターンに接続された導電部材40とを備える。導電部材40は、炭素を含む材料を含み、シート状をなしている。
【選択図】図2
【解決手段】本発明の一実施形態に係る半導体装置1は、放熱板10と、放熱板10上に配置されており、放熱板10と反対側の主面20a上に配線パターンが形成されてた絶縁性の基板20と、基板20の主面20a上に配置された半導体チップ30と、半導体チップ30と基板20との間に配置されており、半導体チップ30の電極及び基板20の配線パターンに接続された導電部材40とを備える。導電部材40は、炭素を含む材料を含み、シート状をなしている。
【選択図】図2
Description
本発明は、半導体装置に関する。
半導体チップをケース内に収容したケース型の半導体装置や、半導体チップに樹脂封止を施した樹脂封止型の半導体装置が知られている。この種の半導体装置は、放熱機能を有するダイパッド(放熱板)と、ダイパッド上に配置された絶縁性の基板とを有し、この基板上に半導体チップが搭載される。
半導体チップの搭載方法としては、シンプルに、半導体チップの裏面が基板と対向するように、半導体チップを基板に搭載する方法がある。この場合、半導体チップの表面における電極と基板上に形成された配線パターンとは、例えば、ボンディングワイヤを用いて接続される。
また、半導体チップの搭載方法としては、半導体チップの表面が基板と対向するように、フリップチップ実装によって半導体チップを基板に搭載する方法がある。この場合、半導体チップの表面における電極と基板上に形成された配線パターンとは、半田等からなるバンプを用いて接続される(特許文献1参照)。このフリップチップ実装では、ボンディングワイヤと比べてバンプのインダクタンスを低減することができる、すなわち、半導体チップの接続部に起因するインダクタンスを低減することができる。
しかしながら、フリップチップ実装では、バンプ間に隙間があり、また、半導体チップとダイパッドとの距離が長いので、熱抵抗が大きく、放熱性が悪い。
また、半導体チップの線膨張係数とダイパッドの線膨張係数との差に起因して、半導体チップの接合部が破損する虞がある。
そこで、本発明は、放熱性を高めることができ、かつ、半導体チップの接合部の破損を抑制することができる半導体装置を提供することを目的とする。
本発明の半導体装置は、放熱板と、放熱板上に配置されており、放熱板と反対側の主面上に配線パターンが形成されており、絶縁性を有する基板と、基板の主面上に配置された半導体チップと、半導体チップと基板との間に配置されており、半導体チップの電極及び基板の配線パターンに接続された導電部材とを備え、導電部材は、炭素を含む材料を含み、シート状をなしている。
炭素を含む部材は、比較的に高い熱伝導率を有する。この半導体装置によれば、炭素を含む材料を含む導電部材が半導体チップと基板との間に配置されており、この導電部材がシート状であるので、半導体チップと放熱板(ダイパッド)との距離が比較的に短く、熱抵抗が比較的に小さい。したがって、この半導体装置によれば、放熱性を高めることができる。
また、炭素を含む部材は、半導体材料の線膨張率に対して比較的に近い線膨張率を有する。この半導体装置によれば、炭素を含む材料を含む導電部材によって、半導体チップの線膨張率と放熱板(ダイパッド)の線膨張率との差を緩和することができ、半導体チップの接合部の破損を抑制することができる。
上記した炭素を含む材料は、グラファイトを含んでいてもよい。グラファイトは、比較的に高い熱伝導率を有するとともに、半導体材料の線膨張率に対して比較的に近い線膨張率を有する。この構成によれば、放熱性をより高めることができるとともに、半導体チップの接合部の破損をより抑制することができる。
また、上記した半導体チップは、表面にゲート電極と、ソース又はエミッタ電極とを有し、裏面にドレイン又はコレクタ電極を有し、半導体チップの表面が、基板の主面と対向しており、基板の主面上の配線パターンは、第1及び第2の配線パターンを含み、上記した導電部材は、半導体チップのゲート電極と基板の第1の配線パターンとに接続された第1の導電部材と、半導体チップのソース又はエミッタ電極と基板の第2の配線パターンとに接続された第2の導電部材とを含む形態であってもよい。
半導体チップでは、ゲートに寄生するインダクタンスを低減するために、半導体領域形成側にゲート電極を形成することが多い。すなわち、ゲート電極を形成する表面側に、半導体領域、すなわち発熱領域があることが多い。この構成によれば、発熱領域がある半導体チップの表面が放熱板(ダイパッド)に近く、半導体チップの表面と基板との間に導電部材が配置されているので、放熱性をより高めることができる。
また、上記した半導体チップの材料は、ワイドバンドギャップ半導体を含んでいてもよい。ワイドバンドギャップ半導体材料を用いた半導体デバイスは、比較的に低損失であるので、半導体チップの発熱を低減することができる。
また、上記した半導体チップの材料はSiC(Silicon Carbide)を含み、上記した導電部材における半導体チップ側の面にはSiCコーティングが施されている形態であってもよい。この構成によれば、半導体チップの線膨張率と放熱板(ダイパッド)の線膨張率との差をより緩和することができ、半導体チップの接合部の破損をより抑制することができる。
また、上記した半導体装置は、基板の主面上に配置された複数の半導体チップと、複数の半導体チップそれぞれと基板との間に配置されており、複数の半導体チップそれぞれの電極及び基板の配線パターンに接続された複数の導電部材とを更に備え、複数の導電部材は、炭素を含み、シート状をなしている形態であってもよい。
本発明によれば、放熱性を高めることができ、かつ、半導体チップの接合部の破損を抑制することができる。
以下、図面を参照して本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、各図面において同一又は相当の部分に対しては同一の符号を附すこととする。
[第1の実施形態]
[第1の実施形態]
図1は、本発明の第1の実施形態に係る半導体装置を模式的に示す平面図であり、図2は、図1に示す半導体装置のII−II線に沿った断面図である。また、図3は、図1に示す半導体装置の一部を分解して示す斜視図である。図1〜図3に示される半導体装置1は、樹脂封止型の半導体装置であり、例えば電源等に使用される電力用半導体装置である。この半導体装置1は、ダイパッド(放熱板)10と、電極端子としてのリード12,14,16と、基板20と、半導体チップ30と、導電部材40とを備える。なお、ダイパッド10とリード12,14、16とは、リードフレームを構成し得る。
ダイパッド10は、例えば板状を呈しており、主面10aが略長方形状をなしている。ダイパッド10は、主面10a上に基板20及び半導体チップ30を搭載すると共に、放熱板として機能する。ダイパッド10の材料としては、熱伝導率が高く、放熱性が高いものが適用され、例えば、銅(Cu)及び銅合金等の金属、及び、アルミナ等のセラミックが挙げられる。
ダイパッド10には、板厚方向にダイパッド10を貫通する貫通孔11が形成され得る。貫通孔11は、例えば螺子によって半導体装置1を他の部材に固定する際に、螺子を通すための孔である。ダイパッド10の主面10a上には、基板20が配置されている。
基板20は、絶縁性を有し、放熱板と反対側の一方の主面20a上に第1及び第2の配線パターン21,22が形成されている。基板20における絶縁層の材料の例は、アルミナ等のセラミックを含む。また、第1及び第2の配線パターン21,22の材料の例は、銅又は銅合金等の金属を含み、その表面にはニッケルメッキコーディングが施されていてもよい。基板20の主面20a上には、半導体チップ30が配置されている。
半導体チップ30の例は、バイポーラトランジスタ、MOSFET(Metal OxideSemiconductor Field Effect Transistor)、IGBT(InsulatedGate Bipolar Transistor)等のトランジスタを含む。半導体チップ30の材料の例は、ワイドバンドギャップ半導体、Si(Silicon)その他の半導体を含む。ワイドバンドギャップ半導体は、Siのバンドギャップよりも大きいバンドギャップを有する。ワイドバンドギャップ半導体の例は、SiC(Silicon Carbide)、GaN(Gallium Nitride)、ダイヤモンドを含む。以下では、半導体チップ30として、SiCからなるMOSFETを用いた場合を例示する。
半導体チップ30の表面30aにはゲート電極31及びソース電極32が形成されており、半導体チップ30の裏面30bにはドレイン電極33が形成されている。これらの電極31,32,33の材料の例は、銅又は銅合金等の金属を含み、その表面にはニッケルメッキが施されていてもよい。半導体チップ30の表面30aは、基板20の主面20aと対向している。半導体チップ30の表面30aと基板20の主面20aとの間には、導電部材40が配置されている。
導電部材40は、第1及び第2の導電部材41,42を有する。第1の導電部材41は、例えばペースト半田を用いて、基板20の第1の配線パターン21に接続されている。また、第1の導電部材41は、例えば半田シート51を用いて、半導体チップ30のゲート電極31に接続されている。一方、第2の導電部材42は、例えばペースト半田を用いて、基板20の第2の配線パターン22に接続されている。また、第2の導電部材42は、例えば半田シート52を用いて、半導体チップ30のソース電極32に接続されている。
第1及び第2の導電部材41,42の材料の例は、炭素を含む。炭素を含む材料の例は、グラファイトを含む。グラファイトの熱伝導率は、700〜1750W/(m/k)であり、例えばフリップチップ実装のための半田バンプの熱伝導率320〜420W/(m/k)と比べて高い。また、グラファイトの線膨張係数(面方向)は、9.3×10−7/Kであり、例えばフリップチップ実装のための半田バンプの線膨張係数(面方向)140〜300×10−7/Kと比べて、半導体チップ30の線膨張係数(面方向)(例えば、SiCの線膨張係数66×10−7/K、GaNの線膨張係数32×10−7/K、Siの線膨張係数36×10−7/K)に近い。
また、第1及び第2の導電部材41,42は、シート状をなしている。第1及び第2の導電部材41,42の半導体チップ30側の面には、SiCコーティングが施されていてもよい。
なお、本実施形態では、半導体チップ30における電極は、ボンディングワイヤを用いて、リード12,14,16の内側端部にそれぞれ接続されている。具体的には、半導体チップ30のドレイン電極33は、ボンディングワイヤを用いてリード14の内側端子に接続されており、半導体チップ30のソース電極32は、基板20の第2の配線パターンに形成されたボンディングワイヤを用いてリード16の内側端子に接続されている。また、半導体チップ30のゲート電極31は、基板20の第1の配線パターンに形成されたボンディングワイヤを介してリード12の内側端子に接続されている。リード12,14,16の材料の例は、銅(Cu)及び銅合金等の金属を含む。
また、ダイパッド10、基板20、及び、半導体チップ30は、樹脂部5によって封止され得る。リード12,14,16の内側端部は、樹脂部5に固定される。リード12,14,16のうち樹脂部5の内側の部分は、いわゆるインナーリード部であり、リード12,14,16のうち樹脂部5の外側の部分は、いわゆるアウターリード部である。樹脂部5の外形形状の一例は、略直方体である。樹脂部5の材料の例は、ポリフェニレンサルファイド樹脂(PPS樹脂)、液晶ポリマー等の熱可塑性樹脂を含む。樹脂部5は、ダイパッド10、基板20、及び、半導体チップ30を熱可塑性樹脂でモールドすることによって形成され得る。樹脂部5には、ダイパッド10の貫通孔11の中心軸線を中心軸線とする貫通孔6が形成されている。貫通孔6は、貫通孔11と同様に螺子止めなどの際などに螺子が通される孔である。貫通孔6の直径は、貫通孔11の直径より小さい。
一実施形態において、ダイパッド10の主面10aと反対側の裏面10bは開放され得る。換言すれば、裏面10bは樹脂部5によって覆われていない面であり得る。この場合、裏面10bは放熱面として機能し得る。
ところで、電源等に使用される電力用半導体装置では、大電流のスイッチングに起因して半導体チップが発熱するので、放熱性を高めることが重要である。しかしながら、従来の半田バンプを用いたフリップチップ実装では、バンプ間に隙間があり、また、半導体チップとダイパッドとの距離が長いので、熱抵抗が大きく、放熱性が悪い。
この点に関し、この第1の実施形態の半導体装置1によれば、比較的に高い熱伝導率を有する導電部材40が半導体チップ30と基板20との間に配置されており、この導電部材40がシート状であるので、半導体チップ30とダイパッド10との距離が比較的に短く、熱抵抗が比較的に小さい。したがって、第1の実施形態の半導体装置1によれば、放熱性を高めることができる。
また、半導体チップでは、ゲートに寄生するインダクタンスを低減するために、半導体領域形成側にゲート電極を形成することが多い。すなわち、ゲート電極を形成する表面側に、半導体領域、すなわち発熱領域があることが多い。この点に関し、第1の実施形態の半導体装置1によれば、発熱領域がある半導体チップ30の表面30aがダイパッド10に近く、半導体チップ30の表面30aと基板20との間に導電部材40が配置されているので、放熱性をより高めることができる。
また、ワイドバンドギャップ半導体材料を用いた半導体デバイスは、例えばSiと比べて低損失であるので、半導体チップの発熱を低減することができる。
また、電源等に使用される電力用半導体装置では、大電流のスイッチング(電流のON、OFFの繰り返し)に起因した発熱により、急激な温度サイクル(急激な温度差)が発生することとなる。このとき、半導体チップの線膨張係数とダイパッドの線膨張係数との差に起因して、半導体チップの接合部が、金属疲労等により、破損する虞がある。
この点に関し、第1の実施形態の半導体装置1によれば、導電部材40が半導体チップ30の線膨張率に対して比較的に近い膨張率を有するので、半導体チップ30の線膨張率とダイパッド10の線膨張率との差を緩和することができ、半導体チップ30の接合部の破損を抑制することができる。
更に、第1の実施形態の半導体装置1によれば、導電部材40における半導体チップ30側の面に、半導体チップ30材料SiCと同じ材料からなるSiCコーティングが施されているので、半導体チップ30の線膨張率とダイパッド10の線膨張率との差をより緩和することができ、半導体チップ30の接合部の破損をより抑制することができる。
[第2の実施形態]
[第2の実施形態]
図4は、本発明の第2の実施形態に係る半導体装置を模式的に示す図である。図4に示される半導体装置1Aは、ケース型の半導体装置である。この半導体装置1Aは、ダイパッド(放熱板)10Aと、電極端子12A,14A,16Aと、基板20Aと、半導体チップ30と、導電部材40とを備える。なお、図4では、電極端子16Aは電極端子14Aと重ねて示されており、電極端子16Aのためのボンディングワイヤの一部が省略されているものとする。
ダイパッド10Aは、ダイパッド10と同様に、主面10a上に基板20A及び半導体チップ30を搭載すると共に、放熱板として機能する。ダイパッド10Aの材料の例は、ダイパッド10の材料と同じ材料を含む。ダイパッド10Aの主面10a上には、基板20Aが配置されている。
基板20Aは、基板20と同様に、絶縁性を有し、一方の主面20a上に第1及び第2の配線パターン21A,22Aが形成されている。また、基板20Aの裏面20bには、放熱層25が設けられてもよい。基板20Aにおける絶縁層の材料の例は、基板20の材料と同じ材料を含む。また、第1及び第2の配線パターン21A,22A、並びに放熱層25の材料の例は、第1及び第2の配線パターン21,22の材料と同じ材料を含む。基板20Aの裏面における放熱層25は、例えばペースト半田を用いて、ダイパッド10Aの主面10aに接着される。
一方、基板20の主面20a上には、半導体チップ30が配置されており、半導体チップ30の表面30aと基板20Aの主面20aとの間には、導電部材40が配置されている。導電部材40における第1の導電部材41は、例えばペースト半田を用いて、基板20Aの第1の配線パターン21Aに接続されている。また、第1の導電部材41は、例えば半田シート51を用いて、半導体チップ30のゲート電極31に接続されている。一方、導電部材40における第2の導電部材42は、例えばペースト半田を用いて、基板20Aの第2の配線パターン22Aに接続されている。また、第2の導電部材42は、例えば半田シート52を用いて、半導体チップ30のソース電極32に接続されている。
なお、本実施形態では、半導体チップ30における電極は、ボンディングワイヤを用いて、電極端子12A,14A,16Aにそれぞれ接続されている。具体的には、半導体チップ30のドレイン電極33は、ボンディングワイヤを介して電極端子14Aに接続されており、半導体チップ30のソース電極32は、基板20Aの第2の配線パターン22Aに形成されたボンディングワイヤを介して電極端子16Aに接続されている(上述したように、一部省略)。また、半導体チップ30のゲート電極31は、基板20Aの第1の配線パターン21Aに形成されたボンディングワイヤを介して電極端子12Aに接続されている。電極端子12A,14A,16Aの材料の例は、リード12,14,16の材料と同じ材料を含む。
また、ダイパッド10A、基板20A、及び、半導体チップ30は、ケース62に収容される。ケース62は、例えば筒状である。ケース62の一方の開口はダイパッド10Aによって封止され得る。ケース62の他方の開口は蓋64によって封止され得る。ケース62の材料の例は、ポリブチレンテレフタレート(PBT)やポリフェニレンサルファイド(PPS)樹脂といったエンジニヤリングプラスチック等の樹脂を含む。蓋64の材料の例は熱可塑性樹脂を含む。ケース62の内側には、応力緩和のため、例えばSiゲル等のゲル66が注入され得る。
また、電極端子12A,14A,16Aはケース62の内壁に取り付けられる。電極端子12A,14A,16Aは、ケース62の内壁に沿って延びており、蓋64に形成された開口を通って外部に突出する。電極端子12A,14A,16Aは、プレス加工等により作製され得る。
この第2の実施形態の半導体装置1Aでも、第1の実施形態の半導体装置1と同様の利点を得ることができる。
なお、本発明は上記した本実施形態に限定されることなく種々の変形が可能である。例えば、本実施形態では、半導体チップ30の材料がSiCであり、導電部材40の半導体チップ30側の面にSiCコーティングを施す例を示したが、導電部材40にはSiCコーティングが施されていなくとも、半導体チップ30の線膨張率とダイパッド10の線膨張率との差を十分に緩和することができる。
また、導電部材40の半導体チップ30側の面のコーティング材料は、半導体チップ30の材料に合わせて変更してもよい。例えば、半導体チップ30の材料がGaNである場合には、導電部材40の半導体チップ30側の面にGaNコーティングを施せばよいし、半導体チップ30の材料がダイヤモンドである場合には、導電部材40の半導体チップ30側の面にダイヤモンドコーティングを施せばよいし、半導体チップ30の材料がSiである場合には、導電部材40の半導体チップ30側の面にSiコーティングを施せばよい。
また、本実施形態では、半導体チップ30におけるゲート電極31及びソース電極32が形成された表面30aをダイパッド10と対向するように実装する例を示したが、半導体チップ30におけるドレイン電極33が形成された裏面30bをダイパッド10と対向するように実装しても、半導体チップ30とダイパッド10との間に配置された導電部材40による放熱効果を得ることができる。
また、本実施形態では、表面にゲート電極及びソース電極が形成され、裏面にドレイン電極が形成された縦型の半導体チップを例示したが、本発明の特徴は、表面にすべての電極が形成されたタイプの半導体チップにも適用可能である。
また、本実施形態では、半導体チップとして3端子タイプのトランジスタを例示したがこれに限定されない。例えば、本発明の特徴は、2端子タイプのダイオード半導体チップにも適用可能である。
また、本実施形態では、1つの半導体チップを備える半導体装置を例示したが、本発明の特徴は、2つ以上の半導体チップを備える半導体装置にも適用可能である。この場合、2つ以上の半導体チップそれぞれに対応して2つ以上の導電部材を配置すればよい。
1,1A…半導体装置、5…樹脂部、6…貫通孔、10,10A…ダイパッド(放熱板)、10a…ダイパッドの主面、10b…ダイパッドの裏面、11…貫通孔、12,14,16…リード、12A,14A,16A…電極端子、20,20A…基板、20a…基板の主面、20b…基板の裏面、21,21A…第1の配線パターン、22,22A…第2の配線パターン、25…放熱層、30…半導体チップ、30a…半導体チップの表面、30b…半導体チップの裏面、31…ゲート電極、32…ソース電極(ソース又はエミッタ電極)、33…ドレイン電極(ドレイン又はコレクタ電極)、40…導電部材、41…第1の導電部材、42…第2の導電部材、51,52…半田シート、62…ケース、64…蓋、66…ゲル。
Claims (6)
- 放熱板と、
前記放熱板上に配置されており、前記放熱板と反対側の主面上に配線パターンが形成されており、絶縁性を有する基板と、
前記基板の前記主面上に配置された半導体チップと、
前記半導体チップと前記基板との間に配置されており、前記半導体チップの電極及び前記基板の前記配線パターンに接続された導電部材と、
を備え、
前記導電部材は、炭素を含む材料を含み、シート状をなしている、
半導体装置。 - 前記炭素を含む材料は、グラファイトを含む、
請求項1に記載の半導体装置。 - 前記半導体チップは、表面にゲート電極と、ソース又はエミッタ電極とを有し、裏面にドレイン又はコレクタ電極を有し、
前記半導体チップの前記表面が、前記基板の前記主面と対向しており、
前記基板の前記主面上の前記配線パターンは、第1及び第2の配線パターンを含み、
前記導電部材は、前記半導体チップの前記ゲート電極と前記基板の前記第1の配線パターンとに接続された第1の導電部材と、前記半導体チップの前記ソース又はエミッタ電極と前記基板の前記第2の配線パターンとに接続された第2の導電部材とを含む、
請求項1又は2に記載の半導体装置。 - 前記半導体チップの材料は、ワイドバンドギャップ半導体を含む、
請求項1〜3の何れか1項に記載の半導体装置。 - 前記半導体チップの材料は、SiCを含み、
前記導電部材における前記半導体チップ側の面には、SiCコーティングが施されている、
請求項4に記載の半導体装置。 - 前記基板の前記主面上に配置された複数の半導体チップと、
前記複数の半導体チップそれぞれと前記基板との間に配置されており、前記複数の半導体チップそれぞれの電極及び前記基板の前記配線パターンに接続された複数の導電部材と、
を更に備え、
前記複数の導電部材は、炭素を含み、シート状をなしている、
請求項1〜5の何れか1項に記載の半導体装置。
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JP2013060439A JP2014187146A (ja) | 2013-03-22 | 2013-03-22 | 半導体装置 |
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JP2013060439A Pending JP2014187146A (ja) | 2013-03-22 | 2013-03-22 | 半導体装置 |
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Citations (2)
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JP2000049280A (ja) * | 1998-07-31 | 2000-02-18 | Toshiba Corp | 半導体装置とその製造方法 |
JP2011222669A (ja) * | 2010-04-07 | 2011-11-04 | Mitsubishi Materials Corp | パワーモジュール用基板及びパワーモジュール |
-
2013
- 2013-03-22 JP JP2013060439A patent/JP2014187146A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2000049280A (ja) * | 1998-07-31 | 2000-02-18 | Toshiba Corp | 半導体装置とその製造方法 |
JP2011222669A (ja) * | 2010-04-07 | 2011-11-04 | Mitsubishi Materials Corp | パワーモジュール用基板及びパワーモジュール |
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