JP2014184682A

JP2014184682A - 液体噴射装置の制御方法および液体噴射装置の制御装置

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Publication number: JP2014184682A
Application number: JP2013062147A
Authority: JP
Inventors: Atsushi Muto; 敦史武藤
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2013-03-25
Filing date: 2013-03-25
Publication date: 2014-10-02

Abstract

【課題】フラッシング動作における液体の引込の際に気泡も一緒に引込み、気泡が内在する液体を振動させることにより効率的なフラッシングを行なうことができる液体噴射装置の制御方法を提供する。
【解決手段】インク３６を噴射させるノズル２１と、ノズルに連通しインクが充填される圧力発生室と、インクに圧力変化を生じさせる圧電素子と、圧電素子を制御する制御部と、を有する液体噴射ヘッドの制御方法であって、ノズルは、少なくとも第１開口２１Ａおよび第１開口よりも圧力発生室側に設けられ第１開口の開口径よりも大きい第２開口２１Ｂとを有し制御部は、第１開口と第２開口の境界よりも圧力発生室側にインクのメニスカスＭを位置させるように圧力発生室を膨張させて、インクの内部に気泡３７を取り込み、圧力発生室を収縮させることによって、気泡と共に液体を排出させる。
【選択図】図７

Description

本発明は液体噴射装置の制御方法および液体噴射装置の制御装置に関し、特にフラッシングを行なう場合に適用して有用なものである。

液体噴射装置に搭載されノズルを介して液体を吐出する液体噴射ヘッドの代表例として、例えば圧電アクチュエーターの変位による圧力を利用してノズルからインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドが知られている。この種のインクジェット式記録ヘッドは、一般に、ノズル開口に連通する圧力発生室が形成された流路形成基板の一方面側に圧電アクチュエーターを設け、この圧電アクチュエーターを変形させることで圧力発生室内のインクを加圧してノズルからインク滴を吐出させている。

かかるインクジェット式記録ヘッドでは、高粘度化したインク等による異物がノズルの内周面等に付着する場合があり、かかる異物を除去すべく、定期的にフラッシングを行なっている。フラッシングではインクが無駄に廃棄、消費されるので、少ない回数のフラッシングで十分効果的な異物除去機能を発揮させることが肝要である。フラッシング回数が少ないほど、無駄に廃棄、消費されるインクが少なくて済むからである。特に液体を吐出するノズルが、液体噴射面側で外部に開口する第１開口および該第１開口の開口径よりも大きい圧力発生室側の第２開口を有するノズルの場合には、通常のフラッシングではノズル内周面に付着した異物を除去するのが困難である。

なお、液体噴射ヘッドのインク流路の異物を行なう洗浄方法等を開示する従来技術として特許文献１がある。

特開２００５−２７１２６６号公報

従来技術に係るフラッシングは、引込んだインクを単に吐出させているだけであるため、少ない回数のフラッシングでは、十分に付着物を除去することができず、フラッシング回数の増加を招来していた。このため、その分フラッシングにより廃棄されるインクが増加し、コストパフォーマンスの悪化を招来していた。

なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドだけではなく、液体であればインク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。

本発明は、このような事情に鑑み、フラッシング動作における液体の引込の際に気泡も一緒に引込み、気泡が内在する液体を振動させることにより効率的なフラッシングを行なうことができる液体噴射装置の制御方法および液体噴射装置の制御装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決する本発明の態様は、液体を噴射させるノズルと、前記ノズルに連通し液体が充填される圧力発生室と、前記液体に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、前記圧力発生手段を制御する制御部と、を有する液体噴射ヘッドの制御方法であって、前記ノズルは、少なくとも第１開口および第１開口よりも前記圧力発生室側に設けられ該第１開口の開口径よりも大きい第２開口とを有し、前記制御部は、前記第１開口と第２開口の境界よりも前記圧力発生室側に液体のメニスカスを位置させるように圧力発生室を膨張させて、前記液体の内部に気泡を取り込み、前記圧力発生室を収縮させることによって、前記気泡と共に液体を排出させることを特徴とする液体噴射装置の制御方法にある。
本態様によれば、高周波数のフラッシング用の駆動信号によりノズル内の液体が振動するが、液体内に気泡を含んだ状態で前記振動を生起させているので、効率的にノズルの内周面に付着する異物を除去し得る。この結果、少ないフラッシング回数で良好な異物の排除を行うことができる。したがって、クリーニングに較べて廃棄するインクが少なくてすみ、少ないインクでノズルの吐出能力の回復が可能となり、コストパフォーマンスを向上させ、経済的なフラッシング動作を実現し得る。

本発明の他の態様は、液体を噴射させるノズルと、前記ノズルに連通し液体が充填される圧力発生室と、前記液体に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、前記圧力発生手段を制御する制御部と、を有する液体噴射ヘッドの制御装置であって、前記ノズルは、少なくとも第１開口および第１開口よりも前記圧力発生室側に設けられ該第１開口の開口径よりも大きい第２開口を有し、前記制御部は、前記第１開口と第２開口の境界よりも前記圧力発生室側に液体のメニスカスを位置させるように圧力発生室を膨張させて、前記液体の内部に気泡を取り込み、前記圧力発生室を収縮させることによって、前記気泡と共に液体を排出させるように前記圧力発生手段を制御することを特徴とする液体噴射装置の制御装置にある。
本態様によれば、液体内に気泡を含んだ状態で高周波数のフラッシング用駆動信号によりノズル内の液体に振動を生起させているので、効率的にノズルの内周面に付着する異物を除去し得る。この結果、少ないフラッシング回数で良好な異物の排除を行うことができる。したがって、クリーニングに較べて廃棄するインクが少なくてすみ、少ないインクでノズルの吐出能力の回復が可能となり、コストパフォーマンスを向上させ、経済的なフラッシング動作を実現し得る。

液体噴射装置の構成を示す模式的斜視図。実施の形態に係る記録ヘッドの概略構成を示す分解斜視図。図２の平面図。図３のＡ―Ａ′線断面図。液体噴射装置の制御系の構成を示すブロック線図。液体噴射装置のフラッシング用の駆動信号の波形を示す波形図。フラッシング用の波形とメニスカスの関係を示す説明図。フラッシングシミュレーションに用いた波形を示す波形図。図８の各部に対応するメニスカスの態様を示すシミュレーション画像。図８の各部に対応するメニスカスの態様を示すシミュレーション画像。

以下本発明の実施の形態を図面に基づき詳細に説明する。
図１は、インクジェット式記録装置（以下、記録装置ともいう）の一例を示す概略図である。図１に示すように、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、液体吐出装置としてのインクジェット式記録装置Ｉに設けられている。即ち、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、インクジェット式記録装置Ｉのキャリッジ３に搭載され、キャリッジ３は、インクジェット式記録装置Ｉの装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動可能に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出する。

そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図１中は図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。

図２は、図１に示す記録ヘッドユニット１Ａ，１Ｂが内蔵するインクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッドともいう）の概略構成を示す分解斜視図であり、図３は、図２の平面図であり、図４は図３のＡ−Ａ′線断面図である。

図２〜図４に示すように、記録ヘッド１０の流路形成基板１１は、シリコン単結晶基板からなり、その一方の面には二酸化シリコンからなり、本形態における振動部となる弾性膜５０が形成されている。流路形成基板１１には、複数の圧力発生室１２がその幅方向に並設されている。また、流路形成基板１１の圧力発生室１２の長手方向外側の領域には連通部１３が形成され、連通部１３と各圧力発生室１２とが、各圧力発生室１２毎に設けられたインク供給路１４及び連通路１５を介して連通されている。連通部１３は、後述する保護基板３０のマニホールド部３１と連通して各圧力発生室１２の共通のインク室となるマニホールド１００の一部を構成する。インク供給路１４は、圧力発生室１２よりも狭い幅で形成されており、連通部１３から圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。なお、本実施形態では、流路の幅を片側から絞ることでインク供給路１４を形成したが、流路の幅を両側から絞ることでインク供給路を形成してもよい。また、流路の幅を絞るのではなく、厚さ方向から絞ることでインク供給路を形成してもよい。かくして本形態では、流路形成基板１１に、圧力発生室１２、連通部１３、インク供給路１４及び連通路１５からなる液体流路が設けられていることになり、圧力発生室１２にインクが充填される。

また、流路形成基板１１の一方の面である開口面側には、各圧力発生室１２のインク供給路１４とは反対側の端部近傍に連通するノズル２１が穿設されたノズルプレート２０が、接着剤や熱溶着フィルム等によって固着されている。ここで、ノズルプレート２０は、例えば、ガラスセラミックス、シリコン単結晶基板、ステンレス鋼等で好適に構成することができる。また、本形態におけるノズル２１は小径ノズル２１Ａおよび大径ノズル２１Ｂが軸方向で連続する、いわゆる二段ノズルとして形成してある。すなわち、小径ノズル２１Ａは液体噴射面側で外部に開口する第１開口を有しており、大径ノズル２１Ｂは小径ノズル２１Ａよりも圧力発生室１２側に形成されており、第１開口の開口径よりも大きい第２の開口を有している。

流路形成基板１１の反対側の開口面には、上述したように弾性膜５０が形成され、この弾性膜５０上には、例えば厚さ３０〜５０ｎｍ程度の酸化チタン等からなり弾性膜５０等の第１電極６０の下地との密着性を向上させるための密着層５６が設けられている。なお、弾性膜５０上に、必要に応じて酸化ジルコニウム等からなる絶縁体膜が設けられていてもよい。

さらに、この密着層５６上には、第１電極６０と、厚さが２μｍ以下、好ましくは０．３〜１．５μｍの薄膜である圧電体層７０と、第２電極８０とが、積層形成されて、圧電素子３００を構成している。ここで、圧電素子３００は、本形態における圧力発生手段であり、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０を含む部分をいう。一般的には、圧電素子３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を各圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。本形態では、第１電極６０を圧電素子３００の共通電極とし、第２電極８０を圧電素子３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。また、ここでは、圧電素子３００と当該圧電素子３００の駆動により変位が生じる振動板とを合わせてアクチュエーター装置と称する。なお、上述した例では、弾性膜５０、密着層５６、第１電極６０及び必要に応じて設ける絶縁体膜が振動板として作用するが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、弾性膜５０や密着層５６を設けなくてもよい。また、圧電素子３００自体が実質的に振動板を兼ねるようにしてもよい。

かかる圧電素子３００の個別電極である第２電極８０には、インク供給路１４側の端部近傍から引き出され、弾性膜５０上や必要に応じて設ける絶縁体膜上にまで延設される、例えば、金（Ａｕ）等からなるリード電極９０が接続されている。

圧電素子３００が形成された流路形成基板１１上、すなわち、第１電極６０、弾性膜５０や必要に応じて設ける絶縁体膜及びリード電極９０上には、マニホールド１００の少なくとも一部を構成するマニホールド部３１を有する保護基板３０が接着剤３５を介して接合されている。このマニホールド部３１は、本形態では、保護基板３０を厚さ方向に貫通して圧力発生室１２の幅方向に亘って形成されており、上述のように流路形成基板１１の連通部１３と連通されて各圧力発生室１２の共通のインク室となるマニホールド１００を構成している。また、流路形成基板１１の連通部１３を圧力発生室１２毎に複数に分割して、マニホールド部３１のみをマニホールドとしてもよい。さらに、例えば、流路形成基板１１に圧力発生室１２のみを設け、流路形成基板１１と保護基板３０との間に介在する部材（例えば、弾性膜５０、必要に応じて設ける絶縁体膜等）にマニホールド１００と各圧力発生室１２とを連通するインク供給路１４を設けるようにしてもよい。

また、保護基板３０の圧電素子３００に対向する領域には、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電素子保持部３２が設けられている。圧電素子保持部３２は、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有していればよく、当該空間は密封されていても、密封されていなくてもよい。

このような保護基板３０としては、流路形成基板１１の熱膨張率と略同一の材料、例えば、ガラス、セラミック材料等を用いることが好ましく、本形態では、流路形成基板１１と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成してある。

また、保護基板３０には、保護基板３０を厚さ方向に貫通する貫通孔３３が設けられており、各圧電素子３００から引き出されたリード電極９０の端部近傍が、貫通孔３３内に露出するように構成してある。

一方、保護基板３０上には、後に詳述する制御部（図２〜図４には図示せず）で制御されて圧電素子３００を駆動する駆動回路１２０が固定されている。この駆動回路１２０としては、例えば、回路基板や半導体集積回路（ＩＣ）等を用いることができる。そして、駆動回路１２０とリード電極９０とは、ボンディングワイヤー等の導電性ワイヤーからなる接続配線１２１を介して電気的に接続されている。

また、このような保護基板３０上には、封止膜４１及び固定板４２とからなるコンプライアンス基板４０が接合されている。ここで、封止膜４１は、剛性が低く可撓性を有する材料からなり、この封止膜４１によってマニホールド部３１の一方面が封止されている。また、固定板４２は、比較的硬質の材料で形成されている。この固定板４２のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４３となっているため、マニホールド１００の一方面は可撓性を有する封止膜４１のみで封止されている。

かかる記録ヘッド１０では、図示しない外部のインク供給手段と接続したインク導入口からインクを取り込み、マニホールド１００からノズル２１に至るまで内部をインクで満たした後、駆動回路１２０からの駆動信号にしたがい、圧力発生室１２に対応するそれぞれの第１電極６０と第２電極８０との間に電圧が印加され、弾性膜５０、密着層５６、第１電極６０及び圧電体層７０を撓み変形させることにより、振動部として機能する弾性膜５０を介して各圧力発生室１２内のインクに前記変形に伴う振動を伝達させる。この結果、各圧力発生室１２内の圧力が高まりノズル２１からインク滴が吐出される。

図５はインクジェット式記録装置Ｉの制御系を示すブロック線図である。同図に示すように、インクジェット式記録装置Ｉ内には、インクジェット式記録装置Ｉの制御を行う制御部１１０が設けられている。制御部１１０は、ＣＰＵ１１１と、装置制御部１１２と、容量性負荷である圧電素子３００の駆動回路であるヘッド制御部１１３とを備えている。

さらに詳言すると、ＣＰＵ１１１からキャリッジ３（図１参照）の移動を示す信号が装置制御部１１２に入力されると、装置制御部１１２は、駆動モーター６を駆動させてキャリッジ３をキャリッジ軸５に沿って移動させるとともに、ＣＰＵ１１１からの記録シートＳ（図１参照）の搬送を示す信号が装置制御部１１２に入力され、装置制御部１１２は、供給ローラー２３を駆動して記録シートＳを搬送させる。

一方、ヘッド制御部１１３には、ＣＰＵ１１１からヘッドの駆動信号Ｓ１を生成するためのアナログ信号Ｓ２及び当該ヘッド制御部１１３の動作の制御を行う制御信号Ｓ３が入力される。この結果、ヘッド制御部１１３はインクジェット式記録ヘッド１０の各圧電素子３００に駆動信号Ｓ１を選択的に印加してインクを吐出させる。ここで、インクジェット式記録ヘッド１０は図示しないドライバーＩＣがＣＰＵ１１１からヘッド制御信号を供給されて各圧電素子３００を選択的に駆動させる。

本形態におけるインクジェット式記録装置Ｉのフラッシングの際には、フラッシング用の駆動信号Ｓ４を使用する。図６はフラッシング用の駆動信号Ｓ４の一例を示す波形図である。同図に示すように、駆動信号Ｓ４は、収縮要素Ａ１により圧電素子３００（図２参照；以下同じ）を駆動して圧力発生室１２（図２参照；以下同じ）の容積を縮小させることによりノズル２１（図２参照；以下同じ）からインク滴を吐出させる。その後、維持要素Ａ２で一定時間吐出動作の終了時点の状態を維持した後、膨張要素Ａ３により圧電素子３００を駆動して圧力発生室１２の容積を膨張させることによりインクを圧力発生室１２側に引込む。この際、膨張要素Ａ３は短時間で、急激に大きく電位が変化する波形とすることで、インクのメニスカスが小径ノズル２１Ａと大径ノズル２１Ｂとの境界部位まで引込まれるようにしている。このように膨張要素Ａ３を形成することでインクの引込みに伴い気泡を取り込むようになっている（気泡の取込み態様に関しては図６に基づき後に詳説する）。膨張要素Ａ３による所定の引込み動作が終了した時点で駆動信号Ｓ４は維持要素Ａ４で膨張要素Ａ３の終了時の状態を所定時間維持し、その後収縮要素Ａ５によりフラッシング用のインク吐出を行なわせる。

ここで、図６に点線で示すように、膨張要素Ａ３′による引込みを弱くし、引込み動作に伴うインクのメニスカスの移動が小径ノズルの途中に止まった場合には、膨張要素Ａ３′の終了後、維持要素Ａ４′を経て収縮要素Ａ５′に移行させた場合でも気泡を取り込むことはできない。この点の動作に関しても、図７に基づき後に詳説する。

図７は駆動信号Ｓ４の波形とノズル２１におけるインクによるメニスカスの関係を示す説明図である。図６に示すように、収縮要素Ａ１によるインク滴の吐出後に維持要素Ａ２を経て膨張要素Ａ３により急激にメニスカスＭを引込むと、メニスカスＭは小径ノズル２１Ａと大径ノズル２１Ｂの境界部分である段差部よりも圧力発生室側に至る位置まで引込まれる。このとき、図７（ａ）に示すように、ノズル２１内の軸方向に関する中心部におけるインク３６は、図７（ａ）中に矢印で示すように、圧力発生室１２側（図７中では上方；以下同じ）へ引き込まれるのに対し、ノズル２１の内周面近傍のインク３６はノズル２１の内周面との流体抵抗等により中心部のインクの動きに追従できず小径ノズル２１Ａとの段差部に向かう。この結果、メニスカスＭは圧力発生室側に大きく膨らむ。かかる状態で維持要素Ａ４を経て駆動信号Ｓ４の収縮要素Ａ５が供給されると、図７（ｂ）に示すように、ノズル２１の中心部と内周面近傍とのインク３６の流方向の相違に起因してメニスカスＭの凹部が形成され、この凹部に空気（気泡３７）が取り込まれる。

その後、図７（ｃ）に矢印で示すように、収縮要素Ａ５においてインク３６の流が揃ってノズル２１の外部に向かうようになると、気泡３７が完全にインク３６内に取り込まれる。かくして本形態におけるフラッシング動作に伴うインク３６の吐出は気泡３７をインク内に内包した状態で行われる。かかる吐出は高周波で繰り返される。この結果、気泡３７を含むインク３６がノズル２１内でその軸方向で振動され、ノズル２１の内周面に付着して固化したインクを含む異物を剥離させてノズル２１の外部に吐出させることができる。かかる振動は、インク３６のみによるものではなく、インク３６内に気泡３７を内包させた状態で行われるので、インク３６を効率的に振動させることができる。この結果、少ないフラッシング回数で良好な異物の排除を行うことができる。この結果、クリーニングに較べて廃棄するインクが少なくてすみ、少ないインクでノズルの吐出能力の回復が可能となる。

一方、図６に点線で示すような膨張要素Ａ３′および維持要素Ａ４′を経た後、収縮要素Ａ５′で圧電素子３００を駆動した場合には、図７（ａ）に対応させた状態である図７（ｄ）に示すように、インク３６を引込む膨張要素Ａ３′が終了した時点でのメニスカスＭは小径ノズル２１Ａの途中に止まる。かかる状態から維持要素Ａ４′を経て収縮要素Ａ５′に移行した場合、図７（ｂ）および図７（ｃ）に対応させた状態は、図７（ｅ）および図７（ｆ）に示すようになる。すなわち、メニスカスＭが小さく振動するだけで、気泡３７を巻込んでの振動ではない。このため、高周波数で振動させてもノズル２１の内周面の異物を排除するには至らない。

このように本形態は、気泡３７を巻込むことができるような膨張要素Ａ３でメニスカスＭを引込むことが必須であるが、これはメニスカスＭを一気に小径ノズル２１Ａと大径ノズル２１Ｂの境界部位まで引込むことで実現できる。

次に、特定のフラッシング用の駆動信号を印加して圧電素子を駆動した場合のシミュレーション結果について説明しておく。図８は当該フラッシングシミュレーションに用いた駆動波形を示す波形図、図９および図１０は図８の各部に対応するメニスカスの態様を示すシミュレーション画像である。なお、図９および図１０中、図７と同一部分には同一番号を付し、重複する説明は省略する。

図８に示すように駆動信号Ｓ５はインクの吐出を行う収縮要素、維持要素、インクの引込みを行う膨張要素、維持要素、再度インクの引込みを行う膨張要素、維持要素、インクの吐出を行う収縮要素が高周波数で繰り返される波形となっている。本例は、圧力発生室の膨張によるインクの引込みを膨張要素の途中に維持要素を含む二段の膨張要素で行うようになっている。図９および図１０は図８の符号Ａ〜Ｉにそれぞれ対応させてある。ここで、符号Ｆに対応する維持要素のシミュレーション画像は図１０（ｆ−１）〜図１０（ｆ−４）へと時系列に並べてある。

これらの図を参照すれば、図１０（ｆ−３）の状態でインク３６に対する気泡３７の取込みが開始され、図１０（ｇ）および図１０（ｈ）ではインク３６に気泡３７が完全に囲まれ、図１０（ｉ）において気泡３７を取り込んだインク３６が吐出される様子が明示されている。

本シミュレーション結果を参照すれば、駆動信号Ｓ５を用いてフラッシング動作を行なうことにより、図１０（ｉ）に示すように気泡３７を完全に包み込んだインクを高周波数で振動させることができることが明確になった。

（他の実施の形態）
以上、本発明の実施の形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上記実施の形態における記録装置Ｉは、圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、薄膜型の圧電素子を用いた圧電アクチュエーターを具備するもので説明したが、これに限定する必要はない。例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターや、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電素子を用いた圧電アクチュエーター等を使用することもできる。

さらに、図１に示す実施の形態は、記録シートＳの搬送方向と交差する方向（主走査方向）に移動するキャリッジ３に記録ヘッドユニット１Ａ，１Ｂを搭載し、記録ヘッドユニット１Ａ，１Ｂを主走査方向に移動させながら印刷を行う、いわゆるシリアル型のインクジェット式記録装置であるがこれに限るものではない。記録ヘッドが固定されて記録シートＳを搬送するだけで印刷を行う、いわゆるライン式のインクジェット記録装置であっても、勿論構わない。

また、上記実施の形態では、液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置を挙げて説明したが、本発明は広く液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ
）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体
有機物噴射ヘッド等が挙げられる。

Ｉ記録装置（インクジェット式記録装置）、１Ａ、１Ｂ記録ヘッドユニット、
１０記録ヘッド（インクジェット式記録ヘッド）、１２圧力発生室、２１ノズ
ル開口、２１Ａ小径ノズル、２１Ｂ大径ノズル、３６インク、３７気泡、１１０制御部、３００圧電素子、Ｓ４，Ｓ５駆動信号、Ｍメニスカス

Claims

液体を噴射させるノズルと、前記ノズルに連通し液体が充填される圧力発生室と、前記液体に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、前記圧力発生手段を制御する制御部と、を有する液体噴射ヘッドの制御方法であって、
前記ノズルは、少なくとも第１開口および第１開口よりも前記圧力発生室側に設けられ該第１開口の開口径よりも大きい第２開口とを有し、
前記制御部は、前記第１開口と第２開口の境界よりも前記圧力発生室側に液体のメニスカスを位置させるように圧力発生室を膨張させて、前記液体の内部に気泡を取り込み、前記圧力発生室を収縮させることによって、前記気泡と共に液体を排出させることを特徴とする液体噴射装置の制御方法。
液体を噴射させるノズルと、前記ノズルに連通し液体が充填される圧力発生室と、前記液体に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、前記圧力発生手段を制御する制御部と、を有する液体噴射ヘッドの制御装置であって、
前記ノズルは、少なくとも第１開口および第１開口よりも前記圧力発生室側に設けられ該第１開口の開口径よりも大きい第２開口を有し、
前記制御部は、前記第１開口と第２開口の境界よりも前記圧力発生室側に液体のメニスカスを位置させるように圧力発生室を膨張させて、前記液体の内部に気泡を取り込み、前記圧力発生室を収縮させることによって、前記気泡と共に液体を排出させるように前記圧力発生手段を制御することを特徴とする液体噴射装置の制御装置。