JP2014179609A - 圧電素子、圧電アクチュエータ、及び圧電センサ、並びにハードディスクドライブ、及びインクジェットプリンタ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 一般式ABO3で表されるペロブスカイト化合物であって、Sr(ストロンチウム)がAサイトおよびBサイト双方に配置され、Mn(マンガン)がAサイトのみに配置されているニオブ酸カリウムナトリウム薄膜を圧電体層として備える。圧電体層においては、SrのBサイト分配率が5%以上50%以下であることが好ましく、Li(リチウム)、Ba(バリウム)、Ta(タンタル)、Zr(ジルコニウム)から選ばれる少なくとも1種以上の元素を含むことが好ましい。
【選択図】 図1
Description
図1に本実施形態に係る圧電素子100を示す。圧電素子100は、基板4と、基板4上に設けられた絶縁層6および第一電極層8と、第一電極層8上に形成された圧電体層10と、圧電体層10上に形成された第二電極層12とを備える。
SrのBサイト分配率(%)/Srの含有量(at%) ・・・式(1)
図2(a)は、これらの圧電素子を用いた圧電アクチュエータの一例としてのハードディスクドライブ(以下HDDとも呼ぶ)に搭載されたヘッドアセンブリの構成図である。この図に示すように、ヘッドアセンブリ200は、その主なる構成要素として、ベースプレート9、ロードビーム11、フレクシャ17、駆動素子である第1及び第2の圧電素子13、及びヘッド素子19aを備えたスライダ19を備えている。
図3(a)は、上記の圧電素子を用いた圧電センサの一例としてのジャイロセンサの構成図(平面図)であり、図3(b)は図3(a)のA−A線矢視断面図である。
図4は、図2(a)に示したヘッドアセンブリを搭載したハードディスクドライブの構成図である。
図5は、図2(b)に示したインクジェットプリンタヘッドを搭載したインクジェットプリンタ装置の構成図である。
(実施例1)
本実施例において、「基体」とは、各工程における被成膜体を意味する。
実施例1の圧電素子100の作製工程において、第一電極層を形成した後に、基体をRFスパッタリング装置の別チャンバに移し、真空排気を行ったのちに、圧電体層として、(K0.5Na0.5)NbO3薄膜を成膜した。スパッタリングターゲットとして、添加物を含まない(K0.5Na0.5)NbO3焼結体を用いた。成膜時の基体温度は550℃、圧電体層の厚さは2000nmとした。圧電体層成膜後の熱処理は行わなかった。
圧電体層として、Srを1.0at%、Mnを1.0at%含む(K0.5Na0.5)NbO3薄膜を成膜した。スパッタリングターゲットとして、Srを1.0at%、Mnを1.0at%含む(K0.5Na0.5)NbO3焼結体を用いた。成膜時の基体温度は550℃、圧電体層の厚さは2000nmとした。
圧電体層として、Srを1.0at%、Mnを1.0at%含む(K0.5Na0.5)NbO3薄膜を成膜した。スパッタリングターゲットとして、Srを1.0at%、Mnを1.0at%含む(K0.5Na0.5)NbO3焼結体を用いた。成膜時の基体温度は550℃、圧電体層の厚さは2000nmとした。
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圧電体層10成膜後の熱処理条件を表1に示す条件で行ったこと以外は実施例1と同様にして、実施例2〜7の圧電素子100を作製した。
表1に示す材料をスパッタリングターゲットとして用い、圧電体層10を形成した。また圧電体層10の成膜後、表1に示す条件にて熱処理を行った。その他の素子構成、作製工程は実施例1と同様にして、実施例8〜17の圧電素子100を作製した。
実施例1〜17、および比較例1〜5の各圧電素子のリーク電流密度を強誘電体評価システムTF−1000(aixACCT社製)を用いて評価した。印加電圧は±20Vとし、2Vステップで2秒間ずつ測定を行った。測定で得られた最大リーク電流密度の絶対値を表2に示す。さらに各圧電素子に電圧を印加した際の変位量をレーザドップラー振動計(グラフテック社製)を用いて測定した。第一電極層を正極、第二電極層を負極に接続し、周波数1kHzの正弦波(±3Vまたは±20V)の電圧を印加して測定した変位量の値を表2に示す。
SrのBサイト分配率(%)/Srの含有量(at%) ・・・式(1)
6 絶縁層
8 第一電極層
9 ベースプレート
10, 25, 30, 42 圧電体層
11 ロードビーム
12 第二電極層
13, 40, 100 圧電素子
15 配線用フレキシブル基板
17 フレクシャ
19 スライダ
19a ヘッド素子
20, 51 基材
21 圧力室
23 絶縁膜
24, 32 下部電極層
26, 31 上部電極層
27 ノズル
41 共通電極層
43 個別電極層
44 支持体
45 空洞
46 電流増幅器
47 電圧測定器
52 送信用圧電体層
53 受信用圧電体層
54a, 54b, 55a, 55b 電極層
56 電極
57 上面用電極
58 配線
60 筐体
61 ハードディスク
62 ヘッドスタックアセンブリ
63 ボイスコイルモータ
64 アクチュエータアーム
65, 200 ヘッドアセンブリ
70 インクジェットプリンタヘッド
71 本体
72 トレイ
73 ヘッド駆動機構
110 基部
120, 130 アーム
300 圧電アクチュエータ
400 ジャイロセンサ
500 圧力センサ
600 脈波センサ
700 ハードディスクドライブ
800 インクジェットプリンタ装置
Claims (7)
- 一般式ABO3で表されるペロブスカイト化合物であるニオブ酸カリウムナトリウム薄膜を圧電体層として備える圧電素子であって、前記圧電体層はSr(ストロンチウム)およびMn(マンガン)を添加物として含有し、SrがAサイトおよびBサイト双方に配置されており、MnがAサイトのみに配置されていることを特徴とする圧電素子。
- 前記圧電体層において、SrのBサイト分配率が5%以上50%以下であることを特徴とする請求項1に記載の圧電素子。
- 前記圧電体層に、Li(リチウム)、Ba(バリウム)、Ta(タンタル)、Zr(ジルコニウム)から選ばれる少なくとも1種以上の元素を含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の圧電素子。
- 請求項1に記載の圧電素子を用いた圧電アクチュエータ。
- 請求項1に記載の圧電素子を用いた圧電センサ。
- 請求項4項に記載の圧電アクチュエータを備えたハードディスクドライブ。
- 請求項4項に記載の圧電アクチュエータを備えたインクジェットプリンタ装置。
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