JP2014179559A - レシピ選択方法及びダイボンダ - Google Patents
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Abstract
【課題】従来のレシピ選択では、操作員が品種名及び品種データ(レシピ)を見て、機種変更時にどのレシピを使用するかを判断するので、手間がかかり、間違いも起き易かった。本発明によって、選択が簡単で、間違いが少なく、迅速にレシピ選択が可能なレシピ選択方法及びダイボンダを提供する。
【解決手段】ウェハ供給部のピックアップ装置に供給されたウェハのダイサイズを測定するダイサイズ測定ステップ、測定されたダイサイズから品種候補を選択する品種候補選択ステップ、ウェハのダイ表面を撮像しダイイメージを取得するダイイメージ取得ステップ、取得したイメージを保存されていたイメージとイメージマッチングによる比較を行うイメージマッチングステップ、及び、イメージマッチングステップでイメージマッチングした場合に、イメージマッチングした品種を選択する生産品種選択ステップを備えた。
【選択図】図8
【解決手段】ウェハ供給部のピックアップ装置に供給されたウェハのダイサイズを測定するダイサイズ測定ステップ、測定されたダイサイズから品種候補を選択する品種候補選択ステップ、ウェハのダイ表面を撮像しダイイメージを取得するダイイメージ取得ステップ、取得したイメージを保存されていたイメージとイメージマッチングによる比較を行うイメージマッチングステップ、及び、イメージマッチングステップでイメージマッチングした場合に、イメージマッチングした品種を選択する生産品種選択ステップを備えた。
【選択図】図8
Description
本発明はダイボンダに関し、特に、機種変更時のレシピの選択方法及びダイボンダに関わる。
従来のダイボンダにおいては、操作する人間(以下、操作員と称する)が品種名及び品種データ(レシピ)を見て、機種変更時にどのレシピを使用するかを判断するので、手間がかかり、間違いも起き易い。例えば、生産ライン上で1つのダイボンダに保存されているレシピは、数十〜百種類前後に及ぶ。
品種データ(レシピ)は、ダイボンドの精度を考えると、必然的に装置毎で作成する必要がある。このため、1つの品種について、各ダイボンダは、それぞれ別個の品種データとして保存している。
各ダイボンダに保存している品種データのリストは、各ダイボンダ内でのフォルダ分けやグループ分けなどをして、整理している。また、外部情報(管理者が管理する生産計画情報)との関連付けは、GUI(Graphical User Interface)によって入力するか、若しくは、外部機器から対象のダイボンダにデータ通信するか、等、種々の方法や手段によって行われる。しかし、どの方法や手段で行うにしても、リスト内のどの品種データを選択するかの判断は、操作員が行わなければならない。
図1と図2によって、操作員が、担当する1台のダイボンダについて新たに品種データを選択するための操作手順を説明する。図1は、機種変更時にダイボンダについて新たに品種データ(レシピ)を選択して、ダイボンダに設定するまでの従来の手順の一例を説明するための概略フローチャートである。また、図2は、従来のレシピ選択画面の一例を示す図である。
まず、レシピ(品種データ)リスト表示ステップS11では、図2に示すようなレシピ選択画面200が表示される。
次に、レシピ(品種データ)選択ステップS12では、操作員は、レシピリスト表示欄203から、目的のレシピの名前(レシピ名)を選択する。
次に、レシピ(品種データ)読出しステップS13では、ステップS12で選択されたレシピをダイボンダの制御部に読出す。
このようにしてレシピを選択して、ダイボンダにこれからボンディングするために必要な品種のレシピを設定する。
まず、レシピ(品種データ)リスト表示ステップS11では、図2に示すようなレシピ選択画面200が表示される。
次に、レシピ(品種データ)選択ステップS12では、操作員は、レシピリスト表示欄203から、目的のレシピの名前(レシピ名)を選択する。
次に、レシピ(品種データ)読出しステップS13では、ステップS12で選択されたレシピをダイボンダの制御部に読出す。
このようにしてレシピを選択して、ダイボンダにこれからボンディングするために必要な品種のレシピを設定する。
しかし、図2に示すレシピ選択画面200のように、従来は、操作員がレシピリスト表示欄203を表示して、表示したリストの中から該当するレシピ(品種データ)を目視で選択していた。リスト数が多い場合には、画面にすべて入りきらず、画面をスクロールしながら捜索しなければならなかった。
しかも、データリストグループ表示欄202にグループ名の表示があるように、グループ名が違っていれば、リストに出てこない。従って、別のグループ名を入力するか、または、ポップアップ表示して選択するかして、別のレシピリストをレシピリスト表示欄203に表示して選択しなければならなかった。
このため、操作が煩雑であり、かつ、選択に時間を要した。
しかも、データリストグループ表示欄202にグループ名の表示があるように、グループ名が違っていれば、リストに出てこない。従って、別のグループ名を入力するか、または、ポップアップ表示して選択するかして、別のレシピリストをレシピリスト表示欄203に表示して選択しなければならなかった。
このため、操作が煩雑であり、かつ、選択に時間を要した。
上述のように、従来のレシピ選択では、操作員が品種名及び品種データ(レシピ)を見て、機種変更時にどのレシピを使用するかを判断するので、手間がかかり、間違いも起き易かった。特許文献1は、電子部品装着装置における機種切替時の機種選択について開示している。しかし、特許文献1では、機種切替来歴を表示して機種選択をしているものであって、めったに生産しない品種(機種)を選択する場合の問題点は、ダイボンダの従来例と同じである。
本発明は、上記のような問題に鑑み、選択が簡単で、間違いが少なく、迅速にレシピ選択が可能なレシピ選択方法及びダイボンダを提供することを目的とする。
本発明は、上記のような問題に鑑み、選択が簡単で、間違いが少なく、迅速にレシピ選択が可能なレシピ選択方法及びダイボンダを提供することを目的とする。
上記の目的を達成するため、本発明のレシピ選択方法は、ウェハ供給部と、ワーク供給搬送部と、ダイボンディング部を有するダイボンダのレシピ選択方法であって、前記ウェハ供給部のピックアップ装置に供給されたウェハのダイサイズを測定するダイサイズ測定ステップ、前記測定されたダイサイズから品種候補を選択する品種候補選択ステップ、前記ウェハのダイ表面を撮像しダイイメージを取得するダイイメージ取得ステップ、前記取得したイメージを保存されていたイメージとイメージマッチングによる比較を行うイメージマッチングステップ、及び、前記イメージマッチングステップでイメージマッチングした場合に、該イメージマッチングした品種を選択する生産品種選択ステップを備えたことを本発明の第1の特徴とする。
上記本発明の第1の特徴のレシピ選択方法において、レシピ作成時に、ダイサイズを含むダイ情報を該レシピと関連付けて保存することを本発明の第2の特徴とする。
上記本発明の第1の特徴または第2の特徴のレシピ選択方法において、前記品種候補選択ステップは、さらに、予め品種毎のレシピに対応付けられて保存されたダイサイズと比較して、前記測定されたダイサイズから品種候補を選択することを本発明の第3の特徴とする。
上記の目的を達成するため、本発明のダイボンダは、ウェハ供給部と、ワーク供給搬送部と、ダイボンディング部と、装置の各機器を制御する制御部を有するダイボンダにおいて、前記制御部は、前記ウェハ供給部のピックアップ装置に供給されたウェハのダイサイズを前記ウェハ供給部のウェハカメラが撮像した画像を画像処理することによって測定し、前記測定されたダイサイズから品種候補を選択し、前記ウェハのダイ表面を前記ウェハカメラが撮像してダイイメージを取得し、前記取得したイメージを、保存されていたイメージとイメージマッチングによって比較し、イメージマッチングした場合に、該イメージマッチングした品種を選択することを本発明の第4の特徴とする。
上記本発明の第4の特徴のダイボンダにおいて、レシピ作成時に、ダイサイズを含むダイ情報を該レシピと関連付けて保存することを本発明の第5の特徴とする。
上記本発明の第4の特徴または第5の特徴のダイボンダにおいて、前記制御部は、予め品種毎のレシピに対応付けられて保存されたダイサイズと比較して、前記測定されたダイサイズから品種候補を選択することを本発明の第6の特徴とする。
本発明によれば、選択が簡単で、間違いが少なく、迅速にレシピ選択が可能なレシピ選択方法及びダイボンダを実現することができる。
以下、添付図面を参照しながら本発明の実施形態を詳細に説明する。なお、各図の説明において、従来の技術を説明した図1と図2を含め、同一の機能を有する構成要素には同一の参照番号を付し、重複を避けるため、できるだけ説明を省略する。
しかし、本発明は、上述の実施例に限定されるわけではなく、本発明が属する技術分野において、通常の知識を有する者であれば、本発明の思想と精神に基づいて、本発明を修正若しくは変更できる発明が含まれることは勿論である。
しかし、本発明は、上述の実施例に限定されるわけではなく、本発明が属する技術分野において、通常の知識を有する者であれば、本発明の思想と精神に基づいて、本発明を修正若しくは変更できる発明が含まれることは勿論である。
図3、図4及び図5によって、本発明のダイボンダの一実施例の構成について説明する。図3は、本発明のダイボンダ300の一実施例のユニット構成を示す正面図である。また図4は、本発明の一実施形態であるダイボンダ300を上から見た概念図である。また図5は、本発明の一実施形態であるダイボンダ300における光学系構成図を示す図である。
ダイボンダ300は、大別してウェハ供給部1と、ワーク供給・搬送部2と、ダイボンディング部3とを有する。また、ダイボンダ300は、ダイボンダの各機器を制御する制御部41と、ダイボンダが有するカメラが取得した画像及び制御部41が指示した画像を表示させる画像表示モニタ43aを有する。
ダイボンダ300は、大別してウェハ供給部1と、ワーク供給・搬送部2と、ダイボンディング部3とを有する。また、ダイボンダ300は、ダイボンダの各機器を制御する制御部41と、ダイボンダが有するカメラが取得した画像及び制御部41が指示した画像を表示させる画像表示モニタ43aを有する。
図3のダイボンダ300構成外略図において、ワーク供給・搬送部2のフレームローダから搬送したワーク(基板)には、プリフォーム部31で接着剤(ペースト)塗布が行われる。
次にそのワークは、さらにボンディングヘッド部32でウェハ供給部1からピックアップされたダイをボンディングする。
これらペースト塗布時、ボンディング時、及びピックアップ時には、各々工程に合わせ、ワークとウェハを各カメラ(後述のプリフォームカメラ82、ウェハカメラ83、またはボンディングカメラ81)にて撮像する。撮像されたそれらの画像より画像処理を用い位置決めおよび検査を行う。
ウェハは、ウェハリングに取付けてあるダイシングテープ上に設置されている。ウェハ供給部1では、後述の図5に示すウェハ部光学系15がウェハ内の個々のダイの位置決めを行う。
次にそのワークは、さらにボンディングヘッド部32でウェハ供給部1からピックアップされたダイをボンディングする。
これらペースト塗布時、ボンディング時、及びピックアップ時には、各々工程に合わせ、ワークとウェハを各カメラ(後述のプリフォームカメラ82、ウェハカメラ83、またはボンディングカメラ81)にて撮像する。撮像されたそれらの画像より画像処理を用い位置決めおよび検査を行う。
ウェハは、ウェハリングに取付けてあるダイシングテープ上に設置されている。ウェハ供給部1では、後述の図5に示すウェハ部光学系15がウェハ内の個々のダイの位置決めを行う。
ウェハ供給部1は、ウェハカセットリフタ11と、ピックアップ装置12とを有する。ウェハカセットリフタ11はウェハリングが充填されたウェハカセット(図示せず)を有し,順次ウェハリングをピックアップ装置12に供給する。ピックアップ装置12は、所望するダイをウェハリングからピックアップできるように、ウェハリングを移動する。
ワーク供給・搬送部2は、スタックローダ21と、フレームフィーダ22と、アンローダ23とを有し、ワーク(リードフレーム等の基板)を矢印方向に搬送する。スタックローダ21は、ダイを接着するワークをフレームフィーダ22に供給する。フレームフィーダ22は、ワークをフレームフィーダ22上の2箇所の処理位置を介してアンローダ23に搬送する。アンローダ23は、搬送されたワークを保管する。
ダイボンディング部3は、プリフォーム部(ペースト塗布ユニット)31とボンディングヘッド部32とを有する。プリフォーム部31は、フレームフィーダ22により搬送されてきたワーク(例えば、リードフレーム)にペースト塗布ユニットでダイ接着剤を塗布する。ボンディングヘッド部32は、ピックアップ装置12からダイをピックアップして上昇し、ダイをフレームフィーダ22上のボンディングポイントまで移動させる。そして、ボンディングヘッド部32はボンディングポイントでダイを下降させ、ダイ接着剤が塗布されたワーク上にダイをボンディングする。
なお、ダイシングテープと共にダイボンディングフィルムを貼り付けたウェハがウェハリングに設置されている場合には、プリフォーム部31は不要である。
なお、ダイシングテープと共にダイボンディングフィルムを貼り付けたウェハがウェハリングに設置されている場合には、プリフォーム部31は不要である。
ボンディングヘッド部32は、ボンディングヘッド35(図5参照)をZ(高さ)方向に昇降させ、Y方向に移動させるZY駆動軸60と、X方向に移動させるX駆動軸70とを有する。ZY駆動軸60は、矢印Cで示すY方向、即ちボンディングヘッドをピックアップ装置12内のピックアップ位置とボンディングポイントとの間を往復するY駆動軸40と、ダイをウェハからピックアップするまたは基板Bにボンディングするために昇降させるZ駆動軸50とを有する。X駆動軸70は、ZY駆動軸60全体を、ワークを搬送する方向であるX方向に移動させる。
図5は、本実施形態における光学系構成図を示す図である。光学系38は、プリフォーム部光学系33と、ボンディング部光学系34と、ウェハ部光学系15を有する。プリフォーム部光学系33は、ペースト塗布ユニット36の塗布位置を把握するための光学系である。また、ボンディング部光学系34は、ボンディングヘッド部35が搬送されてきた基板Bにボンディングするためのボンディング位置を把握するための光学系である。さらに、ボンディングヘッド部35(またはピックアップヘッド部32)は、ウェハ14からピックアップするダイDのピックアップ位置を把握するための光学系である。各部光学系は、対象に対して照明する照明装置とカメラを有する。ウェハ14において網目状にダイシングされたダイDは、ウェハリング16に固定されたダイシングテープ17に固定されている。
この構成によって、ダイ接着剤がペースト塗布ユニット36によって正確な位置に塗布され、そして、ダイがピックアップ・ボンディングユニット35によって、確実にピックアップされ、基板Bの正確な位置にボンディングされる。
なお、ダイボンダの中には、中間ステージを有する装置もある。この場合には、ピックアップヘッド部32を用いてウェハ14から一度この中間ステージにダイDを載置する。そして、ボンディングヘッド部35を用いて中間ステージからダイDをピックアップして、ピックアップしたダイDをワークBにボンディングする方式である。
この構成によって、ダイ接着剤がペースト塗布ユニット36によって正確な位置に塗布され、そして、ダイがピックアップ・ボンディングユニット35によって、確実にピックアップされ、基板Bの正確な位置にボンディングされる。
なお、ダイボンダの中には、中間ステージを有する装置もある。この場合には、ピックアップヘッド部32を用いてウェハ14から一度この中間ステージにダイDを載置する。そして、ボンディングヘッド部35を用いて中間ステージからダイDをピックアップして、ピックアップしたダイDをワークBにボンディングする方式である。
図6は上述した本発明の一実施形態であるダイボンダの動作を制御する制御部の概略構成図である。制御部41は、大別して、主としてCPU(Central Processing Unit)で構成される制御・演算部41aと、記憶装置42と、入出力装置43と、バスライン44と、電源部45とを有する。記憶装置42は、処理プログラムなどを記憶しているRAM(Random Access Memory)で構成されている主記憶装置42aと、制御に必要な制御データや画像データ等を記憶しているHDD(Hard Disc Drive)で構成されている補助記憶装置42bとを有する。入出力装置43は、装置状態や情報等を表示するモニタ43aと、オペレータの指示を入力するタッチパネル43bと、モニタ43aを操作するマウス43cと、光学系38からの画像データを取り込む画像取込装置43dと、ピックアップ装置12のXYテーブル(図示せず)やZY駆動軸60等のモータ65を制御するモータ制御装置43eと、種々のセンサ信号や照明装置などのスイッチ等の信号部66から信号を取り込みまたは制御するI/O信号制御装置43fとを有する。制御・演算部41はバスライン44を介して必要なデータを取込み、演算し、ボンディングヘッド35等の制御や、モニタ43a等に情報を送る。
図7は、本発明のダイボンダにおける、制御部41が制御する品種データ(レシピ)の保存手順の一実施例を示した簡単なフローチャートである。
品種データ作成ステップS71では、制御部41は、操作画面を通してダイボンダに操作員が入力する指示に基づいて、品種データを作成する。この時、ダイサイズ、ダイの方向を含むダイ情報を品種データと関連付ける。
品種データ保存ステップS72では、制御部41は、操作画面を通してダイボンダに操作員が入力する指示に基づいて、品種データを保存する。この時、ダイ情報を品種データと関連付けて付随情報として保存する。
なお、品種データ及び付随情報を、外部メディア(例えば、図6の補助記憶装置42b、等)に保存するようにしても良い。
品種データ作成ステップS71では、制御部41は、操作画面を通してダイボンダに操作員が入力する指示に基づいて、品種データを作成する。この時、ダイサイズ、ダイの方向を含むダイ情報を品種データと関連付ける。
品種データ保存ステップS72では、制御部41は、操作画面を通してダイボンダに操作員が入力する指示に基づいて、品種データを保存する。この時、ダイ情報を品種データと関連付けて付随情報として保存する。
なお、品種データ及び付随情報を、外部メディア(例えば、図6の補助記憶装置42b、等)に保存するようにしても良い。
図8によって、本発明の品種データ(レシピ)読出し手順のより詳細な手順の一実施例を説明する。図8は、本発明のダイボンダにおける、制御部41が制御する品種データ(レシピ)読出し手順の一実施例を示したフローチャートである。
ウェハローディングステップS81では、ウェハをウェハカセットからローディングする。
ダイサイズ測定ステップS82では、ダイサイズを測定し、かつ方向性等のダイサイズを含むダイ情報を取得する。
品種候補選択ステップS83では、ステップS82で測定されたダイサイズから品種候補を選択する。
ダイイメージ取得ステップS84では、ウェハカメラ83によってウェハ上のダイの1つの表面を撮像してダイイメージを取得する。
イメージマッチングステップS85では、取得したイメージを、記憶装置42aまたは42bに保存されていたイメージと、イメージマッチングによる比較を行う。
品種候補有無判定ステップS86では、取得したイメージが保存イメージとイメージマッチングするか否かを判定する。イメージマッチングした場合にはその品種を品選択して、生産品種選択ステップS88の処理に移行する。またイメージマッチングしない場合には新規に品種データ(レシピ)を作成する処理(図7の処理)に移行する。
生産品種選択ステップS87では、生産品種として品種データを読み出す。
ウェハローディングステップS81では、ウェハをウェハカセットからローディングする。
ダイサイズ測定ステップS82では、ダイサイズを測定し、かつ方向性等のダイサイズを含むダイ情報を取得する。
品種候補選択ステップS83では、ステップS82で測定されたダイサイズから品種候補を選択する。
ダイイメージ取得ステップS84では、ウェハカメラ83によってウェハ上のダイの1つの表面を撮像してダイイメージを取得する。
イメージマッチングステップS85では、取得したイメージを、記憶装置42aまたは42bに保存されていたイメージと、イメージマッチングによる比較を行う。
品種候補有無判定ステップS86では、取得したイメージが保存イメージとイメージマッチングするか否かを判定する。イメージマッチングした場合にはその品種を品選択して、生産品種選択ステップS88の処理に移行する。またイメージマッチングしない場合には新規に品種データ(レシピ)を作成する処理(図7の処理)に移行する。
生産品種選択ステップS87では、生産品種として品種データを読み出す。
次に、図9によって、図8のダイサイズ測定ステップS82及びS83の処理動作の詳細について説明する。図8は、本発明のダイサイズの測定について説明するための模式図である。記憶装置42(図6参照)には、今までのレシピが保存されている。また記憶装置42は、保存されたレシピに関連付けられたダイ情報を保存している。図9の実施例では、レシピA8Aのダイ情報9A、レシピB8Bのダイ情報9B、レシピC9Cのダイ情報9C、・・・が保存されている。
ダイボンダ300(制御部41)は、ステップS81でローディングされたウェハ5のサイズ、方向性等のダイ情報を測定または取得する。
ステップS82では、ダイサイズ等のダイ情報を取得しているため、保存されているレシピと、現在取得したダイ情報を比較する。比較した結果、現在取得したダイ情報と一致または類似するダイ情報を持つ1または2以上のレシピを品種候補として選択する。
図9及び図10の実施例では、レシピB8BとレシピH8Hが品種候補として選択された。
ダイボンダ300(制御部41)は、ステップS81でローディングされたウェハ5のサイズ、方向性等のダイ情報を測定または取得する。
ステップS82では、ダイサイズ等のダイ情報を取得しているため、保存されているレシピと、現在取得したダイ情報を比較する。比較した結果、現在取得したダイ情報と一致または類似するダイ情報を持つ1または2以上のレシピを品種候補として選択する。
図9及び図10の実施例では、レシピB8BとレシピH8Hが品種候補として選択された。
次に、図10によって、図8のイメージマッチングステップS85の処理動作の詳細について説明する。図10は、本発明のイメージマッチング処理の一実施例について説明するための模式図である。記憶装置42(図6参照)には、今までのレシピが保存されている。そして、各々のレシピ(品種データ)には、それぞれのレシピに対応する着工時のイメージが保存されている(例えば、イメージ10B及びイメージ10H)。
ステップS83では、ダイ情報と一致または類似した品種候補レシピB8BとレシピH8Hが選択されている。
ダイボンダ300(制御部41)は、ローディングされたウェハ5を撮像し、画像を取得する。そしてダイボンダ300は、取得した画像と、品種候補として選択されたレシピB8BとレシピH8Hのイメージとパターンマッチングを行う。
パターンマッチングの結果、一致度が高いイメージを持つレシピを、ローディングされたウェハ5のレシピとして選択する。
これによって、イメージマッチングステップS85の処理が終了する。
なお、パターンマッチングの一致度にしきい値を設け、しきい値未満の場合には、一致しないと判定するようにしても良い。
ステップS83では、ダイ情報と一致または類似した品種候補レシピB8BとレシピH8Hが選択されている。
ダイボンダ300(制御部41)は、ローディングされたウェハ5を撮像し、画像を取得する。そしてダイボンダ300は、取得した画像と、品種候補として選択されたレシピB8BとレシピH8Hのイメージとパターンマッチングを行う。
パターンマッチングの結果、一致度が高いイメージを持つレシピを、ローディングされたウェハ5のレシピとして選択する。
これによって、イメージマッチングステップS85の処理が終了する。
なお、パターンマッチングの一致度にしきい値を設け、しきい値未満の場合には、一致しないと判定するようにしても良い。
図11によって、ウェハ供給部2の動作について簡単に説明する。図11は、本発明のダイボンダにおいて、ウェハカセット16からローディングされる動作を説明する模式図である。
ウェハ5はウェハリング17に設置されてウェハカセット16に収納されている。ウェハカセット16に収納されたウェハリング17の1つは、ウェハ搬送ユニット18aによって引き出され、さらにウェハカメラ83の視野内に移動する。
ウェハカメラ83は、視野内に移動したウェハ搬送ユニット18bのウェハリングに設置されたウェハ5を撮像し、撮像した画像を制御部41に出力するものである。
ウェハ5はウェハリング17に設置されてウェハカセット16に収納されている。ウェハカセット16に収納されたウェハリング17の1つは、ウェハ搬送ユニット18aによって引き出され、さらにウェハカメラ83の視野内に移動する。
ウェハカメラ83は、視野内に移動したウェハ搬送ユニット18bのウェハリングに設置されたウェハ5を撮像し、撮像した画像を制御部41に出力するものである。
図12と図13は、本発明のダイサイズを測定する方法の一実施例について説明する模式的な平面図である。図12及び図13共に、ウェハ5の一部しか描いていない。また、図12及び図13のように、スクライブライン7をはっきり区別できるようにするため、照明光源の出力を上げてウェハ5の照度を十分に上げている。
図12において、ダイボンダ300(制御部41)は、ウェハ7のスクライブライン7の4辺の一部を認識(エッジ検出)し、認識したそれぞれの辺と辺の距離からダイDのサイズを測定している。
図13において、ダイボンダ300(制御部41)は、ウェハ5のスクライブライン7の交差する場所を位置合わせマーク(マッチングパターン)Mとして記憶装置42に登録し、パターンマッチングでウェハ5上の一致するパターンを認識して、ダイサイズを測定している。なお、マッチングパターンMは、交差する場所である必要はなくパターン認識可能であれば良い。また、この場合、認識するパターンは、対角上の2点か、または3点あれば良い。
図12において、ダイボンダ300(制御部41)は、ウェハ7のスクライブライン7の4辺の一部を認識(エッジ検出)し、認識したそれぞれの辺と辺の距離からダイDのサイズを測定している。
図13において、ダイボンダ300(制御部41)は、ウェハ5のスクライブライン7の交差する場所を位置合わせマーク(マッチングパターン)Mとして記憶装置42に登録し、パターンマッチングでウェハ5上の一致するパターンを認識して、ダイサイズを測定している。なお、マッチングパターンMは、交差する場所である必要はなくパターン認識可能であれば良い。また、この場合、認識するパターンは、対角上の2点か、または3点あれば良い。
また、図12または図13において、ウェハ5の照度の決定方法は、例えば、照度Lを暗い方の照度L0から所定の値△L上げていきパターンマッチング可能な照度の範囲の中央値を求めても良い。例えば、照度Lが低い方から、L1=L0、L2=L0+△L、L3=L0+2△L、L4=L0+3△L、L5=L0+4△L、L6=L0+5△Lと上げていく場合に、マッチングの可否(OKまたはNG)の結果が、NG(L1)、NG(L2)、OK(L3)、OK(L4)、OK(L5)、NG(L6)となったとした場合には、OKの中央であるL4の照度でマッチングを行った結果を採用する。
なお、照度を上昇する範囲は、NGの結果から始めて、徐々に上げていき、OKの結果を得てから、さらに照度を上げ、NGの結果が出るまで続ける。
なお、照度を上昇する範囲は、NGの結果から始めて、徐々に上げていき、OKの結果を得てから、さらに照度を上げ、NGの結果が出るまで続ける。
上記実施例によれば、選択が簡単で、間違いが少なく、迅速にレシピ選択が可能なレシピ選択方法及びダイボンダを実現することができる。
1:ウェハ供給部、 2:ワーク供給・搬送部、 3:ダイボンディング部、 5:ウェハ、 8A、8B、8C、8H:レシピ、 9A、9B、9C、9H:ダイ情報、10B、10H:着工時のイメージ、 11:ウェハカセットリフタ、 12:ピックアップ装置、 15:ウェハ部光学系、 21:スタックローダ、 22:フレームフィーダ、 23:アンローダ、 31:プリフォーム部、 32:ボンディングヘッド部、 33:プリフォーム部光学系、 34:ボンディング部光学系、 35:ピックアップ・ボンディングユニット、 36:ペースト塗布ユニット、 38:光学系、 40:Y駆動軸、 41:制御部、 41a:制御・演算部、 42:記憶装置、 42a:主記憶装置、 42b:補助記憶装置、 43:入出力装置、 43a:画像表示モニタ、 43b:タッチパネル、 43c:マウス、 43d:画像取込装置、 43e:モータ制御装置、 43f:I/O信号制御装置、 44:バスライン、 45:電源部、 50:Z駆動軸、 60:ZY駆動軸、 65:駆動軸、 66:センサ・スイッチ、 70:X駆動軸、 81:ボンディングカメラ、 82:プリフォームカメラ、 83:ウェハカメラ、 100:レシピ選択操作画面、 200:レシピ選択画面、 201:現レシピ表示欄、 202:データリスト、 5:グループ表示欄、 300:ダイボンダ、 B:ワーク、 D:ダイ、 M:位置合わせマーク、 S:パターン。
Claims (6)
- ウェハ供給部と、ワーク供給搬送部と、ダイボンディング部を有するダイボンダのレシピ選択方法であって、
前記ウェハ供給部のピックアップ装置に供給されたウェハのダイサイズを測定するダイサイズ測定ステップ、
前記測定されたダイサイズから品種候補を選択する品種候補選択ステップ、
前記ウェハのダイ表面を撮像しダイイメージを取得するダイイメージ取得ステップ、
前記取得したイメージを保存されていたイメージとイメージマッチングによる比較を行うイメージマッチングステップ、及び、
前記イメージマッチングステップでイメージマッチングした場合に、該イメージマッチングした品種を選択する生産品種選択ステップを備えたことを特徴とするレシピ選択方法。 - 請求項1記載のレシピ選択方法において、レシピ作成時に、ダイサイズを含むダイ情報を該レシピと関連付けて保存することを特徴とするレシピ選択方法。
- 請求項1または請求項2に記載のレシピ選択方法において、前記品種候補選択ステップは、さらに、予め品種毎のレシピに対応付けられて保存されたダイサイズと比較して、前記測定されたダイサイズから品種候補を選択することを特徴とするレシピ選択方法。
- ウェハ供給部と、ワーク供給搬送部と、ダイボンディング部と、装置の各機器を制御する制御部を有するダイボンダにおいて、
前記制御部は、
前記ウェハ供給部のピックアップ装置に供給されたウェハのダイサイズを前記ウェハ供給部のウェハカメラが撮像した画像を画像処理することによって測定し、
前記測定されたダイサイズから品種候補を選択し、
前記ウェハのダイ表面を前記ウェハカメラが撮像してダイイメージを取得し、
前記取得したイメージを、保存されていたイメージとイメージマッチングによって比較し、
イメージマッチングした場合に、該イメージマッチングした品種を選択する
ことを特徴とするダイボンダ。 - 請求項4記載のダイボンダにおいて、レシピ作成時に、ダイサイズを含むダイ情報を該レシピと関連付けて保存することを特徴とするダイボンダ。
- 請求項4または請求項5に記載のダイボンダにおいて、前記制御部は、予め品種毎のレシピに対応付けられて保存されたダイサイズと比較して、前記測定されたダイサイズから品種候補を選択することを特徴とするダイボンダ。
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---|---|---|---|
JP2013054159A JP2014179559A (ja) | 2013-03-15 | 2013-03-15 | レシピ選択方法及びダイボンダ |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR20170132441A (ko) * | 2016-05-24 | 2017-12-04 | 세메스 주식회사 | 다이 본딩 공정의 레시피 생성 방법 |
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2013
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