JP2014178557A - 表示装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光源の光を有効利用するために素子基板に設けられた反射層を、金属膜と増反射膜で構成する。光源の光を通す開口部においては、金属膜を除去しつつ増反射膜の一部である窒化シリコン膜を残存させる。このとき増反射膜における窒化シリコン膜の膜厚は入射光波長の1/4倍とする一方、開口部における窒化シリコン膜の膜厚は入射光波長の1/2倍となるようにする。かかる構成を実現するために、増反射膜の一部である窒化シリコン膜と、層間絶縁膜の上層に設けるパッシベーション膜が開口部において積層されるようにする。
【選択図】図1
Description
図1に本発明の一実施形態に係る表示装置における素子基板102aの断面図を示す。図1は、本実施の形態に係る表示装置における画素の一態様を断面図として示す。素子基板102aにおいて、光透過性基板104として例えばガラス基板が用いられる。光透過性基板104には反射層108が設けられている。
図3は、図1を参照して説明した素子基板102aにおいて、層間絶縁層116上に、さらに平坦化絶縁膜128を設けた素子基板102cの一例を示す。なお、図3において、図1と同じ構成要素には同じ符号を付して示し、繰り返しの説明は省略する。
本実施の形態では、第1の実施の形態で示す素子基板102aを用い、表示素子としてMEMSシャッタ機構を設けた表示装置の一態様を例示する。
本実施の形態では、対向基板103b側に光源106を設けた表示装置100の構成を示す。図9で示す表示装置100は、MEMSシャッタ機構を画素に備えた構成を例示し、素子基板102eと対向基板103bを備えている。
12 光源
14 ガラス基板
16 スイッチング素子
18 層間絶縁膜
20 反射層
22 金属膜
24 増反射膜
26 開口部
100 表示装置
102 素子基板
103 対向基板
104 ガラス基板
106 光源
108 反射層
110 金属膜
112 増反射膜
113 半導体層
114 スイッチング素子
115 ゲート電極
116 層間絶縁層
118 ソース・ドレイン電極
120 パッシベーション膜
122 開口部
123 開口部
124 第3の絶縁膜
126 画素電極
128 平坦化絶縁膜
130 シャッタ
132 シャッタ駆動部
134 ガラス基板
136 遮光膜
140 シャッタ開口部
142 第1バネ
144 第1バネ
146 第2バネ
148 第2バネ
150 第1アンカー部
152 第1アンカー部
154 第2アンカー部
156 第2アンカー部
158 シャッタ機構
160 表示部
162 ゲートドライバ
164 データドライバ
166 入力端子
168 コントローラ
170 画素
172 保持容量
Claims (5)
- 光透過性基板と、
前記光透過性基板上に設けられ、金属膜と、前記光透過性基板と前記金属膜との間に設けられた第1の絶縁膜と第2の絶縁膜とが積層された増反射膜とを有する反射層と、
前記反射層側に設けられる光源と、
前記光源から放射させる光を通過させる領域において前記第2の絶縁膜、前記金属膜および前記層間絶縁層を貫通する開口部と、
前記開口部の底部に設けられ、前記光源から照射される光の波長のn/2倍(n=1以上の整数)の膜厚を有する第3の絶縁膜と、
前記反射層上に設けられたスイッチング素子と、
前記スイッチング素子を埋設する層間絶縁層と、
前記層間絶縁層上に設けられたパッシベーション膜と、を備えることを特徴とする表示装置。 - 前記層間絶縁層と前記パッシベーション膜との間に平坦化絶縁膜を有し、前記平坦化絶縁膜が前記開口部の側壁部も覆っていることを特徴とする請求項1に記載の表示装置。
- 前記平坦化絶縁膜が有色であることを特徴とする請求項2に記載の表示装置。
- 前記第3の絶縁膜は、前記第1の絶縁膜と前記パッシベーション膜とが積層されてなることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の表示装置。
- 前記第1の絶縁膜と前記パッシベーション膜は窒化シリコン膜であり、前記第2の絶縁膜は酸化シリコン膜であることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の表示装置。
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