JP2014178228A - 位置検出装置、レンズ装置、撮像システム、工作装置、位置検出方法、および、プログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】位置検出装置であって、信号処理手段は、第1の周期信号を生成する第1の周期信号生成手段と、第2の周期信号を生成する第2の周期信号生成手段と、第1の周期信号および第2の周期信号を用いて第3の周期信号を生成する第3の周期信号生成手段と、第4の周期信号を生成する第4の周期信号生成手段と、第4の周期信号の整数分の1の周期を有する第5の周期信号を生成する第5の周期信号生成手段と、第6の周期信号を生成する第6の周期信号生成手段と、第6の周期信号の整数分の1の周期を有する第7の周期信号を生成する第7の周期信号生成手段とを有し、第1、第2の周期信号生成手段は、第4の周期信号および第5の周期信号を合成して第1の周期信号を生成し、第6の周期信号および第7の周期信号を合成して第2の周期信号を生成する。
【選択図】図1
Description
式(1)において、ROUND[x]はxに最も近い整数に変換する関数である。また、MOD[x,y]は、xを被除数、yを除数としたときの剰余を示す。ここで、2πを除数としたときの剰余を求めるのは、位相を0以上2π未満の値として表現するためである。可動部4の回転角度θに対して、第1の合成処理により得られる周期信号Φ(1、3)は、図5(a)に示される。
可動部4の回転角度θに対して、第2の合成処理により得られる周期信号Φ(2、4)は、図5(b)に示される。
周期信号Φ5と可動部4の回転角度θとの関係は、図5(c)に示される。
絶対位置信号ΦABSと可動部4の回転角度θとの関係は、図5(d)に示される。このように、本実施例によれば、全周の絶対位置を検出することができる。
ここで、式(1)および式(2)より、以下の式(6)、(7)が成立する。
σ(2、4)=σ4/4 …(7)
以上より、位相信号Φ5(上位信号)の位相誤差σ5の振幅を見積もると、(0.0252+0.0252)0.5=0.035[rad rms]となる。よって、第3の合成処理における(8・Φ5−Φ(1、3))の演算結果の理想値に対する誤差の振幅を見積もると、((8×0.035)2+0.0252)0.5=0.28[rad rms]となる。ここで、±6σを最大誤差振幅と想定した場合、誤差の振幅は±1.7radとなる。
次に、実施例1に対する比較例として、実施例1の構成を用いない場合について説明する。実施例1のスケール20と同様のスケールを用いて、位相演算手段32は、各スリット列に対応した受光素子アレイから取得した電気信号に基づいて、それぞれの位相信号を取得する。また、周期信号Φ6、Φ7を、周期信号Φ1と周期信号Φ2、および、周期信号Φ3と周期信号Φ4のそれぞれの位相信号の差分により取得する。
Φ7=MOD[Φ3−Φ4、2π]=4θ …(9)
ここで、以下のように、周期の長い順に第1〜第4の階層信号とし、4の階層信号を用いて絶対位置を検出することを想定する。
第2の階層信号:Φ7=4θ
第3の階層信号:Φ1=8θ
第4の階層信号:Φ3=32θ
まず、第1の階層信号(周期信号Φ6)および第2の階層信号(周期信号Φ7)を用いて、第2の階層信号の位置検出精度と同等の精度で、第1の階層信号と同様の周期を有する周期信号Φ(6、7)を生成する。周期信号Φ(6、7)は、以下の式(10)のように表される。
この演算における(4・Φ6−Φ7)の誤差成分は、4×(σ1−σ2)−(σ3−σ4)と表される。その振幅を見積もると、以下の式(11)のようになる。
±6σを最大誤差量と想定した場合には±3.5radとなる。このように、位相誤差振幅は±π[rad]を超えるため、絶対位置信号の連続性は保たれず、正確な位置を検出することはできない。
S(B)=S(B+)−S(B−) …(13)
このとき、入力がローレベルの場合のS(A)は、スケールピッチ128μmの像に対してS(A+)とS(A−)が同位相成分となるため、式(12)の差動演算により相殺される。この点は、S(B)についても同様である。
式(14)において、ATAN2[Y,X]は、象限を判別して0〜2π位相に変換する逆正接演算関数である。
次に、受光IC14E、14Fからの信号を絶対位置信号に変換する手順について説明する。第5の周期信号生成手段37は、受光IC14Eから取得した位相信号ΦLに基づいて、Φ1=360θなる信号(第5の周期信号)を取得する。第7の周期信号生成手段39は、受光IC14Fから取得した位相信号ΦLに基づいて、Φ2=356θなる信号(第7の周期信号)を取得する。第8の周期信号生成手段40は、受光IC14Eから取得した位相信号ΦHより、Φ3=1530θなる信号(第8の周期信号)を取得する。第9の周期信号生成手段41は、受光IC14Fから取得した位相信号ΦHより、Φ4=1513θなる信号(第9の周期信号)を取得する。各位相信号には、所定の位置で位相が同時にゼロとなるように、それぞれオフセットが加算されている。図15(a)〜(d)は、それぞれ、周期信号Φ1、Φ2、Φ3、Φ4(検出値)と回転角度θとの関係を示している。
このように、第4の周期信号生成手段36は、第5の周期信号(周期信号Φ1)および第8の周期信号(周期信号Φ3)を用いて第4の周期信号(周期信号Φ5)を生成する。
図16(a)、(b)は、それぞれ、周期信号Φ5、Φ6と可動部4の回転角度θとの関係を示している。
式(18)において、ROUND[x]は、xに最も近い整数に変換する関数である。また、MOD[x,y]は、xを被除数、yを除数としたときの剰余を表す。なお、2πを除数としたときの剰余を求めるのは、位相を0以上2π未満の値として表現するためである。図16(c)は、第1の合成処理により得られる周期信号Φ(5、1)と可動部4の回転角度θとの関係を示している。
図16(e)は、第2の合成処理により得られる周期信号Φ((5、1)、3)と可動部の回転角度θとの関係を示している。
図16(d)は、第3の合成処理により得られる周期信号Φ(6、2)と可動部の回転角度θとの関係を示している。
図16(f)は、第4の合成処理により得られる周期信号Φ((6、2)、4)と可動部の回転角度θとの関係を示している。
図17(a)は、周期信号Φ7と可動部の回転角度θとの関係を示している。
図17(b)は、第5の合成処理によって得られる絶対位置信号ΦABSと可動部の回転角度θとの関係を示している。このようにして、全周の絶対位置を検出することができる。
Claims (13)
- 被測定物の位置を検出する位置検出装置であって、
周期的に形成されたパターンを有するスケールと、
前記スケールに対して相対移動可能に構成された検出手段と、
前記検出手段の出力信号を処理して前記被測定物の位置情報を取得する信号処理手段と、を有し、
前記信号処理手段は、
第1の周期信号を生成する第1の周期信号生成手段と、
前記第1の周期信号の周期と異なる第2の周期信号を生成する第2の周期信号生成手段と、
前記第1の周期信号および前記第2の周期信号を用いて、該第1の周期信号および該第2の周期信号のそれぞれの周期よりも長い周期を有する第3の周期信号を生成する第3の周期信号生成手段と、
前記第1の周期信号と同じ周期を有する第4の周期信号を生成する第4の周期信号生成手段と、
前記第4の周期信号の整数分の1の周期を有する第5の周期信号を生成する第5の周期信号生成手段と、
前記第2の周期信号と同じ周期を有する第6の周期信号を生成する第6の周期信号生成手段と、
前記第6の周期信号の整数分の1の周期を有する第7の周期信号を生成する第7の周期信号生成手段と、を有し、
前記第1の周期信号生成手段は、前記第4の周期信号および前記第5の周期信号を合成して前記第1の周期信号を生成し、
前記第2の周期信号生成手段は、前記第6の周期信号および前記第7の周期信号を合成して前記第2の周期信号を生成する、ことを特徴とする位置検出装置。 - 前記第1の周期信号生成手段は、前記第4の周期信号および前記第5の周期信号を用いて、該第4の周期信号の周期内の該第5の周期信号の位置を特定することにより、前記第1の周期信号を生成し、
前記第2の周期信号生成手段は、前記第6の周期信号および前記第7の周期信号を用いて、該第6の周期信号の周期内の該第7の周期信号の位置を特定することにより、前記第2の周期信号を生成することを特徴とする請求項1に記載の位置検出装置。 - 前記信号処理手段は、前記第1の周期信号および前記第3の周期信号を用いて絶対位置信号を生成する位置情報演算手段を有することを特徴とする請求項1または2に記載の位置検出装置。
- 前記第5の周期信号および前記第7の周期信号は、互いに共通の信号であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の位置検出装置。
- 前記検出手段は、複数の検出素子が移動方向に並べられた検出素子アレイを備え、
前記第4の周期信号、前記第5の周期信号、前記第6の周期信号、および、前記第7の周期信号のうち、少なくとも2つの周期信号の生成に用いる検出素子アレイの 少なくとも一部は共通であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の位置検出装置。 - 前記信号処理手段は、前記第4の周期信号の整数分の1の周期かつ前記第5の周期信号と異なる周期を有する第8の周期信号を生成する第8の周期信号生成手段を更に有し、
前記第4の周期信号生成手段は、前記第5の周期信号および前記第8の周期信号を用いて前記第4の周期信号を生成することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の位置検出装置。 - 前記検出手段は、複数の検出素子が移動方向に並べられた検出素子アレイを備え、
前記第4の周期信号、前記第5の周期信号、前記第6の周期信号、前記第7の周期信号、および、前記第8の周期信号のうち、少なくとも2つの周期信号の生成に用いる検出素子アレイの 少なくとも一部は共通であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の位置検出装置。 - 前記第4の周期信号の周期は、前記スケールの前記パターンの周期と異なっていることを特徴とする請求項6に記載の位置検出装置。
- 光軸方向に変位可能なレンズと、
前記レンズの位置を検出するように構成された、請求項1乃至8のいずれか1項に記載の位置検出装置と、を有することを特徴とするレンズ装置。 - 請求項9に記載のレンズ装置と、
前記レンズを介して光学像の光電変換を行う撮像素子を備えた撮像装置と、を有することを特徴とする撮像システム。 - ロボットアームまたは組み立て対象物を搬送する搬送体を備えた工作機器と、
前記工作機器の位置または姿勢を検出するように構成された、請求項1乃至8のいずれか1項に記載の位置検出装置と、を有することを特徴とする工作装置。 - 周期的に形成されたパターンを有するスケールに対して相対移動可能に構成された検出手段からの出力信号に基づいて、該スケールまたは該検出手段と一体的に移動する被測定物の位置を検出する位置検出方法であって、
第1の周期信号と同じ周期を有する第4の周期信号、該第4の周期信号の整数分の1の周期を有する第5の周期信号、該第1の周期信号の周期と異なる第2の周期信号と同じ周期を有する第6の周期信号、および、該第6の周期信号の整数分の1の周期を有する第7の周期信号を生成するステップと、
前記第4の周期信号および前記第5の周期信号を合成して前記第1の周期信号を生成するステップと、
前記第6の周期信号および前記第7の周期信号を合成して前記第2の周期信号を生成するステップと、
前記第1の周期信号および前記第2の周期信号を用いて、該第1の周期信号および該第2の周期信号のそれぞれの周期よりも長い周期を有する第3の周期信号を生成するステップと、を有することを特徴とする位置検出方法。 - 請求項12に記載の位置検出方法を情報処理装置に実行させるように構成されていることを特徴とするプログラム。
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