JP2014171181A - Piezoelectric oscillator package and piezoelectric oscillator - Google Patents

Piezoelectric oscillator package and piezoelectric oscillator Download PDF

Info

Publication number
JP2014171181A
JP2014171181A JP2013043094A JP2013043094A JP2014171181A JP 2014171181 A JP2014171181 A JP 2014171181A JP 2013043094 A JP2013043094 A JP 2013043094A JP 2013043094 A JP2013043094 A JP 2013043094A JP 2014171181 A JP2014171181 A JP 2014171181A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
piezoelectric
vibrating piece
piezoelectric vibrating
electrode
package
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2013043094A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP6040058B2 (en
Inventor
Akira Shiohata
亮 塩幡
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
Original Assignee
Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nihon Dempa Kogyo Co Ltd filed Critical Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
Priority to JP2013043094A priority Critical patent/JP6040058B2/en
Publication of JP2014171181A publication Critical patent/JP2014171181A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6040058B2 publication Critical patent/JP6040058B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/161Disposition
    • H01L2224/16151Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/16221Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/16225Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/161Cap
    • H01L2924/1615Shape
    • H01L2924/16195Flat cap [not enclosing an internal cavity]

Landscapes

  • Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a piezoelectric oscillator package capable of accommodating a piezoelectric vibration piece differing in size and having formed therein a pillow part used for a piezoelectric vibration piece of each size, and a piezoelectric oscillator.SOLUTION: A piezoelectric oscillator package (130) allows a first piezoelectric vibration piece (110a) having a first length in a prescribed direction or a second piezoelectric vibration piece having a second length shorter than the first length in a prescribed direction to be disposed inside a cavity (131) whichever is selected. The piezoelectric oscillator package (130) also allows an integrated circuit element (120) for controlling the first piezoelectric vibration piece or the second piezoelectric vibration piece to be placed in it, and is provided with a first placement part (133) in which the integrated circuit element is placed, a second placement part (134a) in which the first piezoelectric vibration piece or the second piezoelectric vibration piece is placed, and a first pillow part (136) for easing the mechanical shock of flexion of the first piezoelectric vibration piece, the second placement part serving as a second pillow part for easing the mechanical shock of flexion of the second piezoelectric vibration piece.

Description

本発明は、大きさが異なる圧電振動片を選択して載置することができる圧電発振器用パッケージ及び圧電発振器に関する。   The present invention relates to a piezoelectric oscillator package and a piezoelectric oscillator capable of selecting and placing piezoelectric vibrating pieces having different sizes.

励振電極に電圧が印加されることにより振動する圧電振動片が知られている。このような圧電振動片は、集積回路素子と共にセラミックパッケージ内に載置され、セラミックパッケージ内に形成される接続電極と励振電極から引き出されている引出電極とが接続されことにより圧電発振器が形成される。圧電振動片はその振動周波数により外形の大きさが異なるが、このような大きさが異なる圧電振動片を所定の大きさのセラミックパッケージにそれぞれ載置しようとした場合、大きさが大きい圧電振動片では励振電極と接続電極とが電気的に接続されてショートする可能性がある。また、圧電振動片は、引出電極と接続電極とが電気的に接続される大きさを有していなければいけないため、圧電振動片の許容される大きさの範囲は小さい。さらに、引出電極が一方の側に形成され他方の側が自由端となる圧電振動片を用いる場合には、圧電振動片が傾いて集積回路素子等に接触しショート等をすることを防ぐために、圧電振動片の傾きを抑えるための枕部がセラミックパッケージ内の自由端側に形成する必要がある。そのため、圧電振動片の大きさに合わせてセラミックパッケージの大きさ又はセラミックパッケージ内に形成され圧電振動片の引出電極と接続される接続電極の形成位置及び大きさを圧電振動片の大きさに合わせて変える必要があった。   A piezoelectric vibrating piece that vibrates when a voltage is applied to an excitation electrode is known. Such a piezoelectric vibrating piece is placed in a ceramic package together with an integrated circuit element, and a piezoelectric oscillator is formed by connecting a connection electrode formed in the ceramic package and an extraction electrode extracted from the excitation electrode. The The size of the outer shape of the piezoelectric vibrating piece differs depending on the vibration frequency. When the piezoelectric vibrating piece having such a different size is placed on a ceramic package of a predetermined size, the piezoelectric vibrating piece having a large size is used. Then, there is a possibility that the excitation electrode and the connection electrode are electrically connected to cause a short circuit. Further, since the piezoelectric vibrating piece must have a size that allows the extraction electrode and the connection electrode to be electrically connected, the allowable range of the piezoelectric vibrating piece is small. Furthermore, when using a piezoelectric vibrating piece in which the extraction electrode is formed on one side and the other side is a free end, the piezoelectric vibrating piece is prevented from inclining and coming into contact with an integrated circuit element or the like to cause a short circuit or the like. It is necessary to form a pillow portion for suppressing the tilt of the vibrating piece on the free end side in the ceramic package. Therefore, according to the size of the piezoelectric vibrating piece, the size of the ceramic package or the formation position and size of the connection electrode formed in the ceramic package and connected to the lead electrode of the piezoelectric vibrating piece are adjusted to the size of the piezoelectric vibrating piece. Needed to change.

これに対して、特許文献1には、所定の大きさのセラミックパッケージで異なる大きさの水晶振動板に対応できる圧電デバイスの開示がある。特許文献1では、補助支持板を用いて水晶振動板を支えることにより、異なる大きさの水晶振動板をセラミックパッケージに安定して載置できる旨を開示している。   On the other hand, Patent Document 1 discloses a piezoelectric device that can cope with different sizes of quartz crystal plates in a ceramic package of a predetermined size. Japanese Patent Application Laid-Open No. H10-228561 discloses that a quartz crystal plate having different sizes can be stably placed on a ceramic package by supporting the quartz plate using an auxiliary support plate.

特開2005−260727号公報JP 2005-260727 A

しかし、特許文献1では新たな部品を用いることによりコストが上がり、補助支持板を設置するための手間が発生する。また、小さい圧電振動片をパッケージ内に載置する場合には枕部を使用することができず、自由端を有する圧電振動片では圧電振動片が傾いて集積回路素子等に接触し、ショートする可能性が残っていた。   However, in Patent Document 1, the use of a new part increases the cost, and labor is required for installing the auxiliary support plate. Further, when a small piezoelectric vibrating piece is placed in a package, the pillow portion cannot be used, and in the piezoelectric vibrating piece having a free end, the piezoelectric vibrating piece is inclined to contact an integrated circuit element or the like and short-circuit. The possibility remained.

そこで本発明は、異なる大きさの圧電振動片を収納することができ、各大きさの圧電振動片に用いる枕部が形成された圧電発振器用パッケージ及び圧電発振器を提供する。   Accordingly, the present invention provides a piezoelectric oscillator package and a piezoelectric oscillator in which piezoelectric vibrating pieces of different sizes can be accommodated and a pillow portion used for each size of the piezoelectric vibrating piece is formed.

第1観点の圧電発振器用パッケージは、キャビティ内に、所定方向に第1長さを有し一対の励振電極及び一対の励振電極からそれぞれ一方の側に引き出される一対の引出電極を含む第1圧電振動片と、所定方向に第1長さよりも短い第2長さを有し一対の励振電極及び一対の励振電極からそれぞれ一方の側に引き出される一対の引出電極を含む第2圧電振動片と、のどちらか一方を選択して配置することができ、第1圧電振動片又は第2圧電振動片を制御する集積回路素子を載置することができ、長辺及び短辺を有する圧電発振器用パッケージである。この圧電発振器用パッケージには、集積回路素子が載置されキャビティの底面に形成される第1載置部と、第1圧電振動片又は第2圧電振動片が載置され、底面よりも位置が高く、キャビティの一方の側に形成される第2載置部と、第1圧電振動片のたわみの衝撃を緩和し、底面よりも位置が高く、キャビティの他方の側に形成される第1枕部と、を備え、第2載置部が第2圧電振動片のたわみの衝撃を緩和するための第2枕部となる。   A package for a piezoelectric oscillator according to a first aspect includes a first piezoelectric element having a first length in a predetermined direction in a cavity and a pair of extraction electrodes and a pair of extraction electrodes respectively extracted from the pair of excitation electrodes to one side. A second piezoelectric vibrating piece including a vibrating piece, a pair of excitation electrodes having a second length shorter than the first length in a predetermined direction, and a pair of extraction electrodes respectively drawn from the pair of excitation electrodes to one side; A package for a piezoelectric oscillator having a long side and a short side on which an integrated circuit element for controlling the first piezoelectric vibrating piece or the second piezoelectric vibrating piece can be placed. It is. In this piezoelectric oscillator package, the first mounting portion on which the integrated circuit element is mounted and formed on the bottom surface of the cavity, and the first piezoelectric vibrating piece or the second piezoelectric vibrating piece are mounted, and the position is more than the bottom surface. The first pillow formed on the other side of the cavity, which is higher and has a second mounting portion formed on one side of the cavity and the impact of the deflection of the first piezoelectric vibrating piece, is higher than the bottom surface And the second mounting portion serves as a second pillow portion for alleviating the deflection impact of the second piezoelectric vibrating piece.

第2観点の圧電発振器用パッケージは、第1観点において、第1圧電振動片が長辺が伸びる方向と第1長さの方向とが重なるように載置されることができ、第2圧電振動片が短辺が伸びる方向と第2長さの方向とが重なるように載置されることができる。   In the first aspect, the piezoelectric oscillator package according to the second aspect can be placed so that the direction in which the long side extends and the direction of the first length overlap with each other in the first aspect. The piece can be placed so that the direction in which the short side extends and the direction of the second length overlap.

第3観点の圧電発振器用パッケージは、第2観点において、第2載置部には第1圧電振動片又は第2圧電振動片の一対の引出電極に電気的に接続される第1接続電極及び第2接続電極が形成され、第1接続電極が第2接続電極に長辺が伸びる方向及び短辺が伸びる方向の両方に重なるように形成されている。   According to a third aspect of the piezoelectric oscillator package, in the second aspect, the first mounting electrode electrically connected to the first piezoelectric vibrating piece or the pair of lead electrodes of the second piezoelectric vibrating piece on the second mounting portion; A second connection electrode is formed, and the first connection electrode is formed to overlap the second connection electrode in both the direction in which the long side extends and the direction in which the short side extends.

第4観点の圧電発振器用パッケージは、第3観点において、第2載置部がキャビティの一方の側の両端にそれぞれ形成される。一方の第2載置部には第1接続電極が形成される。また、他方の第2載置部のキャビティの一方の側には第1接続電極が形成され、他方の第2載置部のキャビティの他方の側には第2接続電極が形成されている。   In the piezoelectric oscillator package of the fourth aspect, in the third aspect, the second placement portion is formed at both ends on one side of the cavity. A first connection electrode is formed on one second mounting portion. A first connection electrode is formed on one side of the cavity of the other second mounting portion, and a second connection electrode is formed on the other side of the cavity of the other second mounting portion.

第5観点の圧電発振器は、第1観点から第4観点の圧電発振器用パッケージと、第1圧電振動片又は第2圧電振動片と、集積回路素子と、キャビティを密封するリッドと、を備える。   A piezoelectric oscillator according to a fifth aspect includes the piezoelectric oscillator package according to the first to fourth aspects, the first piezoelectric vibrating piece or the second piezoelectric vibrating piece, an integrated circuit element, and a lid for sealing the cavity.

第6観点の圧電発振器は、第3観点から第4観点の圧電発振器用パッケージと、第1圧電振動片又は第2圧電振動片と、集積回路素子と、キャビティを密封するリッドと、を備え、第1圧電振動片又は第2圧電振動片の励振電極が、第1接続電極及び第2接続電極に上下方向に重ならない。   A piezoelectric oscillator of a sixth aspect includes a piezoelectric oscillator package of the third to fourth aspects, a first piezoelectric vibrating piece or a second piezoelectric vibrating piece, an integrated circuit element, and a lid for sealing the cavity, The excitation electrode of the first piezoelectric vibrating piece or the second piezoelectric vibrating piece does not overlap the first connection electrode and the second connection electrode in the vertical direction.

本発明によれば、異なる大きさの圧電振動片を収納することができ、各大きさの圧電振動片に用いる枕部が形成された圧電発振器用パッケージ及び圧電発振器を提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a piezoelectric oscillator package and a piezoelectric oscillator in which different sizes of piezoelectric vibrating reeds can be accommodated and a pillow portion used for each size of the piezoelectric vibrating reed is formed.

圧電発振器100の分解斜視図である。1 is an exploded perspective view of a piezoelectric oscillator 100. FIG. (a)は、集積回路素子120の概略平面図である。 (b)は、圧電発振器用パッケージ130の平面図である。FIG. 3A is a schematic plan view of the integrated circuit element 120. FIG. FIG. 6B is a plan view of the piezoelectric oscillator package 130. (a)は、圧電発振器用パッケージ130の第1層130aの平面図である。 (b)は、圧電発振器用パッケージ130の第2層130bの平面図である。 (c)は、圧電発振器用パッケージ130の第3層130cの平面図である。FIG. 6A is a plan view of the first layer 130a of the piezoelectric oscillator package 130. FIG. FIG. 6B is a plan view of the second layer 130b of the piezoelectric oscillator package 130. FIG. FIG. 6C is a plan view of the third layer 130 c of the piezoelectric oscillator package 130. (a)は、第1圧電振動片110aの平面図である。 (b)は、第1圧電振動片110aが載置された圧電発振器用パッケージ130の平面図である。FIG. 6A is a plan view of the first piezoelectric vibrating piece 110a. FIG. 6B is a plan view of the piezoelectric oscillator package 130 on which the first piezoelectric vibrating piece 110a is placed. 図1のA−A断面図である。It is AA sectional drawing of FIG. (a)は、第2圧電振動片110bの平面図である。 (b)は、第2圧電振動片110bが載置された圧電発振器用パッケージ130の平面図である。 (c)は、図6(b)のB−B断面図を含む圧電発振器100の断面図である。(A) is a top view of the 2nd piezoelectric vibrating piece 110b. FIG. 6B is a plan view of the piezoelectric oscillator package 130 on which the second piezoelectric vibrating piece 110b is placed. (C) is sectional drawing of the piezoelectric oscillator 100 containing the BB sectional drawing of FIG.6 (b). (a)は、圧電発振器用パッケージ230の平面図である。 (b)は、圧電発振器用パッケージ330の平面図である。(A) is a top view of the package 230 for piezoelectric oscillators. FIG. 6B is a plan view of the piezoelectric oscillator package 330.

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明の範囲は以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. It should be noted that the scope of the present invention is not limited to these forms unless otherwise specified in the following description.

(第1実施形態)
<圧電発振器100の構成>
図1は、圧電発振器100の分解斜視図である。圧電発振器100は、表面実装型の圧電発振器であり、プリント基板等に実装されて使用される。図1に示される圧電発振器100は主に、第1圧電振動片110aと、集積回路素子120と、圧電発振器用パッケージ130と、リッド板140と、により形成されている。第1圧電振動片110aには、例えば、ATカットの水晶振動片を用いることができる。ATカットの水晶振動片は、主面(YZ面)が結晶軸(XYZ)のY軸に対して、X軸を中心としてZ軸からY軸方向に35度15分傾斜されている。以下の説明では、ATカットの水晶振動片の軸方向を基準とし、傾斜された新たな軸をY’軸及びZ’軸として用いる。また、圧電発振器用パッケージを表す場合には、長辺が伸びる方向をX軸方向、短辺が伸びる方向をZ’軸方向、高さ方向をY’軸方向として説明する。すなわち、X軸方向、Y’軸方向、及びZ’軸方向は、互いに垂直になっている。
(First embodiment)
<Configuration of Piezoelectric Oscillator 100>
FIG. 1 is an exploded perspective view of the piezoelectric oscillator 100. The piezoelectric oscillator 100 is a surface mount type piezoelectric oscillator, and is used by being mounted on a printed circuit board or the like. The piezoelectric oscillator 100 shown in FIG. 1 is mainly formed by a first piezoelectric vibrating piece 110a, an integrated circuit element 120, a piezoelectric oscillator package 130, and a lid plate 140. As the first piezoelectric vibrating piece 110a, for example, an AT-cut quartz vibrating piece can be used. The AT-cut quartz crystal resonator element has a principal surface (YZ plane) inclined with respect to the Y axis of the crystal axis (XYZ) by 35 degrees 15 minutes from the Z axis in the Y axis direction around the X axis. In the following description, the new axes tilted with respect to the axial direction of the AT-cut quartz crystal vibrating piece are used as the Y ′ axis and the Z ′ axis. In the case of representing a package for a piezoelectric oscillator, the direction in which the long side extends is described as the X-axis direction, the direction in which the short side extends is defined as the Z′-axis direction, and the height direction is described as the Y′-axis direction. That is, the X axis direction, the Y ′ axis direction, and the Z ′ axis direction are perpendicular to each other.

第1圧電振動片110aは、矩形形状に形成されている。第1圧電振動片110aの+Y’軸側の面及び−Y’軸側の面にはそれぞれ励振電極111aが形成され、各励振電極111aから−X軸側の辺の+Z’軸側及び−Z’軸側の角にそれぞれ引出電極112aが引き出されている。   The first piezoelectric vibrating piece 110a is formed in a rectangular shape. Excitation electrodes 111a are formed on the surface on the + Y′-axis side and the surface on the −Y′-axis side of the first piezoelectric vibrating piece 110a, respectively, and the + Z′-axis side and the −Z-side of the −X-axis side from each excitation electrode 111a. 'Extraction electrodes 112a are drawn out at the corners on the axis side.

集積回路素子120は、第1圧電振動片110aと電気的に接続されて発振回路が形成される。集積回路素子120は−Y’軸側の面に複数の端子が形成されており、これらの端子が第1圧電振動片110aの引出電極112a又は圧電発振器用パッケージ130に形成される外部電極135に電気的に接続される。   The integrated circuit element 120 is electrically connected to the first piezoelectric vibrating piece 110a to form an oscillation circuit. The integrated circuit element 120 has a plurality of terminals formed on the surface at the −Y′-axis side, and these terminals are connected to the lead electrode 112 a of the first piezoelectric vibrating piece 110 a or the external electrode 135 formed on the piezoelectric oscillator package 130. Electrically connected.

圧電発振器用パッケージ130は、X軸方向に伸びる長辺、及びZ’軸方向に伸びる短辺を有している。また、−Y’軸側の面の四隅にはそれぞれ外部電極135が形成されており、+Y’軸側の面には第1圧電振動片110a及び集積回路素子120が配置されるキャビティ131が形成されている。集積回路素子120は、キャビティ131に形成される第1載置部133(図2(b)参照)に載置される。また、キャビティ131の−X軸側の+Z’軸側及び−Z’軸側にはそれぞれ第2載置部134a及び第2載置部134bが形成されており、第1圧電振動片110aはこの第2載置部134a及び第2載置部134bに載置される。キャビティ131の+X軸側には、第1圧電振動片110aの傾きを抑え、たわみに起因する衝撃を緩和する第1枕部136が形成されている。圧電発振器用パッケージ130の+Y’軸側の面のキャビティ131の周りにはリッド板140に接合される接合面132が形成されている。   The piezoelectric oscillator package 130 has a long side extending in the X-axis direction and a short side extending in the Z′-axis direction. In addition, external electrodes 135 are formed at the four corners of the surface on the −Y′-axis side, and cavities 131 in which the first piezoelectric vibrating piece 110a and the integrated circuit element 120 are disposed are formed on the surface on the + Y′-axis side. Has been. The integrated circuit element 120 is placed on the first placement portion 133 (see FIG. 2B) formed in the cavity 131. Further, a second mounting portion 134a and a second mounting portion 134b are formed on the + Z′-axis side and the −Z′-axis side of the cavity 131 on the −X-axis side, respectively. It mounts on the 2nd mounting part 134a and the 2nd mounting part 134b. On the + X-axis side of the cavity 131, a first pillow portion 136 that suppresses the inclination of the first piezoelectric vibrating piece 110a and reduces the impact caused by the deflection is formed. A bonding surface 132 to be bonded to the lid plate 140 is formed around the cavity 131 on the surface on the + Y′-axis side of the package 130 for the piezoelectric oscillator.

圧電発振器用パッケージ130は、例えばセラミックを基材としたセラミックパッケージであり、第1層130a、第2層130b、及び第3層130cの3つの層が重ね合わされることにより形成されている。第1層130aは圧電発振器用パッケージ130の−Y’軸側の面を形成し、第2層130bは第1層130aの+Y’軸側の面に配置され、キャビティ131内に第2載置部134a、第2載置部134b、及び第1枕部136を形成する。第3層130cは第2層130bの+Y’軸側の面に配置され、第3層130cの+Y’軸側の面には接合面132が形成されている。   The piezoelectric oscillator package 130 is, for example, a ceramic package using a ceramic as a base material, and is formed by superimposing three layers of a first layer 130a, a second layer 130b, and a third layer 130c. The first layer 130a forms a surface on the −Y′-axis side of the piezoelectric oscillator package 130, and the second layer 130b is disposed on the surface on the + Y′-axis side of the first layer 130a. The part 134a, the second mounting part 134b, and the first pillow part 136 are formed. The third layer 130c is disposed on the + Y′-axis side surface of the second layer 130b, and a bonding surface 132 is formed on the + Y′-axis side surface of the third layer 130c.

リッド板140は、平面状に形成されており、圧電発振器用パッケージ130の接合面132に封止材141(図5参照)を介して接合される。これにより、リッド板140は、圧電発振器用パッケージ130のキャビティ131を密封する。また、リッド板140はレーザー光を透過するガラス材等により形成されている。   The lid plate 140 is formed in a planar shape, and is bonded to the bonding surface 132 of the piezoelectric oscillator package 130 via a sealing material 141 (see FIG. 5). As a result, the lid plate 140 seals the cavity 131 of the piezoelectric oscillator package 130. The lid plate 140 is formed of a glass material that transmits laser light.

図2(a)は、集積回路素子120の概略平面図である。集積回路素子120には−Y’軸側の面に6つの端子を有しており、図2(a)では集積回路素子120の−Y’軸側に形成される6つの端子が点線で描かれる円で示されている。6つの端子は、2つの圧電端子121と4つの回路端子122とにより形成されている。圧電端子121は集積回路素子120の−X軸側に形成され、第1圧電振動片110a又は後述される第2圧電振動片110bの引出電極に電気的に接続される端子である。また、回路端子122は集積回路素子120の中央部及び+X軸側に形成され、圧電発振器用パッケージ130の外部電極135にそれぞれ電気的に接続される端子である。   FIG. 2A is a schematic plan view of the integrated circuit element 120. The integrated circuit element 120 has six terminals on the surface at the −Y′-axis side. In FIG. 2A, the six terminals formed on the −Y′-axis side of the integrated circuit element 120 are drawn with dotted lines. It is shown in a circle. The six terminals are formed by two piezoelectric terminals 121 and four circuit terminals 122. The piezoelectric terminal 121 is a terminal that is formed on the −X-axis side of the integrated circuit element 120 and is electrically connected to an extraction electrode of the first piezoelectric vibrating piece 110a or a second piezoelectric vibrating piece 110b described later. The circuit terminals 122 are terminals formed on the central portion of the integrated circuit element 120 and on the + X axis side and electrically connected to the external electrodes 135 of the piezoelectric oscillator package 130, respectively.

図2(b)は、圧電発振器用パッケージ130の平面図である。圧電発振器用パッケージ130のキャビティ131の底面には集積回路素子120が載置される第1載置部133が形成されている。第1載置部133には、集積回路素子120の圧電端子121に電気的に接合される第1圧電電極137a及び第2圧電電極137bと、集積回路素子120の回路端子122に電気的に接合される回路電極138と、が形成されている。圧電発振器用パッケージ130のキャビティ131の+X軸側には第1枕部136が形成されている。また、キャビティ131の−X軸側の+Z’軸側及び−Z’軸側の角にはそれぞれ第2載置部134a及び第2載置部134bが形成されている。圧電発振器用パッケージ130は、X軸方向に長辺が伸び、Z’軸方向に短辺が伸びている。以下では、圧電発振器用パッケージ130のキャビティ131の長辺の長さを長さWX1とし、短辺の長さを長さWZ1として説明する。   FIG. 2B is a plan view of the piezoelectric oscillator package 130. A first mounting portion 133 on which the integrated circuit element 120 is mounted is formed on the bottom surface of the cavity 131 of the piezoelectric oscillator package 130. The first mounting portion 133 is electrically joined to the first piezoelectric electrode 137 a and the second piezoelectric electrode 137 b that are electrically joined to the piezoelectric terminal 121 of the integrated circuit element 120 and the circuit terminal 122 of the integrated circuit element 120. Circuit electrode 138 to be formed. A first pillow 136 is formed on the + X axis side of the cavity 131 of the package 130 for piezoelectric oscillator. Further, a second placement portion 134a and a second placement portion 134b are formed at the corners of the cavity 131 on the −Z ′ axis side and the −Z ′ axis side on the −X axis side, respectively. The piezoelectric oscillator package 130 has a long side extending in the X-axis direction and a short side extending in the Z′-axis direction. Below, the length of the long side of the cavity 131 of the package 130 for piezoelectric oscillators will be described as a length WX1, and the length of the short side will be described as a length WZ1.

圧電発振器用パッケージ130の第2載置部134aの−X軸側及び第2載置部134bには第1接続電極139aが形成されており、第2載置部134aの+X軸側には第2接続電極139bが形成されている。第2載置部134a上の第1接続電極139aと第2接続電極139bとは互いに電気的に接続されておらず絶縁されている。第1載置部133の−X軸側の−Z’軸側には第1圧電電極137aが形成されている。第1圧電電極137aは、第2載置部134aに形成される第1接続電極139a及び第2載置部134bに形成される第1接続電極139aにそれぞれ電気的に接続されている。第1載置部133の−X軸側の+Z’軸側には第2圧電電極137bが形成されている。第2圧電電極137bは、第2載置部134aに形成される第2接続電極139bに電気的に接続されている。また、第1載置部133の中央部及び+X軸側には回路電極138が形成されている。図2(b)では、集積回路素子120が載置される位置が点線120aで示されている。   A first connection electrode 139a is formed on the −X axis side of the second mounting portion 134a and the second mounting portion 134b of the package 130 for the piezoelectric oscillator, and on the + X axis side of the second mounting portion 134a. Two connection electrodes 139b are formed. The first connection electrode 139a and the second connection electrode 139b on the second placement part 134a are not electrically connected to each other but are insulated. A first piezoelectric electrode 137 a is formed on the −Z′-axis side on the −X-axis side of the first placement unit 133. The first piezoelectric electrode 137a is electrically connected to the first connection electrode 139a formed on the second placement portion 134a and the first connection electrode 139a formed on the second placement portion 134b, respectively. A second piezoelectric electrode 137b is formed on the + Z′-axis side on the −X-axis side of the first placement unit 133. The second piezoelectric electrode 137b is electrically connected to the second connection electrode 139b formed on the second placement portion 134a. In addition, a circuit electrode 138 is formed on the central portion of the first placement portion 133 and on the + X axis side. In FIG. 2B, the position where the integrated circuit element 120 is placed is indicated by a dotted line 120a.

図3(a)は、圧電発振器用パッケージ130の第1層130aの平面図である。図3(a)では、第1載置部133と第2層130b(図3(b)参照)が載置される領域とが点線131aにより分けられて示されている。点線131aの外側には第2層130bが載置され、点線131aの内側は第1載置部133となっている。第1層130aの−Y’軸側の面の四隅には外部電極135が形成されている。第1層130aの+Y’軸側の面に形成されている4つの回路電極138は、それぞれ第1配線電極163により点線131aの外側に引き出され、第1層130aを貫通する第1貫通電極161を介して外部電極135にそれぞれ電気的に接続されている。また、第1圧電電極137aと第2圧電電極137bとは、点線131aの外側に引き出され、それぞれ第2層130bを貫通する第2貫通電極162(図3(b)参照)を介して第1接続電極139a及び第2接続電極139bに電気的に接続される。また、第1圧電電極137a及び第2圧電電極137bからは第2配線電極164が伸びており、点線131aの内側で第1配線電極163に接続され、第1配線電極163を介して外部電極135に電気的に接続されている。   FIG. 3A is a plan view of the first layer 130 a of the piezoelectric oscillator package 130. In FIG. 3A, the first placement portion 133 and the region where the second layer 130b (see FIG. 3B) is placed are separated by a dotted line 131a. The second layer 130b is placed outside the dotted line 131a, and the first placement part 133 is inside the dotted line 131a. External electrodes 135 are formed at the four corners of the -Y'-axis side surface of the first layer 130a. The four circuit electrodes 138 formed on the surface of the first layer 130a on the + Y′-axis side are each drawn out to the outside of the dotted line 131a by the first wiring electrode 163 and penetrate the first layer 130a. Are electrically connected to the external electrodes 135 respectively. In addition, the first piezoelectric electrode 137a and the second piezoelectric electrode 137b are drawn to the outside of the dotted line 131a, and the first piezoelectric electrode 137a and the second piezoelectric electrode 137b pass through the second layer 130b and pass through the second through electrode 162 (see FIG. 3B). The connection electrode 139a and the second connection electrode 139b are electrically connected. A second wiring electrode 164 extends from the first piezoelectric electrode 137a and the second piezoelectric electrode 137b, is connected to the first wiring electrode 163 inside the dotted line 131a, and is connected to the external electrode 135 via the first wiring electrode 163. Is electrically connected.

図3(b)は、圧電発振器用パッケージ130の第2層130bの平面図である。第2層130bは、キャビティ131に第1枕部136、第2載置部134a、及び第2載置部134bを形成する。第2層130bは、中心領域に第2層130bを貫通する貫通孔142が形成されており、貫通孔142はキャビティ131の一部を形成する。第2載置部134a及び第2載置部134bには第1接続電極139a及び第2接続電極139bが形成されており、第2貫通電極162を介してそれぞれ第1圧電電極137a及び第2圧電電極137bに電気的に接続されている。図3(b)では、点線131bの外側に第3層130cが配置される。   3B is a plan view of the second layer 130b of the piezoelectric oscillator package 130. FIG. The second layer 130b forms a first pillow portion 136, a second placement portion 134a, and a second placement portion 134b in the cavity 131. In the second layer 130b, a through hole 142 penetrating the second layer 130b is formed in the central region, and the through hole 142 forms a part of the cavity 131. A first connection electrode 139a and a second connection electrode 139b are formed on the second mounting portion 134a and the second mounting portion 134b, and the first piezoelectric electrode 137a and the second piezoelectric electrode are interposed via the second through electrode 162, respectively. It is electrically connected to the electrode 137b. In FIG. 3B, the third layer 130c is disposed outside the dotted line 131b.

図3(c)は、圧電発振器用パッケージ130の第3層130cの平面図である。第3層130cの+Y’軸側の面は接合面132となる。第3層130cは中心領域に第3層130cを貫通する貫通孔143が形成されており、貫通孔143はキャビティ131の一部を形成する。   FIG. 3C is a plan view of the third layer 130 c of the piezoelectric oscillator package 130. The surface on the + Y′-axis side of the third layer 130 c becomes the bonding surface 132. The third layer 130 c has a through hole 143 that penetrates the third layer 130 c in the center region, and the through hole 143 forms part of the cavity 131.

図4(a)は、第1圧電振動片110aの平面図である。第1圧電振動片110aは矩形形状に形成されており、X軸方向に伸びる長辺及びZ’軸方向に伸びる短辺を有している。長辺は長さWX2に形成され、短辺は長さWZ2に形成されており、長さWX2は長さWX1よりも短く、長さWZ2は長さWZ1よりも短い。第1圧電振動片110aの+Y’軸側及び−Y’軸側の主面の中央領域にはそれぞれ励振電極111aが形成されており、各励振電極111aからは、−X軸方向に引出電極112aが引き出されている。+Y’軸側の主面に形成される励振電極111aから引き出される引出電極112aは、−X軸側の+Z’軸側の角に引き出され、さらに+Z’軸側の側面を介して−Y’軸側の面にまで引き出されている。また、−Y’軸側の主面に形成されている励振電極111a(不図示)から引き出されている引出電極112aは、−X軸側の−Z’軸側の角にまで引き出され、−Z’軸側の側面を介して+Y’軸側の面にまで引き出されている。   FIG. 4A is a plan view of the first piezoelectric vibrating piece 110a. The first piezoelectric vibrating piece 110a is formed in a rectangular shape, and has a long side extending in the X-axis direction and a short side extending in the Z′-axis direction. The long side is formed to the length WX2, the short side is formed to the length WZ2, the length WX2 is shorter than the length WX1, and the length WZ2 is shorter than the length WZ1. Excitation electrodes 111a are respectively formed in the central regions of the main surfaces of the first piezoelectric vibrating piece 110a on the + Y′-axis side and the −Y′-axis side. From each excitation electrode 111a, the extraction electrode 112a extends in the −X-axis direction. Has been pulled out. An extraction electrode 112a extracted from the excitation electrode 111a formed on the main surface on the + Y′-axis side is extracted to a corner on the + Z′-axis side on the −X-axis side, and further −Y ′ via a side surface on the + Z′-axis side. It is pulled out to the surface on the shaft side. In addition, the extraction electrode 112a extracted from the excitation electrode 111a (not shown) formed on the main surface on the −Y′-axis side is extracted to the −Z′-axis side corner on the −X-axis side, It is pulled out to the surface on the + Y ′ axis side through the side surface on the Z ′ axis side.

図4(b)は、第1圧電振動片110aが載置された圧電発振器用パッケージ130の平面図である。第1圧電振動片110aは、第2載置部134aに形成される第2接続電極139bと、第2載置部134bに形成される第1接続電極139aと、に引出電極112aが導電性接着剤150(図5参照)を介して接合されることにより圧電発振器用パッケージ130内に配置される。圧電発振器用パッケージ130では、第1圧電振動片110aが配置された場合に、第2配線電極164が圧電発振器用パッケージ130の+Y’軸側から見た場合に見ることができるように形成されている。   FIG. 4B is a plan view of the piezoelectric oscillator package 130 on which the first piezoelectric vibrating piece 110a is placed. In the first piezoelectric vibrating piece 110a, the extraction electrode 112a is conductively bonded to the second connection electrode 139b formed on the second placement portion 134a and the first connection electrode 139a formed on the second placement portion 134b. By being bonded via the agent 150 (see FIG. 5), the piezoelectric oscillator package 130 is disposed. In the piezoelectric oscillator package 130, when the first piezoelectric vibrating piece 110a is disposed, the second wiring electrode 164 is formed so that it can be seen when viewed from the + Y′-axis side of the piezoelectric oscillator package 130. Yes.

圧電発振器100は、集積回路素子120及び第1圧電振動片110aが圧電発振器用パッケージ130に配置され、リッド板140によりキャビティ131が密封された後に第1圧電振動片110aの振動周波数が外部電極135を介して測定される。第1圧電振動片110aの振動周波数が所定の範囲内にあれば、第2配線電極164(図4(b)の点線164aで示された領域)にリッド板140を介してレーザー光を照射することにより第2配線電極164を切断する。第1圧電振動片110aの振動周波数が所定の範囲内に無かった場合には、振動周波数が調整された後に第2配線電極164がレーザー光により切断される。   In the piezoelectric oscillator 100, the integrated circuit element 120 and the first piezoelectric vibrating piece 110 a are arranged in the piezoelectric oscillator package 130, and the cavity 131 is sealed by the lid plate 140, so that the vibration frequency of the first piezoelectric vibrating piece 110 a has the external electrode 135. Measured through. If the vibration frequency of the first piezoelectric vibrating piece 110a is within a predetermined range, the second wiring electrode 164 (the region indicated by the dotted line 164a in FIG. 4B) is irradiated with laser light via the lid plate 140. Thus, the second wiring electrode 164 is cut. When the vibration frequency of the first piezoelectric vibrating piece 110a is not within the predetermined range, the second wiring electrode 164 is cut by the laser light after the vibration frequency is adjusted.

図5は、図1のA−A断面図である。圧電発振器用パッケージ130の第1載置部133には、第1圧電電極137a(図2(b)参照)、第2圧電電極137b、及び回路電極138に圧電端子121及び回路端子122が金属バンプ151を介して接合されることにより、集積回路素子120が載置されている。また、第2載置部134a及び第2載置部134b(図2(b)参照)には、引出電極112aが導電性接着剤150を介して第1接続電極139a(図2(b)参照)及び第2接続電極139bに接合されることにより、第1圧電振動片110aが載置されている。キャビティ131は、リッド板140が封止材141を介して接合面132に接合されることにより密封されている。   5 is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. The first mounting portion 133 of the piezoelectric oscillator package 130 has the first piezoelectric electrode 137a (see FIG. 2B), the second piezoelectric electrode 137b, and the circuit electrode 138 with the piezoelectric terminal 121 and the circuit terminal 122 as metal bumps. The integrated circuit element 120 is placed by being bonded via the connector 151. Further, in the second placement portion 134a and the second placement portion 134b (see FIG. 2B), the extraction electrode 112a is provided with the first connection electrode 139a (see FIG. 2B) via the conductive adhesive 150. ) And the second connection electrode 139b, the first piezoelectric vibrating piece 110a is placed. The cavity 131 is sealed by bonding the lid plate 140 to the bonding surface 132 via the sealing material 141.

圧電発振器100では、第2載置部134a、第2載置部134b、及び第1枕部136が、集積回路素子120の上部よりも+Y’軸方向に高く形成されている。また、第1枕部136と第1圧電振動片110aの+X軸側端部とはY’軸方向に重なっている。そのため、第1圧電振動片110aがたわんで第1圧電振動片110aの自由端である+X軸側端部が−Y’軸側に下がった場合でも、第1圧電振動片110aの+X軸側端部は第1枕部136の上面で止まることにより第1圧電振動片110aの傾きを抑え、第1圧電振動片110aが集積回路素子120に接触してショートすることが防がれている。また、第1枕部136は第1圧電振動片110aがたわんで圧電発振器用パッケージ130の一部に激しく衝突して破損すること等を防いでいる。   In the piezoelectric oscillator 100, the second mounting part 134 a, the second mounting part 134 b, and the first pillow part 136 are formed higher in the + Y′-axis direction than the upper part of the integrated circuit element 120. The first pillow portion 136 and the + X-axis side end portion of the first piezoelectric vibrating piece 110a overlap in the Y′-axis direction. Therefore, even when the first piezoelectric vibrating piece 110a bends and the + X-axis side end which is the free end of the first piezoelectric vibrating piece 110a is lowered to the −Y′-axis side, the + X-axis side end of the first piezoelectric vibrating piece 110a The portion stops on the upper surface of the first pillow portion 136, thereby suppressing the inclination of the first piezoelectric vibrating piece 110a, and the first piezoelectric vibrating piece 110a is prevented from coming into contact with the integrated circuit element 120 and short-circuiting. In addition, the first pillow portion 136 prevents the first piezoelectric vibrating piece 110a from being bent and violently colliding with a part of the piezoelectric oscillator package 130 and being damaged.

図6(a)は、第2圧電振動片110bの平面図である。第2圧電振動片110bは矩形形状に形成されており、X軸方向に伸び長さが長さWX3に形成される長辺と、Z’軸方向に伸び長さが長さWZ3に形成される短辺と、を有している。長さWX3は長さWZ3よりも長く、第1圧電振動片110aの長さWX2及びキャビティ131の長さWZ1よりも短い。また、第1圧電振動片110aと同様に、+Y’軸側及び−Y’軸側の面にそれぞれ励振電極111bが形成され、各励振電極111bから−X軸側に引出電極112bが引き出されている。   FIG. 6A is a plan view of the second piezoelectric vibrating piece 110b. The second piezoelectric vibrating piece 110b is formed in a rectangular shape, and has a long side extending in the X-axis direction with a length WX3 and a extending length in the Z′-axis direction with a length WZ3. And a short side. The length WX3 is longer than the length WZ3 and shorter than the length WX2 of the first piezoelectric vibrating piece 110a and the length WZ1 of the cavity 131. Similarly to the first piezoelectric vibrating piece 110a, excitation electrodes 111b are formed on the surfaces on the + Y′-axis side and the −Y′-axis side, respectively, and an extraction electrode 112b is extracted from each excitation electrode 111b to the −X-axis side. Yes.

図6(b)は、第2圧電振動片110bが載置された圧電発振器用パッケージ130の平面図である。図6(b)に示される座標は、圧電発振器用パッケージ130の座標を示している。そのため、図6(b)における第2圧電振動片110bの座標は、図6(b)に示される座標の−Z’軸方向が第2圧電振動片110bの+X軸方向に相当し、図6(b)に示される座標の+X軸方向が+Z’軸方向に相当する。第2圧電振動片110bの引出電極112bは、第2載置部134aに形成される第1接続電極139a及び第2接続電極139bにそれぞれ導電性接着剤150を介して接合される。   FIG. 6B is a plan view of the piezoelectric oscillator package 130 on which the second piezoelectric vibrating piece 110b is placed. The coordinates shown in FIG. 6B are the coordinates of the piezoelectric oscillator package 130. Therefore, in the coordinates of the second piezoelectric vibrating piece 110b in FIG. 6B, the −Z′-axis direction of the coordinates shown in FIG. 6B corresponds to the + X-axis direction of the second piezoelectric vibrating piece 110b. The + X-axis direction of the coordinates shown in (b) corresponds to the + Z′-axis direction. The lead electrode 112b of the second piezoelectric vibrating piece 110b is joined to the first connection electrode 139a and the second connection electrode 139b formed on the second placement portion 134a via the conductive adhesive 150, respectively.

図6(c)は、図6(b)のB−B断面図を含む圧電発振器100の断面図である。第2圧電振動片110bの自由端は、第2載置部134bとY’軸方向に重なっている。これにより、圧電発振器用パッケージ130に第2圧電振動片110bが載置される場合、第2載置部134bが第2圧電振動片110bにとっての枕部(以下、第2枕部とする)となり、第2圧電振動片110bのたわみに起因する衝撃を緩和する。すなわち、第2枕部となる第2載置部134bにより、第2圧電振動片110bが大きく揺れた場合等に第2圧電振動片110bにかかる衝撃を抑える役割を担う。また、第2圧電振動片110bの配置では、第2圧電振動片110bの励振電極111bが第1載置電極139aとY’軸方向に重ならないことが好ましい。重なった場合には、励振電極111bと第1載置電極139aとが接触してショートする危険があるためである。   FIG. 6C is a cross-sectional view of the piezoelectric oscillator 100 including the BB cross-sectional view of FIG. The free end of the second piezoelectric vibrating piece 110b overlaps with the second mounting portion 134b in the Y′-axis direction. Accordingly, when the second piezoelectric vibrating piece 110b is placed on the piezoelectric oscillator package 130, the second placing portion 134b becomes a pillow portion (hereinafter referred to as a second pillow portion) for the second piezoelectric vibrating piece 110b. The impact caused by the deflection of the second piezoelectric vibrating piece 110b is reduced. That is, the second mounting portion 134b serving as the second pillow portion plays a role of suppressing an impact applied to the second piezoelectric vibrating piece 110b when the second piezoelectric vibrating piece 110b is greatly shaken. Further, in the arrangement of the second piezoelectric vibrating piece 110b, it is preferable that the excitation electrode 111b of the second piezoelectric vibrating piece 110b does not overlap the first mounting electrode 139a in the Y′-axis direction. This is because, when they overlap, there is a risk that the excitation electrode 111b and the first mounting electrode 139a come into contact with each other to cause a short circuit.

以上の説明のように、圧電発振器用パッケージ130は第1圧電振動片110a又は第2圧電振動片110bを選択して載置することができる。これは、圧電発振器用パッケージ130が、第1接続電極139aと第2接続電極139bとがX軸方向及びZ’軸方向の両方向に重なるように形成されていることにより、キャビティ131への圧電振動片の配置方法が、圧電振動片の長辺が伸びる方向がX軸方向になる配置方法(図4(b)参照)及びZ’軸方向になる配置方法(図6(b)参照)の2種類となるためである。また、第1圧電振動片110aに対して第1枕部136が形成され、第2圧電振動片110bに対して第2枕部(第2載置部134b)が形成されていることにより、圧電発振器100のキャビティ131内でのショート及び圧電振動片の破損等が防がれている。   As described above, the piezoelectric oscillator package 130 can select and place the first piezoelectric vibrating piece 110a or the second piezoelectric vibrating piece 110b. This is because the piezoelectric oscillator package 130 is formed so that the first connection electrode 139a and the second connection electrode 139b overlap in both the X-axis direction and the Z′-axis direction. There are two arrangement methods: an arrangement method in which the direction in which the long side of the piezoelectric vibrating piece extends is the X-axis direction (see FIG. 4B) and an arrangement method in which the Z′-axis direction is arranged (see FIG. 6B). This is because it becomes a kind. In addition, the first pillow portion 136 is formed on the first piezoelectric vibrating piece 110a, and the second pillow portion (second mounting portion 134b) is formed on the second piezoelectric vibrating piece 110b. Short circuit in the cavity 131 of the oscillator 100 and breakage of the piezoelectric vibrating piece are prevented.

(第2実施形態)
圧電発振器用パッケージは、2つの種類の圧電振動片を載置するために様々な形状に形成されることができる。以下に圧電発振器用パッケージ130の変形例として、2つの種類の圧電振動片を載置するための圧電振動片用パッケージ230及び圧電振動片用パッケージ330について説明する。また、以下の説明においては、圧電発振器用パッケージ130と同じ部分については圧電発振器用パッケージ130と同じ番号を付してその説明を省略する。
(Second Embodiment)
The piezoelectric oscillator package can be formed in various shapes for mounting two types of piezoelectric vibrating pieces. Hereinafter, as a modification of the piezoelectric oscillator package 130, a piezoelectric vibrating piece package 230 and a piezoelectric vibrating piece package 330 for mounting two types of piezoelectric vibrating pieces will be described. In the following description, the same parts as those of the piezoelectric oscillator package 130 are denoted by the same reference numerals as those of the piezoelectric oscillator package 130, and the description thereof is omitted.

<圧電発振器用パッケージ230の構成>
図7(a)は、圧電発振器用パッケージ230の平面図である。圧電発振器用パッケージ230には、キャビティ131の−X軸側の辺に沿って第1枕部136と同じ高さの第2載置部234が形成されている。第2載置部234の−Z’軸側には第1接続電極270が形成されており、第2載置部234の+Z’軸側には第2接続電極271が形成されている。また、第2載置部234の中央領域には電極が形成されていない。
<Configuration of Package 230 for Piezoelectric Oscillator>
FIG. 7A is a plan view of the piezoelectric oscillator package 230. In the piezoelectric oscillator package 230, a second mounting portion 234 having the same height as the first pillow portion 136 is formed along the side of the cavity 131 on the −X axis side. A first connection electrode 270 is formed on the −Z′-axis side of the second placement portion 234, and a second connection electrode 271 is formed on the + Z′-axis side of the second placement portion 234. In addition, no electrode is formed in the central region of the second placement portion 234.

第1接続電極270は、第2載置部234の−Z’軸側の端に形成されている領域270aと、領域270aの−X軸側から電極が形成されていない中央領域の−X軸側を迂回して+Z’軸方向に伸びる領域270cと、領域270cに接続され電極が形成されていない中央領域の+Z’軸側に形成される領域270bと、により構成されている。また、第2接続電極271は、第2載置部234の+Z’軸側の端に形成されている領域271aと、領域271aから第2載置部234の+X軸側を−Z’軸方向に伸びる領域271bと、により構成されている。   The first connection electrode 270 includes a region 270a formed at the end of the second mounting portion 234 on the −Z ′ axis side, and a −X axis in a central region where no electrode is formed from the −X axis side of the region 270a. A region 270c that bypasses the side and extends in the + Z′-axis direction, and a region 270b that is connected to the region 270c and is formed on the + Z′-axis side of the central region where no electrode is formed. The second connection electrode 271 includes a region 271a formed at the end of the second mounting portion 234 on the + Z′-axis side, and the + X-axis side of the second mounting portion 234 from the region 271a to the −Z′-axis direction. And a region 271b extending in the direction.

第1接続電極270の領域270aと第2接続電極271の領域271aとはZ’軸方向に重なるように配置されている。そのため、第1圧電振動片110a(図4(a)参照)の引出電極112aを、それぞれ導電性接着剤150を介して領域270a及び領域271aに接合することにより圧電発振器用パッケージ230に第1圧電振動片110aを載置することができる(点線110a参照)。このとき、第1枕部136が第1圧電振動片110aのショート及び破損等を防いでいる。   The region 270a of the first connection electrode 270 and the region 271a of the second connection electrode 271 are arranged so as to overlap in the Z′-axis direction. Therefore, the extraction electrode 112a of the first piezoelectric vibrating piece 110a (see FIG. 4A) is joined to the region 270a and the region 271a via the conductive adhesive 150, respectively, so that the first piezoelectric element is attached to the piezoelectric oscillator package 230. The vibrating piece 110a can be placed (see the dotted line 110a). At this time, the first pillow portion 136 prevents the first piezoelectric vibrating piece 110a from being short-circuited or damaged.

第1接続電極270の領域270bと第2接続電極271の領域271bとはX軸方向に重なるように配置されている。そのため、第2圧電振動片110b(図6(a)参照)の引出電極112bを、それぞれ導電性接着剤150を介して領域270b及び領域271bに接合することにより圧電発振器用パッケージ230に第2圧電振動片110bを載置することができる(点線110b参照)。このとき、第2圧電振動片110bの励振電極111bは電極が形成されていない中央領域とY’軸方向に重なり、第2載置部234の一部である電極が形成されていない中央領域が第2枕部となって第2圧電振動片110bのショート及び破損等を防いでいる。   The region 270b of the first connection electrode 270 and the region 271b of the second connection electrode 271 are arranged so as to overlap in the X-axis direction. Therefore, the extraction electrode 112b of the second piezoelectric vibrating piece 110b (see FIG. 6A) is joined to the region 270b and the region 271b through the conductive adhesive 150, respectively, so that the second piezoelectric element is attached to the piezoelectric oscillator package 230. The vibration piece 110b can be placed (see the dotted line 110b). At this time, the excitation electrode 111b of the second piezoelectric vibrating piece 110b overlaps with the central region where the electrode is not formed in the Y′-axis direction, and the central region where the electrode which is a part of the second mounting portion 234 is not formed. The second pillow portion prevents the second piezoelectric vibrating piece 110b from being short-circuited or damaged.

<圧電発振器用パッケージ330の構成>
図7(b)は、圧電発振器用パッケージ330の平面図である。圧電発振器用パッケージ330には第2載置部234が形成されており、第2載置部234の−Z’軸側には第1接続電極370が形成されており、第2載置部234の+Z’軸側には第2接続電極271が形成されている。また、第2載置部234の中央領域には電極が形成されていない。
<Configuration of Package 330 for Piezoelectric Oscillator>
FIG. 7B is a plan view of the piezoelectric oscillator package 330. A second mounting portion 234 is formed in the piezoelectric oscillator package 330, a first connection electrode 370 is formed on the −Z′-axis side of the second mounting portion 234, and the second mounting portion 234 is formed. A second connection electrode 271 is formed on the + Z′-axis side. In addition, no electrode is formed in the central region of the second placement portion 234.

第1接続電極370は、第2載置部234の−Z’軸側の端に形成されている領域370aと、領域370aの−X軸側から+Z’軸方向に突き出た領域370bと、により構成されている。また、第2接続電極371は、第2載置部234の+Z’軸側の端に形成されている領域371aと、領域371aから第2載置部234の−X軸側を−Z’軸方向に突き出た領域371bと、により構成されている。   The first connection electrode 370 includes a region 370a formed at an end on the −Z′-axis side of the second mounting portion 234, and a region 370b protruding in the + Z′-axis direction from the −X-axis side of the region 370a. It is configured. The second connection electrode 371 includes a region 371a formed at the end of the second mounting portion 234 on the + Z′-axis side, and a −Z′-axis side from the region 371a to the −X-axis side of the second mounting portion 234. And a region 371b protruding in the direction.

第1接続電極370の領域370aと第2接続電極271の領域371aとはZ’軸方向に重なるように配置されている。そのため、第1圧電振動片110a(図4(a)参照)の引出電極112aをそれぞれ導電性接着剤150を介して領域370a及び領域371aに接合することにより、圧電発振器用パッケージ330に第1圧電振動片110aを載置することができる(点線110a参照)。このとき、第1枕部136が第1圧電振動片110aのショート及び破損等を防ぐ。   The region 370a of the first connection electrode 370 and the region 371a of the second connection electrode 271 are arranged so as to overlap in the Z′-axis direction. Therefore, the extraction electrode 112a of the first piezoelectric vibrating piece 110a (see FIG. 4A) is joined to the region 370a and the region 371a via the conductive adhesive 150, respectively, so that the first piezoelectric element is attached to the piezoelectric oscillator package 330. The vibrating piece 110a can be placed (see the dotted line 110a). At this time, the first pillow portion 136 prevents the first piezoelectric vibrating piece 110a from being short-circuited or damaged.

第1接続電極370の領域370bと第2接続電極371の領域371bとはZ’軸方向に重なるように配置されている。そのため、第2圧電振動片110bと同様の形状を有し第2圧電振動片110bよりも寸法が小さい第3圧電振動片110cの引出電極112c(不図示)を、それぞれ導電性接着剤150を介して領域370b及び領域371bに接合することにより圧電発振器用パッケージ330に第2圧電振動片110bを載置することができる(点線110c参照)。このとき、第3圧電振動片110cの励振電極111c(不図示)及び自由端は電極が形成されていない中央領域とY’軸方向に重なり、第2載置部234の一部である電極が形成されていない中央領域が第2枕部となって第3圧電振動片110cのショート及び破損等を防いでいる。   The region 370b of the first connection electrode 370 and the region 371b of the second connection electrode 371 are arranged so as to overlap in the Z′-axis direction. Therefore, the lead electrodes 112c (not shown) of the third piezoelectric vibrating piece 110c having the same shape as the second piezoelectric vibrating piece 110b and having a smaller size than the second piezoelectric vibrating piece 110b are respectively connected via the conductive adhesive 150. Thus, the second piezoelectric vibrating piece 110b can be placed on the piezoelectric oscillator package 330 by joining the region 370b and the region 371b (see the dotted line 110c). At this time, the excitation electrode 111c (not shown) and the free end of the third piezoelectric vibrating piece 110c overlap with the central region where no electrode is formed in the Y′-axis direction, and the electrode which is a part of the second mounting portion 234 A center region that is not formed serves as a second pillow portion to prevent short-circuiting or breakage of the third piezoelectric vibrating piece 110c.

圧電発振器用パッケージ330では、第1接続電極370の領域370a及び第2接続電極271の領域371aと、第1接続電極370の領域370b及び第2接続電極371の領域371bと、の電極の間隔が異なる2つの組み合わせにより2種類の圧電振動片を載置することができる構成となっている。また、領域370b及び領域371bの間の電極が形成されていない領域を利用して第2枕部が形成されている。   In the piezoelectric oscillator package 330, the electrode spacing between the region 370 a of the first connection electrode 370 and the region 371 a of the second connection electrode 271, the region 370 b of the first connection electrode 370 and the region 371 b of the second connection electrode 371 is set. Two types of piezoelectric vibrating reeds can be placed by two different combinations. Moreover, the 2nd pillow part is formed using the area | region in which the electrode between the area | region 370b and the area | region 371b is not formed.

以上、本発明の最適な実施形態について詳細に説明したが、当業者に明らかなように、本発明はその技術的範囲内において実施形態に様々な変更・変形を加えて実施することができる。   As described above, the optimal embodiment of the present invention has been described in detail. However, as will be apparent to those skilled in the art, the present invention can be implemented with various modifications and variations within the technical scope thereof.

例えば、上記の実施形態では圧電振動片にATカットの水晶振動片である場合を示したが、同じように厚みすべりモードで振動するBTカットの水晶振動片などであっても同様に適用できる。さらに圧電振動片は水晶材のみならず、タンタル酸リチウムやニオブ酸リチウムあるいは圧電セラミックを含む接合材に基本的に適用できる。また、上記の実施例では第2配線電極164が形成された圧電発振器用パッケージが説明されたが、第2配線電極164は形成されなくても良い。このとき、リッド板140はレーザー光を透過する材質で形成されなくても良い。   For example, in the above-described embodiment, the case where the piezoelectric vibrating piece is an AT-cut crystal vibrating piece has been described. However, the present invention can be similarly applied to a BT-cut quartz vibrating piece that vibrates in the thickness-slip mode. Furthermore, the piezoelectric vibrating piece can be basically applied not only to a quartz material but also to a bonding material including lithium tantalate, lithium niobate, or piezoelectric ceramic. In the above embodiment, the piezoelectric oscillator package in which the second wiring electrode 164 is formed has been described. However, the second wiring electrode 164 may not be formed. At this time, the lid plate 140 may not be formed of a material that transmits laser light.

100 … 圧電発振器
110a … 第1圧電振動片
110b … 第2圧電振動片
110c … 第3圧電振動片
111a、111b … 励振電極
112a、112b … 引出電極
120 … 集積回路素子
121 … 圧電端子
122 … 回路端子
130、230、330 … 圧電発振器用パッケージ
130a … 第1層
130b … 第2層
130c … 第3層
131 … キャビティ
132 … 接合面
133 … 第1載置部
134a、134b … 第2載置部
135 … 外部電極
136 … 第1枕部
137a … 第1圧電電極
137b … 第2圧電電極
138 … 回路電極
139a、270、370 … 第1接続電極
139b、271、371 … 第2接続電極
140 … リッド板
141 … 封止材
142、143 … 貫通孔
150 … 導電性接着剤
151 … 金属バンプ
161 … 第1貫通電極
162 … 第2貫通電極
163 … 第1配線電極
164 … 第2配線電極
DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 ... Piezoelectric oscillator 110a ... 1st piezoelectric vibrating piece 110b ... 2nd piezoelectric vibrating piece 110c ... 3rd piezoelectric vibrating piece 111a, 111b ... Excitation electrode 112a, 112b ... Extraction electrode 120 ... Integrated circuit element 121 ... Piezoelectric terminal 122 ... Circuit terminal 130, 230, 330 ... Piezoelectric oscillator package 130a ... 1st layer 130b ... 2nd layer 130c ... 3rd layer 131 ... Cavity 132 ... Joining surface 133 ... 1st mounting part 134a, 134b ... 2nd mounting part 135 ... External electrode 136 ... 1st pillow part 137a ... 1st piezoelectric electrode 137b ... 2nd piezoelectric electrode 138 ... Circuit electrode 139a, 270, 370 ... 1st connection electrode 139b, 271, 371 ... 2nd connection electrode 140 ... Lid board 141 ... Sealing material 142, 143 ... Through hole 150 ... Conductive adhesion 151 ... metal bump 161 ... first through electrode 162 ... second through electrode 163 ... first wiring electrode 164 ... second wiring electrode

Claims (6)

キャビティ内に、所定方向に第1長さを有し一対の励振電極及び前記一対の励振電極からそれぞれ一方の側に引き出される一対の引出電極を含む第1圧電振動片と、前記所定方向に前記第1長さよりも短い第2長さを有し一対の励振電極及び前記一対の励振電極からそれぞれ一方の側に引き出される一対の引出電極を含む第2圧電振動片と、のどちらか一方を選択して配置することができ、前記第1圧電振動片又は前記第2圧電振動片を制御する集積回路素子を載置することができ、長辺及び短辺を有する圧電発振器用パッケージであって、
前記集積回路素子が載置され前記キャビティの底面に形成される第1載置部と、
前記第1圧電振動片又は前記第2圧電振動片が載置され、前記底面よりも位置が高く、前記キャビティの一方の側に形成される第2載置部と、
前記第1圧電振動片のたわみの衝撃を緩和し、前記底面よりも位置が高く、前記キャビティの他方の側に形成される第1枕部と、を備え、
前記第2載置部は前記第2圧電振動片のたわみの衝撃を緩和するための第2枕部となる圧電発振器用パッケージ。
A first piezoelectric vibrating piece having a first length in a predetermined direction in the cavity and including a pair of excitation electrodes and a pair of extraction electrodes each drawn from the pair of excitation electrodes to one side; and One of a pair of excitation electrodes having a second length shorter than the first length and a second piezoelectric vibrating piece including a pair of extraction electrodes drawn to one side from the pair of excitation electrodes is selected. A package for a piezoelectric oscillator having a long side and a short side, on which an integrated circuit element for controlling the first piezoelectric vibrating piece or the second piezoelectric vibrating piece can be placed,
A first mounting portion on which the integrated circuit element is mounted and formed on a bottom surface of the cavity;
A second mounting portion on which the first piezoelectric vibrating piece or the second piezoelectric vibrating piece is mounted, the position is higher than the bottom surface, and is formed on one side of the cavity;
A first pillow portion that relaxes the impact of deflection of the first piezoelectric vibrating piece, has a position higher than the bottom surface, and is formed on the other side of the cavity;
The package for a piezoelectric oscillator, wherein the second mounting portion serves as a second pillow portion for alleviating the impact of bending of the second piezoelectric vibrating piece.
前記第1圧電振動片は前記長辺が伸びる方向と前記第1長さの方向とが重なるように載置され、前記第2圧電振動片は前記短辺が伸びる方向と前記第2長さの方向とが重なるように載置される請求項1に記載の圧電発振器用パッケージ。   The first piezoelectric vibrating piece is placed so that a direction in which the long side extends and a direction in the first length overlap each other, and the second piezoelectric vibrating piece has a direction in which the short side extends and the second length. The package for a piezoelectric oscillator according to claim 1, wherein the package is placed so as to overlap with a direction. 前記第2載置部には前記第1圧電振動片又は前記第2圧電振動片の前記一対の引出電極に電気的に接続される第1接続電極及び第2接続電極が形成され、前記第1接続電極は前記第2接続電極に前記長辺が伸びる方向及び前記短辺が伸びる方向の両方に重なるように形成されている請求項2に記載の圧電発振器用パッケージ。   A first connection electrode and a second connection electrode that are electrically connected to the first piezoelectric vibrating piece or the pair of extraction electrodes of the second piezoelectric vibrating piece are formed on the second mounting portion, 3. The piezoelectric oscillator package according to claim 2, wherein the connection electrode is formed so as to overlap the second connection electrode in both a direction in which the long side extends and a direction in which the short side extends. 前記第2載置部は前記キャビティの一方の側の両端にそれぞれ形成され、一方の前記第2載置部には前記第1接続電極が形成され、他方の前記第2載置部の前記キャビティの一方の側には前記第1接続電極が形成され、他方の前記第2載置部の前記キャビティの他方の側には前記第2接続電極が形成されている請求項3に記載の圧電発振器用パッケージ。   The second mounting portion is formed at both ends of one side of the cavity, the first connection electrode is formed on one of the second mounting portions, and the cavity of the other second mounting portion. 4. The piezoelectric oscillator according to claim 3, wherein the first connection electrode is formed on one side of the second mounting electrode, and the second connection electrode is formed on the other side of the cavity of the other second mounting portion. For package. 請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の圧電発振器用パッケージと、
前記第1圧電振動片又は前記第2圧電振動片と、
前記集積回路素子と、
前記キャビティを密封するリッドと、
を備える圧電発振器。
A package for a piezoelectric oscillator according to any one of claims 1 to 4,
The first piezoelectric vibrating piece or the second piezoelectric vibrating piece;
The integrated circuit element;
A lid for sealing the cavity;
A piezoelectric oscillator comprising:
請求項3又は請求項4に記載の圧電発振器用パッケージと、
前記第1圧電振動片又は前記第2圧電振動片と、
前記集積回路素子と、
前記キャビティを密封するリッドと、を備え、
前記第1圧電振動片又は前記第2圧電振動片の前記励振電極が、前記第1接続電極及び前記第2接続電極に上下方向に重ならない圧電発振器。
A package for a piezoelectric oscillator according to claim 3 or claim 4,
The first piezoelectric vibrating piece or the second piezoelectric vibrating piece;
The integrated circuit element;
A lid for sealing the cavity,
The piezoelectric oscillator in which the excitation electrode of the first piezoelectric vibrating piece or the second piezoelectric vibrating piece does not overlap the first connection electrode and the second connection electrode in the vertical direction.
JP2013043094A 2013-03-05 2013-03-05 Package for piezoelectric oscillator and piezoelectric oscillator Expired - Fee Related JP6040058B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013043094A JP6040058B2 (en) 2013-03-05 2013-03-05 Package for piezoelectric oscillator and piezoelectric oscillator

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013043094A JP6040058B2 (en) 2013-03-05 2013-03-05 Package for piezoelectric oscillator and piezoelectric oscillator

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2014171181A true JP2014171181A (en) 2014-09-18
JP6040058B2 JP6040058B2 (en) 2016-12-07

Family

ID=51693247

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013043094A Expired - Fee Related JP6040058B2 (en) 2013-03-05 2013-03-05 Package for piezoelectric oscillator and piezoelectric oscillator

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6040058B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110994099A (en) * 2019-12-06 2020-04-10 北京汉天下微电子有限公司 Filter packaging structure and manufacturing method thereof

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002158558A (en) * 2000-11-21 2002-05-31 Daishinku Corp Package for piezoelectric vibrating device and piezoelectric oscillator
JP2006345482A (en) * 2005-05-12 2006-12-21 Daishinku Corp Surface mounted piezoelectric oscillator
JP2009135562A (en) * 2007-11-28 2009-06-18 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd Crystal oscillator for surface mounting
JP2010183398A (en) * 2009-02-06 2010-08-19 Epson Toyocom Corp Piezoelectric oscillator

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002158558A (en) * 2000-11-21 2002-05-31 Daishinku Corp Package for piezoelectric vibrating device and piezoelectric oscillator
JP2006345482A (en) * 2005-05-12 2006-12-21 Daishinku Corp Surface mounted piezoelectric oscillator
JP2009135562A (en) * 2007-11-28 2009-06-18 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd Crystal oscillator for surface mounting
JP2010183398A (en) * 2009-02-06 2010-08-19 Epson Toyocom Corp Piezoelectric oscillator

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110994099A (en) * 2019-12-06 2020-04-10 北京汉天下微电子有限公司 Filter packaging structure and manufacturing method thereof

Also Published As

Publication number Publication date
JP6040058B2 (en) 2016-12-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6458621B2 (en) Piezoelectric vibration device
JP2009188483A (en) Piezoelectric device, and surface-mounted type piezoelectric oscillator
JP2013066109A (en) Piezoelectric device
JP5029231B2 (en) Electronic device, piezoelectric device, and method of manufacturing electronic device
JP2011199577A (en) Package, electronic device, and method for manufacturing electronic device
JP2011199579A (en) Electronic device and method for manufacturing electronic device
JP6040058B2 (en) Package for piezoelectric oscillator and piezoelectric oscillator
JP2006054602A (en) Package for electronic part and piezo-electric oscillation device using the same
JP3956614B2 (en) Piezoelectric oscillator
JP2007189378A (en) Piezoelectric device and method of manufacturing the same
JP4363859B2 (en) Manufacturing method of crystal oscillator
JP2018121264A (en) Crystal element and crystal device
JP2010268439A (en) Surface mounting crystal vibrator
JP2003318653A (en) Piezoelectric vibrating device
JP2010119127A (en) Tuning-fork type piezoelectric resonator
JP2008141413A (en) Piezoelectric oscillator, and manufacturing method thereof
JP2008017092A (en) Piezoelectric vibrator
JP6569267B2 (en) Piezoelectric oscillator
JP7306095B2 (en) Piezoelectric device and method for manufacturing piezoelectric device
JP6604071B2 (en) Piezoelectric vibration device
JP6538401B2 (en) Piezoelectric device and method of manufacturing the same
JP2004096275A (en) Surface-mounted piezoelectric vibration device
JP7306096B2 (en) Piezoelectric device and method for manufacturing piezoelectric device
JP6601525B2 (en) Piezoelectric vibration device
JP4466857B2 (en) Surface mount type piezoelectric oscillator

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20160126

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160815

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160831

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20161031

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20161107

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6040058

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees