JP2014164998A - 有機el装置の検査装置、有機el装置の検査方法及び有機el装置の製造方法 - Google Patents
有機el装置の検査装置、有機el装置の検査方法及び有機el装置の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】有機EL装置300に給電し、有機EL装置300の表面を発光させる。同時期に照明装置23に給電し、照明装置23を発光させて、有機EL装置300を低い照射角度で照明する。この状態で、有機EL装置300の発光面を真上から撮影する。有機EL装置300の表面に乗った塵は、照明光が乱反射して輝く。これに対して、有機EL装置300の他の部分は、照明装置23から照明される光が有機EL装置300の表面で正反射し、解析用カメラ21に入光しない。そのため有機EL装置の内部の欠陥に起因する暗点は、解析用カメラ21に撮影される。
【選択図】 図5
Description
また、有機EL素子は、一方又は双方が透光性を有する2つの電極を対向させ、この電極の間に有機化合物からなる発光層を積層したものである。有機EL装置は、電気的に励起された電子と正孔との再結合のエネルギーによって発光する。
有機EL装置は、自発光デバイスであり、発光層の材料を適宜選択することにより、種々の波長の光を発光させることができる。また、白熱灯や蛍光灯に比べて厚さが極めて薄く、且つ面状に発光するので、設置場所の制約が少ない。
このダークスポットについて詳説すると、有機EL素子の封止が不十分な場合、水等が封止構造内に進入し、有機EL素子が水等に曝された状態となる。この状態で使用(点灯)すると、有機EL素子を構成する電極あるいは電極界面付近の有機化合物層の一部が酸化され、表面に絶縁性の酸化被膜が形成される。この酸化被膜が形成されると、形成箇所は部分的に絶縁化されるため、点灯時に当該箇所が発光せず、ダークスポットが形成される。
そこで製造工程の一部にダークスポットの有無等を確認する工程を設け、ダークスポットが一定の基準を越えて存在する中間製品を不良品として除去することが必要である。
特許文献1は、有機EL装置の修理方法の発明であり、本発明に関連する技術として有機EL装置を点灯してダークスポットの位置を特定することが記載されている。
特許文献2には、イメージセンサを使用してダークスポットなどを撮影することが記載されている。
即ち有機EL装置の発光面に塵が付着することが多々あり、この塵が有機EL装置の光が外に放出されることを妨げている場合がある。
単に表面から観察して暗点が存在していても、その暗点は、塵の付着に起因するものであるのか、有機EL素子を構成する電極等に欠陥があるが故に生じた暗点であるのかが区別できない。
そのため、ダークスポットの有無等を調べる検査は、清浄な環境下で行う必要がある。 前記した様に、20ミクロン程度の小さなダークスポットであってもその存在や位置、個数を把握しておく必要があるから、試験を行う空間に、20ミクロン程度の大きさの塵が存在しない環境であることが要求される。
ここで、検査を行う空間から、数mm規模の大きな埃を除去することは容易であるが、20ミクロン程度の小さな塵さえも存在しない環境を作ることは容易ではない。
そこで本発明は、従来技術の上記した問題点に注目し、塵の影響を小さくすることが可能であってダークスポットを検出する精度が高い有機EL装置の検査装置を提供することを課題とするものである。また同様の目的を達成することができる有機EL装置の検査方法及び製造方法を提供することを課題とするものである。
しかしながら、有機EL装置の表面に塵が付着していると、照明手段から投光された光が乱反射し、撮影装置側からその輝きが認められる。
そのため、撮影装置側から見ると、塵の部分は、他の部位とは輝度や色が異なることとなる。
一方、有機EL素子を構成する電極等に欠陥が存在する場合は、有機EL装置に通電しても正規の発光状態とはならず、他の部位に比べて暗くなる。
そのため、本検査装置によると、塵が存在する部位と、有機EL素子を構成する電極等に欠陥が存在する部位とで、色や輝度が異なるものとなり、両者を明確に区別することができる。
本発明の有機EL装置の製造方法によると、ダークスポットの数等が一定未満の有機EL装置を製造することができる。
図1、図2、図3に示す装置は、本発明の実施形態の有機EL装置の検査装置50(以下単に検査装置50と称する)である。
検査装置50は、検査装置本体1と、制御装置51によって構成されている。制御装置51は、公知のパーソナルコンピュータであり、パソコン本体52と、ディスプレイ53を有している。
クリーンベンチ装置3は、公知のそれと同様に外壁5で囲まれた空間6を有し、その内部を清浄に保つ機能を有する装置である。
シャッター配置部8は、本体部7に比べて高さが低い。そのため前記した様に、クリーンベンチ装置3は、側面形状が段状となっている。
クリーンベンチ装置3の本体部7には、図3の様に換気ファン12,13が設けられている。
クリーンベンチ装置3内には、図3の様に、X−Yテーブル20、解析用カメラ21、顕微鏡カメラ22、照明装置23等が配されている。
X−Yテーブル20は、平行に配された2本のX方向レール25a,b上に図示しないX方向可動テーブル26が設けられ、さらにX方向可動テーブル26に2本のY方向レール28a,bが設けられ、さらにその上にY方向可動テーブル30が搭載されたものである。本実施形態では、Y方向可動テーブル30に試料保持部材33が設けられている。試料保持部材33には、図示しない給電電極が設けられている。
解析用カメラ21はテレセントリックレンズ36の焦点を所定の位置に合わせる機能を備えている。解析用カメラ21は昇降装置40を介してカメラ支持用フレーム31の梁部35に垂直下向き姿勢で取り付けられている。
顕微鏡カメラ22についても、焦点を所定の位置に合わせる機能を備えている。顕微鏡カメラ22についても、昇降装置41を介してカメラ支持用フレーム31の梁部35に垂直下向き姿勢で取り付けられている。
これらの顕微鏡カメラ22及び解析用カメラ21、特に解析用カメラ21としては、ライン状の明暗情報をワークを相対移動させながらラインセンサでセンサリングし、得られた時系列情報を、前記相対移動を勘案して面内情報に変換する機能を付加したラインカメラを使用することができる。上記したラインカメラを採用することにより、検査に要するタクトタイムを短縮することができる。
X−Yテーブル20のX方向レール25a,bは、クリーンベンチ装置3の本体部7にあり、本体部7の図面横方向に延びている。即ちX−Yテーブル20のX方向レール25a,bは、図3のX方向に延びている。
またX−Yテーブル20のY方向レール28は、前記したX−Yテーブル20のX方向レール25から図面前方向に張り出して設けられている。即ち、Y方向レール28の奥側の端部は、奥側に配された一方のX方向レール25aの上部近傍にある。これに対して、Y方向レール28の他方の端部は、他方のX方向レール25bから大きく張り出している。そしてY方向レール28の他方の端部は、クリーンベンチ装置3の本体部7からはみ出してシャッター配置部8側に至っている。
従って、X−Yテーブル20のY方向可動テーブル30は、クリーンベンチ装置3の本体部7側からシャッター配置部8側に至る範囲を移動可能である。また前記した様に、Y方向可動テーブル30を支持するY方向レール28が、X方向可動テーブル26に載置されているから、Y方向可動テーブル30は、横方向にも移動することができる。
本実施形態では、照明装置23から照射される光の中心光軸100が、水平に対して45度未満となる角度に取り付けられている。
より望ましくは、光の中心光軸100が、水平に対して30度未満、最も望ましくは、20度未満となる角度Aに取り付けられている。
また前記した様に、解析用カメラ21及び顕微鏡カメラ22は、垂直下向き姿勢で取り付けられているから、解析用カメラ21及び顕微鏡カメラ22の入光の中心軸200に対して相当の角度Bでずれている。即ち解析用カメラ21等の入光の中心軸200は、垂直であるから、解析用カメラ21等の入光の中心軸200と、照明装置23から照射される光の中心光軸100とのなす角度Bは、45度以上である。
より望ましくは、光の中心光軸100が、解析用カメラ21等の入光の中心軸200に対して60度以上さらに望ましくは、70度以上である。また当該角度Bは、85度以下、さらに望ましくは、80度以下である。
従って、最も推奨される角度Bは、70度以上、80度以下である。
本実施形態の検査装置50は、有機EL装置300を試料とし、ダークスポットの位置、数、大きさを検出し、ディスプレイ53に表示することができる。
本実施形態の検査装置50は、所定のスイッチを操作することによって、検査装置本体1内のX−Yテーブル20が動作し、試料保持部材33をシャッター配置部8に移動させ、シャッター10が開かれる。そして手動で、試料保持部材33に有機EL装置300を装着し、さらに所定のボタンを押すことによって試験が開始される。そして一連の試験が終了すると、再びX−Yテーブル20が動作し、試料保持部材33をシャッター配置部8に移動させ、シャッター10が開かれる。そして手動で、試料保持部材33に載置された有機EL装置300を取り出す。
前記した様に手動で、試料保持部材33に有機EL装置300を装着し、さらに所定のボタンを押すことによって試験が開始される。最初にシャッター10が自動的に閉鎖され、続いてX−Yテーブル20が動作し、有機EL装置300を解析用カメラ21の直下に移動させる。
そして試料保持部材33の図示しない給電電極から有機EL装置300に給電され、有機EL装置300の表面を発光させる。この発光は、有機EL装置300の有機発光層(図示せず)が発光したものである。
これと同時期に照明装置23に給電され、照明装置23を発光させて、有機EL装置300を低い照射角度で照明する。
そしてこの状態で、解析用カメラ21を動作させ、有機EL装置300の発光面を真上から撮影する。
ここで本実施形態では、解析用カメラ21の焦点が自動的に合わせられるが、この焦点は、図10の様に、基材301の表面ではなく、内部の積層物302に合わせられる。
より具体的には、一回撮影を終えるごとに、X−Yテーブル20を動作させ、解析用カメラ21の真下にくる有機EL装置300の位置をずらして撮影する。なお、一つの撮影領域と他の撮影領域70は、図9の様に縁の部分で重複する。
なお前述した様に、解析用カメラ21としては、ラインカメラを採用する場合には、画像を連続して取得した後、設定した大きさの画像に分割し、ディスプレイ53に表出することが望ましい場合もある。
これと同時に、撮影された有機EL装置300の表面の画像から暗点を検索し、暗点を解析する。
即ち、本実施形態では、解析用カメラ21の焦点が基材301よりも奥側に合わせられている。そのため、図10の様に、基材の表面に塵が乗っていても、塵には焦点が合わず、ぼやける。
これに対して、有機EL装置300の他の部分は、照明光の提供を受けにくい。即ち有機EL装置の表面は、ガラスや樹脂等の基材301で覆われており、平滑性が高い。そのため照明装置23から照明される光は、その多くが基材301の表面で正反射する。また一方、照明光は、有機EL装置300に対して低い角度に照射されるから、正反射光は、入射角度と等しい、低い角度で反射する。一方、解析用カメラ21は、有機EL装置300の表面から法線方向に発光する光を撮影する。即ち解析用カメラ21に導入される入光の中心軸200は、基材301の表面に対して法線方向にあるから、撮影装置に起因する正反射光は、解析用カメラ21に入光せず、撮影の対象とはならない。
さらに本実施形態の検査装置50では、暗点の形状等からも表面の塵に起因するものであるのか、内部の欠陥に起因するものであるのかを判別する判断材料としている。
この点に注目し、本実施形態の検査装置50では、暗点周辺との輝度差を検出する。また本実施形態の検査装置50は、輝度等の過渡領域の幅を検出する境界幅検出機能を有している。さらに本実施形態の検査装置50は、暗点の形状を特定する機能を備えている。そしてこれらの解析結果をダークスポットであるか否かの指標の一つとしている。
即ち特定の暗部輝度ILを定め、これよりも明るいか暗いかによって暗点であるか否かを決定する。
そして特定の閾値よりも暗い領域があったならば、その中心点を特定する。
そして次に、中心点から一定の距離Lが離れた領域の平均輝度IAを測定する。
例えば、図6の様な円形の暗点が存在した場合には、これに対して一定の間隔の遷移領域Lを除いた外側の環状領域Bを想定し、この環状領域Bの平均輝度IAを測定する。
また図7の様な、円以外の形状であるならば、複数の中心点を特定し、この中心点から一定の距離Lだけ離れた歪な環状の領域を想定し、この環状領域Bの平均輝度IAを測定する。
逆に、図7に示すように、輝度変化があいまいであるならば、ダークスポットではない可能性が高い。
即ち図7に示すように平均輝度IAから暗部輝度ILに変化する過渡領域の幅Wが大きい場合は、輝度変化があいまいであり、ダークスポットでは無い可能性が高い。
次にこの図面の長辺の長さと短辺の長さとを測定し、真円度、楕円度、長短比等を演算する。前記した様に、経験則上、形状が円形であるから、真円度が高く、楕円度の低い暗点は、ダークスポットである可能性が高い。逆に真円度が低く、楕円度が高い暗点は、ダークスポットでは無い可能性が高い。
本実施形態の検査装置50は、図11の様に解析用カメラ21の直下近傍に、変位計43が設けられており、解析用カメラ21の直下における有機EL装置300の表面高さを検出することができる。そして撮影を開始する前に、X−Yテーブルを動作させて、有機EL装置300を変位計43の上で移動させ、変位計43の変化を測定する。もし有機EL装置300の表面が水平であるならば、変位計43の変位は無い。これに対して有機EL装置300の表面が図12の様に傾斜していれば、変位計43に変化が現れる。そしてこの変化が許容範囲内であるならば、その平均の高さ位置HAを基準として、解析用カメラ21を昇降移動させる。
本発明者らは、自己が作成した有機EL装置300を検査装置50にかけて暗点を測定した。
ここで測定した暗点は、3個であり、その内の2つは、故意に10ミクロン程度の塵を置いたものである。
残る一つは、後で実施した精密検査の結果、ダークスポットであることが確認されている。
測定は、本実施形態の装置を使用して、有機EL装置300を発光させると共に、照明装置23を点灯して行った。また比較例として、照明装置23を消灯し、有機EL装置300の発光のみに頼って暗点を検出した。
いずれも周辺部の輝度を100とし、塵等の中心部の輝度を周辺部の輝度と比較した数値を表示した。
結果は、表1の通りであった。
これに対してダークスポットの場合は、輝度差の変化が変わらない。そのため暗点がダークスポットによるものであるのか、塵に起因するものであるかを明確に識別することができた。
本グラフから明らかなように、暗点の輝度は、明確に二極化している。そのため、適当な閾値を定めて、その上下によって暗点がダークスポットによるものであるのか、塵に起因するものであるかを明確に識別することができた。なお閾値よりも上の暗点は、いずれも塵等の付着に起因するものであった。
最初の工程として、スパッタ法やCVD法によって基板(基材)60の一部又は全部に第1電極層61を成膜する(第1電極層成膜工程)。形成される第1電極層61の平均厚さは、50nmから800nmであることが好ましく、100nmから400nmであることがより好ましい。
次に、この基板60上の第2電極層63を成膜する(第2電極層成膜工程)。
そしてさらに、第1電極層61に導通する給電線65と、第2電極層63に導通する給電線66を接続する。
さらに図示しない枠等を設けて有機EL装置が完成する。
基板60は、透光性及び絶縁性を有したものである。基板60の材質については特に限定されるものではなく、例えば、フレキシブルなフィルム基板やプラスチック基板などから適宜選択され用いられる。特にガラス基板や透明なフィルム基板は透明性や加工性の良さの点から好適である。
2 テーブル部
3 クリーンベンチ装置
20 X−Yテーブル
21 解析用カメラ
22 顕微鏡カメラ
23 照明装置
50 有機EL装置の検査装置
51 制御装置
53 ディスプレイ
100 照明光の中心光軸
200 入光の中心軸
300 有機EL装置
Claims (10)
- 有機EL装置における本来発光すべき領域に存在する非発光部を検出する有機EL装置の検査装置において、
有機EL装置に給電して発光させる給電手段と、有機EL装置の発光面を撮影する撮影手段と、有機EL装置の発光面に対して外部から投光する照明手段と、映像を解析する解析手段とを有し、
前記撮影装置と照明手段との位置関係は、投光された光の有機EL装置の表面における正反射光の中心光軸が、撮影装置に導入される入光の中心軸とずれていて投光された光の正反射光が撮影装置に入光しない関係にあり、
前記解析手段は、色または輝度の少なくともいずれかを識別する機能を備えていることを特徴とする有機EL装置の検査装置。 - 解析手段は、有機EL装置を発光させた状態において、色又は輝度が一定値以下である部分の存在を認識する機能を備えていることを特徴とする請求項1に記載の有機EL装置の検査装置。
- 解析手段は、有機EL装置を発光させた状態において、非発光領域の中心点を特定する中心点特定機能と、非発光領域の形状を特定する形状特定機能を備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載の有機EL装置の検査装置。
- 有機EL装置は、透明な基材に発光層が積層されていて前記基材から光が発せられるものであり、前記解析手段は、色または輝度に基づいて、光を遮る物質の存在によって発光層が発する光が外部に出ることが妨げられているのか、或いは発光層自身に欠陥があるのかを解析する機能を備えていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の有機EL装置の検査装置。
- 撮影装置に導入される入光の中心軸は、有機EL装置の主面の法線と一致し、前記中心軸と有機EL装置の主面との交点を結ぶ入光軸線と、照明手段の発光部の中心とを結ぶ照明光軸線との成す角度が45度以上であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の有機EL装置の検査装置。
- 解析手段は、一定の暗部輝度IL以下の領域を非発光領域として当該非発光領域の中心点を特定する中心点特定機能と、非発光部の周辺であって当該非発光部から所定の距離だけ離れた周辺領域の平均輝度IAを測定する平均輝度測定機能と、平均輝度IAから暗部輝度ILに変化する過渡領域の幅を検出する境界幅検出機能とを備えていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の有機EL装置の検査装置。
- 有機EL装置又は撮影手段を相対的に平行に移動させる移動手段を有し、有機EL装置又は撮影手段を相対的に平行に移動させて有機EL装置における本来発光すべき領域を分割的に撮影し、さらに撮影された映像を合成して一つの本来発光すべき領域の映像を完成させる映像合成手段を備えていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の有機EL装置の検査装置。
- 有機EL装置は、基材に透明電極層と、発光層と、裏面電極層が積層されたものであり、撮影手段は基材の表面側から撮影し、撮影手段は基材の表面以遠に自動的に焦点を合わせる機能を備えていることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の有機EL装置の検査装置。
- 有機EL装置に給電して発光させると共に、照明手段によって投光した状態で撮影装置で撮影し、有機EL装置における本来発光すべき領域に存在する非発光部を検出する有機EL装置の検査方法において、
前記撮影装置と照明手段との位置関係が、投光された光の有機EL装置の表面における正反射光の中心光軸が、撮影装置に導入される入光の中心軸とずれる関係とし、色または輝度の少なくともいずれかに基づいて非発光部を解析して区別することを特徴とする有機EL装置の検査方法。 - 基材に透明電極層と、発光層と、裏面電極層と、絶縁層を成膜する成膜工程と、
前記透明電極層及び裏面電極層に通電するための電極を設ける電極取り付け工程と、
正反射光が撮影手段に入光しない方向から照明手段で投光すると共に電極に通電して発光層を発光させた状態で撮影手段を使用して撮影し、色又は輝度が一定値以下である部分の存在を認識する撮影工程とを有することを特徴とする有機EL装置の製造方法。
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