CN213812821U - 一种光学检测设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型实施例公开了一种光学检测设备。该光学检测设备包括：承载台，用于承载待测面板；紫外光检测模块，包括紫外光照明单元和紫外光图像采集单元，紫外光照明单元向待测面板发射紫外光，紫外光图像采集单元获取经待测面板出射的紫外光图像；可见光检测模块，包括可见光照明单元和可见光图像采集单元，可见光照明单元向待测面板发射可见光，可见光图像采集单元获取经待测面板反射的可见光图像。本实施例解决了现有OLED显示面板有机发光功能层不能进行检测的问题，不仅可以实现表面光学检测，还能实现内部发光膜层的检测，拓展了光学检测设备的光学检测功能，一定程度上有助于减少光学检测成本，改善OLED显示面板的成品良率。

Description

一种光学检测设备

技术领域

本实用新型实施例涉及面板检测技术领域，尤其涉及一种光学检测设备。

背景技术

在现有的有机发光(OLED，Organic Light-Emitting Diode)显示面板的制备过程中，通常需要光学检测装置(AOI，Automatic Optic Inspection)对制程中的显示面板进行拍照检测。利用采集获得的图像进行处理分析识别缺陷，以淘汰或回收残次的面板，提高成品面板的良率。

对于OLED显示面板而言，其中的有机发光功能层一般会延伸至面板边缘区域设置的焊盘区。图1是本实用新型实施例提供的一种OLED显示面板边缘区域的剖视图，参考图1，在OLED显示面板的焊盘区一般会设置多个通孔，在制备OLED发光器件时，其中的阴极金属层可以通过通孔与下层的金属走线层导通连接，从而实现信号的驱动。然而，可以理解，当有机发光功能层即EL层向面板边缘延伸过多时，会阻挡阴极金属层与下层金属走线层通过通孔电连接，也即会增加阴极金属层与金属走线层的接触电阻，导致接触部分的电流增加，进而会引起该接触部分局部过热，导致电接触不良。目前的AOI检测装置并不能对有机发光功能层的延伸长度进行检测，现有的面板制程也并不能确定有机发光功能层的延伸情况，故而容易降低面板的良率。

实用新型内容

本实用新型提供一种光学检测设备，以通过光学检测识别OLED显示面板中有机发光功能层的延伸情况，确保有机发光显示面板中阴极金属层和金属走线层的电连接质量，改善显示面板的良率。

本实用新型实施例提供了一种光学检测设备，包括：

承载台，用于承载待测面板；

紫外光检测模块，包括紫外光照明单元和紫外光图像采集单元，所述紫外光照明单元向所述待测面板发射紫外光，所述紫外光图像采集单元获取经所述待测面板出射的紫外光图像；

可见光检测模块，包括可见光照明单元和可见光图像采集单元，所述可见光照明单元向所述待测面板发射可见光，所述可见光图像采集单元获取经所述待测面板反射的可见光图像。

可选地，还包括显微镜模块，设置在紫外光图像采集单元和/或所述可见光图像采集单元的入光侧，所述显微镜模块用于放大所述待测面板的反射图像。

可选地，还包括龙门架移动机构，所述龙门架移动机构位于所述承载台上方；

所述紫外光图像采集单元、所述可见光图像采集单元和所述显微镜模块均设置在龙门架移动机构上，所述龙门架移动机构用于分别单独驱动所述紫外光图像采集单元、所述可见光图像采集单元和所述显微镜模块移动。

可选地，所述龙门架移动机构包括升降机构和水平位移机构，所述水平位移机构设置于所述升降机构上，所述紫外光图像采集单元、所述可见光图像采集单元和所述显微镜模块设置于所述水平位移机构上；

所述升降机构用于驱动所述水平位移机构在纵向方向上移动；

所述水平位移机构用于分别单独驱动所述紫外光图像采集单元、所述可见光图像采集单元和所述显微镜模块在水平方向上移动。

可选地，所述水平位移机构包括第一水平位移组件、第二水平位移组件和第三水平位移组件；

所述紫外光图像采集单元设置于所述第一水平位移组件上，所述可见光图像采集单元设置于所述第二水平位移组件上，所述显微镜模块设置于所述第三水平位移组件上；

所述第一水平位移组件和所述第二水平位移组件均在第一水平面上驱动所述紫外光图像采集单元和所述可见光图像采集单元沿第一方向和第二方向移动；所述第三水平位移组件在第二水平面上驱动所述显微镜模块沿第一方向和所述第二方向移动；所述第二水平面位于所述承载台之上，所述第一水平面位于所述第二水平面之上；所述第一方向和所述第二方向交叉。

可选地，所述承载台上还设置有运动机构，所述运动机构用于将所述待测面板移动至所述承载台上或将所述待测面板从所述承载台上移开。

可选地，还包括定位模块，所述定位模块用于检测所述待测面板上的定位标记，并根据所述定位标记反馈控制所述运动机构移动所述待测面板至预定位置。

可选地，还包括图像处理模块，分别与所述紫外光图像采集单元和所述可见光图像采集单元电连接；

所述图像处理模块用于分别对所述紫外光图像采集单元提供的紫外光图像和所述可见光图像采集单元提供的可见光图像进行图像处理和特征识别。

可选地，还包括显示模块，与所述图像处理模块电连接；

所述显示模块还用于显示所述紫外光图像采集单元提供的紫外光图像和所述可见光图像采集单元提供的可见光图像。

可选地，所述待测面板为OLED显示面板。

本实用新型实施例中，通过设置紫外光检测模块和可见光检测模块，利用其中的紫外光照明单元向待测面板发射紫外光，再由紫外光图像采集单元获取经待测面板出射的紫外光图像，可以对待测面板内部的发光膜层进行光学检测；其中的可见光照明单元向待测面板发射可见光，再由可见光图像采集单元获取经待测面板反射的可见光图像，可以对待测面板表面的结构进行光学检测。本实用新型实施例解决了现有OLED显示面板有机发光功能层不能进行检测的问题，利用现有的光学检测设备，不仅可以实现表面光学检测，还能实现内部发光膜层的检测，既提高了光学检测设备的集成度，拓展了光学检测设备的光学检测功能，一定程度上也有助于减少光学检测成本，改善OLED显示面板的成品良率。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的一种OLED显示面板边缘区域的剖视图；

图2是本实用新型实施例提供的一种光学检测设备的结构示意图；

图3是本实用新型实施例提供的光学检测设备检测的两个OLED显示面板局部紫外光检测图像；

图4是本实用新型实施例提供的另一种光学检测设备的结构示意图；

图5是本实用新型实施例提供的又一种光学检测设备的结构示意图；

图6是本实用新型实施例提供的又一种光学检测设备的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。

图2是本实用新型实施例提供的一种光学检测设备的结构示意图，参考图2，该光学检测设备包括承载台10，用于承载待测面板1；紫外光检测模块20，包括紫外光照明单元21和紫外光图像采集单元22，紫外光照明单元21向待测面板1发射紫外光，紫外光图像采集单元22获取经待测面板1出射的紫外光图像；可见光检测模块30，包括可见光照明单元31和可见光图像采集单元32，可见光照明单元31向待测面板1发射可见光，可见光图像采集单元32获取经待测面板1反射的可见光图像。

其中，紫外光检测模块20和可见光检测模块30分别用于检测待测面板1不同的图像。可见光检测模块30用于对待测面板1的表面进行光学检测，其中的可见光照明单元31向待测面板1打光，可见光图像采集单元32则可直接获取待测面板1反射的光线，也即可以直接获取待测面板1表面的图像，从而能够通过该图像分析确定待测面板1上的缺陷。而紫外光图像采集单元22可以利用紫外光照明单元21向待测面板发射紫外光，待测面板中存在膜层可以受紫外光激发而出射紫外光，此时，可根据该出射的紫外光获取膜层的图像，也即对该膜层进行光学检测。

可以理解，本实施例中的光学检测设备，主要针对OLED显示面板的检测，即待测面板为OLED显示面板。其中的可见光检测模块30的检测过程，可用于检测OLED面板尤其边缘扇出区走线的开路、短路以及其上附着的灰尘粉尘等缺陷；紫外光检测模块20的检测过程，则利用有机发光功能层在紫外光的照射下可激发出射紫外光的特性，根据紫外光图像采集单元获取激光紫外光的膜层的图像，即获取有机发光功能层的图像，从而可检测确定有机发光功能层的延伸长度。根据具体延伸长度的要求，来确定有机发光功能层是否会影响阴极金属层和走线金属层的电接触。

本领域技术人员可以理解，可见光图像采集单元和紫外光图像采集单元可利用不同的CCD传感器实现，其中的光敏元件分别对可见光和紫外光敏感，可将可见光或紫外光转换为相应的电信号。通过分析对应的电信号，即可转换形成相应的可见光图像或紫外光图像。而对于照明单元，可见光照明单元的波段通常在300-780nm，紫外光照明单元21出射的紫外光波段，可根据实际所要检测的膜层进行选择。以有机发光功能层为例，为保证紫外光光学检测，需要预先检测有机发光功能层在紫外光波段的吸收波段，并需要确定在该吸收波段下所出射的激发波段，根据该吸收波段选择设计紫外光照明单元，根据激发波段来选择设计紫外光图像采集单元。

在实际的光学检测过程中，通常是在制备完成OLED显示面板的有机发光功能层后，即在沉积形成有机发光功能层后，利用该光学检测设备对OLED显示面板进行一次可见光检测，然后再进行一侧紫外光检测。图3是本实用新型实施例提供的光学检测设备检测的两个OLED显示面板局部紫外光检测图像，参考图3，通过本实施例提供的光学检测设备，可以明确获知两个显示面板中有机发光功能层在焊盘区的延伸长度分别为2.461mm和1.004mm。基于此，本领域技术人员可根据检测获得的有机发光功能层的延伸长度来定量OLED显示面板的质量，用以保证OLED显示面板的良率。

本实用新型实施例中，通过设置紫外光检测模块和可见光检测模块，利用其中的紫外光照明单元向待测面板发射紫外光，再由紫外光图像采集单元获取经待测面板出射的紫外光图像，可以对待测面板内部的发光膜层进行光学检测；其中的可见光照明单元向待测面板发射可见光，再由可见光图像采集单元获取经待测面板反射的可见光图像，可以对待测面板表面的结构进行光学检测。本实用新型实施例解决了现有OLED显示面板有机发光功能层不能进行检测的问题，利用现有的光学检测设备，不仅可以实现表面光学检测，还能实现内部发光膜层的检测，既提高了光学检测设备的集成度，拓展了光学检测设备的光学检测功能，一定程度上有助于减少光学检测成本，改善OLED显示面板的成品良率。

进一步地，继续参考图2，为了实现自动的光学检测，本实施例中的光学检测设备中还可设置包括图像处理模块40，图像处理模块40分别与紫外光图像采集单元22和可见光图像采集单元32电连接；图像处理模块40用于分别对紫外光图像采集单元22提供的紫外光图像和可见光图像采集单元32提供的可见光图像进行图像处理和特征识别。

图像处理模块40可以根据紫外光图像采集单元22和可见光图像采集单元32提供的图像，进行图像处理和特征识别。以可见光图像为例，通过图像处理和特征识别，可以确定走线的开路位置或短路位置，也能够确定灰尘杂质的位置，从而确定OLED面板的缺陷位置。而对于紫外光图像而言，通过图像处理和特征识别，可以确定OLED面板中有机发光功能层的延伸边缘，从而可以确定有机发光功能层的延伸长度，用于确定有机发光功能层是否满足阴极金属层和金属走线层电接触的要求。

此外，继续参考图2，还可在光学检测设备中设置显示模块50，显示模块50与图像处理模块40电连接；显示模块50还用于显示紫外光图像采集单元22提供的紫外光图像和可见光图像采集单元32提供的可见光图像。

在上述实施例的基础上，可以理解，本实用新型提供的光学检测设备主要用于进行微观检测，即用于检测OLED显示面板中的微观缺陷，并且有机发光功能层的延伸长度也在微观的尺寸范围。因此，本实施例中，光学检测设备还需设置显微镜模块。图4是本实用新型实施例提供的另一种光学检测设备的结构示意图，参考图4，该光学检测设备还包括显微镜模块60，显微镜模块60设置在紫外光图像采集单元22和/或可见光图像采集单元32的入光侧，显微镜模块60用于放大待测面板1的图像。

显微镜模块60具备图像放大功能，可搭配紫外光图像采集单元22和可见光图像采集单元32对待测面板1的微观结构进行图像采集，也即可实现待测面板1的微观光学检测。利用显微镜模块60可以确定待测面板1中更微观的缺陷，对于OLED显示面板中的灰尘、走线等均可实现微观检测，提高缺陷检测的精度。

进一步地，本实用新型提供的光学检测设备还可设置包括龙门架移动机构，龙门架移动机构位于承载台上方；紫外光图像采集单元、可见光图像采集单元和显微镜模块均设置在龙门架移动机构上，龙门架移动机构用于分别单独驱动紫外光图像采集单元、可见光图像采集单元和显微镜模块移动。本实施例中，利用龙门架移动机构，可以自由调节紫外光图像采集单元和可见光图像采集单元与待测面板的相对位置，即可以自由检测待测面板不同区域的微观图像。

图5是本实用新型实施例提供的又一种光学检测设备的结构示意图，参考图5，具体地，可设置龙门架移动机构包括升降机构71和水平位移机构72，水平位移机构72设置于升降机构71上，紫外光图像采集单元22、可见光图像采集单元32和显微镜模块60设置于水平位移机构72上；升降机构72用于驱动水平位移机构71在纵向方向上移动；水平位移机构72用于分别单独驱动紫外光图像采集单元22、可见光图像采集单元32和显微镜模块60在水平方向上移动。

为了更好地体现本实施例提供的光学检测设备的驱动机构，示例性地，如图5所示，水平位移机构72包括第一水平位移组件721、第二水平位移组件722和第三水平位移组件723；紫外光图像采集单元22设置于第一水平位移组件721上，可见光图像采集单元32设置于第二水平位移组件722上，显微镜模块60设置于第三水平位移组件723上；

第一水平位移组件721和第二水平位移组件722均在第一水平面100上驱动紫外光图像采集单元22和可见光图像采集单元32沿第一方向1和第二方向2移动；第三水平位移组件723在第二水平面200上驱动显微镜模块60沿第一方向1和第二方向2移动；第二水平面200位于承载台10之上，第一水平面100位于第二水平面之200上；第一方向1和第二方向2交叉。

其中，第一方向1和第二方向2可以是相互垂直的两个方向，由图5所示的光学检测设备可知，该第一水平位移组件721、第二水平位移组件722以及第三水平位移组件723，在承载台10上方相互垂直的两个方向移动紫外光图像采集单元22、可见光图像采集单元32和显微镜模块60，可以保证紫外光图像采集单元22、可见光图像采集单元32和显微镜模块60移动至任意位置，以对待测面板1的任意区域进行光学检测。需要说明的是，显微镜模块60的移动需要配合紫外光图像采集单元22和可见光图像采集单元32的位置，以对待测面板1不同位置进行微观光学检测。

需要说明的是，如图5所示的龙门架移动机构的结构仅为简化的功能结构，也即为本实用新型的一种实施方式，本领域技术人员可根据实际的要求，设计龙门架移动机构的具体结构及细节结构，此处不做限制。

此外，在本实用新型的另一实施例中，还可设置固定显微镜模块位置固定，通过切换紫外光图像采集单元和可见光图像采集单元的位置，以使紫外光图像采集单元和可见光图像采集单元分别通过该显示镜模块采集待测面板的微观图像。而为实现待测面板不同位置的光学检测，可在承载台中设置运动机构，即利用运动机构移动承载台上的待测面板，从而实现对待测面板不同位置的检测。

图6是本实用新型实施例提供的又一种光学检测设备的结构示意图，参考图6，在本实用新型的另一实施例中，承载台10可包括运动机构11，运动机构11用于将待测面板1移动至承载台10上或将待测面板1从承载台10上移开。

运动机构11设置在承载台10中，不仅能够对待测面板1进行位置调整，还能够设置实现传料的功能。可以理解，OLED显示面板的制备制程中通常为自动化传送，本实施例提供的光学检测设备，通过设置运动机构11，可用于接收制备完成的待测面板，在进行光学检测完成后，还可用于将待测面板输送至下一制程，整个光学检测过程实现了机械自动化，更有利于提高OLED显示面板光学检测的效率。

继续参考图6，本实施例中的光学检测设备还可设置包括定位模块80，定位模块80用于检测待测面板1上的定位标记，并根据定位标记反馈控制运动机构11移动待测面板1至预定位置。

本领域技术人员可以理解，在待测面板1上例如边缘区域设置定位标记，可以用于精确确定待测面板的位置的取向，有助于快速确定待测面板中的待测区域，提高光学检测效率。该光学检测设备中的定位模块80实质上也可理解为图像采集模块，其通过采集待测面板的图像，从而在图像中确定定位标记的位置，即可实现对整个待测面板位置的换算，确定待测面板的精确位置，并通过反馈控制运动机构，调整待测面板的位置。

注意，上述仅为本实用新型的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本实用新型不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整、相互结合和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本实用新型进行了较为详细的说明，但是本实用新型不仅仅限于以上实施例，在不脱离本实用新型构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本实用新型的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (10)

1.一种光学检测设备，其特征在于，包括：

承载台，用于承载待测面板；

紫外光检测模块，包括紫外光照明单元和紫外光图像采集单元，所述紫外光照明单元向所述待测面板发射紫外光，所述紫外光图像采集单元获取经所述待测面板出射的紫外光图像；

可见光检测模块，包括可见光照明单元和可见光图像采集单元，所述可见光照明单元向所述待测面板发射可见光，所述可见光图像采集单元获取经所述待测面板反射的可见光图像。

2.根据权利要求1所述的光学检测设备，其特征在于，还包括显微镜模块，设置在紫外光图像采集单元和/或所述可见光图像采集单元的入光侧，所述显微镜模块用于放大所述待测面板的图像。

3.根据权利要求2所述的光学检测设备，其特征在于，还包括龙门架移动机构，所述龙门架移动机构位于所述承载台上方；

所述紫外光图像采集单元、所述可见光图像采集单元和所述显微镜模块均设置在龙门架移动机构上，所述龙门架移动机构用于分别单独驱动所述紫外光图像采集单元、所述可见光图像采集单元和所述显微镜模块移动。

4.根据权利要求3所述的光学检测设备，其特征在于，所述龙门架移动机构包括升降机构和水平位移机构，所述水平位移机构设置于所述升降机构上，所述紫外光图像采集单元、所述可见光图像采集单元和所述显微镜模块设置于所述水平位移机构上；

所述升降机构用于驱动所述水平位移机构在纵向方向上移动；

所述水平位移机构用于分别单独驱动所述紫外光图像采集单元、所述可见光图像采集单元和所述显微镜模块在水平方向上移动。

5.根据权利要求4所述的光学检测设备，其特征在于，所述水平位移机构包括第一水平位移组件、第二水平位移组件和第三水平位移组件；

所述紫外光图像采集单元设置于所述第一水平位移组件上，所述可见光图像采集单元设置于所述第二水平位移组件上，所述显微镜模块设置于所述第三水平位移组件上；

所述第一水平位移组件和所述第二水平位移组件均在第一水平面上驱动所述紫外光图像采集单元和所述可见光图像采集单元沿第一方向和第二方向移动；所述第三水平位移组件在第二水平面上驱动所述显微镜模块沿第一方向和所述第二方向移动；所述第二水平面位于所述承载台之上，所述第一水平面位于所述第二水平面之上；所述第一方向和所述第二方向交叉。

6.根据权利要求1所述的光学检测设备，其特征在于，所述承载台上还设置有运动机构，所述运动机构用于将所述待测面板移动至所述承载台上或将所述待测面板从所述承载台上移开。

7.根据权利要求6所述的光学检测设备，其特征在于，还包括定位模块，所述定位模块用于检测所述待测面板上的定位标记，并根据所述定位标记反馈控制所述运动机构移动所述待测面板至预定位置。

8.根据权利要求1所述的光学检测设备，其特征在于，还包括图像处理模块，分别与所述紫外光图像采集单元和所述可见光图像采集单元电连接；

所述图像处理模块用于分别对所述紫外光图像采集单元提供的紫外光图像和所述可见光图像采集单元提供的可见光图像进行图像处理和特征识别。

9.根据权利要求8所述的光学检测设备，其特征在于，还包括显示模块，与所述图像处理模块电连接；

所述显示模块还用于显示所述紫外光图像采集单元提供的紫外光图像和所述可见光图像采集单元提供的可见光图像。

10.根据权利要求1所述的光学检测设备，其特征在于，所述待测面板为OLED显示面板。

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