JP2014162611A - 粉体供給装置 - Google Patents

Abstract

【課題】本発明は、粉体投入作業の安全性を高めることができる粉体供給装置を提供することを目的とする。
【解決手段】軸１５回りの回動により開閉する粉体投入用の扉１３と、
開放された該扉から粉体１００が投入される際、舞い上がる粉塵を吸塵可能な集塵機３０と、
前記扉が開放され、所定位置まで到達したときに前記扉の開放を検出する開扉検出手段２２と、
該開扉検出手段により、前記扉の開放が検出されたときに前記集塵機の運転を開始させる制御手段４０と、を有する。
【選択図】図１

Description

本発明は、粉体供給装置に関する。

従来から、硫酸銅めっき液を用いて銅めっきを行うめっき装置及びめっき方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。かかる硫酸銅めっき液は、めっき処理を行うめっき槽に供給されるが、使用済みのめっき液は回収される。そして、回収した使用済みのめっき液は、消費した銅イオンが補充されて適切な銅イオン濃度のめっき液として調合され、再度めっき槽に供給される。つまり、連続してめっきを行う場合には、めっき液を循環させるとともに、めっき処理により消費された銅イオンを補うため、めっき液に不足した銅イオンを供給する機構が必要である。

銅イオンを補充し、めっき液の調合を行う槽は、例えば、溶解槽又は調合槽と呼ばれる。溶解槽は、めっき槽と接続され、めっき槽と溶解槽との間でめっき液を循環させることにより、常に適切な銅イオン濃度のめっき液がめっき槽に供給されるようにめっき装置が構成される。

かかる溶解槽では、使用済みめっき液に酸化銅粉が供給されることにより、銅イオンが補充される。酸化銅粉の溶解槽への供給は、ホッパーを備えた粉体投入部から粉体となる酸化銅粉が投入され、投入された酸化銅粉がスクリューコンベア等の搬送装置により溶解槽に搬送されて行われるのが一般的である。そして、酸化銅粉を溶解槽で溶解することにより、めっき液に銅イオンが補充される。

ここで、酸化銅粉は、溶解する前の状態では発塵という問題があるので、発塵対策として、ホッパーそのものを閉鎖空間とし、接続する搬送装置も密閉構造としている。また、酸化銅粉を風袋から取り出し、ホッパーに投入する作業は、経済的な観点から、人手による作業で行われるのが一般的である。ホッパーへの粉体の投入は、ホッパーの上方に設けられた開口部から行われるが、開口部には、通常は強固に閉じられている扉などを設けており、この扉を開放して粉体の投入が行われる。また、扉の開放時の発塵防止対策として、粉体投入部には乾式・湿式・電気集塵機が併設され、粉体投入のための作業の間は、集塵機の運転により発塵を抑え、安全に投入作業が出来るようになっている
一方、開口部に設けられている扉は、経済的に安価な費用で、閉扉時の密閉度を確保するために、板厚が薄い金属板で構成され、重量もあまり重くないのが一般的である。

特開２０１０−３１３１６号公報

しかしながら、上述の扉を開放させてホッパーへ粉体を投入する際、発塵防止用の集塵機の運転により、ホッパー内圧が外気圧より低くなり、扉を中途半端に開放していると、集塵の際に生じる負圧で扉が閉じてしまい、作業中の人の手を挟んでしまう場合があるという問題があった。

そこで、本発明は、粉体投入作業の安全性を高めることができる粉体供給装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明の一態様に係る粉体供給装置は、軸回りの回動により開閉する粉体投入用の扉と、
開放された該扉から粉体が投入される際、舞い上がる粉塵を吸塵可能な集塵機と、
前記扉が開放され、所定位置まで到達したときに前記扉の開放を検出する開扉検出手段と、
該開扉検出手段により、前記扉の開放が検出されたときに前記集塵機の運転を開始させる制御手段と、を有する。

本発明によれば、粉体投入時の安全性を高めることができる。

本発明の実施形態に係る粉体供給装置の一例を示した正面図である。 本発明の実施形態に係る粉体供給装置及び関連構成要素である溶解槽の一例を示した側面図である。 本実施形態に係る粉体供給装置の開扉状態及び閉扉状態の一例を示した上面図である。図３（Ａ）は、本実施形態に係る粉体供給装置の開扉状態の一例を示した図である。図３（Ｂ）は、本実施形態に係る粉体供給装置の閉扉状態の一例を示した図である。

以下、図面を参照して、本発明を実施するための形態の説明を行う。

図１は、本発明の実施形態に係る粉体供給装置の一例を示した正面図である。本実施形態に係る粉体供給装置６０は、主要構成要素として、粉体供給ユニット１０と、筐体２０と、集塵機３０と、制御ボックス４０とを備える。また、粉体供給ユニット１０は、粉体投入部１１と、扉１３と、ハンドル１４と、扉閉検出器１６と、ホッパー部１８と、粉体貯留部１９とを備える。筐体２０は、前面パネル２１と、開扉検出器２２とを備える。

粉体供給ユニット１０は、筐体２０内に収容されているが、粉体供給ユニット１０の扉１３は、筐体２０の前面パネル２０に組み込まれるように露出している。また、筐体２０の前面パネル２１の表面上には、開扉検出器２２が設けられている。扉１３が設けられている粉体投入部１１の下方には、円錐状又は角錐状の傾斜面を有するホッパー部１８が設けられ、ホッパー部１８の下方には、粉体貯留部１９が設けられている。粉体投入部１１の上面には、ダクト３１を介して集塵機３０が接続されている。また、集塵機３０、開扉検出器２２及び閉扉検出器１６は、制御ボックス４０に接続されている。

図２は、本発明の実施形態に係る粉体供給装置及び関連構成要素である溶解槽の一例を示した側面図である。図１及び図２に示すように、粉体供給ユニット１０の粉体投入部１１は、直方体の形状を有する。また、図２に示すように、粉体供給ユニット１０の粉体貯留部１９は、搬送ユニット５０に接続され、搬送ユニット５０により搬送された粉体１００が、溶解槽７０に供給される構成となっている。このように、本実施形態に係る粉体供給装置６０は、例えば、溶解槽７０等に粉体１００を供給するための装置として用いられる。

図１に戻り、個々の構成要素についてより詳細に説明する。

粉体供給ユニット１０は、粉体１００を所定箇所に供給する手段であり、本実施形態においては、粉体貯留部１９を介して、搬送ユニット５０に粉体１００の供給を行う。粉体供給ユニット１０は、粉体投入部１１と、扉１３と、ハンドル１４とを備え、必要に応じて、閉扉検出器１６と、ホッパー部１８と、粉体貯留部１９とを備えてよい。

粉体投入部１１は、粉体１００が投入される箇所であり、例えば、直方体状の箱のように構成される。粉体投入部１１は、作業員が、粉体１００を投入するのに十分な空間を有していればよく、任意の形状の容器として構成されてよい。

作業員が投入する粉体１００は、用途に応じて種々のものとすることができ、その種類を問わない。しかしながら、本実施形態に係る粉体供給装置６０においては、説明と理解の容易のため、硫酸銅めっき装置に用いる酸化銅の粉体１００（酸化銅粉）である例を挙げて説明する。

扉１３は、粉体投入部１１に粉体１００の投入が可能なように、粉体投入部１１を開閉する粉体投入用の扉１３である。扉１３は、十分に密閉性が保てるように、また、低コストで作製すべく、例えば、板厚があまり厚くない金属板で構成される。これにより、密閉性を十分に保ちつつ、作業員が扉１３を開閉するのにあまり大きな力を必要としない扉１３とすることができる。なお、具体的には、扉１３は、例えば、鉄又は鉄を含有する鉄系の金属板で構成してもよい。

また、扉１３の前面には、作業員が扉１３を開閉操作するためのハンドル１４が設けられる。更に、扉１３の裏面、及び／又は、扉１３と接触する粉体投入部１１の前面には、扉１３を閉じたときの密閉性を保つため、ゴム等の弾性部材からなるパッキンが設けられてよい。

扉１３は、回転軸（図１には図示せず）の回りに回動し、弧を描くようにして開閉する開き戸式の扉１３として構成される。これにより、十分な密閉性を保つことができるとともに、作業員が開閉操作を容易に行うことができる。

閉扉検出器１６は、扉１３が閉じたことを検出するための検出手段であり、必要に応じて設けられてよい。本実施形態に係る粉体供給装置６０においては、扉１３が開放されたときに、集塵機３０により発生する負圧により扉１３が閉じてしまい、粉体１００の投入を行っている作業員の手や指を挟んでしまう危険性を防止すべく、開扉検出器２２に基づく制御が中心となる。しかしながら、扉１３が開放したときの制御に加えて、扉１３が閉じたときには、閉扉検出器１６の閉扉検出信号に基づいて、次の段階の制御を実行するようにしてもよい。よって、閉扉検出器１６は、扉１３が閉じた際にも何らかの制御を行う場合に設けられる。なお、本実施形態に係る粉体供給装置６０による閉扉検出器１６を用いた制御の具体的な内容は、後述する。

また、閉扉検出器１６は、扉１３が閉じたことを検出できれば、種々の検出器を用いることができ、例えば、接触により扉１３が閉じたことを検出する機械的な検出器であってもよいし、レーザ等を用いた光学的な検出器であってもよい。また、その他、電場、磁場等の場を用いた検出器や、扉１３の接近を検出する近接センサであってもよい。閉扉検出器１６は、扉１３が閉じたことを検出できれば、用途に応じて適切な検出器を用いるようにしてよい。

閉扉検出器１６は、制御ボックス４０に電気的に接続され、閉扉検出器１６で検出した閉扉検出信号は、制御ボックス４０に送信される。

ホッパー部１８は、扉１３から供給された粉体１００のうち、必要量を粉体貯留部１９に落下させるための部分であり、下に凸の円錐状又は角錐状の傾斜面から構成される。ホッパー部１８は、粉体投入部１１と連続的に接続され、扉１３から投入された粉体１００は、総てホッパー部１８に受け入れられる。ホッパー部１８は、上端は粉体投入部１１と同じ大きさの開口を有するが、下方に行くにつれて開口が小さくなり、下端は小さな粉体貯留部１９とほぼ同じ大きさとなるので、粉体貯留部１９を満たすのに必要な量だけ粉体１００を供給することができる。

粉体貯留部１９は、ホッパー部１８から供給された粉体１００を一旦貯留する場所であり、粉体投入部１１よりも相当に小さな箱体として構成される。

筐体２０は、粉体供給ユニット１０を収容するために設けられる。筐体２１の前面は、前面パネル２１を構成し、前面パネル２１の表面上には開扉検出器２２が設けられる。

開扉検出器２２は、扉１３が開放された状態を検出するための検出器であり、より詳細には、扉１３が開放され、所定位置まで到達したことを検出する検出器である。所定位置まで到達したというのは、所定の開度又は角度まで扉１３が開放したことを意味する。また、所定の開度は、扉１３が、粉体投入作業を安全に行うことができる程度まで十分開いた開度に設定されることが好ましい。例えば、開扉検出器２２は、扉１３が全開したときに、扉１３の開放を検出するように設定されてもよい。粉体１００の投入作業は、扉１３を開放し、作業員が開放した扉１３から粉体１００を投入することにより行われる。ここで、扉１３が中途半端な位置で開放されていると、集塵機３０の吸塵のための吸引力により、粉体投入部１１の内部が外部よりも低圧となったときに、扉１３に吸引力が作用して扉１３が急激に閉じ、粉体１００の投入作業を行っている作業者の手、指を挟んでしまうおそれがあるからである。例えば、扉１３が全開の位置又は全開に近い位置にあれば、集塵機３０が作動しても、集塵機３０の吸引力の影響は扉１３には及び難いので、作業者は粉体１００の投入作業を安全に行うことができる。

開扉検出器２２は、扉１３が開放され、所定位置まで到達したことを検出できれば、種々の検出器を用いることができる。例えば、開扉検出器２２の開放角度を検出するような角度検出器であってもよいし、扉１３が所定位置まで近接したことを検出する近接センサであってもよい。

開扉検出器２２には、扉１３の接触を検出する接触式の検出器が用いられてもよい。この場合には、開扉検出器２２は、扉１３が開放されたときに、扉１３に接触する所定位置に設けられる。つまり、扉１３が開放され、開扉検出器２２に接触する位置まで到達したときに、扉１３の開放が検出される。所定位置が、扉１３の全開位置に設定される場合には、開扉検出器２２は、扉１３が全開したときに接触する位置に設置される。

なお、図１においては、開扉検出器２２として、接触式の検出器が用いられた場合を例示している。よって、以後は、開扉検出器２２が、接触式の検出器である場合を例に挙げて説明する。

開扉検出器２２は、扉１３の接触を検出できれば、種々の検出器を用いることができる。例えば、リミットスイッチ等の機械的な検出器であってもよいし、接触による物理的な変形を検出する検出器であってもよいし、静電容量や抵抗の変化を検出する電気的な検出器であってもよい。

開扉検出器２２は、必要に応じて、磁石を備えてもよい。磁石を備えることにより、開扉検出器２２は、扉１３の接触を検出したときに、開放した扉１３を検出した位置で固定することができる。これにより、作業員は、扉１３が開放して固定した状態で粉体１００の投入作業を行うことができるので、粉体投入作業時の安全性を格段に高めることができる。

なお、この場合には、扉１３は、磁石の磁力により吸引され得る強磁性体材料で構成される。強磁性体材料としては、例えば、鉄、ニッケル、ステンレス等が挙げられ、これらの強磁性体材料から扉１３を構成してもよい。なお、扉１３の全体が強磁性体材料から構成されてもよく、磁石との接触部分のみ強磁性体材料から構成されてもよい。

開扉検出器２２に備えられた磁石は、金属製の扉１３を磁力により吸引して固定できれば、一般的な永久磁石であってもよいし、電磁石であってもよい。粉体供給装置６０の低コスト化と簡素化の観点から、一般的な永久磁石を用いるようにしてもよい。

なお、機械的なスイッチとマグネットを併せ持つ検出器として、ミスミ製のＭＧＳＴＫタイプのスイッチ付マグネットキャッチ等も市販されており、このような磁石付き接触検出器を利用してもよい。

いずれの種類を用いた開扉検出器２２であっても、扉１３の所定位置までの開放を検出したときには、開扉検出信号を出力し、制御ボックス４０に送信する。

集塵機３０は、作業員が、扉１３を開放して粉体投入部１１に粉体１００を投入する際に、粉体供給ユニット２０内に舞う粉塵を吸塵するための吸塵手段である。集塵機３０は、ダクト３１を介して粉体投入部１１に接続されている。集塵機３０の吸塵動作により、作業員は、粉体１００が舞い上がる中で粉体１００の供給を行う状態を回避することができ、安全に粉体１００を投入することができる。

制御ボックス４０は、開扉検出器２２の開扉検出信号に基づき、集塵機３０の作動と停止を制御する制御手段である。つまり、作業者が扉１３を開放し、開扉検出器２２が扉１３の開放を検出した場合には、開扉検出器２２から開扉検出信号を受信し、集塵機３０を作動させる。一方、制御ボックス４０は、開扉検出器２２から開扉検出信号を受信しないときには、集塵機３０を停止させる。これにより、扉１３が開放された状態のときには集塵機３０が作動するが、扉１３が開放されていないとき、又は不十分に開放されているときには、集塵機３０が停止するという制御が行われる。

なお、制御ボックス４０は、このような演算処理を行うため、ＣＰＵ（Central Processing Unit、中央処理装置）を備え、プログラムにより動作するマイクロコンピュータ、又は、特定の用途向けに設計、製造された集積回路であるＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）等により構成されてよい。

以下、制御ボックス４０が行う制御内容について、より詳細に説明する。

図３は、本実施形態に係る粉体供給装置の開扉状態及び閉扉状態の一例を示した上面図である。図３（Ａ）は、本実施形態に係る粉体供給装置の開扉状態の一例を示した図である。図３（Ａ）において、粉体投入部１１の前面に設けられた扉１３が開放され、前面パネル２０の表面上の開扉検出器２２と接触した状態が示されている。なお、扉１３は、回転軸１５回りに回動して開放されている。また、扉１３は、外面にハンドル１４を有し、内面に扉ロック機構１７を備えている。扉１３の開放により、粉体投入部１１の開口部１２が露出し、開口部１２から作業員による粉体１００の投入が可能な状態となっている。また、回転軸１５と反対側の粉体投入部１１の表面には、閉扉検出器１６が設けられている。

図３（Ａ）において、扉１３が全開となり、扉１３の表面が開扉検出器２２と接触した状態では、開扉検出器２２から、開扉検出信号が制御ボックス４０に送信される。制御ボックス４０では、開扉検出器２２からの開扉検出信号に基づいて、集塵機３０の運転が開始される。つまり、扉１３が十分に開放された状態で、初めて集塵機３０の運転が開始される。また、この場合において、開扉検出器２２が磁石を備えていれば、扉１３は、全開とされるとともに、全開に固定された状態で集塵機３０の運転が開始される。このような動作により、作業者による粉体１００の投入は、扉１３が十分な開度で開放されるとともに、集塵機３０が動作した状態で行われることになる。これにより、扉１３が集塵機３０の吸引力により急に閉じて手や指を挟むおそれを無くすことができるとともに、集塵機３０の吸塵により粉体１００の舞い上がりを防止することができ、作業者は安全に粉体１００の投入作業を行うことができる。

また、この状態から、仮に扉１３が開扉検出器２２から離間した場合には、開扉検出器２２から開扉検出信号が制御ボックス４０に送信されなくなるので、制御ボックス４０は、集塵機３０を停止させる制御を行う。これにより、扉１３が閉まるおそれがある場合には、集塵機３０を停止させることになり、負圧により扉１３が急に閉じることを防止することができる。

このように、本実施形態に係る粉体供給装置６０においては、扉１３が所定位置に到達するまで開放された状態にならなければ、集塵機３０を動作させないので、集塵機３０で発生する負圧により、急に扉１３が閉まって作業者が手や指を挟むことを防止することができる。

また、開扉検出器２２にマグネット機能を兼ね備えさせることにより、扉１３を固定する固定手段として動作させることができ、更に粉体投入作業の安全性を高めることができる。

なお、本実施形態に係る粉体供給装置６０においては、扉１３を固定する手段が、開扉検出器２２に備えられた磁石である例を挙げて説明しているが、磁石以外の固定手段であってもよく、例えば、嵌合等により固定する機械的な固定手段であってもよい。また、開扉検出器２２と扉１３の固定手段が必ずしも一体化している必要は無く、開扉検出器２２で扉１３の開放を検出する位置に扉１３が到達したときに、扉１３を固定するような手段が独立して設けられていてもよい。例えば、扉１３が開放されたときに、扉１３のハンドル１４をグリップするような機構が別個に設けられてもよい。このように、扉１３を固定する手段は、用途に応じて種々の構成とすることができる。

図３（Ｂ）は、本実施形態に係る粉体供給装置の閉扉状態の一例を示した図である。図３（Ｂ）において、粉体投入部１１の前面に設けられた扉１３が閉鎖され、開扉検出器２２と非接触になるとともに、閉扉検出器１６と接触又は近接した状態が示されている。図３（Ｂ）に示す状態では、開扉検出器２２との接触が解除されるため、集塵機３０の運転は停止するが、閉扉検出器１６で閉扉状態を検出できるため、閉扉状態で行われる制御を実行することが可能である。

図２は、本実施形態に係る本発明の実施形態に係る粉体供給装置と、関連構成要素である溶解槽の一例を示した側面図であるが、これを用いて、閉扉検出器１６の閉扉検出信号に基づく制御の一例を説明する。

図２において、粉体供給装置６０の一部として、搬送ユニット５０が設けられている。また、搬送ユニット５０の粉体１００の搬送先として、めっき装置の溶解槽７０が示されている。また、溶解槽７０内には、めっき液１１０を攪拌するための攪拌機８０が設置されている。溶解槽７０には、めっき液１１０を図示しないめっき槽に送り出す送液ポンプ９０と、めっき液１１０を図示しないめっき槽から受け入れる受入ポンプ９１が示されている。

搬送ユニット５０は、粉体供給ユニット１０の粉体貯留部１９から、粉体１００を搬送する搬送手段であり、スクリューコンベア５１と、モータ５２とを備える。スクリューコンベア５１は、回転により、徐々に粉体１００を上方に送り出して搬送する搬送部材である。モータ５２は、スクリューコンベア５１を回転させるための駆動手段である。

溶解槽７０は、めっき液１１０を貯留するとともに、供給された酸化銅の粉体１００を熔解し、めっき液１１０の銅濃度を適切に調整するための槽である。

攪拌機８０は、酸化銅の粉体１００が添加されためっき液１１０を攪拌するための手段であり、回転翼８１と、モータ８２とを備える。モータ８２で回転翼８１を回転させることにより、めっき液１１０を攪拌し、酸化銅の粉体１００が加えられた溶解槽７０内のめっき液１１０の銅濃度を均一にする。

送液ポンプ９０は、適切な銅濃度となっためっき液１１０を溶解槽７０からめっき槽に送液するためのポンプである。また、受入ポンプ９１は、めっき槽で使用され、銅イオンが消費された使用済みめっき液１１０を溶解槽７０に受け入れるためのポンプである。

その他、粉体供給ユニット１０の構成要素は、総て今までで説明済みであるので、今までと同一符号を付してその説明を省略する。

図２に示すように、扉１３が閉じられ、閉扉検出器１６から閉扉検出信号が制御ボックス４０に送信された状態は、粉体供給ユニット１０への粉体１００の投入が終了した状態である。この状態では、搬送ユニット５０を起動させ、粉体貯留部１９から、必要な酸化銅の粉体１００を迅速に溶解槽７０に供給し、めっき液１１０の調合を迅速に再開することが好ましい。よって、制御ボックス４０は、閉扉検出器１６から扉閉検出信号を受信したときに、搬送ユニット５０の運転を開始させる制御を行うようにしてもよい。具体的には、制御ユニット４０は、閉扉検出器１６から扉閉検出信号を受信したら、モータ５２を回転させ、スクリューコンベア５１のスクリュー搬送を開始させる制御を行ってよい。

これにより、粉体１００の粉体供給ユニット１０への投入から、粉体１００の溶解槽７０への供給の制御を一連の動作として行うことができ、安全かつ迅速に溶解槽７０への粉体１００の供給を行うことができる。

なお、制御ボックス４０は、開扉検出器２２から開扉検出信号を受信しているときには、搬送ユニット５０を停止させる制御を行ってよい。作業員が粉体１００を投入しているときに、搬送ユニット５０を並行して動作させるのは危険であるし、また、粉体貯留部１９に搬送すべき粉体１００が十分に存在しない場合には、搬送ユニット５０の動作が無駄となってしまうからである。

このように、制御ボックス４０において、搬送ユニット５０も含めた一連の制御を実施することにより、粉体供給装置６０の粉体供給の安全性及び迅速性を総合的に向上させることができる。

なお、図２においては、閉扉検出器１６も利用し、搬送ユニット６０も含めた総合的な制御の一例を示したが、閉扉検出器１６に基づく制御は必須ではなく、必要に応じて設けるようにしてよい。

以上、本発明の好ましい実施形態について詳説したが、本発明は、上述した実施形態に制限されることはなく、本発明の範囲を逸脱することなく、上述した実施形態に種々の変形及び置換を加えることができる。

１０ 粉体供給ユニット
１１ 粉体投入部
１２ 開口部
１３ 扉
１６ 閉扉検出器
１８ ホッパー部
１９ 粉体貯留部
２０ 筐体
２１ 前面パネル
２２ 開扉検出器
３０ 集塵機
４０ 制御ボックス
５０ 搬送ユニット
７０ 溶解槽
８０ 攪拌機
９０、９１ ポンプ

Claims (11)

1. 軸回りの回動により開閉する粉体投入用の扉と、
   開放された該扉から粉体が投入される際、舞い上がる粉塵を吸塵可能な集塵機と、
   前記扉が開放され、所定位置まで到達したときに前記扉の開放を検出する開扉検出手段と、
   該開扉検出手段により、前記扉の開放が検出されたときに前記集塵機の運転を開始させる制御手段と、を有する粉体供給装置。
2. 前記制御手段は、前記開扉検出手段から前記扉の開放が検出されなくなったら、前記集塵機の運転を停止させる請求項１に記載の粉体供給装置。
3. 前記開扉検出手段は、前記所定位置に設けられ、前記扉が接触したときに前記扉の開放を検出する請求項１又は２に記載の粉体供給装置。
4. 前記開扉検出手段は、前記扉を前記所定位置で固定する固定手段を備える請求項３に記載の粉体供給装置。
5. 前記扉は強磁性体材料からなる扉であり、
   前記固定手段は磁石である請求項４に記載の粉体供給装置。
6. 前記所定位置は、前記扉が全開となった位置である請求項１乃至５のいずれか一項に記載の粉体供給装置。
7. 前記扉の下方に設けられ、傾斜面で形成されたホッパー部と、
   該ホッパー部の下方から前記粉体を搬送する搬送手段と、を更に有する請求項１乃至６のいずれか一項に記載の粉体供給装置。
8. 前記扉が閉じられたことを検出する閉扉検出手段を更に有し、
   前記制御手段は、前記閉扉検出手段により前記扉が閉じられたことを検出したときに、前記搬送手段の運転を開始させる請求項７に記載された粉体供給装置。
9. 前記搬送手段は、前記粉体を、溶液を貯留し、前記粉体を溶解する溶解槽に搬送する請求項８に記載の粉体供給装置。
10. 前記溶液は、めっき液である請求項９に記載の粉体供給装置。
11. 前記めっき液は、硫酸銅めっき液であり、
    前記粉体は、酸化銅粉である請求項１０に記載の粉体供給装置。

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