JP2014159994A - 距離測定装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】使用環境の変化に適応し、距離の測定を安定して行うことが可能な距離測定装置を提供する。
【解決手段】距離測定対象211に対して照射パルス光311を与える照射部111と、距離測定対象211からの反射光321を受光する受光部121と、照射部111の照射期間と、照射光波形と、照射光強度と、受光部121の第1及び第2受光動作と、第1及び第2受光動作の実行回数と、照射部111の動作タイミングと受光部121の第1及び第2受光動作のタイミングとの関係とのうちの少なくとも1つを調整する調整部141と、第1受光動作にて第1受光結果を、第2受光動作にて第2受光結果をそれぞれ取得し、第1受光結果と第2受光結果とを用いて距離測定対象211までの距離を算出する演算部131とを設ける。
【選択図】図1

Description

本発明は、光を利用した距離測定装置に関するものである。
従来、距離測定対象へ光を照射し、当該距離測定対象からの反射光を受光し、距離を測定する方法が知られている。例えば、タイム・オブ・フライト(TOF:time of flight)法の距離測定装置では、パルス光を照射し、この照射した光が物体に反射して戻るまでの時間から距離を算出する技術が知られている。
特許文献1に開示された測距システムは、光源の強度や環境光に依存しない距離の算出のため、距離測定対象へパルス光を照射し、当該距離測定対象からの反射光の立ち上がり及び立ち下がりより、それぞれタイミングを変えた受光期間で得られた光電子数からそれぞれ回帰直線を求め、これらの回帰直線の交点をもとに距離測定対象までの距離を算出している。
特開2012−215480号公報
上記特許文献1では、パルス光の照射タイミングとそのそれぞれの受光期間内で取得する光電子数より距離の算出を行うが、予め測距検知範囲により照射タイミングと受光期間が決められており、装置の動作中に温度が上昇するなど使用環境が変化することで、予め決められた照射タイミングと受光期間との関係が崩れると、距離の算出において誤差を生じさせることになる。
本発明は、上記の点に鑑み、使用環境の変化に適応し、距離の測定を安定して行うことが可能な距離測定装置を提供することにある。
上記の課題を解決するため、本発明は、距離測定対象に対して光を照射する照射部と、前記距離測定対象に照射した光の反射光を受光する受光部と、前記照射部の照射期間と、照射光波形と、照射光強度と、前記受光部の第1及び第2受光動作と、前記第1及び第2受光動作の実行回数と、前記照射部の動作タイミングと前記受光部の前記第1及び第2受光動作のタイミングとの関係とのうちの少なくとも1つを調整する調整部と、前記第1受光動作にて第1受光結果を、前記第2受光動作にて第2受光結果をそれぞれ取得し、前記第1受光結果と前記第2受光結果とを用いて前記距離測定対象までの距離を算出する演算部とを備えた距離測定装置の構成を採用することとしたものである。
本発明によると、動作中における距離測定対象からの反射光の状態に応じて照射部、受光部の調整を行うことが可能となり、安定した距離測定結果を得ることができる。
本発明により、受光結果又は算出結果を用いた、照射パルス光や受光動作の調整や、距離の測定結果の補正が可能となり、安定した距離測定結果を得ることができる。
本発明の実施形態1に係る距離測定装置の構成を示すブロック図である。 図1中の受光部が照射パルス光の反射光を受光した状態を示す図である。 本発明の実施形態2に係る距離測定装置の構成を示すブロック図である。 図3中の受光量評価部の動作を説明するためのタイミングチャートである。 本発明の実施形態3に係る距離測定装置の構成を示すブロック図である。 図5中の距離算出補正部の動作を説明するための図である。 本発明の実施形態4に係る距離測定装置の構成を示すブロック図である。 図7中の算出結果評価部の動作を説明するための図である。 本発明の実施形態5に係る距離測定装置の構成を示すブロック図である。
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下の各実施形態において、他の実施形態と同様の機能を有する構成要素については同一の符号を付して説明を省略する。
《実施形態1》
図1は、本発明の実施形態1に係る距離測定装置100を示す。図1の距離測定装置100は、照射部111と、受光部121と、演算部131と、調整部141とを備えている。照射部111は、距離測定対象211に対してパルス光311を照射するものであり、調整部141により照射パルス光311の照射開始のタイミング、照射期間、照射パルス光311の強度、照射パルス光311の形状が調整部141からの調整制御信号S011により制御される。
照射パルス光311は距離測定対象211で反射し、このとき調整部141の制御により受光部121は反射光321を受光する。受光部121は、受光により得られる光測定情報を蓄積する手段を有する。
図2に示すように、反射光321は、照射パルス光311の照射開始から、照射した光が距離測定対象211で反射して戻ってくる時間T遅れて受光部121が受光する。この反射光321には照射パルス光311以外に存在する光による距離測定対象211からの反射光である環境光331が含まれている。そこで、演算部131は、調整部141が照射パルス光を調整制御信号S011により制御し、受光期間のタイミングを調整制御信号S012により調整、選択して取得する第1の光測定情報511と第2の光測定情報512及び環境光331に相当する第3の光測定情報513を蓄積し、調整部141が生成する測定情報送出信号S016と測定情報同期信号S013とによって光測定情報の同期をとって読み出す。演算部131では、第1の光測定情報511と第2の光測定情報512とから、第3の光測定情報513に相当する値を除去し、それぞれ第1の反射光測定情報と第2の反射光測定情報とを生成し、第1及び第2の反射光測定情報より、距離測定対象211までの距離情報として距離測定結果901を算出する。調整部141は、調整制御入力信号801に応じて、調整制御信号S011と、調整制御信号S012と、測定情報同期信号S013とを生成する。調整制御入力信号801は、照射部111の性能や、距離測定の範囲等の情報によって予め決定しておいてもよいし、任意のタイミングで変更してもよい。
なお、第1、第2及び第3の光測定情報511〜513を繰り返し蓄積した後、測定情報同期信号S013で同期をとって読み出し、第1の反射光測定情報と第2の反射光測定情報とを生成し、距離測定結果901を算出してもよい。
なお、環境光331の影響により距離測定結果901が不安定となる課題はあるが、第1の光測定情報511と第2の光測定情報512より距離測定結果901を得ることは可能である。
なお、受光部121において、反射光を受光するために用いられる受光素子は、複数の受光素子が一次元的に配列されたもの、あるいは、二次元的に配列されたものでもよい。
なお、照射部111の照射パルス光311は、特定の波長領域の光でもよい。
なお、照射部111の照射パルス光311は、不可視波長領域の電磁波であってもよい。
なお、照射部111は、集光した照射パルス光を距離測定対象211に照射する手段を備えてもよい。
なお、受光部121は、反射光321を集光する手段を備えてもよい。
なお、受光部121は、特定の波長領域の光を通すフィルタを備えてもよい。
なお、距離測定装置100は、装置の環境変化を検出するため、温度計又は電流計を備えてもよい。調整部141は、これら温度計又は電流計の出力に応じた制御調整入力信号801を受け取る。
《実施形態2》
図3は、本発明の実施形態2に係る距離測定装置100を示す。図3の距離測定装置100は、実施形態1の構成中の調整部141を照射調整部143と受光調整部142とに分割して示し、かつ実施形態1の構成に加えて受光量評価部151及び制御信号生成部191を備えたものである。受光量評価部151は、受光部121からの光測定情報511と照射調整部143からの測定情報同期信号S013とをもとにして反射光321の受光量と受光期間とを評価し、反射光受光状態信号S311を制御信号生成部191へ供給する。制御信号生成部191は、調整制御入力信号802を受け取り、照射調整部143へ制御信号S222及び調整制御入力信号801を、受光調整部142へ制御信号S221及び調整制御入力信号801をそれぞれ供給する。受光調整部142は、照射調整部143の照射タイミング信号S014に対して受光量を測定する受光タイミング信号S111を生成する。
制御信号生成部191が制御信号S221により受光タイミング信号S111を調整し、受光量評価部151は、受光タイミング信号S111及び制御信号生成部191からの評価条件信号S223により、受光部121より光測定情報511を取得し、この照射部111からの照射パルス光311による反射光321の状態を測定した結果より、受光期間を調整したステップ毎の反射光受光状態信号S311を求める。制御信号生成部191は、照射調整部143及び受光調整部142を制御することにより、照射タイミング及び受光タイミングの位相を調整する。また、受光量の測定が可能となることから、必要とする受光量を得るために、照射パワー並びに照射波形の立ち上がり時間及び立ち下がり時間の調整も行うことが可能となる。また、距離測定結果901より、照射パルス光311の照射期間及び受光期間、並びに、照射タイミングと受光タイミングとの位相関係を調整し、測定距離に応じた調整を行うことが可能となる。つまり、距離測定装置100において、照射と受光を行うために適した条件を導き出すことが可能となる。
具体的には、図4に示すように、反射光受光状態信号S311は、受光部121において、制御信号S221によって決められる受光タイミング信号S111による受光期間中に得られる反射光量に相当する。図4中の反射光受光状態信号S311は、受光タイミング信号S111の立ち上がりタイミングを変化させ、一定時間内の反射光量を求めたものである。つまり、反射光量の時間変化を見るための情報が、反射光受光状態信号S311である。図4では、一定時間内の反射光量を減算で求めている。
なお、照射タイミングと受光タイミングとの位相関係を調整しつつ受光量をモニタすることで、反射光受光状態信号S311を求めることも可能である。
なお、反射光321を受光している状態の出力を得ることができる場合には、その出力を数値化した値をサンプリングする構成により、反射光受光状態信号S311を求めることが可能である。
《実施形態3》
図5は、本発明の実施形態3に係る距離測定装置100を示す。図5の距離測定装置100は、実施形態1の構成に加え、距離算出補正部135を備える。距離算出補正部135は、調整部141が生成する測定情報同期信号S013及び距離測定補正制御入力信号803より仮想距離情報を確定し、距離測定結果901及び仮想距離情報より回帰直線を求め、実際の距離と距離測定結果901との差を補正する。また、実際の距離に対する算出距離の回帰直線が近似しない場合には、位相調整信号S113により照射開始タイミングと受光期間との位相を変更することにより、距離算出補正部135は、距離算出結果901を補正して距離算出補正結果903を取得する。
図6に示すように、距離算出補正部135は、算出距離を実際の距離情報として得るための調整を行う。すなわち、照射した光の反射光を受光して算出した値を距離情報として使用するためにオフセットした値を補正する処理を行う。また、本実施形態では、距離測定対象211と距離測定装置100との間の距離を変化させ、それぞれ算出距離を求め、実際の距離との関係から傾きを求め、照射光タイミングと受光タイミングとの位相を調整することで、算出距離の補正を行う。
具体的には、図6に示すように、照射タイミングと受光タイミングとの位相が適切ではない算出距離と実際の距離との間の回帰直線401の傾きが理想直線403の傾きと異なるため、算出距離の補正が制限される。そこで、照射タイミングと受光タイミングとの位相を調整することにより、理想直線403の傾きとほぼ等しい傾きを持つ回帰直線402が得られる結果、算出距離の補正が容易になる。
なお、傾きが大きい回帰直線が得られる場合には、その位相タイミングを使って算出距離を求めてもよい。
なお、傾きが最大となる回帰直線が得られる場合には、その位相タイミングを使って算出距離を求めてもよい。
なお、オフセットが小さい回帰直線が得られる場合には、その位相タイミングを使って算出距離を求めてもよい。
なお、オフセットが最小となる回帰直線が得られる場合には、その位相タイミングを使って算出距離を求めてもよい。
なお、図6中の回帰直線404に示すオフセットaと傾きAより、√a/Aで最小値となる位相タイミングを使って算出距離を求めてもよい。
なお、オフセットaは、ゼロ距離のオフセットである必要はなく、例えば距離測定範囲の中心でもよい。
《実施形態4》
本発明の実施形態4に係る距離測定装置100は、図7に示すように、実施形態2の構成に加え、照射部111からの照射パルス光311が距離測定対象211で反射し、受光部121が受光する反射光321を測定する算出結果評価部152を備える。算出結果評価部152は、照射調整部143の照射のタイミングと、第1の受光期間及び第2の受光期間との位相を動かし、これらの受光期間と照射タイミングとの時間差と、1nsで30cm進む光の速さとの関係から、位相を変更する前後で距離を算出した差の半分が、反射光として照射と受光の往復時間の1/2が位相を動かした時間に伴う距離として求められるので、位相、距離情報として算出した結果を算出結果評価部152にて使うことで、距離測定結果901を補正することが可能となり、距離測定補正結果902を取得することができる。
算出結果評価部152では、例えば、受光タイミングを固定し、図8に示すように照射タイミングを変更した前後の算出距離をそれぞれ求め、その差を距離情報として光の速度から求めた距離情報と比較することで、距離情報の補正を行う。
具体的には、図8に示すように、実際の距離をLとするとき、照射タイミング変更前の算出距離を表す第1のポイント501を取得し、照射タイミングを変更し、算出距離を表す第2のポイント502を取得する。次に、光の速度とタイミング変更量から仮想距離情報を算出し、第3のポイント503を決定する。そして、第1のポイント501と第3のポイント503とを通る回帰直線504が得られ、この回帰直線504の傾きが得られる。回帰直線504に対して平行かつ原点を通る理想直線506上にて実際の距離Lに対する距離測定補正結果902を表す第4のポイント505をとれば、第1のポイント501と第4のポイント505との差が、照射タイミング変更前の算出距離に対する補正量となる。
なお、回帰直線を求めるのは、傾きは2点以上あれば求められるので、仮想距離情報を2点以上で算出し、回帰直線を求めてもよい。
なお、仮想距離情報を得るために、照射タイミングを変更する場合、予め距離に相当する照射タイミングの変更時間を決めておいてもよい。
《実施形態5》
本発明の実施形態5に係る距離測定装置100は、図9に示すように、実施形態4の構成に加え、第2の照射部112を備える。第2の照射部112からの照射パルス光312も照射部(第1の照射部)111からの照射パルス光311と同様に距離測定対象211で反射し、反射光321の一部として受光部121に入射する。2つの照射部111,112間で照射パルス光の状態をそろえるため、照射調整部143は、第1の照射部111へ調整制御信号S011を供給するだけでなく、第2の照射部112へも調整制御信号S015を供給する。制御信号生成部191から照射調整部143への制御信号は、第1の照射部111用の制御信号S222−1と、第2の照射部112用の制御信号S222−2とからなる。第1の照射部111と第2の照射部112とは別々にパルス光の照射を行い、光軸上の領域で光測定情報511を比較しつつ、照射タイミングと照射光波形とを調整し、光軸上の領域で算出した距離が等しくなるように両照射部111,112をそれぞれ調整する。
なお、本実施の形態では照射部の数を2つとした。しかし、3つ以上使用することは可能であり、その場合でも、照射部間の調整は同様に調整を行うことができる。
なお、複数の光源の調整方法として、距離測定対象211が固定されている場合や、距離測定対象211までの距離が分かっている場合など、光軸上の領域に限らずとも、実距離を調整目標値とし、算出距離を調整目標値に調整することが可能である。
なお、実施形態2の反射光受光状態信号S311を取得する方法により、反射光の状態を観測し、複数の照射部111,112間の照射パルス光311,312の調整に使用することが可能である。
なお、実施形態5では、複数の照射部111,112の調整を受光部121で行っているが、第2の受光部を複数の光源から等距離に配置することで、又は、反射光321による照射部111,112間の調整が可能である。
なお、実施形態5では、複数の照射部111,112の調整を受光部121で行っているが、第2の受光部を複数の光源から等距離に配置することで、照射パルス光311,312による照射部111,112間の調整が可能である。
本発明に係る距離測定装置は、従来の構成では不可能であった使用環境の変化における距離測定状態の診断及び校正を行うことができる効果を有し、安定した距離測定を行うことが可能となる距離測定装置として有用である。
100 距離測定装置
111 照射部
121 受光部
131 演算部
135 距離算出補正部
141 調整部
142 受光調整部
143 照射調整部
151 受光量評価部
152 算出結果評価部
191 制御信号生成部
211 距離測定対象
311,312 照射パルス光
321 反射光
801 調整制御入力信号
901 距離測定結果
902 距離測定補正結果

Claims (17)

  1. 距離測定対象に対して光を照射する照射部と、
    前記距離測定対象に照射した光の反射光を受光する受光部と、
    前記照射部の照射期間と、照射光波形と、照射光強度と、前記受光部の第1及び第2受光動作と、前記第1及び第2受光動作の実行回数と、前記照射部の動作タイミングと前記受光部の前記第1及び第2受光動作のタイミングとの関係とのうちの少なくとも1つを調整する調整部と、
    前記第1受光動作にて第1受光結果を、前記第2受光動作にて第2受光結果をそれぞれ取得し、前記第1受光結果と前記第2受光結果とを用いて前記距離測定対象までの距離を算出する演算部とを備えたことを特徴とする距離測定装置。
  2. 請求項1記載の距離測定装置において、
    前記調整部は、前記照射期間を調整する場合には距離測定範囲を、前記照射光波形を調整する場合には距離測定精度を、前記照射光強度を調整する場合には前記距離測定範囲及び前記距離測定精度を、前記受光部の前記第1及び第2受光動作を調整する場合には前記距離測定範囲を、前記第1及び第2受光動作の実行回数を調整する場合には受光量を、前記照射部の動作タイミングと前記受光部の前記第1及び第2受光動作のタイミングとの関係を調整する場合には前記距離測定対象までの距離を算出した結果をそれぞれ基準として調整することを特徴とする距離測定装置。
  3. 距離測定対象に対して光を照射する照射部と、
    前記距離測定対象に照射した光の反射光を受光する受光部と、
    前記照射部の照射開始タイミング及び照射終了タイミングと、照射光波形の立ち上がり時間及び立ち下がり時間と、照射光強度と、前記受光部の第1受光動作の開始タイミング及び終了タイミングと、前記受光部の第2受光動作の開始タイミング及び終了タイミングと、前記第1及び第2受光動作の実行回数と、前記照射部の動作タイミングと前記受光部の前記第1及び第2受光動作のタイミングとの関係とのうちの少なくとも1つを調整する調整部と、
    前記第1受光動作にて第1受光結果を、前記第2受光動作にて第2受光結果をそれぞれ取得し、前記第1受光結果と前記第2受光結果とを用いて前記距離測定対象までの距離を算出する演算部とを備えたことを特徴とする距離測定装置。
  4. 請求項3記載の距離測定装置において、
    前記調整部は、前記照射部の照射開始タイミング及び照射終了タイミングを調整する場合には距離測定範囲を、前記照射光波形の立ち上がり時間及び立ち下がり時間を調整する場合には距離測定精度を、前記照射光強度を調整する場合には前記距離測定範囲及び前記距離測定精度を、前記受光部の前記第1受光動作の開始タイミング及び終了タイミングを調整する場合には前記距離測定範囲を、前記受光部の前記第2受光動作の開始タイミング及び終了タイミングを調整する場合には前記距離測定範囲を、前記第1及び第2受光動作の実行回数を調整する場合には受光量を、前記照射部の動作タイミングと前記受光部の前記第1及び第2受光動作のタイミングとの関係を調整する場合には前記距離測定対象までの距離を算出した結果をそれぞれ基準として調整することを特徴とする距離測定装置。
  5. 請求項1〜4のいずれか1項に記載の距離測定装置において、
    前記調整部は、前記照射部の動作タイミングと前記受光部の前記第1及び第2受光動作のタイミングとの関係を、同期信号を基準に調整することを特徴とする距離測定装置。
  6. 請求項5記載の距離測定装置において、
    前記照射部は、前記同期信号をもとにしたタイミングで光を照射することを特徴とする距離測定装置。
  7. 請求項1〜6のいずれか1項に記載の距離測定装置において、
    前記演算部は、前記照射部の動作停止中の前記受光部の第3受光動作にて第3受光結果を更に取得し、前記第1受光結果から前記第3受光結果を減算して得られる第4受光結果と、前記第2受光結果から前記第3受光結果を減算して得られる第5受光結果とを用いて、前記距離測定対象までの距離を算出することを特徴とする距離測定装置。
  8. 請求項1〜7のいずれか1項に記載の距離測定装置において、
    前記受光部の出力信号レベルから前記反射光の受光量及び受光期間を評価する受光量評価部と、
    前記受光量及び受光期間の評価結果をもとに前記照射部の動作タイミングと前記受光部の前記第1及び第2受光動作のタイミングとを決定して、前記調整部へ制御信号を供給する制御信号生成部とを更に備えたことを特徴とする距離測定装置。
  9. 請求項7又は8に記載の距離測定装置において、
    前記演算部より得られた距離情報から算出距離と実際の距離との間の回帰直線を求め、当該回帰直線をもとに前記照射部の動作タイミングと前記受光部の前記第1及び第2受光動作のタイミングとの関係を調整するための位相調整信号を前記調整部へ供給する距離算出補正部を更に備えたことを特徴とする距離測定装置。
  10. 請求項9記載の距離測定装置において、
    前記距離算出補正部は、前記回帰直線をもとに前記演算部より得られた距離情報を補正する機能を更に有することを特徴とする距離測定装置。
  11. 請求項7〜10のいずれか1項に記載の距離測定装置において、
    前記距離測定対象に対して光を照射する第2の照射部を更に備え、
    前記調整部は、前記両照射部の動作を個別に制御する機能を更に有することを特徴とする距離測定装置。
  12. 距離測定対象に対して光を照射するステップと、
    前記距離測定対象に照射した光の反射光を受光するステップと、
    前記照射部の照射期間と、照射光波形と、照射光強度と、前記受光部の第1及び第2受光動作と、前記第1及び第2受光動作の実行回数と、前記照射部の動作タイミングと前記受光部の前記第1及び第2受光動作のタイミングとの関係とのうちの少なくとも1つを調整するステップと、
    前記第1受光動作にて第1受光結果を、前記第2受光動作にて第2受光結果をそれぞれ取得し、前記第1受光結果と前記第2受光結果とを用いて前記距離測定対象までの距離を算出するステップとを備えたことを特徴とする距離測定方法。
  13. 距離測定対象に対して光を照射する照射ステップと、
    前記照射ステップにより前記距離測定対象で反射した反射光を受光し、第1の受光結果を取得する、第1の受光ステップと、
    前記照射ステップにより前記距離測定対象で反射した反射光を、第1の受光ステップとは異なるタイミングで受光し、第2の受光結果を取得する、第2の受光ステップと、
    前記照射ステップを実行せず、前記距離測定対象からの光を受光し、第3の受光結果を取得する、第3の受光ステップと、
    前記第1の受光結果、前記第2の受光結果、前記第3の受光結果より距離測定対象に対する距離情報を求める距離算出ステップと、
    前記照射ステップにおける光の照射期間と、照射光波形と、照射光強度と、前記第1〜第3の受光ステップにおける、それぞれの受光期間と、前記照射ステップにおける光の照射開始時間と前記第1〜第2の受光ステップのそれぞれ第1〜第2受光開始時間の関係と、前記照射ステップと前記第1〜第3の受光ステップの実行回数のうち少なくとも1つが調整できる調整手段を、前記第1〜第3の受光結果のいずれか又は前記距離情報を元に調整するステップとを有する距離測定方法。
  14. 請求項12又は13に記載の距離測定方法において、
    照射開始時間を基準とした反射光の状態を評価する反射光評価ステップを備え、
    前記反射光評価ステップの結果により、前記照射ステップにおける光の照射期間と、照射光波形と、照射光強度と、前記第1〜第3の受光ステップにおける、それぞれの、受光期間と、前記照射ステップにおける光の照射開始時間と前記第1〜第2の受光ステップのそれぞれ第1〜第2受光開始時間の関係と、前記照射ステップと前記第1〜第3の受光ステップの実行回数のうち少なくとも1つを調整するステップを有する距離測定方法。
  15. 請求項12〜14のいずれか1項に記載の距離測定方法において、
    前記距離情報と実際の距離との回帰直線を求める距離比較ステップを備え、
    回帰直線をもとに前記照射ステップにおける光の照射開始時間と前記第1の受光ステップ及び第2の受光ステップにおける、それぞれ第1〜第2の受光開始時間を調整する位相調整ステップを有する距離測定方法。
  16. 請求項14記載の距離測定方法において、
    前記回帰直線をもとに前記距離情報を補正する距離情報補正ステップを有する距離測定方法。
  17. 請求項15又は16に記載の距離測定方法において、
    前記位相調整ステップにより、前記照射開始時間と前記第1〜第2の受光開始時間の位相差を距離に換算する仮想距離算出ステップを有し、
    前記距離測定対象との第1の距離情報を求め、次に、前記照射開始時間と前記第1〜第2の受光開始時間の位相を変更し、前記距離測定対象との第2の距離情報を求め、変更した位相差分の距離情報を前記仮想距離算出ステップで算出し、第1の距離情報と第1の距離情報に対して前記位相差分の実際の距離に補正した第2の距離情報から回帰直線を求め、前記回帰直線をもとに前記第1の距離情報を補正する第2の距離情報補正ステップを有する距離測定方法。
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